KR200143992Y1 - 피치 가변형 웨이퍼 전송장치 - Google Patents

피치 가변형 웨이퍼 전송장치 Download PDF

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Abstract

본 고안은 피치(Pitch)가 서로 다른 캐리어 사이의 웨이퍼 전송(transfer)을 보다 용이하게 할 수 있도록 하므로써 작업자에게 편리함을 제공할 뿐만 아니라 생산성을 향상시킬 수 있도록 한 것이다.
이를 위해, 본 고안은 웨이퍼(1)가 수납된 캐리어(2a)가 안착되는 로더부(3)와 웨이퍼(1)가 수납될 빈 캐리어(2b)가 안착되는 언로더부(4) 및 피치 가변 캐리어(5)가 안착되는 회전판(6)을 가지는 본체(7)와, 상기 본체(7)의 로더부(3) 일측에 장착되어 로더부(3)의 캐리어(2a)에 수납된 웨이퍼(1)를 피치 가변 캐리어(5) 측으로 밀어 수납시키는 제 1 전송수단과, 상기 본체(7)의 언로더부(4) 일측에 장착되며 피치 가변 캐리어(5)로 1차 전송되어 수납된 웨이퍼(1)를 다시 언로더부(4)희 빈 캐리어(2b) 측으로 밀어 수납시키는 제 2 전송수단자, 상기 회전판(6) 하부에 장착되어 상기 회전판(6)에 안착된 피치 가변 캐리어(5)의 피치를 가변시킬 수 있도록 피치 가변 캐리어(5) 일측에 결합된 피치 가변용 로드(8)을 직선운동시키는 공압실린더(9a)와, 상기 피치 가변 캐리어(5)의 피치 및 상기 제 1·2전송수단의 동작 순서를 순차적으로 제어하는 컨트롤러(10)로 구성되는 피치 가변형 웨이퍼 전송장치이다.

Description

피치 가변형 웨이퍼 전송장치
제1도는 종래의 수동 웨이퍼 전송장치를 나타낸 사시도.
제2도는 본 고안을 나타낸 사시도.
제3도는 본 고안을 이용한 웨이퍼 전송 상태를 나타낸 사시도.
제4도는 제3도의 피치 가변형 캐리어를 나타낸 정면도.
제5도는 제4도의 A-A선을 나타낸 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 웨이퍼 2a,2b : 캐리어
3 : 로더부 4 : 언로더부
5 : 피치 가변 캐리어 6 : 회전판
7 :본체 8 : 피치 가변용 로드
9a,9b,9c :공압실린더 10 : 컨트롤러
11a,11b :플런저 12 : 전송밀대
13 : 초기화 버튼 14 : 수동절환 스위치
15 : 상부 지지판 16 : 하부 지지판
17 : 웨이퍼 수납대
본 고안은 피치 가변형 웨이퍼 전송장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 피치(Pitch)가 서로 다른 캐피어 상호간의 웨이퍼 전송(transfer)을 보다 용이하게 할 수 있도록 한 것이다.
일반적으로, 캐리어(Carrier)는 웨이퍼를 수납하는 용기로서, 캐리어에 수납된 각 웨이퍼 간의 간격을 피치라고 하며, 각 캐리어의 피치는 각 공정의 장비특성에 따라 달라지게 된다.
종래의 수동형 웨이퍼 전송장치는 제1도에 나타낸 바와 같이, 웨이퍼(1)가 수납된 캐리어(2a) 및 웨이퍼(1)가 전송될 빈 캐리어(2b)를 본체(7a) 상부면의 정위치에 각각 올려 놓는다.
그 다음, 상기 전송밀대(12)의 손잡이(19)를 파지하여 전송밀대(12) 및 손잡이(19)를 안내홈(20)을 따라 도면의 화살표 방향으로 이동시키면 웨이퍼(1)는 전송밀대(12)에 밀려 빈 캐리어(2b) 내로 옮겨가게 된다.
한편, 상기 수동형 웨이퍼 전송장치에서 웨이퍼(1)를 전송하는 전송밀대(12)의 작동을 스위치가 장착된 공압실린더나 구동모터를 이용하여 수쟁되도록 한 자동형의 웨이퍼 전송장치도 사용되고 있다.
그러나, 이와 같은 종래의 수동형 또는 자동형 웨이퍼 전송장치는 모두 단순하게 웨이퍼(1)를 전송하는 캐리어(2a) 및 왜이퍼1(1)를 수납하게 되는 빈 캐리어(2b)의 피치가 서로 같을 때에만 웨이퍼(1)를 일측 캐리어(2a)로부터 다른 일측의 빈 캐리어(2b)로 전송시킬 수 있을 뿐 웨이퍼(1)와 웨이퍼(1) 사이의 간격이 다른 경우에는 사용할 수 없는 단점이 있었다.
이와 같은 경우, 캐리어(2a)에 수납된 웨이퍼(1)를 튀저(tweeser)등을 이용하여 각 낱장씩 일일이 집어 빈 캐리어(2b)로 옮길 수 밖에 없으므로 인해 작업이 번거럽고 작업성이 저하될 뿐만 아니라, 웨이퍼(1)의 파손 우려가 중대되는 등 많은 문제점이 있었다.
본 고안은 상기한 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 피치(pitch)가 서로 다른 캐리어 사이의 웨이퍼 전송(transfer)을 보다 용이하게 할 수 있도록 한 피치 가변형 왜이퍼 전송장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위해, 본 고안은 웨이퍼가 수납된 캐리어가 안착되는 로더부와 웨이퍼가 수납될 빈 캐리어가 안착되는 언로더부 및 피치 가변 캐리어가 안착되는 회전판을 가지는 본체와, 상기 본체의 로더부 일측에 장착되어 로더부의 캐리어에 수납된 웨이퍼를 피치 가변 캐리어 측으로 밀어 수납시키는 제 1 전송수단과, 상기 본체의 언로더부 일측에 장착되며 피치 가변 캐리어로 1차 전송되어 수납괸 웨이퍼를 다시 언로더부의 빈 캐리어 측으로 밀어 수납시키는 제 2 전송수단과, 상기 회전판에 장착되어 상기 회전판에 안착된 피치 가변 캐리어의 피치를 가변시킬 수 있도록 피치 가변 캐리어 일측에 결합된 피치 가변용 로드를 직선운동시키는 공압실린더와, 상기 피치 가변 캐리어의 피치 및 상기 제 1 전송수단의 작동순서를 순차적으로 제어하는 컨트롤러로 구성된 피치 가변형 웨이퍼 전송장치이다.
이하, 본 고안의 일 실시예를 첨부도면 제2도 내지 제5도를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
제2도는 본 고안을 나타낸 사시도이고, 제3도는 본 고안을 이용한 웨이퍼 전송 상태를 나타낸 사시도이며, 제4도는 제3도의 피치 가변형 캐리어를 나타낸 정면도이고, 제5도는 제4도의 A-A선을 나타낸 단면도이다.
본 고안은 웨이퍼(1)가 수납된 캐리어(2a)가 안착되는 로더부(3)와 웨이퍼(1)가 수납될 빈 캐리어(2b)가 안착되는 언로더부(4) 및 피치 가변 캐리어(5)가 안착되는 회전판(6)을 가지는 본체(7)의 로더부(3) 일측에 로더부(3)의 캐리퍼(2a)에 수납괸 웨이퍼(1)를 피치 가면 캐리어(5) 측으로 밀어 수납시키는 제 1 전송수단이 장착되고, 상기 본체(7)의 언로더부(4) 일측에는 피치 가변 캐리어(5)로 1차 전송되어 수납된 웨이퍼(1)를 다시 언로더부(4)의 빈 캐리어(2b) 측으로 밀어 수납시키는 제 2 전송수단이 장착되며, 상기 본체(7) 일측에는 회전판(6)에 안착된 피치 가변 캐리어(5)의 피치을 가변시킬 수 있도록 피치 가변 캐리어(5) 일측에 결합된 피치 가변용 로드(8)를 직선운동시키는 공압실린더(9a)가 장착되고, 상기 본체(7) 일측에는 피치 가변 캐리어(5)의 피치 및 상기 제 1,2 전송수단의 작동순서를 순차적으로 제어하는 컨트롤러(10)가 설치되어 구성된다.
이때, 상기 제 1,2 전송수단은 본체(7)에 내장된 각 공압실린더(9b),(9c)와, 방기 각 공압 실린더(9b),(9c)의 작용에 따라 연동하는 플런저(11a),(11b) 선단에 결합된 각 전송밀대(12)로 구성된다.
또한, 상기 본체(7) 일측에는 상기 제 1,2 전송수단의 공압실린더(9b),(9c) 및 피치 가변용 로드(8)를 작동시키기 위한 공압실린더(9a)를 동작시켜 전송밀대(12) 및 피치 가변용 로드(8)를 초기 상태로 되돌리는 초기화 버튼(13)이 장착된다.
한편, 상기 본체(7) 일측에는 제 1,2 전송수단자 회전판(6) 및 피치 가변용 로드(8)등의 구동부를 수동으로 움직일 수 있도록 하기 위한 수동절환 스위치(14)가 설치된다.
그리고, 상기 피치 가변 캐리어(5)는 회전판(6)에 장착된 공압실린더(9a)의 작용력을 받아 승강하는 피치 가변용 로드(8)가 결합된 상부 지지판(15)과, 상기 상부 지지판(15)과 대향하도록 위치하는 하부 지지판(16)과, 상기 상·하부 지지판(16) 사이에 설치되륵 피치 가변 용 로드(8)의 이동에 따라 신축되는 탄성재질의 벨로우즈형 웨이퍼 수납대(17)로 구성된다.
이때, 상기 벨로우즈형 웨이퍼 수납대(17)의 재질은 1㎜ 이하의 얇은 테프론 재질로 구성 된다.
이와 같이 구성된 본 고안의 작용 및 효과를 설명하면 다음과 같다.
본 고안은 웨이퍼(1) 전송장치 본체(7)의 로더부(3)와 언로더부(4)에 웨이퍼(1)가 수납된 캐리어(2a)와 웨이퍼(1)가 수납될 빈 캐리어(2b)를 각각 안착시킨 후, 먼저 컨트롤러(10)에 설치된 레버등의 조절수단을 이용하여 피치 가변 캐리어(5)의 피치 가변량을 설정하게 된다.
이때, 상기 퍼치 가변 캐리어(5)의 벨로우즈형 웨이퍼 수납대(17)는 얇은 테프론 재질로 되어 있으며, 피치 보절시 0.0l㎜단위까지 조절이 가능하도록 구성된다.
한편, 피치 가변량의 설정이 완료된 후, 상기 전송장치의 본체(7) 일측면에 장착된 구동 시작버튼을 누르면 컨트롤러(10)의 제어에 따라 각 구동부가 순차적으로 구동하게 된다.
즉, 컨트롤러(10)의 제어에 따라 제 1 전송수단의 공압실린더(9b)가 구동하여 플런저(lla)를 회전판(6)측으로 이동하면 플런저(.lla) 선단에 결합된 전송밀대(12)는 로더부(3)에 안착된 캐리어(2a)의 웨이퍼(1)를 밀어 회전판(6) 상면에 안착된 피치 가변 캐리어(5) 내의 수납홈(18) 내에 수납시키게 된다.
그후, 제 1 전송수단의 공압실린더(9b) 및 전송밀대(12)는 원위치로 되돌아가게 되고, 대신 피치 가변 캐리어(5)에 결합된 피치 가변용 로드(8)에 결합된 공압실린더(9a)가 구동하여 피치 가변용 로드(8)를 설정된 피치 가변량 만큼 상승 또는 하강시키게 된다.
이에 따라 상기 피치 가변용 로드(8)에 결합된 피치 가변 캐리어(5)의 상부 지지판(15,)이 상승 또는 하강하게 되므로써 상·하부 지지판(16) 사이의 벨로우즈형 웨이퍼 수납대(17) 또한 그 길이가 신장되거나 줄어들게 된다.
또한, 이와 같이 피치 가변 캐리어(5)의 피기가 언로더부(4)에 안착된 빈 캐리어(2b)의 피치와 일치하도록 가변된 후에는 회전판(6)에 축 연결된 회전판 구동용 모터(도시는 생략 함)의 구동에 따라 회전판(6)이 회전하게 된다.
이때, 상기 회전판(6)은 피치 가변 캐궈어(5)의 입구측이 언로더부(4)의 빈 캐리어(2b) 입구와 마주보도록 90° 회전하게 된다.
그 후, 컨트를러(10)의 제어에 따라 제 2 전송수단의 공압실린더(9c)가 구동하여 플런저(11b)가 언로더부(4)에 안착된 빈 캐리어(2b) 측으로 이동하면 피치 가변 캐리어(5) 내에 수납된 웨이퍼(1)는 플런저(11b) 선단에 결합된 전송밀대(12)가 밀어 본체(7)의 언로더부(4)에 안착된 빈 캐리어(2b)로 보내어 수납시키게 된다.
이와 같이, 웨이퍼(1)의 전송이 완료된 후에는 제 2 전송수단의 전송밀대(12)는 원위치하게 되고, 회전판(6) 또한 다시 90° 회전하여 원위치로 돌아가게 된다.
또한, 상기 피치 가변 캐리어(5)의 피치를 변경시키는 작용을 한 피치 가변용 로드(8)가 초기 상태로 되돌아 가게 되며, 이에 따라 피치 가변 캐리어(5)의 피치는 표준 피치로 복귀하게 된다.
상기한 바와 같이, 웨이퍼(1)의 전송이 끝난 후, 작업자는 언로더부(4)에 안착되며 웨치퍼(1)가 수납된 비표준 피치의 캐리어(2b)를 들어 내어 소정의 용정에 투입할 수 있게 된다.
한편, 상기 본체(7) 일측에는 상기 제 1·2 전송수단의 공압실린더(9b),(9c) 및 피치 가변용로드(8)를 작동시키기 위한 공압실린더(9a)를 동작시켜 전송밀대(12) 및 피치 가변용 로드(8)를 초기 상태로 되돌리는 초기화 버튼(13)이 장착되어 있으므로 편리하게 사용할 수 있다.
또한, 상기 본체(7) 일측에 장착된 수동절환 스위치(14)는 제 1·2 전송수단, 회전판(6) 및 피치 가변용 로드(8) 등의 각 구동부를 수동으로 조작해야 할 경우 작동방식을 변경시키는데 사용하게 된다.
따라서, 본 고안은 캐리어(2a)에 수납된 웨이퍼(1)를 다른 빈 캐리어(2b)에 전송시 캐리어(2a),(2b) 간의 피치 차이를 피치 가변 캐리어(5)의 피치 가변에 의해 자동적으로 일치시켜 상호간의 피치 차이에 구애됨없이 자유롭게 웨이퍼(1)를 전송할 수 있으므로 인해 공정간의 웨이퍼(1) 흐름이 보다 원활하게 이루어지도록 할 수 있게 된다.
뿐만 아니라, 웨이퍼(1)를 일일이 튀치 등으로 집어 빈 캐리어(2b)에 옳겨야 하는 번거러움을 작업자가 겪지 않아도 되므로 작업자에게 편리함틀 제공할 수 있게 된다.
이상에서와 같이, 본 고안은 피치(pitch)가 서로 다른 캐리어(2a),(2b) 사이의 웨이퍼(1) 전송(transfer)을 보다 용이하게 할 수 있도록 하므로써 작업자에게 편리함을 제공할 뿐만 아니라 생산성을 향상시킬 수 있도록 한 매우 유용한 고안이다.

Claims (7)

  1. 웨이퍼가 수납된 캐리어가 안착되는 로더부와 웨이퍼카 수납될 빈 캐리어가 안착되는 언로더부 및 피치 가변 캐리어가 안착되는 회전판슬 가지는 본체와, 상기 본체의 로더부 일측에 장착되어 로더부의 캐리어에 수납된 웨이퍼를 피치 가변 캐리어 측으로 밀어 수납시키는 제 1 전송수단과, 상기 본체의 언로더부 일측에 장착되며 피치 가변 캐리어로 1차 전송되어 수납된 웨이퍼를 다시 언로더부의 빈 캐리어 측으로 밀어 수납시키는 제 2전송수단과, 상기 회전판 하부에 장착되어 상기 회전판에 안착된 피치 가변 캐리어의 피치를 가변 시킬 수 있도록 피치 가변 캐리어 일측에 결합된 피치 가변용 로드를 직선운동시키는 공압실린더와, 상기 피치 가변 캐리어의 피치 및 상기 제 1·2 전송수단의 동작순서를 순차적으로 제어하는 컨트롤러로 구성된 것을 특징으로 하는 피치 가변형 웨이퍼 전송장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제 1·2 전송수단이 본체에 내장된 공압실린더와, 상기 공압실린더의 작용에 따라 연동하는 플런저 선단에 결합된 전송밀대로 구성되는 것을 특징으로 하는 피치 가변형 웨이퍼 전송장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 본체 일측에는 상기 제 1·2 전송수단의 공압실린더 및 피치 가변용 로드를 작동시키기 위한 공압실린더를 동작시켜 전송밀대 및 피치 가변용 로드를 초기 상태로 되돌리는 초기화 버튼이 장착되는 것을 특징으로 하는 피치 가변형 웨이퍼 전송장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 본체 일측에는 제 1·2 전송수단과 회전판 및 피치 가변용 로드 등의 구동부를 수동으로 움직일 수 있도록 하기 위한 수동절환 스위치가 설치 되는 것을 특징으로 하는 피치 가변형 웨이퍼 전송장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 피치 가변 캐리어가 회전판에 장착된 공압실린더의 작용력을 받아 승강하는 피치 가변용 로드가 결합된 상부 지지판과, 상기 상부 지지판에 대향하도록 위치하는 하부 지지판과, 상기 상·하부 지지판 사이에 설치되는 신축되는 탄성재질의 벨로우즈형 웨이퍼 수납대로 구성되는 것을 특징으로 하는 피치 가변형 웨이퍼 전송장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 벨로우즈형 웨이퍼 수납대이 전기 절연성을 가지는 테프론 재질로 되는 것을 특징으로 하는 피치 가변형 웨이퍼 전송장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 벨로우즈형 웨이퍼 수납대의 두께가 1㎜ 이하로 되는 것을 특징으로 하는 피치 가변형 웨이퍼 전송장치.
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