KR20010045075A - 전계 발광 표시 소자 - Google Patents

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KR20010045075A
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채병훈
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김순택
삼성에스디아이 주식회사
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    • H05B33/22—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the chemical or physical composition or the arrangement of auxiliary dielectric or reflective layers

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Abstract

형광층으로부터 발광된 광 중에서 디스플레이에 이용되지 못하는 광량을 최소화 함으로써, 발광 효율을 향상시킨 전계 발광 표시 소자에 관한 것으로, 형광층과의 사이에 절연층을 개재하여 형성한 금속 전극 및 투명 전극에 교류 전압을 인가하여 각 화소에 해당하는 형광층을 발광시키고, 상기 형광층에서 발광된 광이 투명 전극 측을 향해 투과되도록 한 전계 발광 표시 소자에 있어서, 상기 형광층에서 발광된 광 중에서 상기 형광층과 절연층의 경계면에서 전반사 되는 광량을 감소시키기 위한 전반사 감소부와, 형광층으로부터 소자의 후방으로 발광되는 광을 반사하는 반사 수단을 포함한다. 이로서, 형광층에서 발광되는 광 가운데 종래에 디스플레이를 위한 광으로 사용되지 못하던 광의 일부가 디스플레이 영역으로 투과되므로, 발광 효율을 향상시킬 수 있다.

Description

전계 발광 표시 소자{ELECTROLUMINESCENT DISPLAY DEVICE}
본 발명은 전계 발광 표시 소자에 관한 것으로, 보다 상세하게는 형광층으로부터 발광된 광 중에서 디스플레이에 이용되지 못하는 광량을 최소화 함으로써, 발광 효율을 향상시킨 전계 발광 표시 소자에 관한 것이다.
평판 디스플레이(FPD; Flat Panel Display)의 하나로 주목받고 있는 전계 발광 표시 소자(ELD; ELECTROLUMINESCENT DISPLAY DEVICE)는 형광층을 사이에 두고 배치되는 양 전극에 교류 전압(AC)을 인가하여 형광층을 발광시키는 전계 발광(EL; Electroluminescence)을 이용한 표시 소자로서, 통상적으로 기판 위에 구비되는 형광층을 포함한 다층은 박막으로 각각 이루어지며, 이러한 구조를 갖는 박막 필름 전계 발광 표시 소자(TFEL; Thin Film Electroluminescent)에서 기판 위에 형성되는 양 전극, 형광층 및 이들 전극과 형광층을 분리하기 위한 절연층은 전자빔(EB) 진공 증착법 또는 스퍼터링법에 의해 형성된다.
여기서 상기한 전극 중, 기판 측으로 배치되는 전극은 주로 알루미늄과 같은 금속으로 형성되는데, 이 금속 전극은, 형광층과의 사이에 배치되는 절연층의 두께가 박막(대략, 0.5㎛ 이하)으로 이루어지는 관계로, 전계 발광 표시 소자의 작동시 기본 전극으로서의 역할은 물론, 형광층에서 기판측으로 발광되는 광을 반사시켜 이 광이 기판에 대향하는 방향으로 재투과되도록 함으로써, 장치의 휘도를 향상시키는 역할도 겸하게 된다.
한편, 근래에는 상기한 박막 필름 전계 발광 표시 소자에서 발생되는 문제점-유전체의 브레이크 다운(break down)-을 보완하기 위해 소위, 후막 절연층을 갖는 전계 발광 표시 소자(TDEL; Thick Dielectric Electroluminescent)가 등장하게 되었는 바, 이하, 도 1을 참조로 하여 종래 기술의 전계 발광 표시 소자를 설명한다.
세라믹(ceramic) 또는 알루미나(alumina) 등의 기판(110)에는 은/백금과 같은 물질을 소정의 두께로 성막하여 형성한 스트라이프 패턴의 금속 전극(112)과, 유전 물질을 10∼400㎚ 정도의 두께로 증착시켜 형성한 후막 절연층(114)과, 후막 절연층(114)의 표면을 매끄럽게 유지하기 위한 박막의 평탄화층(116)과, 광을 방출하는 형광 물질을 소정의 두께로 증착시켜 형성한 형광층(118)과, 대략 0.5㎛ 이하의 두께로 형성되는 박막 절연층(120)과, 금속 전극(112)과 직교하는 방향으로 형성되는 스트라이프 패턴의 투명 전극(122)이 순차적으로 제공된다.
그리고, 상기 투명 전극(122) 위로는 습기 등의 이물질로부터 상기 층들을 보호하기 위한 보호막(미도시)이 배치되고, 보호막에는 형광층(118)에서 방출된 광을 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)으로 필터링하기 위해 투명 전극(122)과 동일한 선간격이 되도록 색상별로 선식각된 칼라 필터(미도시)가 제공될 수 있다.
이와 같은 구성을 갖는 전계 발광 표시 소자는, 상기 후막 절연층(114)의 특성으로 인해, 절연층에 대한 브레이크 다운 전압을 높일 수 있게 되어 소자를 안정적으로 보호하면서 이의 발광 특성을 향상시키게 된다.
그러나, 상기한 전계 발광 표시 소자의 작동에 있어서, 상기 형광층(118)에서 발광되는 광 중에서 다량(대략 70% 이상)의 광이 디스플레이에 이용되지 못하는바, 이를 상세히 설명하면 다음과 같다.
일반적으로, 광이 굴절하지 못하고 모두 반사되는 전반사는 굴절율이 큰 물질에서 굴절율이 작은 물질로 광이 입사될 때 일어나며, 입사각이 임계각(굴절각이 90°가 되는 때의 입사각)에 비해 큰 경우에는 광이 모두 전반사 된다.
따라서, 대략 2.35∼2.46의 굴절율을 갖는 형광층(118)에서 발광된 광이 대략 1.6의 굴절율을 갖는 박막 절연층(120) 및 평탄화층(116)에 입사될 때, 상기 광 중에서 임계각에 비해 큰 입사각으로 입사되는 광들은 모두 박막 절연층(120) 또는 평탄화층(116)에서 전반사 되어 소자의 측면으로 빠져나가게 되므로, 이 광들은 디스플레이에 이용되지 못한다.
그리고, 임계각에 비해 작은 입사각으로 입사되는 광 중에서 박막 절연층(120) 측으로 발광되는 광은 박막 절연층을 통하면서 굴절되어 디스플레이에 직접 이용되며, 평탄화층(116) 측으로 발광되어 평탄화층(116) 및 후막 절연층(114)을 통하면서 굴절된 광은 금속 전극(112)에 의해 반사되어 상기 기판(3)을 대향한 방향으로 재투과되므로, 이 광 또한 디스플레이에 이용된다.
그러나, 상기 전극(112)에 의해 반사되어 디스플레이에 이용되는 광량은 절연층(114)이 후막(대략 20㎛ 이상)으로 이루어질 뿐만 아니라 이의 광투과율이 100%로 완전하지 못하기 때문에 실질적으로는 매우 적다.
이와 같이, 종래 기술에 따른 전계 발광 표시 소자에 의하면, 형광층에서 발광되는 광의 상당량이 디스플레이에 이용되지 못하여 발광 효율이 저하되는 문제점이 있다.
이에, 본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로, 형광층으로부터 발광된 광 중에서 디스플레이에 이용되지 못하는 광량을 최소화 함으로써, 발광 효율을 향상시킨 전계 발광 표시 소자를 제공함을 목적으로 한다.
도 1은 종래 기술에 따른 전계 발광 표시 소자의 구성을 나타내는 도면.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 전계 발광 표시 소자의 구성을 나타내는 도면.
도 3은 종래 기술과 본 발명의 전계 발광 표시 소자에 있어서 광 반사 경로를 비교한 도면.
도 4는 도 2의 전계 발광 표시 소자에 적용된 반사 수단의 변형 실시예를 나타내는 도면.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전계 발광 표시 소자의 구성을 나타내는 도면.
상기와 같은 본 발명의 목적은,
형광층과의 사이에 절연층을 개재하여 형성한 금속 전극 및 투명 전극에 교류 전압을 인가하여 각 화소에 해당하는 형광층을 발광시키고, 상기 형광층에서 발광된 광이 투명 전극 측을 향해 투과되도록 한 전계 발광 표시 소자에 있어서,
상기 형광층에서 발광된 광 중에서 상기 형광층과 절연층의 경계면에서 전반사 되는 광량을 감소시키기 위한 전반사 감소부를 구비하는 전계 발광 표시 소자에 의해 달성된다.
본 발명의 바람직한 특징에 의하면, 전반사 감소부는 상기 금속 전극측 방향으로 화소에 해당하는 부분의 형광층과 절연층의 경계면 단면 형상을 오목하게 형성하는 것에 의해 이루어진다.
이러한 전반사 감소부는, 형광층에서 발광된 광이 절연층과의 경계면을 통해 절연층으로 입사될 때, 전반사가 일어나는 임계각에 비해 큰 각도로 입사되던 광량을 종래에 비해 감소시킬 수 있어 전반사로 인해 소자의 측면으로 빠져나가게 되는 광량을 감소시킬 수 있다.
그리고, 본 발명의 표시 소자는 형광층으로부터 발광되는 광을 반사하는 반사 수단을 더 포함하고, 형광층과 금속 전극 사이에 개재되는 절연층은 10㎛ 이상의 두께를 갖는 후막으로 이루어지며, 형광층과 후막 절연층 사이에는 후막 절연층의 표면을 매끄럽게 유지하기 위한 평탄화층이 제공된다.
상기 반사 수단은 형광층과 후막 절연층 사이, 또는 형광층과 평탄화층 사이에 제공되며, 반사 수단은 은(Ag) 또는 알루미늄(Al)의 금속 반사막으로 이루어지거나, 고굴절율의 제1 박막과 저굴절율의 제2 박막을 번갈아 적층하되, 양측면에는 동일한 굴절율의 박막이 배치되도록 한 절연 반사막으로 이루어지며, 반사 수단이 절연 반사막으로 이루어지는 경우, 제1 박막층은 Al2O3로 형성하고, 제2 박막층은 TiO2로 형성한다.
이러한 반사 수단은, 전계 발광 표시 소자의 작동시 형광층으로부터 발광되는 광 중에서 디스플레이 영역으로 직접 투과되지 못하고 기판측으로 발광되는 광이 상기 제1 절연층 또는 후막 절연층을 투과하기 전에 반사시켜 디스플레이 영역으로 투과되도록 한다.
따라서, 본 발명의 전계 발광 표시 소자는, 디스플레이 영역으로 투과되는 광량이 증가되어 발광 효율이 향상된다.
이하, 본 발명을 명확히 하기 위한 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조로 하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 전계 발광 표시 소자의 구성을 나타내는 도면이다.
도시한 전계 발광 표시 소자는, 기본적인 구조를 종래의 전계 발광 표시 소자와 같이 한다.
즉, 세라믹(ceramic)이나 알루미나(alumina) 등으로 구비된 불투명성 기판(10) 위에 형광층(12)을 제공하고, 이 형광층(12)의 양 측면으로는 스트라이프와 같은 패턴을 유지한 전극(14,16)을 각기 형성한다.
여기서, 상기한 전극(14,16) 중, 상기 기판(10) 측으로 근접되어 배치되는 전극(14)은 은/백금의 합금을 비롯한 금속으로 이루어지며, 이 전극(14)을 대향한 다른 전극(16)은 투명성을 유지하기 위해 ITO(Indium Tin Oxide)로 이루어진다.
또한, 기판(10) 위로 형광층(12)과 양 전극(14,16) 사이에는 각기 절연층(18,20)이 소정의 두께를 유지하여 형성되는 바, 이 때, 기판(10)과 형광층(12) 사이에 형성되는 제1 절연층(18)은 대략 20㎛ 이상의 두께를 유지하는 후막 절연층으로 형성되며, 형광층(12)과 투명 전극(16) 사이에 형성되는 제2 절연층(20)은 대략 0.5㎛ 이하의 두께를 유지하는 박막 절연층으로 형성된다.
아울러, 상기 전계 발광 표시 소자에는, 후막 절연층(18)의 표면을 매끄럽게 유지하기 위한 별도의 박막 절연층(22)(이하, 편의상 평탄화층이라 칭한다)이 후막 절연층(18)과 형광층(12) 사이에 형성되는바, 평탄화층(22)은, 리드 지르코네이트 티타네이트(PZT;lead zirconate titanate) 또는 리드 란탄 지르코네이트 티타네이트(PLZT:lead lanthanum zirconate titanate)를 포함하는 물질로 형성됨이 바람직하다.
한편, 평탄화층은 필요에 따라 상기 전계 발광 표시 소자의 구성에서 배제될 수 있으나, 발광 효율을 감안하면 전계 발광 표시 소자의 구성에 포함하는 것이 바람직하다.
이러한 기본 구성을 갖는 전계 발광 표시 소자는, 양 전극(14,16)에 교류 전압이 인가되면, 이에 따른 전계 발광 현상으로 형광층(12)으로부터 광이 발광되어 소정의 화상을 구현하게 되는 바, 투명 전극(16)의 상측으로 도시하지 않은 칼라 필터를 배치하는 경우, 구현 화상은 칼라화를 이루게 된다.
본 발명은 상기한 전계 발광 표시 소자의 작동시에 형광층(12)에서 발광되는 광 중 디스플레이 영역으로 투과되지 못하고 기판(10)측으로 투과되거나 전반사에 의해 소자의 측면으로 빠져나가는 광을 디스플레이 영역으로 투과시켜 장치의 발광 효율을 향상시키기 위해, 다음과 같은 구조를 채용한다.
이를 상술하면, 투명 전극(16)과 금속 전극(14)이 교차하여 화소를 형성하는 부분의 후막 절연층(18)과 평탄화층(22)은 소정의 곡률로 기판(10) 측을 향해 오목하게 형성하고 형광층(12)의 하면은 평탄화층(22)의 오목한 부분을 채우도록 볼록하게 형성하여 전반사 감소부를 구성하며, 형광층(12)과 후막 절연층(18) 사이(형광층과 평탄화층 사이 또는 평탄화층과 후막 절연층 사이)에 반사 수단을 형성한다.
본 실시예에 있어서, 반사 수단은 전계 발광 표시 소자의 화소와 그 크기가 비슷한 박막의 금속 반사막(24)으로 이루어지는데, 이 금속 반사막은 굴절율이 낮은 반면, 반사율이 좋은 은(Ag) 또는 알루미늄(Al) 등으로 구성함이 바람직하다.
이에, 상기와 같이 형성되는 전계 발광 표시 소자는, 전술한 바와 같이, 양 전극(14,16)에 교류 전압을 인가받아 형광층(12)에서 광을 발광시켜 원하는 화상을 표시하게 되는데, 이러한 작동시, 형광층(12)에서 발광된 광은 기판(10) 측으로도 향하게 된다.
종래에 이 광은 그 진행 경로에 따라 실질적으로 디스플레이를 위한 광원으로서 사용되지 못하였으나, 상기 소자에서는 전반사 감소부와 금속 반사막(24)의 작용에 따라 디스플레이를 위한 광원으로 사용될 수 있게 된다.
즉, 형광층(12)에서 기판(10)측 방향 다시 말해, 상기 소자의 후방으로 발광되는 광은 그 진행 경로에 따라 형광층(12)과 평탄화층(22)의 경계면에서 전반사 되거나 또는 상기 경계면에서 굴절되어 후막 절연층(18)에 입사된다.
그런데, 상기와 같은 광의 진행시에 본 발명의 표시 소자에 있어서는 화소를 형성하는 부분의 후막 절연층(18)과 평탄화층(22)이 소정의 곡률로 기판(10) 측을 향해 오목하게 형성되어 있고, 형광층(12)의 하면이 평탄화층(22)의 오목한 부분을 채우도록 볼록하게 형성되어 있다.
따라서, 도 3에 도시한 바와 같이, 종래의 표시 소자에서 임계각(α)으로 입사되어 전반사되던 광(실선으로 도시함)이 본 발명의 표시 소자에서는 점선으로 도시한 바와 같이 임계각에 비해 작은 각도(β, β＜α)로 입사되게 되므로, 전반사에 의해 소자 측면으로 빠져나가던 광의 일부분이 평탄화층으로 굴절된다.
그리고, 이 일부분의 광은 종래에 임계각에 비해 작은 각도로 소자의 후방으로 입사되는 광과 함께 금속 반사막(24)에서 반사되어 디스플레이를 위한 광원으로 사용된다.
이에, 본 발명의 전계 발광 표시 소자는 소자의 후방으로 누설되거나, 또는 전반사에 의해 소자의 측면으로 빠져나가게 되는 광의 일부가 디스플레이를 위한 광으로 사용됨으로써 발광 효율을 향상시킬 수 있게 된다.
한편, 상기 실시예에 있어서, 금속 반사막의 표면을 톱니 형상으로 경사지게 형성하여 형광층으로부터 발광된 광이 금속 반사막에 의해 반사되어 나갈 때, 그 반사 각도를 조절할 수 있도록 하는 것도 유용하다.
그리고, 상기한 구조에서 반사 수단은 상기와 같은 금속 반사막(24) 이외의 다른 구조로도 이루어질 수 있다. 예를 들어 다수의 박막 절연층을 적층 형성한 구조가 이에 적용 가능하다.
도 4는 이의 참조 도면으로서, 도시한 바와 같이, 반사 수단을 구성하는 절연 반사막(26)은 금속 반사막(24)과 마찬가지로 상기 후막 절연층(18)과 평탄화층(22) 사이에 소정의 패턴을 유지하여 형성된다.
여기서 이 절연 반사막(26)은 고굴절율의 제1 박막(26a)과 저굴절율의 제2 박막(26b)이 번갈아가며 적층되어 형성되는바, 이 때, 상기 절연 반사막(26)의 양측면에는 동일한 굴절율의 박막이 배치된다. 본 실시예에서는, 양측면의 박막를 제1 박막(26a)으로 형성하고, 제1 박막(26a)의 재질로는 Al2O3를 사용하며, 제2 박막(26b)의 재질로는 TiO2를 사용한다.
이에, 형광층(12)으로부터 발광된 광이 절연 반사막(26)으로 투과되면, 이 광은 고굴절율과 저굴절율의 제1 및 제2 박막(26a,26b)을 통과하는 과정에서 굴절 및 반사되어 최종적으로는 형광층(12) 측으로 반사된다.
따라서, 절연 반사막(26)을 반사 수단으로 사용하는 전계 발광 표시 소자도 형광층(12)에서 기판(10) 측으로 발광되는 광의 일부분(종래에는 전반사 되던 광의 일부분을 포함)을 디스플레이를 위한 광으로 사용할 수 있게 된다.
다음으로 설명할 본 발명의 다른 실시예에는, 전술한 예와 같이 반사 수단을 이용하여 전계 발광 표시 소자의 발광 효율을 향상시키는 경우, 컨트라스트가 저하되는 것을 방지하기 위한 구조이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전계 발광 표시 소자의 구성을 나타내는 도면으로서, 상기 금속 반사막을 포함한 기본적인 구조가 전술한 예와 같은 관계로, 그 자세한 설명은 전술한 예의 설명으로 대치하기로 한다.
다만, 상기 전계 발광 표시 소자는 외광 반사 방지 수단으로 보호막을 이웃하여 배치되는 원편광 필름(28)을 더욱 포함하여 구성된다. 여기서 이 원편광 필름(28)은 주지된 바와 같이, 편광 필름과 λ/4 필름이 조합되어 이루어지며, 이 때, λ/4 필름이 보호막측을 향해 배치된다.
이러한 원편광 필름(28)을 사용하는 이유는 다음과 같다.
즉, 전계 발광 표시 소자의 작동시에는, 보호막의 외부로부터 외부광(자연광 또는 인공광원)이 보호막 내부로 들어온 후, 반사막(24 또는 26)에 의해 반사되어 다시 보호막 밖으로 나갈 수 있게 되는데, 이러한 현상은 소자의 컨트라스트 특성을 떨어뜨리는 요소로 작용하게 된다.
상기 원편광 필름(28)은 이러한 문제점을 보완하기 위해, 외부광이 반사막(24 또는 26)에 의해 반사된 후 다시 보호막 밖으로 나가지 못하게 함으로써 외광에 의한 컨트라스트 저하를 방지하는 역할을 하게 되는 바, 아래 표 1에는 상기 원편광 필름(28)의 사용 유무에 따른 전계 발광 표시 소자의 컨트라스 특성이 대비되어 있다.
원편광 필름 미사용시 원편광 필름 사용시
컨트라스트 7:1 20:1
이와 같이, 이 실시예에서는 전계 발광 표시 소자가 형광층에서 발광되는 광을 반사시킬 수 있는 반사 수단과, 외광이 반사되는 것을 방지하는 외광 반사 방지 수단을 모두 갖도록 하여 발광 효율은 물론, 컨트라스트 특성까지 향상시키게 됨을 알 수 있다.
이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
이와 같이 본 발명에 의한 전계 발광 표시 소자는, 형광층에서 발광되는 광 가운데 종래에 디스플레이를 위한 광으로 사용되지 못하던 광의 일부가 디스플레이 영역으로 투과되므로, 발광 효율을 향상시킬 수 있다.

Claims (14)

  1. 형광층과의 사이에 절연층을 개재하여 형성한 금속 전극 및 투명 전극에 교류 전압을 인가하여 각 화소에 해당하는 형광층을 발광시키고, 상기 형광층에서 발광된 광이 투명 전극 측을 향해 투과되도록 한 전계 발광 표시 소자에 있어서,
    상기 형광층에서 발광된 광 중에서 상기 형광층과 절연층의 경계면에서 전반사 되는 광량을 감소시키기 위한 전반사 감소부를 구비하는 전계 발광 표시 소자.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 전반사 감소부는 상기 금속 전극측 방향으로 화소에 해당하는 부분의 형광층과 절연층의 경계면 단면 형상을 오목하게 형성하는 것에 의해 이루어지는 전계 발광 표시 소자.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 형광층으로부터 발광되는 광을 반사하는 반사 수단을 더 포함하는 전계 발광 표시 소자.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 형광층과 금속 전극 사이에 개재되는 절연층은 10㎛ 이상의 두께를 갖는 후막으로 이루어지는 전계 발광 표시 소자.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 반사 수단은 상기 형광층과 후막 절연층 사이에 제공되는 전계 발광 표시 소자.
  6. 제 4항에 있어서, 상기 형광층과 후막 절연층 사이에는 후막 절연층의 표면을 매끄럽게 유지하기 위한 평탄화층이 제공되는 전계 발광 표시 소자.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 평탄화층은 리드 지르코네이트 티타네이트(PZT;lead zirconate titanate) 또는 리드 란탄 지르코네이트 티타네이트(PLZT:lead lanthanum zirconate titanate)를 포함하는 물질로 형성되는 전계 발광 표시 소자.
  8. 제 6항에 있어서, 상기 반사 수단은 상기 형광층과 평탄화층 사이에 제공되는 전계 발광 표시 소자.
  9. 제 3항에 있어서, 상기 반사 수단이, 은(Ag) 또는 알루미늄(Al)으로 이루어지는 전계 발광 표시 소자.
  10. 제 3항에 있어서, 상기 반사 수단이, 고굴절율의 제1 박막과 저굴절율의 제2 박막을 번갈아 적층하되, 양측면에는 동일한 굴절율의 박막이 배치되도록 한 절연 반사막으로 이루어지는 전계 발광 표시 소자.
  11. 제 10항에 있어서, 상기 제1 박막층이 Al2O3로 이루어지는 전계 발광 표시 소자.
  12. 제 10항에 있어서, 상기 제2 박막층이 TiO2로 이루어지는 전계 발광 표시 소자.
  13. 제 3항에 있어서, 상기 투명 전극의 상측으로 외광 반사 억제 수단이 배치되는 전계 발광 표시 소자.
  14. 제 13항에 있어서, 상기 외광 반사 억제 수단은 원평판 필름으로 이루어지는 전계 발광 표시 소자.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100430452B1 (ko) * 2000-12-28 2004-05-10 닛뽄덴끼 가부시끼가이샤 발광 장치 및 그 제조 방법
KR100800931B1 (ko) * 2005-05-20 2008-02-04 엡슨 이미징 디바이스 가부시키가이샤 표시 장치
US10566502B2 (en) 2015-06-17 2020-02-18 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor light-emitting device

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