KR20010107632A - AC-type plasma display panel having improved protective layer and its manufacturing method - Google Patents

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KR20010107632A
KR20010107632A KR1020010027958A KR20010027958A KR20010107632A KR 20010107632 A KR20010107632 A KR 20010107632A KR 1020010027958 A KR1020010027958 A KR 1020010027958A KR 20010027958 A KR20010027958 A KR 20010027958A KR 20010107632 A KR20010107632 A KR 20010107632A
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magnesium oxide
display panel
plasma display
substrate
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KR1020010027958A
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기무라히로시
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가네코 히사시
닛폰 덴키(주)
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Abstract

기판(11), 기판 위에 형성된 다수의 디스플레이 전극들(12a, 12b), 디스플레이 전극들 위에 형성된 유전체층(13) 및 유전체층 위에 형성된 산화 마그네슘으로 이루어진 보호층(14)을 포함하는 교류형 플라즈마 디스플레이 패널에서, 보호층은 산화 마그네슘의 금지된 에너지 대역 내에서 적어도 하나의 중간 에너지 레벨을 갖는다.In an AC plasma display panel including a substrate 11, a plurality of display electrodes 12a and 12b formed on the substrate, a dielectric layer 13 formed on the display electrodes, and a protective layer 14 made of magnesium oxide formed on the dielectric layer. The protective layer has at least one intermediate energy level within the forbidden energy zone of magnesium oxide.

Description

개선된 보호층을 갖는 교류형 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조 방법{AC-type plasma display panel having improved protective layer and its manufacturing method}AC-type plasma display panel having improved protective layer and its manufacturing method

본 발명은 교류형 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히, 산화 마그네슘(MgO)으로 이루어진 보호층의 개선에 관한 것이다.The present invention relates to an alternating current plasma display panel and a method of manufacturing the same, and more particularly, to an improvement of a protective layer made of magnesium oxide (MgO).

종래 기술의 플라즈마 디스플레이 패널은 방전 공간 사이에 끼우는 전면부(front-side section) 및 배면부(rear-side section)에 의해 구성된다. 전면부는 유리 기판, 유리 기판 위에 형성된 투명 디스플레이 전극들, 투명 디스플레이 전극들 위에 형성된 유전체층, 및 유전체층 위에 형성된 보호층에 의해 구성된다. 또한, 배면부는 디스플레이 전극에 수직인 유리 기판 위에 형성된 어드레스 전극들, 어드레스 전극들 위에 형성된 유전체층, 방전 공간을 어드레스 전극들 중 하나에 따라 각각 다수의 공간들로 분할하기 위한 유전체층 위에 형성된 파티션들, 및 자외선을 가시광선으로 변환하기 위한 2개의 파티션들 사이의 각각의 형광체층들에 의해 구성된다. 또한, 전면부는 방전 공간이 일정한 공간을 갖도록 배면부에 접착된다.Prior art plasma display panels are constituted by a front-side section and a rear-side section sandwiched between discharge spaces. The front portion is constituted by a glass substrate, transparent display electrodes formed on the glass substrate, a dielectric layer formed on the transparent display electrodes, and a protective layer formed on the dielectric layer. In addition, the rear portion includes address electrodes formed on a glass substrate perpendicular to the display electrode, a dielectric layer formed on the address electrodes, partitions formed on the dielectric layer for dividing the discharge space into a plurality of spaces, respectively, according to one of the address electrodes, and It is composed of respective phosphor layers between two partitions for converting ultraviolet light into visible light. In addition, the front portion is bonded to the back portion so that the discharge space has a constant space.

보호층은 전면부의 유전체층에 관하여 우수한 스퍼터링 특성들을 갖는 MgO로 이루어진다(참조: JP-A-9-92133 & JP-A-9-167566).The protective layer is made of MgO having excellent sputtering properties with respect to the dielectric layer on the front side (cf. JP-A-9-92133 & JP-A-9-167566).

보호층이 MgO로 이루어진, 상술된 종래 기술의 교류형 플라즈마 디스플레이 패널에서, 그러나, 플라즈마 파일롯 프레임을 생성하기 위한 DC 구동 전압은 여전히 높으므로, 구동 전압을 위한 구동 회로가 전력 소모뿐만 아니라 교류형 플라즈마 디스플레이 패널들의 제조 비용도 증가시키는 높은 브레이크다운 전압 트랜지스터를 요구한다.In the above-described prior art AC plasma display panel, in which the protective layer is made of MgO, however, since the DC driving voltage for generating the plasma pilot frame is still high, the driving circuit for the driving voltage is not only power consumption but also AC plasma. There is a need for high breakdown voltage transistors that also increase the manufacturing cost of display panels.

본 발명의 목적은 DC 구동 전압을 감소시킬 수 있는 교류형 디스플레이 패널 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide an alternating current display panel and a method of manufacturing the same that can reduce the DC drive voltage.

도 1은 본 발명에 따른 교류형 플라즈마 디스플레이 패널의 실시예를 도시하는 횡단면도.1 is a cross sectional view showing an embodiment of an alternating current plasma display panel according to the present invention;

도 2는 도 1의 전면부의 투시도.2 is a perspective view of the front portion of FIG.

도 3은 도 1의 배면부의 투시도.3 is a perspective view of the back portion of FIG.

도 4는 도 1의 보호층의 에너지 대역 다이어그램.4 is an energy band diagram of the protective layer of FIG.

도 5는 도 1의 교류형 플라즈마 디스플레이 패널의 캐소드 발광 특성(cathode luminescence characteristics)을 도시하는 그래프.FIG. 5 is a graph showing cathode luminescence characteristics of the AC plasma display panel of FIG. 1. FIG.

도 6은 종래 기술의 교류형 플라즈마 디스플레이 패널의 캐소드 발광 특성을 도시하는 그래프.Fig. 6 is a graph showing the cathode light emitting characteristics of the AC plasma display panel according to the prior art.

도 7은 도 1의 보호층을 증착하기 위한 증발 장치(evaporation apparatus)를 도시하는 도면.FIG. 7 shows an evaporation apparatus for depositing the protective layer of FIG. 1. FIG.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1; 전면부 2; 배면부One; Front part 2; Back

11; 기판 13; 유전체층11; Substrate 13; Dielectric layer

22; 어드레스 전극 25; 형광체층22; Address electrode 25; Phosphor layer

본 발명에 따라서, 기판, 기판 위에 형성된 다수의 디스플레이 전극들, 디스플레이 전극들 위에 형성된 유전체층, 및 유전체층 위에 형성된 MgO로 이루어진 보호층을 포함하는 교류형 플라즈마 디스플레이 패널에서, 보호층은 MgO의 금지된 에너지 대역 내에서 적어도 하나의 중간 에너지 레벨을 갖는다.According to the present invention, in an AC plasma display panel comprising a substrate, a plurality of display electrodes formed on the substrate, a dielectric layer formed on the display electrodes, and a protective layer made of MgO formed on the dielectric layer, the protective layer is a forbidden energy of MgO. Have at least one intermediate energy level in the band.

또한, 교류형 플라즈마 디스플레이 패널을 제조하기 위한 방법에서, 디스플레이 전극들을 갖는 기판 및 그 위에 형성된 유전체층은 미리 준비되어 있다. 이어서, MgO로 이루어진 보호층은 유전체층 위에 증착된다. 결국, 적어도 하나의 결함 레벨은 보호층의 MgO의 금지된 에너지 대역 내에서 생성된다.Further, in the method for manufacturing an alternating current plasma display panel, a substrate having display electrodes and a dielectric layer formed thereon are prepared in advance. A protective layer of MgO is then deposited over the dielectric layer. As a result, at least one defect level is produced within the forbidden energy band of the MgO of the protective layer.

중간 에너지 레벨(또는 결함 레벨)은 DC 구동 전압의 감소에 공헌한다.The intermediate energy level (or fault level) contributes to the reduction of the DC drive voltage.

본 발명에 따른 교류형 플라즈마 디스플레이 패널의 실시예를 도시한 도 1에서, 교류형 플라즈마 디스플레이 패널은 방전 공간(3) 사이에 끼워 넣은 배면부(2) 및 전면부(1)에 의해 구성된다.In Fig. 1 showing an embodiment of an alternating-current plasma display panel according to the present invention, the alternating-current plasma display panel is constituted by a back portion 2 and a front portion 1 sandwiched between the discharge spaces 3.

전면부(1)는 도 1 뿐만 아니라 도 2도 참조하여 설명된다.The front part 1 is described with reference to FIG. 1 as well as FIG. 2.

도 1 및 도 2에서, 전면부(1)는 유리 기판(11), 상기 유리 기판(11) 위에 형성된 인듐 주석 산화물(ITO) 및 그 배경 금속(back metal)으로 이루어진 한 쌍의 투명 디스플레이 전극(12a 및 12b), 상기 투명 디스플레이 전극(12a 및 12b) 위에 형성된 약 50 ㎛ 두께의 유전체층(13), 및 상기 유전체층(13) 위에 형성된 약 1㎛ 두께의 보호층(24)에 의해 구성된다. 한 쌍의 투명 디스플레이 전극(12a 및 12b)이 각각의 디스플레이 라인에 대해 제공됨을 주목한다. 배면부(2)는 도 1 뿐만 아니라 도 3도 참조하여 설명된다.1 and 2, the front portion 1 is a pair of transparent display electrodes composed of a glass substrate 11, an indium tin oxide (ITO) formed on the glass substrate 11, and a back metal thereof. 12a and 12b, a dielectric layer 13 having a thickness of about 50 μm formed on the transparent display electrodes 12a and 12b, and a protective layer 24 having a thickness of about 1 μm formed on the dielectric layer 13. Note that a pair of transparent display electrodes 12a and 12b are provided for each display line. The back portion 2 is described with reference to FIG. 1 as well as FIG. 3.

도 1 및 도 3에서, 배면부(2)는, 유리 기판(21), 상기 디스플레이 전극들(12a 및 12b)에 수직인 상기 유리 기판 위에 형성된 금속으로 이루어진 어드레스 전극들(22), 상기 어드레스 전극들(22) 위에 형성된 유전체층(23), 방전 공간(3)을 상기 어드레스 전극들(22) 중 하나를 따라서 각각 다수의 공간들로 분할하기 위해 상기 유전체층(23) 위에 형성된 파티션들(24), 및 자외선을 가시광선으로 변환하기 위한, 상기 2 개의 파티션들(24) 사이의 각각의 형광체층들(25)에 의해 구성된다.1 and 3, the back portion 2 includes a glass substrate 21, address electrodes 22 made of metal formed on the glass substrate perpendicular to the display electrodes 12a and 12b, and the address electrodes. A dielectric layer 23 formed over the 22, partitions 24 formed over the dielectric layer 23 for dividing the discharge space 3 into a plurality of spaces, respectively, along one of the address electrodes 22, and It is constituted by respective phosphor layers 25 between the two partitions 24 for converting ultraviolet light into visible light.

전면부(1)는, 방전 공간(3)이 적은 양의 크세논 가스(xenon gas)를 포함하는 네온 가스에 의해 형성된 페닝 가스(penning gas)가 유도되는 일정한 공간을 갖도록, 배면부에 접착된다.The front part 1 is adhered to the rear part so that the discharge space 3 has a constant space in which a penning gas formed by a neon gas containing a small amount of xenon gas is guided.

도 1의 교류형 플라즈마 디스플레이 패널의 동작은 다음과 같다. 각각의 픽셀은 디스플레이 전극들(12a 및 12b) 및 어드레스 전극들(22)에 의해 선택된다. 다시 말해, 높은 DC 구동 전압은 디스플레이 전극들(12a 및 12b) 중 하나와 방전 공간(3) 내에서 플라즈마 파일롯 플레임(plasma pilot flame)을 생성하는 어드레스 전극들(22) 중 하나 사이에 적용된다. 이어서, 교류 전압은 플라즈마 플레임을 유지하는 디스플레이 전극들(12a 및 12b) 사이에 적용된다. 결과로서, 플라즈마 플레임의 자외선은 형광체층(25)에 의해 외부에 대한 전면부를 통해 방사되는 가시광선으로 변환된다.The operation of the AC plasma display panel of FIG. 1 is as follows. Each pixel is selected by display electrodes 12a and 12b and address electrodes 22. In other words, a high DC drive voltage is applied between one of the display electrodes 12a and 12b and one of the address electrodes 22 creating a plasma pilot flame in the discharge space 3. An alternating voltage is then applied between the display electrodes 12a and 12b holding the plasma flame. As a result, the ultraviolet rays of the plasma flame are converted into visible light emitted by the phosphor layer 25 through the front part to the outside.

본 발명에 따라, 보호층(14)은 <111> 배향(orientation)을 갖고, 도 4에 도시된 금지된 에너지 대역(forbidden energy band) 내에서 E1및 E2와 같은 중간 에너지 레벨을 갖는 MgO로 이루어진다. 도 4에서, EC가 전도대 에지 에너지 레벨(conduction band edge energy level)을 나타내며, EV가 가전자대 에지 에너지 레벨(valence band edge energy level)을 나타내는 것을 주목한다. MgO의 금지된 에너지 대역 갭(EG)은 약 7 내지 8 eV이다.According to the invention, the protective layer 14 has a <111> orientation and has an MgO having an intermediate energy level such as E 1 and E 2 within the forbidden energy band shown in FIG. 4. Is made of. In FIG. 4, note that E C represents the conduction band edge energy level and E V represents the valence band edge energy level. The forbidden energy band gap E G of MgO is about 7 to 8 eV.

도 5에 도시된 바와 같이, 보호층(14)의 캐소드 발광 특성은 각각 중간 에너지 레벨들(E1 및 E2)에 대응하는 대략 500 nm 내지 700 nm에 도달한다. 한편, 보호층(14)이 종래 기술에서와 같이 중간 에너지 레벨을 갖지 않는다면, 캐소드 발광 특성은 도 6에 도시된 바와 같은 최고점(peak)을 갖지 않는다. 결과로서, 본 발명에 따라서, DC 구동 전압은, 종래 기술의 교류형 플라즈마 디스플레이 패널과 비교할 때, 약 10 퍼센트까지 증가될 수 있다.As shown in FIG. 5, the cathode luminescence properties of the protective layer 14 reach approximately 500 nm to 700 nm corresponding to the intermediate energy levels E1 and E2, respectively. On the other hand, if the protective layer 14 does not have an intermediate energy level as in the prior art, the cathode luminescence properties do not have a peak as shown in FIG. As a result, according to the present invention, the DC driving voltage can be increased by about 10 percent as compared to the AC plasma display panel of the prior art.

도 4의 보호층을 증착하기 위한 증발 장치는 도 7을 참조하여 다음에 설명된다.An evaporation apparatus for depositing the protective layer of FIG. 4 is described next with reference to FIG. 7.

도 7에서, 참조 번호(71)는 보호층(14)이 증착되기 전에 홀더(72)가 전면부를 차지하도록 제공되는 진공 챔버를 나타낸다. 또한, 열전자들을 방사하기 위한 필라멘트(75) 및 MgO를 수용하기 위한 도가니(crucible: 74)를 갖는 페데스탈(pedestal: 73)은 진공 챔버(71) 내에 제공된다. 부가하여, 히터(76)는 전면부(1)를 가열하도록 진공 챔버(71) 내에 제공된다. 또한, 산소 이온 총(oxygen ion gun: 77)은 전면부(1) 내로 산소 이온들을 주입하도록 제공된다.In FIG. 7, reference numeral 71 denotes a vacuum chamber in which the holder 72 is provided to occupy the front portion before the protective layer 14 is deposited. In addition, a pedestal 73 having a filament 75 for radiating hot electrons and a crucible 74 for receiving MgO is provided in the vacuum chamber 71. In addition, a heater 76 is provided in the vacuum chamber 71 to heat the front part 1. In addition, an oxygen ion gun 77 is provided to inject oxygen ions into the front portion 1.

도 7의 증발 장치의 동작은 다음에 설명된다.The operation of the evaporation apparatus of FIG. 7 is described next.

우선, 디스플레이 전극들(12a 및 12b)을 포함하는 유리 기판(11) 및 그 위에 형성된 유전체층(13)을 갖는 전면부(1)는 홀더(72) 위에 배치된다.First, the front portion 1 having the glass substrate 11 including the display electrodes 12a and 12b and the dielectric layer 13 formed thereon is disposed on the holder 72.

다음에, 진공은 진공 챔버(71)에서 진공의 정도가 6.6 x 10-5Pa(5 x 10-7Torr)보다 작게 되도록 진공 챔버(71)로부터 진공 펌프(도시 안됨)에 의해 도시된다.The vacuum is then shown by a vacuum pump (not shown) from the vacuum chamber 71 such that the degree of vacuum in the vacuum chamber 71 is less than 6.6 × 10 −5 Pa (5 × 10 −7 Torr).

다음에, 히터(76)는 MgO의 <111> 배향을 얻기 위해 약 250 ℃로 전면부(1)를 가열하도록 동작된다.Next, the heater 76 is operated to heat the front portion 1 to about 250 ° C. to obtain a <111> orientation of the MgO.

다음에, 필라멘트(75)는 도 7에 점선 화살표와 같이 도가니(74) 위에 유닛(도시 안됨)을 생성하는 자속(magnetic flux)에 의해 집중되는 열전자들을 방사하도록 동작된다. 결과로서, MgO는 전면부(1) 위에 증발되고 증착된다. 따라서, 약 1 ㎛ 두께의 MgO로 이루어진 보호층(14)은 유전체층(13) 위에 증착된다.Next, the filament 75 is operated to radiate hot electrons concentrated by a magnetic flux that creates a unit (not shown) over the crucible 74 as shown by the dashed arrow in FIG. 7. As a result, MgO is evaporated and deposited on the front part 1. Thus, a protective layer 14 made of about 1 μm thick MgO is deposited over the dielectric layer 13.

결국, 산소 이온 총(77)은 ㎠당 5 x 1014산소 이온들이 보호층(14)으로 약10 KeV의 에너지로 주입된다.As a result, the oxygen ion gun 77 is injected with energy of about 10 KeV into the protective layer 14 at 5 x 10 14 oxygen ions per cm 2.

따라서, 산소 결함(oxygen defects)은, 상술된 중간 에너지 레벨들(E1및 E2)이 보호층(14)의 MgO의 금지된 에너지 대역 내에 발생되도록, 보호층 내에서 발생된다.Thus, oxygen defects are generated in the protective layer such that the above-described intermediate energy levels E 1 and E 2 occur within the forbidden energy band of MgO of the protective layer 14.

상술된 실시예에서, 중간 에너지 레벨들(E1및 E2)이 가전자대 에지 에너지(EV)보다 전도대 에지 에너지(EC)에 더 근접한다. 또한, 중간 에너지 레벨(E1)의 캐소드 발광 최고점이 중간 에너지 레벨(E2)의 그것보다 크기 때문에, 약 400 nm의 파장에 대응하는 중간 에너지 레벨(E1)은 DC 구동 전압의 감소의 원인이 된다. 그러나, 이러한 경우에, 약 300 내지 500 nm의 파장에 대응하는 중간 에너지 레벨은 또한 DC 구동 전압의 감소의 원인이 될 수 있다.In the embodiment described above, the intermediate energy levels E 1 and E 2 are closer to the conduction band edge energy E C than the valence band edge energy E V. In addition, since the cathode luminescence peak of the intermediate energy level (E 1) larger than that of the intermediate energy level (E 2), the intermediate energy level (E 1) corresponding to a wavelength of about 400 nm causes the decrease in the DC drive voltage Becomes However, in this case, the intermediate energy level corresponding to the wavelength of about 300 to 500 nm can also cause the reduction of the DC drive voltage.

위에 설명된 바와 같이, 본 발명에 따라서, DC 구동 전압이 감소되기 때문에, 전력 소모뿐만 아니라 교류형 플라즈마 디스플레이 패널들의 제조 비용도 줄일 수 있다.As described above, according to the present invention, since the DC driving voltage is reduced, not only power consumption but also manufacturing cost of the AC plasma display panels can be reduced.

Claims (14)

교류형 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서,In the AC plasma display panel, 제 1 기판(11)과, 상기 제 1 기판 위에 형성된 다수의 디스플레이 전극들(12a, 12b)과, 상기 디스플레이 전극들 위에 형성된 제 1 유전체층(13)과, 상기 제 1 유전체층 위에 형성된 산화 마그네슘으로 이루어진 보호층(14)을 포함하는 전면부(1)와;A first substrate 11, a plurality of display electrodes 12a and 12b formed on the first substrate, a first dielectric layer 13 formed on the display electrodes, and magnesium oxide formed on the first dielectric layer A front part 1 comprising a protective layer 14; 제 2 기판(21)과, 상기 제 2 기판 위에 형성된 다수의 어드레스 전극들(22)과, 상기 어드레스 전극들 위에 형성된 제 2 유전체층(23)과, 상기 파티션들 사이에서 형성된 형광체층(25)을 포함하는 배면부(2)를 포함하며, 상기 전면부 및 상기 배면부는 방전 공간을 통해 서로 대향하며,A second substrate 21, a plurality of address electrodes 22 formed on the second substrate, a second dielectric layer 23 formed on the address electrodes, and a phosphor layer 25 formed between the partitions. It includes a back portion 2, wherein the front portion and the back portion facing each other through the discharge space, 상기 보호층은 산화 마그네슘의 금지된 에너지 대역 내에서 적어도 하나의 중간 에너지 레벨을 갖는, 교류형 플라즈마 디스플레이 패널.And said protective layer has at least one intermediate energy level within the forbidden energy zone of magnesium oxide. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 중간 에너지 레벨은 산화 마그네슘의 가전자대(EV)보다 산화 마그네슘의 전도대 에지 에너지(EC)에 더 근접한, 교류형 플라즈마 디스플레이 패널.Wherein said intermediate energy level is closer to the conduction band edge energy (E C ) of magnesium oxide than to the valence band (E V ) of magnesium oxide. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 중간 에너지 레벨은 산화 마그네슘 내에서 결함에 의해 유도되는, 교류형 플라즈마 디스플레이 패널.And said intermediate energy level is induced by a defect in magnesium oxide. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 중간 에너지 레벨은 산화 마그네슘의 산소 결함에 의해 유도되는, 교류형 플라즈마 디스플레이 패널.And said intermediate energy level is induced by an oxygen defect of magnesium oxide. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 중간 에너지 레벨은 약 400 nm의 파장에 대응하는, 교류형 플라즈마 디스플레이 패널.And said intermediate energy level corresponds to a wavelength of about 400 nm. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 중간 에너지 레벨은 약 300 내지 500 nm의 파장에 대응하는, 교류형 플라즈마 디스플레이 패널.The intermediate energy level corresponds to a wavelength of about 300 to 500 nm. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 보호층의 산화 마그네슘은 <111> 배향을 갖는, 교류형 플라즈마 디스플레이 패널.And the magnesium oxide of the protective layer has an <111> orientation. 교류형 플라즈마 디스플레이 패널을 제조하기 위한 방법에 있어서,In the method for manufacturing an AC plasma display panel, 디스플레이 전극들(12)을 갖는 기판(11)과 그 위에 형성된 유전체층(13)을 미리 준비하는 단계와;Preparing in advance a substrate 11 having display electrodes 12 and a dielectric layer 13 formed thereon; 상기 유전체 산화물 위에 산화 마그네슘로 이루어진 보호층(14)을 증착하는 단계와;Depositing a protective layer (14) of magnesium oxide on said dielectric oxide; 상기 보호층의 산화 마그네슘의 금지된 에너지 대역 내에서 적어도 하나의 결함 레벨을 생성하는 단계를 포함하는 교류형 플라즈마 디스플레이 패널 제조 방법.Producing at least one defect level within the forbidden energy zone of magnesium oxide of the protective layer. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 보호층 증착 단계 및 상기 결함 레벨 생성 단계는 하나의 진공 챔버(71) 내에서 수행되는, 교류형 플라즈마 디스플레이 패널 제조 방법.The protective layer deposition step and the defect level generating step are performed in one vacuum chamber (71). 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 보호층 증착 단계가 수행되는 동안 상기 기판을 가열하는 단계를 더 포함하는 교류형 플라즈마 디스플레이 패널 제조 방법.And heating the substrate while the protective layer deposition step is performed. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 보호층 증착 단계는 증발법(evaporation method)에 의해 수행되는, 교류형 플라즈마 디스플레이 패널 제조 방법.The protective layer deposition step is performed by an evaporation method (evaporation method), the alternating plasma display panel manufacturing method. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 보호층 증착 단계는 전자-빔 증발법에 의해 수행되는, 교류형 플라즈마 디스플레이 패널 제조 방법.The protective layer deposition step is performed by the electron-beam evaporation method, AC plasma display panel manufacturing method. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 결함 레벨 생성 단계는 이온 주입법에 의해 수행되는, 교류형 플라즈마 디스플레이 패널 제조 방법.And the defect level generating step is performed by an ion implantation method. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 결함 레벨 생성 단계는 산소 이온 주입법에 의해 수행되는,교류형 플라즈마 디스플레이 패널 제조 방법.The generating of the defect level is performed by an oxygen ion implantation method.
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