KR20010044553A - Glass holder of polishing machine for LCD glass - Google Patents
Glass holder of polishing machine for LCD glass Download PDFInfo
- Publication number
- KR20010044553A KR20010044553A KR1020010011469A KR20010011469A KR20010044553A KR 20010044553 A KR20010044553 A KR 20010044553A KR 1020010011469 A KR1020010011469 A KR 1020010011469A KR 20010011469 A KR20010011469 A KR 20010011469A KR 20010044553 A KR20010044553 A KR 20010044553A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- holder
- glass
- lcd
- lcd glass
- surface plate
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
- B24B41/06—Work supports, e.g. adjustable steadies
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/07—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
- B24B37/08—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for double side lapping
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
- B24B7/20—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
- B24B7/22—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
- B24B7/24—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain for grinding or polishing glass
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 엘씨디 글래스용 연마장치의 글래스홀더에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 상기 글래스홀더의 구조를 다중 분할 접착방식으로 개량함으로써 상부 및 하부 정반 간의 마찰력에 의한 엘씨디 글래스의 정위치 이탈에 따른 가장자리부 일부의 이상마모 현상을 해소하고 글래스홀더의 편마모에 의한 잦은 교체 작업에 따른 공정 지연을 방지하여 생산성 및 장비 가동률을 향상시킬 수 있게 한 엘씨디 글래스용 연마장치의 글래스홀더에 관한 것이다.The present invention relates to a glass holder of a polishing apparatus for an LCD glass, and more particularly, by improving the structure of the glass holder in a multi-part adhesive method, the edge portion according to the deviation of the position of the LCD glass due to friction between the upper and lower surface plate The present invention relates to a glass holder of a polishing apparatus for an LCD, which eliminates some abnormal wear phenomena and prevents a process delay caused by frequent replacement work due to uneven wear of the glass holder, thereby improving productivity and equipment utilization rate.
일반적으로 액정표시장치(LCD ; Liquid Crystal Display)에 적용되는 유리는 1.1 mm 이하의 박판이 주로 사용되며, 특히 전면에 걸친 고 정밀의 평탄도가 유지되어야만 정확한 디스플레이가 가능하게 된다.In general, glass applied to a liquid crystal display (LCD) is mainly used with a thin plate of 1.1 mm or less, and in particular, accurate display is possible only when high precision flatness over the entire surface is maintained.
이와 같이 고 정밀의 평탄도를 유지하기 위해서는 소정의 연마 공정을 거쳐야 하는데, 이에 사용되는 장비가 엘씨디 글래스용 연마장치이다. 통상의 엘씨디 글래스의 경우, 최종 가공 후의 평탄도가 300Å/20mm 이하를 유지하여야 한다.In order to maintain high precision flatness, a predetermined polishing process must be performed, and the equipment used therefor is a polishing apparatus for LCD glass. In the case of ordinary LCD glass, the flatness after final processing should be maintained at 300 mm / 20 mm or less.
도 1 내지 도 4는 일반적인 엘씨디 글래스용 연마장치의 구조 및 작동원리를 도시한 것으로, 도 1은 상기 엘씨디 글래스용 연마장치의 외관 구조를 도시한 부분절개 사시도, 도 2는 상기 엘씨디 글래스용 연마장치의 구동 메커니즘을 도시한 부분 단면도, 도 3은 상기 엘씨디 글래스용 연마장치에 의한 연마 상태를 개략적으로 도시한 측면도, 도 4는 상기 엘씨디 글래스용 연마장치에 연마 대상이 되는 엘씨디 글래스(101)를 부착하기 위하여 하부 정반(110)으로부터 상부 정반(210)을 상향 선회시킨 상태를 개략적으로 도시한 측면도를 각각 나타낸 것이다.1 to 4 show the structure and operating principle of a conventional polishing apparatus for the LCD glass, Figure 1 is a partial cutaway perspective view showing the external structure of the polishing apparatus for the LCD, Figure 2 is a polishing apparatus for the LCD glass Fig. 3 is a side view schematically showing the polishing state by the LCD glass polishing apparatus, and Fig. 4 is attached to the LCD glass polishing apparatus 101 to the LCD glass polishing apparatus. In order to show a side view schematically showing a state in which the upper surface plate 210 is turned upward from the lower surface plate 110.
상기 도면에 도시된 바와 같이, 일반적인 엘씨디 글래스용 연마장치는, 상면 전체에 소정의 연마패드(112)가 부착되고 회전구동용 모우터(120)에 의해 소정방향으로 회전하는 하부 정반(110)을 포함하는 하부정반유닛(100)과, 저면상에 연마 대상이 되는 엘씨디 글래스(101)가 부착되고 그 둘레에 글래스홀더(103)가 부착 고정되며 상기 하부 정반(110)상에 승강 착탈되어 별도의 선회구동용 모우터(240)에 의해 그 표면상에서 소정 각도만큼 반복 선회 작동됨과 아울러 상기 하부 정반(110)과 밀착되어 함께 회전하도록 된 상부 정반(210)을 포함하는 상부정반유닛(200)과, 상기 하부 정반(110)상에 연마재를 공급하는 연마재 순환공급부(300)를 구비한 구조로 이루어져 있다.As shown in the figure, a general LCD glass polishing apparatus, a predetermined polishing pad 112 is attached to the entire upper surface and the lower surface plate 110 that rotates in a predetermined direction by the rotary drive motor 120. The lower surface plate unit 100 and the LCD glass 101 to be polished are attached to the bottom surface, and the glass holder 103 is attached and fixed around the lower surface plate unit 100. An upper plate unit 200 including an upper plate 210 which is repeatedly rotated by a predetermined angle on its surface by a turning drive motor 240 and is in close contact with the lower plate 110 to rotate together; It is composed of a structure having an abrasive circulation supply unit 300 for supplying an abrasive on the lower surface plate (110).
상기 하부정반유닛(100)은, 상기 하부 정반(110)이 기계실 하우징(242)상에 설치되고, 그 하부정반 구동축(111)이 상기 기계실 하우징(242) 내측에 설치된 회전구동용 모우터(120) 및 감속기(121)에 의해 회전구동할 수 있도록 연결되어 있다. 상기 회전구동용 모우터(120) 및 감속기(121)는 체인 등의 매체에 의해 상호 체결되어 있다. 또한, 상기 하부 정반(110)의 외측 둘레에는 연마재 공급관(331)을 통해 공급되는 연마재가 비산되는 것을 방지할 수 있도록 비산방지컵(130)이 설치되어 있으며, 상기 비산방지컵(130)의 내측 둘레에는 일측으로 경사진 배출통로(131)가 형성되어 있어 외부로 인출된 배출관(132)을 통해 사용 후의 연마재를 상기 연마재 순환공급부(300)로 용이하게 순환시킬 수 있는 구조를 이루고 있다.The lower surface unit 100, the lower surface plate 110 is installed on the machine room housing 242, the lower surface plate driving shaft 111 is a rotary drive motor 120 is installed inside the machine room housing 242 And it is connected to the rotation drive by the reducer 121. The rotation driving motor 120 and the reduction gear 121 are fastened to each other by a medium such as a chain. In addition, the outer periphery of the lower surface plate 110 is provided with a scattering prevention cup 130 to prevent the abrasive supplied through the abrasive supply pipe 331 is scattered, the inner surface of the scattering prevention cup 130 A discharge passage 131 inclined to one side is formed on the circumference thereof to form a structure that can easily circulate the used abrasive to the abrasive circulation supply unit 300 through the discharge pipe 132 drawn to the outside.
또한, 상기 상부정반유닛(200)은, 상기 기계실 하우징(242)의 상부로 양방향 선회아암(230)이 수평을 이루며 배치되어 있되, 상기 양방향 선회아암(230)의 일측 저면 쪽에는 수직방향으로 배열되는 양방향 선회축(231)에 의해 지지되고, 그 타단부 쪽에는 하강선회시 상기 하부 정반(110)의 표면상에 밀착될 수 있도록 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 상부정반 승강선회축(222)을 중심으로 하여 상하로 승강선회하는 상부 정반(210)이 설치된다.In addition, the upper surface unit 200, the bi-directional swinging arm 230 is arranged horizontally to the upper portion of the machine room housing 242, it is arranged in a vertical direction on one side of the bottom surface of the bi-directional swinging arm 230 It is supported by a bi-directional pivot shaft 231, the other end side of the upper surface lifting lift shaft as shown in Figures 3 and 4 so as to be in close contact with the surface of the lower surface plate 110 during the lower swing ( An upper surface plate 210 is installed to swing up and down about the center 222.
상기 상부 정반(210)은 공압실린더(220)의 승강로드(221) 하단부에 형성되어 상기 공압실린더(220)의 구동에 의해 승강선회 가능하게 되고, 상기 양방향 선회축(231)은 그 하단부가 상기 기계실 하우징(242) 내측에 설치된 선회구동용 모우터(240) 및 감속기(241)에 의해 일정 각도만큼 선회구동할 수 있도록 커넥팅로드(232)로 연결되어 있으며, 상기 선회구동용 모우터(240) 및 감속기(241)는 체인 등의 매체에 의해 상호 체결되어 있다. 또한, 상기 양방향 선회축(231)은 회전이 원활하도록 베어링(233)에 의해 지지된다. 상기 커넥팅로드(232)는 양방향 선회아암(230)의 중심보정 기능 및 상기 양방향 선회아암(230)으로 전달되는 동력의 크기를 증대시켜주는 기능을 수행하는 것이다.The upper surface plate 210 is formed at the lower end of the elevating rod 221 of the pneumatic cylinder 220 to be capable of elevating turning by driving the pneumatic cylinder 220, the bi-directional pivot shaft 231 is the lower end of the The turning drive motor 240 and the reduction gear 241 installed inside the machine room housing 242 are connected to the connecting rod 232 to rotate by a predetermined angle, the turning drive motor 240 And the reducer 241 are fastened to each other by a medium such as a chain. In addition, the bi-directional pivot shaft 231 is supported by the bearing 233 to smoothly rotate. The connecting rod 232 performs a function of increasing the center of the bidirectional swinging arm 230 and increasing the magnitude of power transmitted to the bidirectional swinging arm 230.
또한, 상기 연마재 순환공급부(300)는, 상기 하부 정반(110)의 상부 표면쪽으로 공급되는 연마재가 펌핑되어 순환한 후 집수될 수 있도록 별도로 마련된 연마재 순환탱크(310)를 구비하고 있다. 상기 연마재 순환탱크(310)는 상기 배출관(132)과 연마재 공급관(331)을 통해 연마재를 입출시킬 수 있도록 상호 연통되어 있고, 상기 연마재 공급관(331)의 선단부쪽에는 연마재의 분사를 원활히 하기 위한 별도의 분사모우터(332)가 장착되어 있으며, 상기 연마재 순환탱크(310) 내에는 재 유입된 연마재가 침전되지 않도록 교반시켜주는 교반기(320)와, 교반에 의해 혼합된 연마재를 상기 연마재 공급관(331)을 통해 외부로 강제 배출시켜주는 펌프(330)가 내장되어 있다.In addition, the abrasive circulation supply unit 300 includes an abrasive circulation tank 310 that is separately provided so that the abrasive supplied to the upper surface of the lower surface plate 110 is pumped and circulated. The abrasive circulation tank 310 is in communication with each other so that the abrasive can be taken out through the discharge pipe 132 and the abrasive supply pipe 331, a separate end for smoothly spraying the abrasive on the front end of the abrasive supply pipe 331 Is equipped with a spray motor 332, the abrasive circulation tank 310, the stirrer 320 to stir so that the re-introduced abrasives do not settle, and the abrasive mixed by stirring the abrasive supply pipe 331 The pump 330 is forcibly discharged to the outside through the built-in.
상기한 바와 같은 구조로 된 엘씨디 글래스용 연마장치를 사용하여 상기 엘씨디 글래스(101)를 연마하고자 할 때 그 처리 조작 및 작동 원리를 간략히 살펴보면, 먼저 상부 정반(210)을 상향 선회시켜 그 저면에 1매의 엘씨디 글래스(101)를 부착하고, 그 둘레에 글래스홀더(103)를 부착하여 고정한다. 이와 같이 사전 처리 조작을 한 후 상기 상부 정반(210)을 하향 선회시켜 그 저면부와 하부 정반(110)의 연마패드(112) 부착 표면이 밀착되도록 한다.When polishing the LCD glass 101 by using the polishing apparatus for the LCD glass having the structure as described above briefly look at the processing operation and operation principle, first turning the upper surface plate 210 to the upper surface 1 An LCD glass 101 of a hawk is attached, and a glass holder 103 is attached and fixed around it. After the pretreatment operation as described above, the upper surface plate 210 is pivoted downward so that the bottom surface portion and the surface of the polishing pad 112 attached to the lower surface plate 110 are in close contact with each other.
이러한 상태에서 상기 하부 정반(110)을 일방향으로 회전시키면 마찰력에 의해 상기 상부 정반(210)도 동일 방향으로 회전하면서 그 사이에 개재된 엘씨디 글래스(101)의 표면을 연마하게 되는 것이다. 이때, 상기 상부 정반(210)은 하부 정반(110)의 표면상에서 소정 각도만큼 좌우로 선회함으로써 더욱 정밀한 평면 연마공정을 도모할 수 있게 된다.In this state, when the lower surface plate 110 is rotated in one direction, the upper surface plate 210 also rotates in the same direction by the frictional force, thereby polishing the surface of the LCD glass 101 interposed therebetween. At this time, the upper surface plate 210 can be rotated left and right by a predetermined angle on the surface of the lower surface plate 110 to achieve a more precise planar polishing process.
이와 같은 공정을 수행함에 있어서, 더욱 효율적인 공정 진행을 위해서는 상기 글래스홀더(103)의 부착구조를 살펴 볼 필요가 있다.In performing such a process, it is necessary to look at the attachment structure of the glass holder 103 in order to proceed more efficiently.
도 5 내지 도 7은 종래의 가장 보편적인 글래스홀더(103) 부착구조를 설명하기 위한 것으로, 도 5는 상부 정반(210)의 저면에 엘씨디 글래스(101) 및 글래스홀더(103)를 부착하는 일반적인 구조를 도시한 상부 정반(210)의 저면도, 도 6은 상부 및 하부 정반(210)(110)이 밀착된 채로 일방향 회전할 때 마찰력에 의해 그 회전방향으로 엘씨디 글래스(101)가 미세 각도만큼 틸팅(Tilting)된 상태를 도시한 일반적인 글래스홀더(103) 부착 구조에 따른 상부 정반(210)의 저면도, 도 7은 일반적인 엘씨디 글래스(101) 부착 구조를 도시한 부분 단면도, 도 8은 도 7의 부착 구조를 유지하면서 연마공정의 진행시 엘씨디 글래스(101)가 마찰력에 의해 정위치를 이탈하여 글래스홀더(103)의 일부분을 마모시킴으로써 부분적으로 과연마(過硏磨)되는 일반적인 원리를 설명하기 위한 부분 단면도를 각각 나타낸 것이다.5 to 7 are views for explaining the conventional structure of the most common glass holder 103, Figure 5 is a general for attaching the LCD glass 101 and the glass holder 103 on the bottom of the upper surface plate (210) The bottom view of the upper surface plate 210 showing the structure, Figure 6 is the LCD glass 101 by the fine angle in the rotational direction by the friction force when the upper and lower surface plate 210, 110 is rotated in one direction while being in close contact Bottom view of an upper surface plate 210 according to a typical glass holder 103 attachment structure showing a tilted state, FIG. 7 is a partial cross-sectional view showing a typical LCD glass attachment structure, and FIG. 8 is FIG. 7. To explain the general principle that the LCD glass 101 is partially polished by abrasion of the glass holder 103 by leaving the position in place by the friction force during the polishing process while maintaining the attachment structure thereof. Part for Each shave is shown.
상기 도면에 도시된 바와 같이, 상기 엘씨디 글래스(101)는 그 일측 모서리부를 모따기한 표식부(102)가 형성되어 항상 정위치에 부착될 수 있도록 되어 있고, 상기 상부 정반(210)의 저면과 엘씨디 글래스(101)의 부착면 사이에는 엔에프 쉬트(NF Sheet) 재질의 부직포(105)가 개재되어 상기 엘씨디 글래스(101)를 견고하게 부착시켜주는 구조를 이루고 있으며, 상기 하부 정반(110)의 표면에는 일정 간격으로 연마재 배출홈(114)을 형성한 세륨 재질의 연마패드(Polishing Pad)(112)가 부착되어 있다. 상기 상부 정반(210)이 하부 정반(110) 상에 밀착되면 상기 연마패드(112) 표면의 융모부(113)가 상기 엘씨디 글래스(101)의 표면에 맞닿게 되는 상태를 유지한다. 도 8의 부분 확대도에서는 상부 및 하부 정반(210)(110)의 회전에 의해 상기 연마패드(112)의 융모부(113)가 힘 작용방향으로 기울어진 상태를 잘 나타내고 있다.As shown in the figure, the LCD glass 101 is formed so that the marker portion chamfered one corner portion 102 is always attached to the right position, the bottom surface and the LCD of the upper surface plate 210 A nonwoven fabric 105 made of NF sheet material is interposed between the attachment surfaces of the glass 101 to form the structure that firmly attaches the LCD glass 101 to the surface of the lower surface plate 110. A polishing pad 112 made of cerium is formed to form an abrasive discharge groove 114 at regular intervals. When the upper surface plate 210 is in close contact with the lower surface plate 110, the villi 113 of the surface of the polishing pad 112 remain in contact with the surface of the LCD glass 101. In the partially enlarged view of FIG. 8, the villi 113 of the polishing pad 112 are inclined in the direction of the force action by the rotation of the upper and lower surface plates 210 and 110.
또한, 새로운 글래스홀더(103)를 부착한 경우에는 상기 도 5 및 도 7에서와 같이 엘씨디 글래스(101)의 가장자리부가 각 변을 따라 배치된 글래스홀더(103)와 맞닿은 상태로 고정되어 있고, 이러한 상태에서 일방향 연마가 진행되는 경우에는 도 6 및 도 8에 도시된 바와 같이 하부 정반(110)의 회전력에 의해 상부 정반(210)이 마찰되면서 함께 회전하게 되며, 이때, 연마패드(112)와 상부 정반(210) 사이에 개재된 상기 엘씨디 글래스(101)에도 동일 방향의 회전력이 작용하면서 상기 글래스홀더(103)의 특정 부위를 점진적으로 마모시키는 현상이 발생한다.In addition, when the new glass holder 103 is attached, the edge portion of the LCD glass 101 is fixed in contact with the glass holder 103 disposed along each side as shown in FIGS. 5 and 7. When the one-way polishing proceeds in a state, as shown in FIGS. 6 and 8, the upper surface 210 is rotated by friction by the rotational force of the lower surface 110, and at this time, the polishing pad 112 and the upper portion While the rotational force in the same direction acts on the LCD glass 101 interposed between the surface plate 210, a phenomenon occurs that gradually wears a specific portion of the glass holder 103.
즉, 상기 글래스홀더(103)는 베이클라이트(Bakelite) 등과 같은 합성수지 재질로 되어 있어 엘씨디 글래스(101)에 비해 상대적으로 경도가 낮으므로 상기 엘씨디 글래스(101)의 네 모서리부로부터 전달되는 가압력에 의해 이와 맞닿은 부위가 심하게 마모되는데, 그 마모 진행은 글래스홀더(103)의 하단 모서리에서부터 이루어지므로 상기 엘씨디 글래스(101)의 각 가장자리부가 상기 글래스홀더(103)의 마모된 부위로 점차 밀려 들어가면서 그 마모된 부위에 의해 연마패드(112) 표면 쪽으로 가압되는 상태를 유지하게 됨으로써 과연마되는 것이다. 상기 도면중 미설명 부호 104는 엘씨디 글래스(101)가 글래스홀더(103) 상에 중첩되어 형성하는 이상마모영역를 나타내고 있으며, 연마시 통상 글래스홀더(103)의 마모 두께가 0.7 mm에 이르면 교체하여야 하고, 그 소요시간은 대략 2시간 정도이다.That is, the glass holder 103 is made of a synthetic resin material such as Bakelite (Bakelite), so the hardness is relatively lower than that of the LCD glass 101, and thus the pressure is transmitted from the four corners of the LCD glass 101 The abutted part is badly worn, the wear progress is made from the bottom edge of the glass holder 103, so that each edge portion of the LCD glass 101 is gradually pushed into the worn part of the glass holder 103, the worn part By being maintained by being pressed toward the surface of the polishing pad 112 is over-polishing. In the drawing, reference numeral 104 denotes an abnormal wear area in which the LCD glass 101 overlaps the glass holder 103 and is replaced when the wear thickness of the glass holder 103 reaches 0.7 mm. The time required is about 2 hours.
이와 같이 일체형의 글래스홀더(103)를 사용하는 경우에는, 엘씨디 글래스(101)의 네 모서리부로부터 전달되는 가압력에 의해 글래스홀더(103)의 하단 모서리 부위가 마모되어 교체하는 주기가 매우 짧아 장비의 잦은 보수관리에 따른 생산 경비의 과다 소요 및 생산성 저하를 초래하므로, 이에 대한 개선 방안이 모색되고 있다.In this case, when the integrated glass holder 103 is used, the lower edge portion of the glass holder 103 is worn out by the pressing force transmitted from the four corner portions of the LCD glass 101, and the replacement cycle is very short. Since excessive maintenance of production cost and productivity decrease due to frequent maintenance, improvement measures are being sought.
도 9 및 도 10은 이러한 기존의 글래스홀더(103) 구조가 갖는 문제점을 해결하고자한 것으로, 도 9는 기존의 글래스홀더(103) 부착 구조를 변경하여 글래스홀더(103)의 교체가 용이하도록 개선하기 위한 종래의 다른 부착 구조를 도시한 부분 단면도, 도 10은 도 9의 부착 구조를 유지하면서 연마공정의 진행시 도 8의 부착 구조에서와 같이 엘씨디 글래스(101)가 마찰력에 의해 정위치를 이탈하여 접촉홀더(103b)의 일부분을 마모시킴으로써 부분적으로 과연마되는 원리를 설명하기 위한 부분 단면도를 각각 도시하고 있다.9 and 10 are intended to solve the problem that the conventional glass holder 103 has a structure, Figure 9 is improved to facilitate the replacement of the glass holder 103 by changing the existing structure of the glass holder 103 FIG. 10 is a partial cross-sectional view showing another conventional attachment structure for maintaining the attachment structure of FIG. 9 while the attachment structure of FIG. 8 is released from the frictional force as the attachment structure of FIG. 8 maintains the attachment structure of FIG. Partial cross-sectional views for explaining the principle of partially over-polishing by wearing a portion of the contact holder 103b are respectively shown.
상기 도면에 도시된 바와 같이, 기존의 구조로부터 개선 제안된 글래스홀더(103)는, 상기 엘씨디 글래스(101)의 가장자리 둘레를 지지하는 소정폭의 띠 형상을 이루며 상부 정반(210) 저면 상에 부착된 접촉홀더(103b)와, 상기 접촉홀더(103b)의 외측 둘레에 밀착되어 상기 접촉홀더(103b)를 지지할 수 있도록 상부 정반(210) 저면 상에 부착된 기초홀더(103a)로 분할되어 있고, 상기 접촉홀더(103b) 및 기초홀더(103a)와 상부 정반(210)간의 각 접촉면에는 양면접착테이프(103d)가 개재되어 상호 밀착되는 구조를 이루고 있다.As shown in the drawing, the glass holder 103 proposed from the existing structure is attached to the bottom surface of the upper surface plate 210 to form a strip shape having a predetermined width supporting the edge of the LCD glass 101. The contact holder 103b and the base holder 103a attached to the bottom surface of the upper surface plate 210 so as to be in close contact with the outer circumference of the contact holder 103b and to support the contact holder 103b. Each contact surface between the contact holder 103b and the base holder 103a and the upper surface plate 210 is provided with a double-sided adhesive tape 103d to be in close contact with each other.
이러한 글래스홀더(103) 구조에 의하면 상기 글래스홀더(103)의 마모시 상기 접촉홀더(103b)만을 떼어내어 새것으로 교체하면 되므로 소요 경비를 줄일 수 있다는 이점이 발휘되지만, 연마 공정시(도 10)에는 상기 부착구조에서도 도 8에서와 같이 엘씨디 글래스(101)의 네 모서리부로부터 전달되는 가압력에 의해 글래스홀더(103)의 하단 모서리 부위가 마모되고 상기 엘씨디 글래스(101)의 각 가장자리부가 그 마모된 부위로 점차 밀려 들어가면서 연마패드(112) 표면 쪽으로 가압되는 상태를 유지하게 되어 과연마됨으로써 장비의 잦은 보수관리에 따른 생산 경비의 과다 소요 및 생산성 저하를 초래하게 된다.According to the structure of the glass holder 103, when the glass holder 103 is worn out, only the contact holder 103b may be removed and replaced with a new one, thereby reducing the required cost, but in polishing process (FIG. 10). In the attachment structure, as shown in FIG. 8, the lower edge portion of the glass holder 103 is worn by the pressing force transmitted from the four corner portions of the LCD glass 101, and each edge portion of the LCD glass 101 is worn. As it is gradually pushed into the part, the polishing pad 112 maintains a state of being pressed toward the surface, resulting in an excessive demand for production cost and a decrease in productivity due to frequent maintenance of the equipment.
따라서, 상기의 개선 구조를 포함한 기존의 연마장치에서는, 마모된 글래스홀더(103)를 그대로 방치한 상태에서 후속 작업이 진행될 경우에, 부착된 엘씨디 글래스(101)의 가장자리부가 단시간 내에 과연마되어 균일한 평탄도를 유지하기 어려울 뿐만 아니라, 결국에는 제품 불량을 초래하게 되는 문제점이 있는 것이다.Therefore, in the conventional polishing apparatus including the above improved structure, when subsequent work is performed while the worn glass holder 103 is left as it is, the edge portion of the attached LCD glass 101 is over-polished in a short time to be uniform. Not only is it difficult to maintain flatness, but eventually there is a problem that causes product defects.
또한, 이러한 문제점을 해결하기 위해서는 상기 글래스홀더(103)를 자주 교체하여야 하므로 장비의 보수관리가 매우 번거롭고, 생산 경비가 과다 소요되며, 장비 가동률이 저하되어 생산성을 저하시키는 문제점이 있다.In addition, in order to solve this problem, the glass holder 103 needs to be replaced frequently, which is very troublesome to maintain the equipment, excessive production cost, and the operation rate of the equipment is lowered, thereby lowering productivity.
본 발명은 상기한 바와 같은 제반 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 그 목적은 글래스홀더의 구조를 다중 분할 접착방식으로 개량함으로써 상부 및 하부 정반의 접촉 회전시에 발생하는 마찰력에 의한 엘씨디 글래스의 정위치 이탈에 따른 엘씨디 글래스 가장자리부의 이상마모(과연마) 현상을 해소하고, 글래스홀더의 편마모에 의한 잦은 교체 작업에 따른 공정 지연을 방지하여 생산성 및 장비 가동률을 향상시킬 수 있으며, 제품의 불량률을 현저히 저감시킬 수 있고, 마모된 부위만의 탈, 부착이 가능하여 글래스홀더의 교체 작업이 용이하며, 이에 따른 비용절감 효과도 도모할 수 있는 엘씨디 글래스용 연마장치의 글래스홀더를 제공함에 있다.The present invention has been proposed to solve the above problems, the object of which is to improve the structure of the glass holder in a multi-divided adhesive method by the friction force generated during contact rotation of the upper and lower surface plate of the LCD glass It eliminates the abnormal abrasion (over-polishing) phenomenon of the edge of LCD glass due to the positional deviation and prevents the process delay caused by frequent replacement work due to the uneven wear of the glass holder. The present invention provides a glass holder of a polishing apparatus for an LCD glass, which can be reduced, and only a worn portion can be removed and attached, thereby facilitating replacement of the glass holder and consequently reducing costs.
도 1은 일반적인 엘씨디 글래스용 연마장치의 외관 구조를 도시한 부분절개 사시도.1 is a partial cutaway perspective view showing the external structure of a typical polishing apparatus for a CD glass.
도 2는 일반적인 엘씨디 글래스용 연마장치의 구동 메커니즘을 도시한 부분 단면도.2 is a partial cross-sectional view showing a driving mechanism of a conventional polishing apparatus for LCD glass.
도 3은 일반적인 엘씨디 글래스용 연마장치에 의한 연마 상태를 개략적으로 도시한 측면도.Figure 3 is a side view schematically showing a polishing state by a conventional polishing apparatus for LCD glass.
도 4는 일반적인 엘씨디 글래스용 연마장치에 연마 대상이 되는 엘씨디 글래스를 부착하기 위하여 하부 정반으로부터 상부 정반을 상향 선회시킨 상태를 개략적으로 도시한 측면도.4 is a side view schematically showing a state in which the upper surface is turned upward from the lower surface plate in order to attach the LCD glass to be polished to a general LCD glass polishing apparatus.
도 5는 상부 정반의 저면에 엘씨디 글래스 및 글래스홀더를 부착하는 일반적인 구조를 도시한 상부 정반의 저면도.5 is a bottom view of the upper surface plate showing the general structure of attaching the LCD glass and the glass holder to the lower surface of the upper surface plate.
도 6은 상부 및 하부 정반이 밀착된 채로 일방향 회전할 때 마찰력에 의해 그 회전방향으로 엘씨디 글래스가 미세 각도만큼 틸팅된 상태를 도시한 일반적인 글래스홀더 부착 구조에 따른 상부 정반의 저면도.6 is a bottom view of an upper surface plate according to a general glass holder attachment structure showing a state in which the LCD glass is tilted by a fine angle in a rotational direction thereof by a friction force when the upper and lower surface plates are rotated in one direction while being in close contact with each other.
도 7은 일반적인 엘씨디 글래스 부착 구조를 도시한 부분 단면도.7 is a partial cross-sectional view showing a typical LCD glass attachment structure.
도 8은 도 7의 부착 구조를 유지하면서 연마공정의 진행시 엘씨디 글래스가 마찰력에 의해 정위치를 이탈하여 글래스홀더의 일부분을 마모시킴으로써 부분적으로 과연마되는 일반적인 원리를 설명하기 위한 부분 단면도.FIG. 8 is a partial cross-sectional view for explaining a general principle of partially over-polishing by the wear of a portion of the glass holder by leaving the glass by the friction force during the progress of the polishing process while maintaining the attachment structure of FIG.
도 9는 기존의 글래스홀더 부착 구조를 변경하여 글래스홀더의 교체가 용이하도록 개선하기 위한 종래의 다른 부착 구조를 도시한 부분 단면도.9 is a partial cross-sectional view showing another conventional attachment structure for improving the replacement of the existing glass holder attachment structure to facilitate the replacement of the glass holder.
도 10은 도 9의 부착 구조를 유지하면서 연마공정의 진행시 도 8의 부착 구조에서와 같이 엘씨디 글래스가 마찰력에 의해 정위치를 이탈하여 접촉홀더의 일부분을 마모시킴으로써 부분적으로 과연마되는 원리를 설명하기 위한 부분 단면도.FIG. 10 illustrates a principle in which the LCD glass is partially polished by wearing a part of the contact holder by leaving the position due to the frictional force as in the attachment structure of FIG. 8 during the polishing process while maintaining the attachment structure of FIG. 9. Partial section for
도 11은 본 발명에 따른 글래스홀더 부착 구조 및 상부 정반의 저면 상에 그 부착 구조를 적용한 후 상부 및 하부 정반이 밀착된 채로 회전할 때 이들 사이에 마찰력이 작용하더라도 엘씨디 글래스가 원위치에서 이탈되지 않고 견고히 지지되는 상태를 도시한 상부 정반의 저면도.11 is a glass holder attachment structure according to the invention and after applying the attachment structure on the bottom surface of the upper surface plate when the upper and lower surface plate is rotated in close contact even if the friction force between the LCD glass does not escape from the original position Bottom view of the upper surface plate showing a state of being firmly supported.
도 12는 본 발명의 글래스홀더 부착 구조를 도시한 부분 단면도.12 is a partial cross-sectional view showing a glass holder attachment structure of the present invention.
도 13은 본 발명의 글래스홀더 부착 구조를 유지하며 연마공정을 진행할 때 접촉홀더 및 보조기초홀더의 작용에 의해 엘씨디 글래스가 정위치를 이탈하지 않은 채로 연마됨으로써 엘씨디 글래스의 부분적인 과연마없이 공정이 진행되는 원리를 설명하기 위한 부분 단면도.13 is a process without partial over-polishing of the LCD glass by maintaining the glass holder attachment structure of the present invention and the polishing of the LCD glass by the action of the contact holder and the auxiliary base holder during the polishing process without leaving the position. Partial cross section to illustrate the principle behind.
〈 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 〉<Description of the code | symbol about the principal part of drawing>
100 ; 하부정반유닛 101 ; 엘씨디 글래스100; Lower platen unit 101; LCD Glass
102 ; 표식부 103 ; 글래스홀더102; Marker 103; Glass holder
103a ; 기초홀더 103b ; 접촉홀더103a; Foundation holder 103b; Contact holder
103c ; 보조기초홀더 103d, 103e ; 양면접착테이프103c; Auxiliary base holder 103d, 103e; Double sided adhesive tape
104 ; 이상마모영역 105 ; 부직포(NF Sheet)104; Abnormal wear zone 105; NF Sheet
110 ; 하부 정반 111 ; 하부정반 구동축110; Lower surface plate 111; Lower plate driving shaft
112 ; 연마패드 113 ; 융모부112; Polishing pad 113; Villi
114 ; 연마재 배출홈 120 ; 회전구동용 모우터114; Abrasive discharge groove 120; Rotary drive motor
121, 241 ; 감속기 130 ; 비산방지컵121, 241; Reducer 130; Shatterproof Cups
131 ; 배출통로 132 ; 배출관131; Discharge passage 132; discharge pipe
200 ; 상부정반유닛 210 ; 상부 정반200; Upper surface plate unit 210; Upper plate
220 ; 공압실린더 221 ; 승강로드220; Pneumatic cylinder 221; Lifting rod
222 ; 상부정반 승강선회축 230 ; 양방향 선회아암222; Upper plate lifting pivot 230; Two way turning arm
231 ; 양방향 선회축 232 ; 커넥팅로드231; Bidirectional pivot 232; Connecting rod
233 ; 베어링 240 ; 선회구동용 모우터233; Bearing 240; Swing Drive Motor
242 ; 기계실 하우징 300 ; 연마재 순환공급부242; Machine room housing 300; Abrasive Circulation Supply Unit
310 ; 연마재 순환탱크 320 ; 교반기310; Abrasive circulation tank 320; agitator
330 ; 펌프 331 ; 연마재 공급관330; Pump 331; Abrasive supply pipe
332 ; 분사모우터332; Injection motor
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 엘씨디 글래스용 연마장치의 글래스홀더는, 연마 대상이 되는 소정 크기의 엘씨디 글래스 및 그 둘레를 지지하는 글래스홀더가 일측면에 부착된 상부 정반과, 연마패드가 부착된 하부 정반이 상호 접촉 회전되면서 그 마찰력에 의해 상기 엘씨디 글래스를 연마하는 엘씨디 글래스용 연마장치의 글래스홀더에 있어서, 상기 글래스홀더는 상기 상부 정반의 저면과 엘씨디 글래스의 부착면 사이에서 엘씨디 글래스를 견고하게 부착시켜줄 수 있도록 된 부직포의 가장자리부가 상기 엘씨디 글래스의 가장자리부로부터 소정폭 만큼의 여유를 갖는 크기로 개재되어 있고 상기 부직포의 가장자리부로부터 소정 간격만큼 이격된 상태로 상기 부직포의 여유 표면상에서 상기 엘씨디 글래스의 가장자리 둘레를 지지하는 소정폭의 띠 형상을 이루며 상기 상부 정반 저면 상에 부착된 접촉홀더와, 상기 접촉홀더의 외측 둘레에 밀착되어 상기 접촉홀더를 지지할 수 있도록 상기 상부 정반 저면 상에 부착된 기초홀더를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.The glass holder of the LCD glass polishing apparatus according to the present invention for achieving the above object, the upper surface plate and the glass holder for supporting a predetermined size of the LCD glass and its circumference to the polishing surface, and polishing, In a glass holder of an LCD polishing apparatus for polishing the LCD by the friction force of the lower plate attached to the pad and the friction of the pad, the glass holder is between the bottom of the upper surface plate and the attachment surface of the LCD glass Free surface of the nonwoven fabric with the edge portion of the nonwoven fabric capable of firmly attaching the glass to the size having a margin of a predetermined width from the edge of the LCD glass and spaced apart from the edge portion of the nonwoven fabric by a predetermined distance. Around the edge of the LCD glass The base includes a contact holder attached to the bottom surface of the upper surface plate and has a band shape having a predetermined width, and a base holder attached to the bottom surface of the upper surface plate so as to be in close contact with the outer circumference of the contact holder to support the contact holder. Characterized in that made.
여기서, 상기 부직포는 상기 상부 및 하부 정반 간의 밀착 회전에 의한 압축도가 0.1mm의 범위 이내로 유지되는 탄성 재질인 것을 사용하고, 상기 부직포의 여유 표면 폭은 3 내지 7mm로 하는 것이 바람직하다.Herein, the nonwoven fabric may be an elastic material having a compressibility maintained by a close rotation between the upper and lower surface plates within a range of 0.1 mm, and an allowable surface width of the nonwoven fabric may be 3 to 7 mm.
또한, 상기 접촉홀더와 상부 정반의 저면 및 기초홀더 사이에는, 상기 부직포의 두께보다 얇은 보조기초홀더가 분할 개재되고, 상기 보조기초홀더의 양면에 소정두께의 양면접착테이프가 각각 부착되어 상기 부직포의 표면과 동일면 상에서 상기 접촉홀더를 접착 고정하는 것이 바람직하다.Further, an auxiliary base holder thinner than the thickness of the nonwoven fabric is interposed between the contact holder, the bottom surface of the upper plate and the base holder, and a double-sided adhesive tape having a predetermined thickness is attached to both sides of the auxiliary base holder, respectively. Preferably, the contact holder is adhesively fixed on the same surface as the surface.
특히, 상기 각 양면접착테이프의 두께는 0.1 내지 0.2mm로 하고, 상기 부직포의 두께는 0.65mm로 하여 이에 부합되도록 상기 보조기초홀더의 두께가 설정되도록 하고, 상기 보조기초홀더는 압축변형이 없는 비탄성 재질의 베이클라이트 또는 에폭시를 사용하는 것이 바람직하다.In particular, the thickness of each of the double-sided adhesive tape is 0.1 to 0.2mm, the thickness of the nonwoven fabric is 0.65mm so that the thickness of the auxiliary base holder is set to match this, the auxiliary base holder is inelastic without compression deformation Preference is given to using bakelite or epoxy in the material.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 엘씨디 글래스용 연마장치의 글래스홀더를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a glass holder of a polishing apparatus for an LCD according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명의 글래스홀더를 적용하기 위한 엘씨디 글래스용 연마장치는 특정 구조에 한정되지 않으므로, 일례로서 상기 도 1 내지 도 4에 도시된 일반적인 엘씨디 글래스용 연마장치를 기준하여 설명하겠으며, 따라서 일반적인 엘씨디 글래스용 연마장치 전반에 걸친 구조 및 작동 원리는 상기 도면을 참조하여 앞서 설명한 바와 같으므로 그 구체적인 설명을 생략하기로 한다.Since the polishing apparatus for the LCD glass for applying the glass holder of the present invention is not limited to a specific structure, it will be described based on the polishing apparatus for general LCD glass shown in FIGS. 1 to 4 as an example, and therefore, for a general LCD glass Structure and operation principle throughout the polishing apparatus is as described above with reference to the drawings will be omitted a detailed description.
상기한 도면 및 그 상세한 설명에 더하여, 도 11 내지 도 13은 상기 엘씨디 글래스용 연마장치에 적용되는 글래스홀더(103)의 구조를 설명하기 위한 것으로, 도 11은 본 발명에 따른 글래스홀더(103) 부착 구조 및 상부 정반(210)의 저면 상에 그 부착 구조를 적용한 후 상부 및 하부 정반(210)(110)이 밀착된 채로 회전할 때 이들 사이에 마찰력이 작용하더라도 엘씨디 글래스(101)가 원위치에서 이탈되지 않고 견고히 지지되는 상태를 도시한 상부 정반(210)의 저면도, 도 12는 본 발명의 글래스홀더(103) 부착 구조를 도시한 부분 단면도, 도 13은 본 발명의 글래스홀더(103) 부착 구조를 유지하며 연마공정을 진행할 때 접촉홀더(103b) 및 보조기초홀더(103c)의 작용에 의해 엘씨디 글래스(101)가 정위치를 이탈하지 않은 채로 연마됨으로써 엘씨디 글래스(101)의 부분적인 과연마없이 공정이 진행되는 원리를 설명하기 위한 부분 단면도를 각각 나타낸 것이다.In addition to the drawings and the detailed description thereof, FIGS. 11 to 13 are for explaining the structure of the glass holder 103 applied to the polishing apparatus for the LCD, and FIG. 11 is a glass holder 103 according to the present invention. After applying the attachment structure on the bottom surface of the attachment structure and the upper surface plate 210 and the upper and lower surface plate 210, 110 is rotated in close contact, even if the friction force acts between the LCD glass 101 in the original position Bottom view of the upper surface plate 210 showing a state of being firmly supported without being separated, FIG. 12 is a partial cross-sectional view showing a structure of attaching the glass holder 103 of the present invention, and FIG. 13 is attached to the glass holder 103 of the present invention. During the polishing process while maintaining the structure, the part of the LCD glass 101 is polished by the action of the contact holder 103b and the auxiliary base holder 103c to be polished without leaving the home position. Partial cross-sectional views are shown to explain the principle that the process proceeds without fail.
상기 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 글래스홀더(103)는, 연마 대상이 되는 소정 크기의 엘씨디 글래스(101) 및 그 둘레를 지지하는 글래스홀더(103)가 일측면에 부착된 상부 정반(210)과, 연마패드(112)가 부착된 하부 정반(110)이 상호 접촉 회전되면서 그 마찰력에 의해 상기 엘씨디 글래스(101)를 연마하는 엘씨디 글래스용 연마장치에 있어서, 상기 상부 정반(210)의 저면과 엘씨디 글래스(101)의 부착면 사이에서 엘씨디 글래스(101)를 견고하게 부착시켜줄 수 있도록 된 부직포(105)의 가장자리부가 상기 엘씨디 글래스(101)의 가장자리부로부터 소정폭 만큼의 여유를 갖는 크기로 개재되어 있고, 상기 부직포(105)의 가장자리부로부터 소정 간격만큼 이격된 상태로 상기 부직포의 여유 표면상에서 상기 엘씨디 글래스(101)의 가장자리 둘레를 지지하는 소정폭의 띠 형상을 이루며 상기 상부 정반(210) 저면 상에 부착된 접촉홀더(103b)와, 상기 접촉홀더(103b)의 외측 둘레에 밀착되어 상기 접촉홀더(103b)를 지지할 수 있도록 상기 상부 정반(210) 저면 상에 부착된 기초홀더(103a)로 이루어져 있다.As shown in the drawings, the glass holder 103 according to the present invention, the upper surface plate is attached to one side of the LCD glass 101 of the predetermined size to be polished and the glass holder 103 for supporting the circumference thereof (210) and the upper surface plate 210, in the polishing device for the LCD glass to polish the LCD glass 101 by the friction force while the lower surface plate 110 to which the polishing pad 112 is attached is rotated in contact with each other. An edge portion of the nonwoven fabric 105 which can firmly attach the LCD glass 101 between the bottom surface of the LCD glass and the attachment surface of the LCD glass 101 has a predetermined width from the edge of the LCD glass 101. Interposed in size and predetermined to support the circumference of the LCD glass 101 on the free surface of the nonwoven fabric in a state spaced apart from the edge portion of the nonwoven fabric 105 by a predetermined interval. A contact holder 103b having a band shape having a width and attached to the bottom surface of the upper surface plate 210 and an upper surface plate so as to be in close contact with the outer circumference of the contact holder 103b to support the contact holder 103b. (210) consists of a base holder (103a) attached on the bottom surface.
즉, 상기 엘씨디 글래스(101)를 부직포(105) 상에 부착하였을 때 상기 엘씨디 글래스(101)의 주연부 둘레에 소정 폭만큼의 부직포(105)가 노출된 상태를 이루고, 그 상부에 상기 접촉홀더(103b)가 덮어 씌워진 상태로 상기 엘씨디 글래스(101)의 둘레를 지지하게 된다.That is, when the LCD glass 101 is attached on the nonwoven fabric 105, the nonwoven fabric 105 is exposed to the periphery of the LCD glass 101 by a predetermined width, and the contact holder is formed on the upper portion of the LCD glass 101. 103b) supports the circumference of the LCD glass 101 in a covered state.
상기 부직포(105)는 상기 상부 및 하부 정반(210)(110) 간의 밀착 회전에 의한 압축도가 0.1mm의 범위 이내로 유지되는 탄성 재질로 이루어지고, 상기 부직포(105)의 여유 표면 폭은 3 내지 7mm 이내로 하되, 바람직하게는 5mm 정도가 이상적이다.The nonwoven fabric 105 is made of an elastic material in which the compressibility due to close rotation between the upper and lower surface plates 210 and 110 is maintained within a range of 0.1 mm, and the allowable surface width of the nonwoven fabric 105 is 3 to Within 7 mm, preferably about 5 mm is ideal.
상기 접촉홀더(103b)는 상기 부직포(105)의 여유 표면상에 얹혀지도록 단턱을 형성하여 양면접착테이프(103d)로 상부 정반(210)의 저면 쪽에 부착하고, 그 외측 둘레를 기초홀더(103a)로 지지하도록 분할 배치할 수도 있으나, 이러한 구조는 접촉홀더(103b)에 단턱을 형성하기 위한 별도의 가공 작업이 이뤄져야 하므로 다소의 번거로움이 수반된다.The contact holder 103b forms a step so as to rest on the free surface of the nonwoven fabric 105, and attaches it to the bottom surface of the upper surface plate 210 with a double-sided adhesive tape 103d, and the outer circumference of the base holder 103a. Although it may be arranged to be divided so as to support, this structure is accompanied by some inconvenience because a separate machining operation to form a step in the contact holder (103b) must be made.
이러한 점을 감안하여, 상기 접촉홀더(103b)와 상부 정반(210)의 저면 및 기초홀더(103a) 사이에 상기 부직포(105)의 표면 위치와 동일면을 유지하여 편마모가 발생하지 않도록 적정한 두께로 별개의 보조기초홀더(103c)를 분할 개재하되, 상기 부직포(105)의 둘레로부터 미세 간격만큼 이격된 상태로, 소정 두께, 즉, 0.2mm의 양면접착테이프(103d)를 사용하여 상부 정반(210) 저면 상에 부착하고, 상기 보조기초홀더(103c) 표면상에도 소정 두께, 즉, 0.1mm의 양면접착테이프(103e)를 개재하여 그 상부로 상기 접촉홀더(103b)가 접착 고정되도록 하는 이중 적층 구조로 구성함이 바람직하다. 여기서, 상기 접촉홀더(103b)의 폭은 대략 60mm 정도로 설정한다.In view of this, the surface of the nonwoven fabric 105 is maintained between the contact holder 103b and the lower surface of the upper surface plate 210 and the base holder 103a so as to have a uniform thickness so as not to cause uneven wear. While interposing the sub-base holder (103c) of the upper surface plate 210 using a double-sided adhesive tape (103d) of a predetermined thickness, that is, 0.2mm in a state spaced apart from the circumference of the nonwoven fabric 105 by a fine interval It is attached to the bottom surface, and a double laminated structure to the contact holder (103b) is fixed to the upper portion of the auxiliary base holder (103c) on the surface via a double-sided adhesive tape (103e) of a predetermined thickness, that is, 0.1mm It is preferable to comprise. Here, the width of the contact holder 103b is set to about 60mm.
상기 보조기초홀더(103c)는 상기 접촉홀더(103b)에 비해 폭을 적게 함으로써 자연스럽게 단턱을 형성할 수 있고, 접촉홀더(103b)의 마모 후 교체시 상기 접촉홀더(103b)만 제거 또는 접착시키면 되므로 보수관리에 소요되는 시간을 현저히 단축시킬 수 있을 뿐만 아니라 작업 자체가 매우 간편하다.The auxiliary base holder 103c can form a step naturally by making the width smaller than the contact holder 103b, and only remove or bond the contact holder 103b when replacing the contact holder 103b after abrasion. Not only can the time required for maintenance be significantly reduced, but the work itself is very simple.
여기서, 상기 보조기초홀더(103c)와 접촉홀더(103b) 사이에 개재되는 상기 양면접착테이프(103e)의 두께에 변화를 주어 그 두께만큼 상기 접촉홀더(103b)와 부직포(105)의 가장자리부 여유 표면 간의 미세 간격을 원하는 크기로 유지할 수 있으며, 그 간격은 상기 부직포(105)의 압축변형을 감안하여 0 내지 0.05mm 이내로 유지하는 것이 적당하다.Here, the thickness of the double-sided adhesive tape 103e interposed between the auxiliary base holder 103c and the contact holder 103b is changed to allow margin of edge portions of the contact holder 103b and the nonwoven fabric 105 by the thickness thereof. The fine spacing between the surfaces can be maintained at a desired size, and the spacing is appropriately maintained within 0 to 0.05 mm in view of the compression deformation of the nonwoven fabric 105.
즉, 상기 보조기초홀더(103c)는 압축변형이 없는 비탄성 재질의 베이클라이트 또는 에폭시로 이루어지므로, 예컨대 상기 부직포(105)의 두께가 0.65mm일 때 상기 각 양면접착테이프(103d)(103e) 두께의 합을 고려하여 이에 부합되도록 상기 보조기초홀더(103c)의 두께를 0.35mm 정도로 설정함으로써 상부 및 하부 정반(210)(110) 간의 가압력에 의한 엘씨디 글래스(101)의 파손 및 미연마 현상을 방지할 수 있게 된다.That is, since the auxiliary base holder 103c is made of bakelite or epoxy made of inelastic material without compression deformation, for example, when the thickness of the nonwoven fabric 105 is 0.65 mm, the thickness of each of the double-sided adhesive tapes 103d and 103e is increased. By considering the sum to set the thickness of the auxiliary base holder (103c) to about 0.35mm to prevent it from damage and unpolishing phenomenon of the LCD glass 101 by the pressing force between the upper and lower surface plate (210,110) It becomes possible.
결국, 상기 접촉홀더(103b)는 엘씨디 글래스(101)보다 대략 0.5mm 정도 작은 두께를 유지하면서 그 가장자리부를 지지함으로써 상기 접촉홀더(103b)의 선단부가 마모되더라도 상기 엘씨디 글래스(101)가 그 마모된 부위로 밀려 올라가는 현상이 발생하지 않게 되고, 따라서 종전 구조에서와 같이 엘씨디 글래스(101)의 네 모서리부가 과연마되지 않으므로 공정상의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 것이다.As a result, the contact holder 103b supports the edge portion of the contact holder 103b while maintaining the thickness about 0.5 mm smaller than that of the LCD glass 101, even though the front end portion of the contact holder 103b is worn. The phenomenon of pushing up to the site does not occur, and thus, since the four corners of the LCD glass 101 are not over-polishing as in the conventional structure, the reliability in the process can be improved.
이상에서와 같이 본 발명에 따른 엘씨디 글래스용 연마장치의 글래스홀더에 의하면, 상기 글래스홀더의 구조를 다중 분할 접착방식으로 개량함으로써 상부 및 하부 정반의 접촉 회전시에 발생하는 마찰력에 의해 엘씨디 글래스가 정위치로부터 이탈되면서 그 가장자리부 일부에 나타나는 이상마모(과연마) 현상을 해소하고, 글래스홀더의 편마모에 의한 잦은 교체 작업에 따른 공정 지연을 방지하여 생산성 및 장비 가동률을 향상시킬 수 있으며, 제품의 불량률을 현저히 저감시킬 수 있음은 물론이고, 마모된 부위만의 탈, 부착이 가능하여 글래스홀더의 교체 작업이 용이하며, 이에 따른 비용절감 효과도 도모할 수 있는 이점이 있다.As described above, according to the glass holder of the polishing apparatus for LCD glass according to the present invention, by improving the structure of the glass holder in the multi-part adhesive method, the LCD glass is fixed by the friction force generated during contact rotation of the upper and lower surface plates. It eliminates abnormal abrasion (over-abrasive) phenomenon on the part of the edge as it is separated from the position, and improves productivity and equipment utilization rate by preventing the process delay caused by frequent replacement work due to uneven wear of the glass holder. Of course, it is possible to significantly reduce, as well as the removal and attachment of only the worn part is easy to replace the glass holder, there is an advantage that can reduce the cost accordingly.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 실시예를 기준하여 설명되어 있으나 이는 예시적인 것이라 할 수 있고, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시예들을 생각해 낼 수 있으므로 이러한 균등한 실시예들 또한 본 발명의 특허청구범위 내에 포함되는 것으로 보아야 함은 극히 당연한 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 결정되어야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments illustrated in the accompanying drawings, this may be regarded as exemplary, and those skilled in the art may conceive various modifications and equivalent embodiments therefrom. It should be understood that such equivalent embodiments are also included within the claims of the present invention. Therefore, the true scope of protection of the present invention should be determined only by the appended claims.
Claims (6)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2001-0011469A KR100396435B1 (en) | 2001-03-06 | 2001-03-06 | Glass holder of polishing machine for LCD glass |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2001-0011469A KR100396435B1 (en) | 2001-03-06 | 2001-03-06 | Glass holder of polishing machine for LCD glass |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20010044553A true KR20010044553A (en) | 2001-06-05 |
KR100396435B1 KR100396435B1 (en) | 2003-09-03 |
Family
ID=19706525
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR10-2001-0011469A KR100396435B1 (en) | 2001-03-06 | 2001-03-06 | Glass holder of polishing machine for LCD glass |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100396435B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100741658B1 (en) * | 2002-08-14 | 2007-07-23 | 미쯔이가가꾸가부시끼가이샤 | Heat-sensitive recording material |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06304859A (en) * | 1993-04-22 | 1994-11-01 | Speedfam Co Ltd | Carrier and manufacture thereof for surface polishing machine |
KR100310995B1 (en) * | 1998-09-03 | 2002-07-08 | 주식회사 엔에스피 | Abrasive blasting machine for glass panel |
JP2000127009A (en) * | 1998-10-22 | 2000-05-09 | Nippon Electric Glass Co Ltd | Polishing device for plate |
JP2000288922A (en) * | 1999-03-31 | 2000-10-17 | Hoya Corp | Polishing carrier, polishing method and manufacture of information recording medium substrate |
-
2001
- 2001-03-06 KR KR10-2001-0011469A patent/KR100396435B1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100741658B1 (en) * | 2002-08-14 | 2007-07-23 | 미쯔이가가꾸가부시끼가이샤 | Heat-sensitive recording material |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100396435B1 (en) | 2003-09-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6402588B1 (en) | Polishing apparatus | |
US7371156B2 (en) | Off-line tool for breaking in multiple pad conditioning disks used in a chemical mechanical polishing system | |
KR100449630B1 (en) | Apparatus for conditioning a polishing pad used in a chemical-mechanical polishing system | |
KR20100130557A (en) | Double-side polishing apparatus and method for polishing both sides of wafer | |
KR20040091626A (en) | Chemical Mechanical Polishing Apparatus and Method having a Retaining Ring with a Contoured Surface for Slurry Distribution | |
KR100396435B1 (en) | Glass holder of polishing machine for LCD glass | |
JP2005224892A (en) | Polishing method | |
JP3045966B2 (en) | Polishing apparatus and method | |
KR20010000504A (en) | Polishing machine for LCD glass | |
JPH10286769A (en) | Polishing device | |
JPH11333677A (en) | Polishing device for substrate | |
JP2004154919A (en) | Grinding cloth and single-side grinding method using the same | |
JP4582971B2 (en) | Polishing equipment | |
CN213615884U (en) | Grinding machine for cylinder head plane | |
CN101015910A (en) | Abrasive disc | |
CN212145977U (en) | Novel elastic grinding block | |
CN1618571B (en) | Backing plate for grinding tool | |
JP2005125420A (en) | Dressing method for grinding tool of continuous grinder | |
KR100897677B1 (en) | Carrier palte in double side polishing apparatus for substrate | |
CN114871941A (en) | Polishing head and polishing machine | |
JPH11333696A (en) | Polishing device and polishing method | |
KR20170035648A (en) | Glass polisher | |
KR20000018555A (en) | Polishing device for glass panel | |
JP2004327577A (en) | Semiconductor wafer grinder | |
TW201328818A (en) | Glass plate-polishing device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20120821 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130819 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140821 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150820 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160818 Year of fee payment: 14 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |