KR20010106893A - Robot arm apparatus for carrying wafer - Google Patents
Robot arm apparatus for carrying wafer Download PDFInfo
- Publication number
- KR20010106893A KR20010106893A KR1020000027929A KR20000027929A KR20010106893A KR 20010106893 A KR20010106893 A KR 20010106893A KR 1020000027929 A KR1020000027929 A KR 1020000027929A KR 20000027929 A KR20000027929 A KR 20000027929A KR 20010106893 A KR20010106893 A KR 20010106893A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- wafer
- robot arm
- loading state
- sensors
- arm
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Robotics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
본 발명은 반도체 제조설비에 관한 것으로, 특히 웨이퍼의 로딩상태를 감지하여 보다 안정적으로 웨이퍼를 운반할 수 있는 로봇 암 장치에 관한 기술에 관한 것이다. 본 발명에 따른 로봇 암 장치는 웨이퍼의 수용유무 및 로딩상태를 감지하는 적어도 두 개의 센서들로 구성되는 센서부와, 일 단부에 상기 웨이퍼가 놓여지는 웨이퍼 수용부가 일체로 형성되며, 상기 센서들이 상기 웨이퍼가 상기 웨이퍼 수용부 상에 위치하는가에 대한 웨이퍼 수용유무 및 상기 웨이퍼 수용부 상에 위치한 웨이퍼의 로딩상태가 양호한가에 대한 웨이퍼 로딩상태를 감지할 수 있는 내부 적소에 장착되며, 상기 웨이퍼를 로딩하여 운반하는 암을 구비함을 특징으로 한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor manufacturing facility, and more particularly, to a technology of a robot arm device capable of carrying a wafer more stably by sensing a loading state of a wafer. The robot arm device according to the present invention comprises a sensor unit consisting of at least two sensors for detecting the presence or absence of a wafer and a loading state, and a wafer accommodating portion in which the wafer is placed at one end thereof is integrally formed. It is mounted in an internal place that can detect the wafer loading status whether the wafer is located on the wafer receiving portion and whether the wafer loading state on the wafer receiving portion is good. And an arm for carrying.
Description
본 발명은 반도체 제조설비에 관한 것으로, 특히 웨이퍼의 로딩상태를 감지하여 보다 안정적으로 웨이퍼를 운반할 수 있는 로봇 암 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor manufacturing facility, and more particularly, to a robot arm device capable of carrying a wafer more stably by sensing a loading state of a wafer.
로봇 암(ROBOT ARM, 또는 "로봇 팔"이라고도 함.)은 다양한 산업분야에서 반복 작업, 정밀 작업, 및 고속 작업에 이르기까지 인력을 대신하여 효율적, 능률적, 생산적인 효과를 창출하고 있다. 반도체 제조분야에 있어서도 반도체를 제조하는 반도체 제조설비에 상기 로봇 암을 이용하여 웨이퍼를 제조공정을 위한 서셉터까지 운반하게 된다. 통상의 웨이퍼 운반용 로봇 암 장치는 단순히 웨이퍼를 운반하는 역할만 수행하고, 웨이퍼가 상기 암 위에 정상적으로 놓여졌는가는 챔버 내에 검출센서로 감지하도록 하였다. 이러한 통상의 웨이퍼 운반용 로봇 암 장치를 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한다. 도 1은 통상적인 로봇 암 장치의 구성도이고, 도 2는 도 1의 암의 측면도이고, 도 3은 도 1의 암의 평면도로서, 상기 암(30)의 일 단부에는 웨이퍼(20)가 놓여져 운반되는 웨이퍼 수용부(31)가 형성되며, 챔버 내에는 검출 센서(10A, 10B)가 상기 웨이퍼(20)의 중앙 부위에 상하로 위치한다. 이러한 통상의 로봇 암 장치(30)는 단순히 상기 웨이퍼를 운반하는 역할 만 담당할 뿐이며, 웨이퍼(20)가 정상적으로 상기 로봇 암에 놓여져 있는가를 감지하는 것은 웨이퍼 중앙부위에 위치하는 검출센서(10)가 담당하였다. 그러나, 만약 웨이퍼의 중앙부위에 위치하는 검출센서에 의해 웨이퍼가 감지가 된다면 상기 웨이퍼가 상기 로봇 암 상에서 약간 틀어지거나 잘못 놓여진 경우에는 이를 감지할 수 가 없었는데, 이것은 웨이퍼 상해(Broken)를 가져오는 원인이 되었다.Robotic arms (also known as ROBOT ARM, or "robot arms") are creating efficient, efficient, and productive effects on behalf of manpower in a variety of industries, from repetitive, precise, and high-speed tasks. In the semiconductor manufacturing field, the robot arm is used to transport a wafer to a susceptor for a manufacturing process in a semiconductor manufacturing facility for manufacturing a semiconductor. The conventional wafer arm robot arm simply serves to transport the wafer, and it is detected by the detection sensor in the chamber whether the wafer is normally placed on the arm. Such a conventional wafer carrying robot arm apparatus will be described with reference to FIGS. 1 is a block diagram of a conventional robot arm device, Figure 2 is a side view of the arm of Figure 1, Figure 3 is a plan view of the arm of Figure 1, the end of the arm 30, the wafer 20 is placed A wafer accommodating part 31 to be transported is formed, and detection sensors 10A and 10B are located in the chamber at the center of the wafer 20. The conventional robot arm device 30 is merely responsible for transporting the wafer, and the detection sensor 10 located at the center of the wafer is responsible for detecting whether the wafer 20 is normally placed on the robot arm. It was. However, if the wafer was detected by a detection sensor located at the center of the wafer, it could not be detected if the wafer was slightly misaligned or misplaced on the robot arm, which causes wafer injury. It became.
따라서 본 발명의 목적은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 웨이퍼의 수용유무 및 웨이퍼의 정확한 로딩상태를 감지하여 웨이퍼의 상해 없이 안정적으로 웨이퍼를 운반할 수 있는 웨이퍼 운반용 로봇 암 장치를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a wafer arm robot arm device capable of stably transporting a wafer without injuries of the wafer by detecting the presence of the wafer and the correct loading state of the wafer in order to solve the above problems.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 웨이퍼 운반용 로봇 암 장치는 웨이퍼의 수용유무 및 로딩상태를 감지하는 적어도 두 개의 센서들로 구성되는 센서부와, 일 단부에 상기 웨이퍼가 놓여지는 웨이퍼 수용부가 일체로 형성되며, 상기 센서들이 상기 웨이퍼가 상기 웨이퍼 수용부 상에 위치하는가에 대한 웨이퍼 수용유무 및 상기 웨이퍼 수용부 상에 위치한 웨이퍼의 로딩상태가 양호한가에 대한 웨이퍼 로딩상태를 감지할 수 있는 내부 적소에 장착되며, 상기 웨이퍼를 로딩하여 운반하는 암을 구비함을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the robot arm for wafer transport according to the present invention includes a sensor unit including at least two sensors for detecting whether a wafer is accommodated and a loading state, and a wafer accommodating unit in which the wafer is placed at one end thereof. The sensors may be disposed in an internal place where the sensors can detect whether the wafer is placed on the wafer accommodating state and whether the wafer is loaded on the wafer accommodating state. And an arm for loading and carrying the wafer.
도 1은 통상적인 로봇 암 장치의 구성도1 is a block diagram of a conventional robot arm device
도 2는 도 1의 암의 측면도2 is a side view of the arm of FIG. 1
도 3은 도 1의 암의 평면도3 is a plan view of the arm of FIG.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 내부에 센서가 장착된 로봇 암 장치의 구성도Figure 4 is a block diagram of a robot arm device equipped with a sensor in accordance with a preferred embodiment of the present invention
도 5는 도 4의 암의 측면도5 is a side view of the arm of FIG. 4
도 6은 도 4의 암의 평면도6 is a plan view of the arm of FIG.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 운반용 로봇 암 장치를 이용하여 웨이퍼가 웨이퍼 수용부에 양호하게 위치한 경우를 감지하는 방법을 나타낸 도면FIG. 7 is a view illustrating a method of detecting a case in which a wafer is well positioned in a wafer accommodating part by using a robot arm for wafer transport according to an embodiment of the present invention.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 운반용 로봇 암 장치를 이용하여 웨이퍼가 웨이퍼 수용부에 불량하게 위치한 경우를 감지하는 방법을 나타낸 도면8 is a view illustrating a method of detecting a case in which a wafer is poorly positioned in a wafer accommodating part by using a robot arm for wafer transport according to an embodiment of the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
100: 센서 110: 로봇 암100: sensor 110: robot arm
111: 웨이퍼 수용부111: wafer accommodating part
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 하기의 설명에서 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description, detailed descriptions of well-known functions and configurations that are determined to unnecessarily obscure the subject matter of the present invention will be omitted.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 내부에 센서가 장착된 로봇 암 장치의 구성도이고, 도 5는 도 4의 암의 측면도이고, 도 6은 도 4의 암의 평면도로서, 본 발명의 실시예에 따른 로봇 암 장치(110)의 내부 적소에는 웨이퍼의 수용유무 및 로딩상태를 감지하는 적어도 두 개의 센서들(100-1, 100-2)로 구성되는 센서들(100-1, 100-2)이 장착되는데, 상기 센서들(100-1, 100-2)은 웨이퍼 수용부(111)에 놓여지는 상기 웨이퍼(20)의 로딩상태가 양호함을 알 수 있는 상기 웨이퍼 측면부 양쪽 가장장리 부위를 감지할 수 있는 위치에 서로 이격되어 장착된다. 상기 센서들(100)은 예를 들어 적외선 센서나 레이저 센서를 사용하며, 상기 웨이퍼가 상기 웨이퍼 수용부(111) 상에 놓여지면 적외선 또는 레이저를 쏘아 상기 웨이퍼에 반사되어 수신되는 것으로 웨이퍼의 수용유무를 감지하게 된다. 상기 도 1에서 상기 센서들(이하, "센서부"라 칭함.)(100)은 주기적으로 웨이퍼의 유무를 감지하는 센싱신호, 예를 들어 적외선이나 레이저(A) 등을 쏘게 되는데 상기 적외선이나 레이저 신호들이 상기 도 6에 도시된 바와 같이 핑거(finger)처럼 생긴 웨이퍼 수용부(111) 상에 놓여진 웨이퍼(20)의 측면에 반사되어 돌아오면 상기 웨이퍼가 수용상태 및 웨이퍼 로딩상태가 양호한 것으로 감지한 감지신호를 발생한다. 만약 상기 센서부(100)에 구비되는 센서들 중 하나라도 웨이퍼 양호 감지신호가 수신되지 않을 경우에는 이를 상기 센서부(100)에 연결되는 도시하지 않은 경보부에 경보하여 미리 설정된 방법(예를 들어, 경보음 발생이나 경보등 점멸 등)으로 운용자에게 현재 웨이퍼 수용상태 또는 로딩상태에 불량이 발생하였음을 통보할 수 있도록 한다.Figure 4 is a block diagram of a robot arm device equipped with a sensor therein according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 5 is a side view of the arm of Figure 4, Figure 6 is a plan view of the arm of Figure 4, The sensors 100-1 and 100-composed of at least two sensors 100-1 and 100-2 detecting the wafer's acceptance and loading state in an appropriate place in the robot arm apparatus 110 according to the embodiment. 2) is mounted, the sensors 100-1, 100-2, the edge portion of both sides of the wafer side that can be seen that the loading state of the wafer 20 placed on the wafer receiving portion 111 is good Mounted spaced apart from each other in a position to detect. The sensors 100 use, for example, an infrared sensor or a laser sensor, and when the wafer is placed on the wafer accommodating portion 111, the infrared rays or lasers are reflected and received by the wafer. Will be detected. In FIG. 1, the sensors (hereinafter, referred to as “sensor parts”) 100 periodically emit a sensing signal for detecting the presence of a wafer, for example, an infrared ray or a laser (A). When the signals are reflected back to the side of the wafer 20 placed on the finger-like wafer receiving portion 111 as shown in FIG. 6, the wafer detects that the receiving state and the wafer loading state are good. Generate a detection signal. If at least one of the sensors provided in the sensor unit 100 does not receive a wafer good detection signal, it is alerted to an alarm not shown, which is connected to the sensor unit 100, for example. Alarm sound or flashing alarm light) allows the operator to be notified of a failure in the current wafer acceptance or loading status.
상기 암(110)은 일 단부에 상기 웨이퍼(20)가 놓여지는 웨이퍼 수용부(111)가 소정 형상으로써 일체로 형성되며, 상기 웨이퍼(20)가 상기 웨이퍼 수용부(111)상에 놓여지면 미리 설정된 위치(예를 들어, 웨이퍼 제조공정을 진행하는 서셉터 또는 디스크)까지 상기 웨이퍼를 로딩한다.The arm 110 is formed integrally with a wafer accommodating portion 111 in which the wafer 20 is placed at one end in a predetermined shape. When the wafer 20 is placed on the wafer accommodating portion 111 in advance, The wafer is loaded up to a predetermined position (eg, a susceptor or a disk that undergoes a wafer fabrication process).
한편, 상기 웨이퍼의 수용유무를 감지하는 센싱방법은 통상의 방법으로도 가능하나, 본 발명의 실시예에서는 이러한 웨이퍼의 수용유무 뿐만 아니라 아울러 상기 웨이퍼의 로딩상태(예컨대, 상기 웨이퍼 수용부(111)에 놓여지는 상기 웨이퍼(20)의 틀어짐 상태, 웨이퍼의 밀림상태 등)를 알 수 있도록 함으로써 상기 웨이퍼 로딩상태의 불량으로 발생할 수 있는 웨이퍼 상해(BROKEN)문제를 미연에 방지할 수 있다. 상세히 설명하면; 상기 도 6에 도시된 바와 같이 상기 웨이퍼(20)가 정상적으로 상기 웨이퍼 수용부(111)에 위치한다고 할 수 있는 암(110)의 소정 위치에 두 개의 센서(100-1, 100-2)가 장착되는데, 이때 웨이퍼의 틀어짐 및 밀림현상 등을 전체적으로 확인할 수 있는 위치가 적당할 것이다. 본 발명의 바람직한 실시예에서는 이를 위하여 상기 웨이퍼(20)의 측면부 양쪽 가장자리 부위를 감지할 수 있는 위치에 상기 두 개의 센서(100-1, 100-2)를 장착한 예를 보였다.On the other hand, the sensing method for detecting the acceptance of the wafer may be a conventional method, but in the embodiment of the present invention, as well as whether the wafer is accommodated, as well as the loading state of the wafer (for example, the wafer accommodating portion 111) By knowing the warped state of the wafer 20 placed on the wafer 20, the wafer pushed state, and the like, it is possible to prevent the wafer injury problem (BROKEN) that may be caused by the failure of the wafer loading state. In detail; As shown in FIG. 6, two sensors 100-1 and 100-2 are mounted at predetermined positions of the arm 110, which can be said that the wafer 20 is normally positioned in the wafer accommodating portion 111. At this time, the position that can be confirmed as a whole, such as the distortion of the wafer and the sliding phenomenon will be appropriate. In the preferred embodiment of the present invention, the two sensors 100-1 and 100-2 are mounted in a position capable of detecting both edges of the side portion of the wafer 20 for this purpose.
상술한 본 발명에 따른 로봇 암 장치를 이용하여 상기 웨이퍼의 수용유무 및 로딩상태 정상유무를 감지하는 방법의 일 예를 도 7 및 도 8을 통해 설명한다. 상기 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 운반용 로봇 암 장치를 이용하여 웨이퍼가 웨이퍼 수용부에 양호하게 위치한 경우를 감지하는 방법을 나타낸 도면이고, 상기 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 운반용 로봇 암 장치를 이용하여 웨이퍼가 웨이퍼 수용부에 불량하게 위치한 경우를 감지하는 방법을 나타낸 도면이다. 상기 도 7에서 보듯이 상기 웨이퍼(20)가 상기 웨이퍼 수용부(111) 상에 정상적으로 놓여진 경우에는 상기 센서부(100)에 구비되는 각 센서로부터 센싱신호 A가 출력되어 상기 웨이퍼(20)에 반사되어 그 반사신호 B가 다시 센서로 수신되면 상기 웨이퍼의 수용유무 및 로딩상태는 정상이 된다. 그리고, 상기 도 8에서 보듯이 상기 웨이퍼 수용부(111) 상에 상기 웨이퍼(20)가 틀어져 있는 경우에는 상기 센서부(100)에 구비되는 각 센서로부터 센싱신호 A가 출력이 되는데, 상기 센싱신호 A는 상기 웨이퍼(20)가 틀어져 있는 상태이기 때문에 상기 웨이퍼(20)에 반사되는 반사신호 B는 다시 센서로 수신되지 않는다. 이에 따라 상기 센서부(100)는 상기 웨이퍼 로딩상태의 불량을 감지하게 된다. 상기 불량이 감지되면 상기 로봇 암 장치는 내부 또는 외부와 연동하는 경보부를 구동하여 웨이퍼 로딩상태 불량을 상술한 방법으로 경보함으로써 운용자에게 알리게 된다.An example of a method of detecting whether the wafer is accommodated and whether the loading state is normal by using the robot arm device according to the present invention will be described with reference to FIGS. 7 and 8. FIG. 7 illustrates a method of detecting a case in which a wafer is well positioned in a wafer accommodating part by using a wafer transport robot arm device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a wafer according to an embodiment of the present invention. A diagram illustrating a method of detecting a case in which a wafer is poorly positioned in a wafer accommodating portion by using a robot arm for transport. As shown in FIG. 7, when the wafer 20 is normally placed on the wafer accommodating part 111, a sensing signal A is output from each sensor provided in the sensor part 100 and reflected on the wafer 20. When the reflected signal B is received by the sensor again, the presence or absence of the wafer and the loading state become normal. As shown in FIG. 8, when the wafer 20 is twisted on the wafer accommodating part 111, the sensing signal A is output from each sensor provided in the sensor part 100. Since A is the state in which the wafer 20 is distorted, the reflected signal B reflected by the wafer 20 is not received by the sensor again. Accordingly, the sensor unit 100 detects a defect in the wafer loading state. When the failure is detected, the robot arm device drives an alarm unit that interworks with the inside or the outside to notify the operator of the wafer loading state failure by the above-described method.
한편, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예를 들어 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구의 범위뿐 아니라 이 특허청구의 범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.On the other hand, the detailed description of the present invention has been described with reference to specific embodiments, of course, various modifications are possible without departing from the scope of the invention. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be defined not only by the scope of the following claims, but also by the equivalents of the claims.
상술한 바와 같이 본 발명은 로봇 암 장치에 웨이퍼의 수용유무 및 웨이퍼의 정확한 로딩상태를 감지할 수 있는 센서를 장착함으로써 웨이퍼의 상해 없이 안정적으로 웨이퍼를 운반할 수 있는 이점이 있다.As described above, the present invention has an advantage that the wafer can be stably transported without injury to the wafer by mounting a sensor that can detect whether the wafer is accommodated and the correct loading state of the wafer in the robot arm device.
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020000027929A KR20010106893A (en) | 2000-05-24 | 2000-05-24 | Robot arm apparatus for carrying wafer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020000027929A KR20010106893A (en) | 2000-05-24 | 2000-05-24 | Robot arm apparatus for carrying wafer |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20010106893A true KR20010106893A (en) | 2001-12-07 |
Family
ID=19669953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020000027929A KR20010106893A (en) | 2000-05-24 | 2000-05-24 | Robot arm apparatus for carrying wafer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20010106893A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040001200A (en) * | 2002-06-27 | 2004-01-07 | 주식회사 칩팩코리아 | Wafer storage type cassette |
-
2000
- 2000-05-24 KR KR1020000027929A patent/KR20010106893A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040001200A (en) * | 2002-06-27 | 2004-01-07 | 주식회사 칩팩코리아 | Wafer storage type cassette |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0412936A (en) | Substrate detecting device | |
| US6779760B2 (en) | Safety system for overhead transport vehicle | |
| WO2007008939A3 (en) | Apparatus with on-the-fly workpiece centering | |
| US6043502A (en) | Apparatus and method for sensing an insertion state of a wafer in a cassette | |
| KR920020657A (en) | Wafer Carrier and Method for Detecting Inclination of Wafer in Cassette | |
| WO1999062314A3 (en) | Method and device for linear positioning and position detection of a substrate | |
| US4745295A (en) | Attitude detecting arrangement for detecting the length and thickness of a part using horizontally and vertically disposed line sensors | |
| KR20010106893A (en) | Robot arm apparatus for carrying wafer | |
| JP2601340B2 (en) | Laser processing equipment | |
| KR100383260B1 (en) | Reticle Sending Apparatus with Fork Arm having Reticle Position Sensing Ability | |
| JP2010021460A (en) | Wafer alignment device, and wafer conveyance device using the same | |
| JP2002319795A (en) | Carrier for plate-shaped work | |
| JPH0769429A (en) | Abnormality detecting device for can transporting state | |
| JPS59186899A (en) | Method of detecting position of pallet in unmanned carrier ccargo gear | |
| JP2000114350A (en) | Method and device for detecting wafer | |
| KR20050030025A (en) | Wafer transferring apparatus | |
| KR20020061994A (en) | Wafer stage and wafer fabrication device using this stage | |
| JPH1190883A (en) | Shaft deviation detector for milt-shaft robot | |
| JPH06286844A (en) | Positioning device | |
| JP2627266B2 (en) | Transfer arm | |
| JPH04295704A (en) | Apparatus for detecting central position of wafer | |
| JPH0250455A (en) | Semiconductor wafer carrier | |
| JPH0769406A (en) | Wafer in vacuum conveying device | |
| KR19990031417U (en) | Robotic Arm for Semiconductor Wafer Transfer | |
| KR970067757A (en) | Wafer cassette stage (CASSETTE STAGE) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |