KR20010060137A - 반도체 시료 검사장비의 일방향 회전구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 시료 검사장비의 일방향 회전구조에 관한 것으로, 어퍼춰부에 설치되는 캠 후방의 경사면에 어퍼춰 플레이트에 형성된 홀이 셋팅된 상태에서 재셋팅되는 것을 방지하기 위해 홀더와 핀이 상기 캠을 일방향으로만 회전시킬 수 있도록 고정홈이 형성되므로써 어퍼춰 플레이트의 한번 셋팅한 홀의 재셋팅을 억제시킬 수 있으므로써 열화된 홀에 의한 전자빔의 왜곡을 방지하여 이미지의 해상도를 높일 수 있어서 장비의 시료 검출력을 향상시킬 수 있고, 단계별로 홀을 사용하므로써 정확한 어퍼춰 플레이트의 교체 타이밍을 예상할 수 있으며, 미사용한 홀이 발생하지 않도록 용이하게 관리할 수 있게 된다.

Description

반도체 시료 검사장비의 일방향 회전구조{ONE-WAY ROTATION STRUCTURE FOR SEMICONDUCTOR SAMPLE TEST SYSTEM}

본 발명은 반도체 시료 검사장비의 일방향 회전구조에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 시료 검사장비의 어퍼춰부에 설치되는 어퍼춰 플레이트의 한번 셋팅한 홀의 재셋팅을 억제시킬 수 있도록 한 것이다.

일반적으로, 전자빔을 이용하여 샘플을 검사하는 장비는 전자 방출 소스로부터 시료에 도달하기 위한 전자빔을 최적화할 수 있는 전자 광학계를 구성하는 데, 전자 광학계는 렌즈와 필터로 구성되어 있으며, 이때 필터는 미세한 복수개의 홀이 형성된 어퍼춰 플레이트가 설치된다.

상기한 어퍼춰 플레이트는 약 0.02㎜의 미세한 복수개의 홀이 형성된 플레이트로서 전자빔의 경로에 이 홀을 위치시키므로써 필터 역할을 수행하게 된다.

종래의 상기한 어퍼춰 플레이트가 구비되어 전자빔의 경로에 홀을 위치시키기 위한 어퍼춰부는 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 상기 홀(3)을 전자빔의 경로에 위치시키기 위해 홀 실렉트 놉(7)을 회전시키면, 이 홀 실렉트 놉(7)에 고정된 홀더(4)와 핀(5)이 동시에 회전하게 되는 데, 캠(11)은 회전 운동을 왕복 운동으로 바꾸는 역할을 하며, 상기 핀(5)이 캠(11)의 경사면(11S)을 따라 회전하면 상기 홀더(4)의 끝단에 연결되어 있는 어퍼춰 플레이트(2)는 왕복 운동을 하게 되고, 사용자는 스케일 파이프(8)에 표시된 눈금을 확인하여 원하는 위치에 홀(3)을 셋팅시킬 수 있게 된다.

또한, 상기 어퍼춰부에 설치되는 X축 및 Y축 조정놉(9)(10)은 상기 홀(3)의 미세한 위치 조정을 위해서 사용되며, 상기 캠(11)의 경사면(11S)은 핀(5)이 이동가능한 각도로 형성되어 있으며, 4단계로 셋팅이 가능하도록 약간의 홈이 형성되어 있고, 각각의 홈에 홀더(4)의 핀(5)이 위치할 때마다 어퍼춰 플레이트(2)의 홀(3)의 위치가 각각 바뀌어진다.

한편, 상기 어퍼춰 플레이트(2)의 홀(3)은 전자빔에 의해 열화되므로 일정 기간 사용후 다른 홀(3)로 변경해야 하는 데, 그 이유는 다른 홀로 변경시키지 않을 경우 전자빔의 경로 왜곡이 발생하거나, 홀 주변의 필터 기능이 저하되어 장치의 해상도가 떨어지거나, 이미지에 노이즈가 발생하기 때문이다.

종래 장비의 어퍼춰부는 홀(3)의 열화 정도를 육안으로 확인하기가 불가능하고, 홀의 실렉트가 자유로워 이미 열화된 홀(3)을 재셋팅하거나, 미사용한 홀이 있음에도 불구하고 어퍼춰 플레이트(2)를 교체하는 등의 많은 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명은 상기한 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 반도체 시료 검사장비의 어퍼춰부에 설치되는 어퍼춰 플레이트의 한번 셋팅한 홀의 재셋팅을 억제시킬 수 있도록 하여 양질의 전자빔을 얻을 수 있어서 장비의 시료 검출력을 향상시킬 수 있는 반도체 시료 검사장비의 일방향 회전구조를 제공하는 데 그 목적이 있다.

도 1은 종래 반도체 시료 검사장비의 어퍼춰부를 나타낸 사시도

도 2는 도 1의 요부 분해 사시도

도 3은 본 발명에 따른 어퍼춰부의 요부 분해 사시도

도 4는 도 3의 캠을 나타낸 사시도

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

1; 캠 1S; 경사면

2; 어퍼춰 플레이트 3; 홀

4; 홀더 5; 핀

6; 고정홈 7; 홀 실렉트 놉

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 어퍼춰부에 설치되는 캠 후방의 경사면에 어퍼춰 플레이트에 형성된 홀이 셋팅된 상태에서 재셋팅되는 것을 방지하기 위해 홀더와 핀이 상기 캠을 일방향으로만 회전시킬 수 있도록 고정홈이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 시료 검사장비의 일방향 회전구조가 제공된다.

이하, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 발명에 따른 어퍼춰부의 요부 분해 사시도이고, 도 4는 도 3의 캠을 나타낸 사시도로서, 종래의 기술과 동일한 부분에 대해서는 동일 부호를 부여하여 본 발명을 설명한다.

본 발명은 반도체 시료 검사장비의 어퍼춰부에 설치되는 캠(1) 후방의 경사면(1S)에 어퍼춰 플레이트(2)에 형성된 홀(3)이 셋팅된 상태에서 재셋팅되는 것을 방지하기 위해 홀더(4)와 핀(5)이 상기 캠(1)을 일방향으로만 회전시킬 수 있도록 고정홈(6)이 형성되어 구성된다.

상기와 같이 구성된 본 발명은 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 반도체 시료 검사장비의 어퍼춰부에 설치되는 캠(1) 후방의 경사면(1S)에 홀더(4)와 핀(5)이 상기 캠(1)을 일방향으로만 회전시킬 수 있도록 고정홈(6)이 형성되어 있으므로 상기 어퍼춰 플레이트(2)에 형성된 홀(3)이 셋팅된 상태에서 홀 실렉트 놉(7)을 역방향으로 회전시킬 경우 상기 홀더(4)와 핀(5)이 상기 캠(1) 후방의 경사면(1S)에 캠(1)을 일방향으로 회전시킬 수 있도록 형성되어 있는 고정홈(6)에 걸리지 않게 되어 캠(1)을 회전시킬 수가 없어서 어퍼춰 플레이트(2)를 회전시킬 수가 없으므로 인해 상기 어퍼춰 플레이트(2)에 형성된 홀(3)이 셋팅된 상태에서 재셋팅되는 것을효과적으로 방지할 수 있게 된다.

이상에서 상술한 바와 같이, 본 발명은 반도체 시료 검사장비의 어퍼춰부에 설치되는 어퍼춰 플레이트의 한번 셋팅한 홀의 재셋팅을 억제시킬 수 있으므로써 열화된 홀에 의한 전자빔의 왜곡을 방지하여 이미지의 해상도를 높일 수 있어서 장비의 시료 검출력을 향상시킬 수 있고, 단계별로 홀을 사용하므로써 정확한 어퍼춰 플레이트의 교체 타이밍을 예상할 수 있으며, 미사용한 홀이 발생하지 않도록 용이하게 관리할 수 있는 등의 많은 장점이 구비된 매우 유용한 발명이다.

Claims (1)

1. 어퍼춰부에 설치되는 캠 후방의 경사면에 어퍼춰 플레이트에 형성된 홀이 셋팅된 상태에서 재셋팅되는 것을 방지하기 위해 홀더와 핀이 상기 캠을 일방향으로만 회전시킬 수 있도록 고정홈이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 시료 검사장비의 일방향 회전구조.