KR20010089028A - Vacuum fluorescent display having getter and manufacturing method of the getter - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 형광 표시관에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 면음극 형광 표시관에 적합하도록 형성 높이가 최소화되고, 게터 플래싱 과정에서 진공 용기의 깨짐을 유발하지 않으면서 게터막의 표시 패턴 가림을 방지할 수 있는 게터 및 이 게터의 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluorescent display tube, and more particularly, to minimize the height of the formation to be suitable for a surface-cathode fluorescent display tube, and to prevent the display pattern of the getter layer from being clogged without causing the vacuum container to break during the getter flashing process. And a method for producing the getter.
일반적으로 형광 표시관(VFD;vacuum fluorescent display)은 캐소드에서 방출된 전자를 애노드에 형성된 형광층에 선택적으로 충돌시켜 발광시키는 자발광 표시소자이며, 시인성이 뛰어나고 시야각이 넓을 뿐 아니라 저전압으로 구동 가능하고 신뢰성이 높아서 여러 분야에서 다양한 용도로 사용되고 있다.In general, a fluorescent fluorescent display (VFD) is a self-luminous display device that selectively emits electrons emitted from the cathode by colliding with a fluorescent layer formed on the anode, and is excellent in visibility, wide viewing angle, and can be driven at low voltage. Because of its high reliability, it is used for various purposes in various fields.
도 8은 종래 기술에 의한 형광 표시관의 분해 사시도이고, 도 9는 도 8의 부 확대도로서, 형광 표시관은 사이드 글래스(1)와 더불어 진공 용기를 구성하는 상부 기판(3) 및 하부 기판(5)과, 전압 인가시 열전자를 방출하는 필라멘트(7)와, 배선층(9)과 전기적으로 연결되며 표면에 형광층(11)을 형성하는 애노드 전극(13)과, 상기 필라멘트(7)와 애노드 전극(13) 사이에 위치하는 금속 매쉬 타입의 그리드(15)와, 관내 잔류 가스 흡착을 위한 게터(17)를 구비한다.FIG. 8 is an exploded perspective view of a fluorescent display tube according to the prior art, and FIG. 9 is an enlarged view of FIG. 8, in which the fluorescent display tube, along with the side glass 1, is formed of the upper substrate 3 and the lower substrate constituting the vacuum container. (5), a filament (7) for emitting hot electrons when voltage is applied, an anode electrode (13) electrically connected to the wiring layer (9) and forming a fluorescent layer (11) on the surface, and the filament (7) A metal mesh-type grid 15 located between the anode electrodes 13 and a getter 17 for adsorption of residual gas in the tube is provided.
상기와 같은 구성에 따라, 리드선(19)을 통하여 필라멘트(7)와 애노드 전극(13) 및 그리드(15)에 전압을 인가하면, 필라멘트(7)에서 열전자를 방출시키고, 방출된 전자는 그리드(15)에 의해 가속 및 확산되어 애노드 전극(13)에 형성된 형광층(11)에 충돌, 형광층(11)을 발광시키며, 발광된 빛은 전면 기판(3)을 투과하여 사용자에게 전달된다.According to the above configuration, when voltage is applied to the filament 7 and the anode electrode 13 and the grid 15 through the lead wire 19, the hot electrons are emitted from the filament 7, the emitted electrons are grid ( 15 is accelerated and diffused to impinge on the fluorescent layer 11 formed on the anode electrode 13 to emit the fluorescent layer 11, the emitted light is transmitted to the user through the front substrate (3).
이와 같은 원리로 구동되는 형광 표시관은 원활한 전자 이동을 위하여 내부를 고진공으로 유지하여야 하므로, 게터(17)를 구비하여 배기 공정후 관내에 잔류하는 가스를 흡착함으로써 진공도를 높이고 있다.Since the fluorescent display tube driven on the same principle must maintain a high vacuum inside for smooth electron movement, the getter 17 is provided to increase the degree of vacuum by adsorbing the gas remaining in the tube after the exhaust process.
상기 게터(17)는 필라멘트 서포트(21)와 일체로 형성된 게터 지지대(23)에 바륨 등과 같은 게터 충진물(25)을 갖는 게터 수용체(27)를 용접하여 관내에 일체로 부착되며, 배기 공정 후 게터 플래싱(flashing) 과정에서 게터 물질이 비산하여관내 잔류 가스와 반응하면서 게터막을 형성, 잔류 가스를 흡착시킨다.The getter 17 is welded to the getter support 23 formed integrally with the filament support 21 to the getter acceptor 27 having the getter filler 25, such as barium, to be integrally attached to the tube and the getter after the exhaust process. In the course of flashing, the getter material is scattered and reacts with the residual gas in the tube to form a getter film to adsorb the residual gas.
그러나 고주파 유도 가열에 의한 게터 플래싱 과정에서, 유도열에 의해 각 부품과 진공 용기가 열팽창하는데, 금속 부품과 진공 용기의 열팽창계수 차이로 인하여 상부 기판(3) 또는 하부 기판(5)에 크랙이 발생하거나 사이드 글래스(1)가 깨지는 등의 문제와 더불어 게터 수용체(27)가 충분히 높게 설치되지 않은 경우, 잔류 가스와 결합하여 형성된 게터막이 표시 패턴을 가리는 등의 불량을 유발할 수 있다.However, in the getter flashing process by the high frequency induction heating, the induction heat causes thermal expansion of each component and the vacuum vessel, and cracks may occur in the upper substrate 3 or the lower substrate 5 due to the difference in thermal expansion coefficient between the metal components and the vacuum vessel. In addition to the problem that the side glass 1 is broken, and the getter acceptor 27 is not provided high enough, a getter film formed by bonding with the residual gas may cause a defect such as covering the display pattern.
한편, 캐소드로서 열전자를 방출하는 필라멘트(7) 대신, 전계 방출 효과를 이용하여 냉전자를 방출하는 면음극(면캐소드) 타입의 형광 표시관이 고안되었다. 면음극 형광 표시관은 상, 하부 기판에 서로 수직으로 교차하도록 스트라이프 패턴의 캐소드와 R, G, B 형광막을 각각 구비하여 도트 매트릭스를 형성하며, 격벽과 그리드에 의해 전자 방출을 조절하는 구성으로 이루어진다.On the other hand, instead of the filament 7 which emits hot electrons as a cathode, a surface cathode (face cathode) type fluorescent display tube which emits cold electrons by using the field emission effect has been devised. The surface-cathode fluorescent display tube is provided with a stripe pattern cathode and R, G, and B fluorescent films so as to vertically cross each other on the upper and lower substrates to form a dot matrix, and is configured to control electron emission by partitions and grids. .
이러한 면음극 형광 표시관은 캐소드로서 필라멘트 사용시, 필라멘트 지지체에 의해 표시 영역이 감소하는 문제를 해결하고, 저온에서 전자를 방출시켜 각 부품의 열에 의한 영향을 감소시키며, 조립 공정을 단순화하는 장점을 갖는다.Such a surface-cathode fluorescent display tube has the advantage of solving the problem of reducing the display area by the filament support when using the filament as the cathode, reducing the influence of heat of each part by emitting electrons at low temperature, and simplifying the assembly process. .
그러나 면음극 형광 표시관은 전면 기판과 후면 기판 사이의 간격이 극히 미소하여 일반 형광 표시관에 사용되는 게터를 조립하여 사용할 수 없다. 이로서 게터 물질이 내장된 튜브를 어느 한쪽 기판에 장착하는 방법이 고안되었으나, 이 경우 기판의 제조 과정이 복잡해지고, 형광 표시관의 매끄러운 외관을 저해하여 조립 과정이나 제품의 부착 과정에서 튜브가 손상되기 쉽기 때문에 형광 표시관의 불량을 유발하는 문제점이 있었다.However, the surface-cathode fluorescent display tube has a very small gap between the front substrate and the rear substrate, so that the getter used for the general fluorescent display tube cannot be assembled. As a result, a method of mounting a getter material-embedded tube on one of the substrates has been devised, but in this case, the manufacturing process of the substrate is complicated, and the smooth appearance of the fluorescent display tube is hindered, resulting in damage to the tube during assembly or attachment of the product. Since it is easy, there was a problem of causing a defect of the fluorescent display tube.
따라서 본 발명은 상기한 문제점을 해소하기 위하여 고안된 것으로서, 본 발명의 목적은 면음극 형광 표시관에 적합하도록 형성 높이가 최소화되고, 게터 플래싱 과정에서 발생할 수 있는 진공 용기의 깨짐을 방지하면서 게터막의 표시 패턴 가림을 방지할 수 있는 게터 및 이 게터의 제조 방법을 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been devised to solve the above problems, and an object of the present invention is to minimize the height of the formation to be suitable for a surface-cathode fluorescent display tube and to display the getter film while preventing cracking of the vacuum container which may occur during the getter flashing process. The present invention provides a getter capable of preventing pattern obstruction and a method of manufacturing the getter.
도 1은 본 발명에 의한 형광 표시관의 분해 사시도.1 is an exploded perspective view of a fluorescent display tube according to the present invention;
도 2는 캐소드의 사시도.2 is a perspective view of a cathode;
도 3은 다른 실시예에 의한 캐소드의 사시도.3 is a perspective view of a cathode according to another embodiment;
도 4는 본 발명에 의한 형광 표시관의 단면도.4 is a sectional view of a fluorescent display tube according to the present invention;
도 5∼도 7은 본 발명에 의한 게터의 제조 과정을 나타낸 개략도.5 to 7 are schematic views showing the manufacturing process of the getter according to the present invention.
도 8은 종래 기술에 의한 형광 표시관의 분해 사시도.8 is an exploded perspective view of a fluorescent display tube according to the prior art;
도 9는 도 8의 A부 확대도.9 is an enlarged view of a portion A of FIG. 8;
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,In order to achieve the above object, the present invention,
프리트에 의해 일체로 접합되어 진공 용기를 구성하는 상, 하부 기판과,Upper and lower substrates integrally bonded by frit to form a vacuum container,
상기 하부 기판의 내표면에 형성되며 냉전자 방출이 이루어지는 캐소드와,A cathode formed on an inner surface of the lower substrate and emitting cold electrons;
상기 캐소드와 마주하는 상부 기판의 내표면에 소정의 패턴으로 형성되며 형광층을 구비하는 애노드와,An anode formed in a predetermined pattern on an inner surface of the upper substrate facing the cathode and having a fluorescent layer;
상기 캐소드 외곽의 하부 기판 표면에 제공되는 게터링 수단을 포함하는 형광 표시관을 제공한다.Provided is a fluorescent display tube including gettering means provided on a lower substrate surface outside the cathode.
상기 게터링 수단은 게터 충진물을 수용하기 위한 게터 수용체와, 게터 수용체 내부에 도포되는 게터 충진물로 이루어지며, 상기 게터 수용체는 하부 기판에 스크린 인쇄로 형성되고 소정 높이의 게터막 확산 방지단을 형성한다.The gettering means comprises a getter acceptor for accommodating the getter filler and a getter filler applied to the inside of the getter acceptor, wherein the getter acceptor is formed by screen printing on a lower substrate and forms a getter film diffusion preventing end of a predetermined height. .
이로서 본 발명은 게터 충진물을 안정적으로 수용하면서도 형성 높이가 최소화되는 게터링 수단을 구비함으로써 면음극 형광 표시관의 진공도를 효과적으로 향상시킬 수 있다.As a result, the present invention can effectively improve the vacuum degree of the surface cathode fluorescent display tube by providing gettering means for stably acquiring the getter packing material and minimizing the formation height.
이하, 첨부한 도면을 참고하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 실시예에 의한 형광 표시관의 분해 사시도로서, 형광 표시관은 진공 용기를 구성하는 한쌍의 상, 하부 기판(2, 4)과, 하부 기판(4)의 내표면에 형성되며 냉전자 방출이 이루어지는 캐소드(10)와, 상기 캐소드(10)와 마주하는 상부 기판(2)의 내표면에 소정의 패턴으로 형성되는 애노드(20)와, 표시 패턴 외곽의 하부 기판 표면에 제공되는 게터링 수단(이하, '게터'라 칭함)(30)을 포함한다.FIG. 1 is an exploded perspective view of a fluorescent display tube according to the present embodiment, wherein the fluorescent display tube is formed on the inner surface of the pair of upper and lower substrates 2 and 4 and the lower substrate 4 constituting a vacuum container. A cathode 10 having an electron emission, an anode 20 formed in a predetermined pattern on the inner surface of the upper substrate 2 facing the cathode 10, and a lower substrate surface outside the display pattern. Turreting means (hereinafter referred to as 'getters') 30.
상기 캐소드(10)는 도 2에서 도시한 바와 같이, 하부 기판(4) 표면에 스트라이프 패턴으로 형성되는 캐소드 전극(12)과, 캐소드 전극(12) 사이에 배치되어 각각의 캐소드 전극(12)을 절연시키는 하부 격벽(14)과, 각각의 캐소드 전극(12)에 연결되는 캐소드 배선층(16)으로 이루어진다.As shown in FIG. 2, the cathode 10 is disposed between the cathode electrode 12, which is formed in a stripe pattern on the surface of the lower substrate 4, and the cathode electrode 12. The lower partition 14 which insulates, and the cathode wiring layer 16 connected to each cathode electrode 12 are comprised.
그리고 상기 애노드(20)는 도 3에서 도시한 바와 같이, 상부 기판(2) 표면에 캐소드 전극(12)과 수직으로 교차하도록 스트라이프 패턴으로 형성되는 애노드 전극(22)과, 애노드 전극(22) 사이에 배치되어 각각의 애노드 전극(22)을 절연시키는 상부 격벽(24)과, 애노드 전극(12) 표면에 도포되는 R, G, B 형광막(26)과, 각각의 애노드 전극(22)에 연결되는 애노드 배선층(28)으로 이루어진다.As shown in FIG. 3, the anode 20 is formed between the anode electrode 22 and the anode electrode 22 formed in a stripe pattern so as to vertically intersect the cathode electrode 12 on the surface of the upper substrate 2. A top partition wall 24 arranged to insulate each anode electrode 22, R, G, and B fluorescent films 26 applied to the surface of the anode electrode 12, and connected to each anode electrode 22, respectively. The anode wiring layer 28 is formed.
이로서 캐소드 배선층(16)과 애노드 배선층(28)을 통해 각각의 캐소드 전극(12)과 애노드 전극(22)에 소정의 전압을 인가하면, 캐소드 전극(12)과 애노드 전극(22)에 인가된 전압차에 의해 캐소드 전극(12)에 전계가 집중되면서 터널링 효과에 의해 냉전자를 방출하며, 방출된 전자는 애노드 전극(22)에 형성된형광막(26)에 충돌, 형광막(26)을 발광시킴으로써 소정의 화면을 구현하게 된다.Thus, when a predetermined voltage is applied to each of the cathode electrode 12 and the anode electrode 22 through the cathode wiring layer 16 and the anode wiring layer 28, the voltage applied to the cathode electrode 12 and the anode electrode 22 is applied. As the electric field is concentrated on the cathode electrode 12 by the difference, cold electrons are emitted by the tunneling effect, and the emitted electrons collide with the fluorescent film 26 formed on the anode electrode 22 and emit light by the fluorescent film 26. Will implement the screen.
또한 3극관 구조의 경우, 상기 캐소드(10)와 애노드(20) 사이에 캐소드 전극(12)을 감싸는 그리드 전극(18)이 부착되어 애노드 전극(22)과 더불어 캐소드 전극(12)에서의 전자 방출을 제어하게 된다.In addition, in the case of the triode structure, a grid electrode 18 surrounding the cathode electrode 12 is attached between the cathode 10 and the anode 20 to emit electrons from the cathode electrode 12 together with the anode electrode 22. To control.
이와 같이 전계 형성에 의해 냉전자를 방출하는 캐소드 전극(12)은 높은 전자 방출량에 견딜 수 있도록 용융점이 높고, 낮은 일함수를 가지며, 진공 상태에서 낮은 증기압을 나타내는 물질로 형성되는데, 이 같은 물질의 예로서 캐소드 전극(12)은 주로 규소(Si), 텅스텐(S), 몰리브덴(Mo), 니오븀(Nb), 탄탈륨(Ta), 알루미늄(Al) 등의 내화성 금속으로 이루어지거나, 다이아몬드, 다이아몬드상 카본(Diamond-Liked Carbon) 또는 그라파이트 등으로 이루어진다.As such, the cathode electrode 12 that emits cold electrons by forming an electric field is formed of a material having a high melting point, a low work function, and a low vapor pressure in a vacuum state to withstand a high electron emission amount. The cathode electrode 12 is mainly composed of refractory metals such as silicon (Si), tungsten (S), molybdenum (Mo), niobium (Nb), tantalum (Ta), aluminum (Al), or diamond, diamond carbon (Diamond-Liked Carbon) or graphite.
이와 같은 원리로 구동되는 면음극 형광 표시관은 배기 공정 후 관내에 잔류하는 가스를 저감시키기 위하여 게터(30)를 구비하는바, 본 실시예에 의한 게터(30)는 캐소드(10) 외곽의 하부 기판(2) 표면에서 최소 높이로 형성된다.The surface-cathode fluorescent display tube driven according to this principle includes a getter 30 to reduce the gas remaining in the tube after the exhaust process. The getter 30 according to the present embodiment has a lower portion outside the cathode 10. It is formed at the minimum height at the surface of the substrate 2.
도 4는 본 실시예에 의한 형광 표시관의 단면도로서, 상기 게터(30)는 게터 충진물(32)을 수용하기 위한 게터 수용체(34)와, 게터 수용체(34) 내부에 도포되는 게터 충진물(32)로 이루어진다.4 is a cross-sectional view of the fluorescent display tube according to the present embodiment, wherein the getter 30 includes a getter container 34 for accommodating the getter filler 32 and a getter filler 32 coated inside the getter container 34. )
상기 게터 충진물(32)은 일례로 니켈-알루미늄-바륨 합금 분말을 주성분으로 하며, 게터 플래싱 과정에서 가열되어 바륨이 증발하면서 관내 잔류 가스와 반응, 게터막을 형성하면서 관내 잔류 가스를 제거하게 된다.The getter filler 32, for example, has a nickel-aluminum-barium alloy powder as a main component, and is heated in a getter flashing process to remove residual gas in the tube while reacting with the residual gas in the tube while forming a getter film.
그리고 상기 게터 수용체(34)는 게터 충진물(32)이 도포되는 바닥부(34a)와,바닥부(34a) 둘레에서 소정의 높이로 형성되는 게터막 확산 방지단(34b)으로 이루어진다. 상기 게터막 확산 방지단(34b)은 게터 충진물(32)에서 증발된 바륨이 관내 잔류 가스와 반응할 수 있는 최소한의 간격만을 두고 상부 기판(2)과 거의 근접하도록 형성된다.The getter container 34 includes a bottom portion 34a to which the getter filler 32 is applied, and a getter film diffusion preventing end 34b formed at a predetermined height around the bottom portion 34a. The getter film diffusion preventing end 34b is formed so as to be close to the upper substrate 2 only at a minimum interval at which barium evaporated from the getter filler 32 can react with the residual gas in the tube.
이러한 게터 수용체(34)는 상, 하부 기판(2, 4)과 유사한 열팽창계수를 갖도록 규소를 주성분으로 하는 일종의 유리로 이루어지며, 그 구체적인 형상은 도 1에서 도시한 바와 같이, 캐소드(10) 외곽의 하부 기판(4) 표면에서 장방형으로 형성될 수 있다.The getter acceptor 34 is made of a kind of glass containing silicon as a main component so as to have a coefficient of thermal expansion similar to that of the upper and lower substrates 2 and 4, and the specific shape thereof is as shown in FIG. It may be formed in a rectangle on the surface of the lower substrate (4).
상기한 구성에 따라, 상, 하부 기판(2, 4)을 일체로 접합시키고 그 내부를 배기시킨 다음, 상기 게터(30)를 고주파 유도 방식으로 가열하면, 게터 충진물(32) 내의 니켈과 알루미늄이 합금을 형성하면서 플래시 온도에 빨리 도달할 수 있도록 열을 방출하는데, 이 열에 의해 증발된 바륨이 관내 잔류 가스와 흡착하여 게터막을 형성함으로써 관 내부를 고진공으로 유지시킨다.According to the above configuration, when the upper and lower substrates 2 and 4 are integrally bonded and the inside thereof is evacuated, and the getter 30 is heated in a high frequency induction manner, nickel and aluminum in the getter filler 32 are released. As the alloy is formed, heat is released to reach the flash temperature quickly, and the barium evaporated by this heat adsorbs with the residual gas in the tube to form a getter film, thereby maintaining the inside of the tube at a high vacuum.
이 때, 상기 게터 수용체(34)의 게터막 확산 방지단(34b)에 의해 바륨이 패턴 영역으로 과다하게 흐르는 것을 방지하여 게터막이 표시 패턴 영역 내부로 침입하는 것을 방지한다.At this time, the getter film diffusion preventing end 34b of the getter acceptor 34 prevents the barium from excessively flowing into the pattern region, thereby preventing the getter film from intruding into the display pattern region.
또한 상기 게터 수용체(34)가 상부 기판(2) 및 하부 기판(4)과 유사한 열팽창 계수를 가지기 때문에, 게터 플래싱 과정과 상온으로 냉각되는 과정에서 형광 표시관을 구성하는 각 부품간의 열팽창 계수 차이로 인한 상하부 기판의 크랙이나 깨짐 현상을 방지할 수 있다.In addition, since the getter acceptor 34 has a coefficient of thermal expansion similar to that of the upper substrate 2 and the lower substrate 4, the difference in thermal expansion coefficient between components constituting the fluorescent display tube during the getter flashing process and the cooling to room temperature. Cracking or cracking of the upper and lower substrates may be prevented.
이로서 본 실시예에 의한 게터(30)는 상, 하부 기판(2, 4) 사이의 간격이 극히 미소한 면음극 형광 표시관에 특히 적합하며, 제조 과정상에서의 형광 표시관의 불량 발생과 게터막의 표시 패턴 침입을 최소화할 수 있는 장점을 갖는다.As a result, the getter 30 according to the present embodiment is particularly suitable for a surface-cathode fluorescent display tube having a very small gap between the upper and lower substrates 2 and 4, and the occurrence of defects in the fluorescent display tube and the getter film during the manufacturing process. It has an advantage of minimizing display pattern intrusion.
다음으로, 본 실시예에 의한 형광 표시관의 게터 제조 방법을 도 5∼도 7을 참고하여 설명한다.Next, a getter manufacturing method of the fluorescent display tube according to the present embodiment will be described with reference to FIGS.
상기 게터를 제작하기 위하여, 먼저 캐소드(10)가 형성된 하부 기판(4)을 준비하고, 캐소드(10) 외곽의 하부 기판(4) 상부에 제 1스크린 매쉬(40)를 장착한 다음, 제 1스크린 매쉬(40) 위에 게터 수용체 페이스트(36)를 도포한다.In order to manufacture the getter, first, a lower substrate 4 on which the cathode 10 is formed is prepared, and the first screen mesh 40 is mounted on the lower substrate 4 outside the cathode 10, and then the first screen mesh 40 is mounted. The getter receptor paste 36 is applied onto the screen mesh 40.
상기 게터 수용체 페이스트(36)는 분말 유리인 SiO2와 PbO 및 B2O3를 주성분으로 하며, 여기에 인쇄 작업에 용이한 점성을 부여하는 솔벤트 및 기판과의 접착력 향상을 위한 유기 바인더를 포함하는 비히클 등이 혼합되어 이루어진다.The getter acceptor paste 36 contains SiO 2 , PbO and B 2 O 3 , which are powder glass as a main component, and includes an organic binder for improving adhesion to a substrate and a solvent that provides easy viscosity to a printing operation. A vehicle or the like is mixed.
그리고 스퀴이즈(42)를 이용, 게터 수용체 페이스트(36)를 압착하여 하부 기판(4) 위에 게터 수용체 페이스트(36)를 인쇄한다. (도 5 참고)The getter acceptor paste 36 is compressed using the squeeze 42 to print the getter acceptor paste 36 on the lower substrate 4. (See Figure 5)
이 때, 제 1스크린 매쉬(40)는 바닥부가 형성될 부분을 제외한 모든 부분이 감광성 수지막(44)에 의해 막힌 구조를 이루며, 이러한 감광성 수지막(44)의 패턴화 과정은 공지의 포토리소그래피 공정으로 이루어질 수 있다.In this case, the first screen mesh 40 has a structure in which all portions except the bottom portion are formed to be blocked by the photosensitive resin film 44, and the patterning process of the photosensitive resin film 44 is well-known photolithography. It can be done in a process.
다음으로, 상기 바닥부의 둘레부만이 개방되도록 패턴화된 제 2스크린 매쉬(46)를 장착하고, 게터 수용체 페이스트(36)를 도포한 다음, 스퀴이즈(42)를 이용하여 설정된 높이에 도달할 때까지 반복 인쇄한다. (도 6 참고)Next, mount the patterned second screen mesh 46 so that only the periphery of the bottom is opened, apply the getter acceptor paste 36, and then reach the set height using the squeeze 42. Repeat until printed. (See Figure 6)
이와 같은 과정으로 게터 수용체 페이스트(36)를 인쇄한 다음, 인쇄된 게터 수용체 페이스트(36)를 가열하여 페이스트 내부의 솔벤트를 제거하고, 소성로에 투입하여 페이스트 내부의 유기 물질을 제거, 최종 게터 수용체(34)로 완성한다.After the getter acceptor paste 36 is printed in this manner, the printed getter acceptor paste 36 is heated to remove the solvent in the paste, and then put into a calcination furnace to remove organic substances in the paste, thereby obtaining a final getter acceptor ( Complete with 34).
마지막으로, 하부 기판(4) 상부에 제 3스크린 매쉬(48)를 장착하고, 게터 충진물 페이스트(38)를 상기 게터 수용체(34)의 바닥부(34a)에 소정의 두께로 인쇄한다. 여기서, 상기한 게터 충진물 페이스트(38)는 니켈 분말과 바륨-알루미늄 합금 분말 및 결합제 등이 혼합되어 이루어진다. (도 7 참고)Finally, the third screen mesh 48 is mounted on the lower substrate 4, and the getter filler paste 38 is printed on the bottom portion 34a of the getter container 34 in a predetermined thickness. Here, the getter filler paste 38 is formed by mixing nickel powder, barium-aluminum alloy powder, a binder, and the like. (See Figure 7)
상기와 같은 과정으로 게터(30)를 제작한 다음, 상하부 기판(2, 4)을 프리트(50)와 함께로 일체로 접합하고, 배기하여 관 내부를 진공화하며, 게터 플래싱 과정을 거쳐 관내 잔류 가스를 제거하는 것으로 형광 표시관 제작을 완료한다.After the getter 30 is manufactured by the above process, the upper and lower substrates 2 and 4 are integrally bonded together with the frit 50, and the inside of the tube is evacuated by evacuation and remaining in the tube through a getter flashing process. Removing the gas completes the manufacture of the fluorescent display tube.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications and changes can be made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. Naturally, it belongs to the range of.
이와 같이 본 발명에 의한 형광 표시관은 게터 수용체와 게터 충진물을 하부 기판에 직접 스크린 인쇄로 형성함으로써 게터 충진물을 안정적으로 수용하면서도 형성 높이를 최소화할 수 있어 상하부 기판 사이의 간격이 미소한 면음극 형광 표시관에 특히 적합하다.As described above, the fluorescent display tube according to the present invention forms the getter acceptor and the getter filler directly on the lower substrate by screen printing to stably receive the getter filler while minimizing the formation height. Particularly suitable for display tubes.
그리고 게터 플래싱 과정에서, 게터 수용체의 게터막 확산 방지단에 의해 게터막이 표시 패턴 내부로 침입하는 것을 방지하며, 게터 수용체와 상, 하부 기판간의 열팽창 계수 차이를 최소화하여 진공 용기의 깨짐이나 크랙 현상을 효과적으로 방지할 수 있다.In the getter flashing process, the getter film diffusion prevention step of the getter receptor prevents the getter film from infiltrating into the display pattern and minimizes the difference in thermal expansion coefficient between the getter receptor and the upper and lower substrates to prevent cracking or cracking of the vacuum container. Can be effectively prevented.
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