KR20010040005A - 유전체 배리어 방전 램프 장치 - Google Patents

Abstract

유전체 배리어 방전 램프의 방전 용기가 축방향으로 길어져도, 방전 용기의 휨이 발생하지 않아, 피처리물 상의 조도 분포를 균일하게 할 수 있고, 또한 유전체 배리어 방전 램프 장치에 진동이 가해져도, 유전체 배리어 방전 램프의 흔들림을 방지할 수 있어 방전 용기가 파손되지 않는다.

케이싱(1) 내에 유전체 배리어 방전 램프(2)가 배치된 유전체 배리어 방전 램프 장치에 있어서, 유전체 배리어 방전 램프(2)는 유전체 배리어 방전의 유전체를 겸하는 외형 형상이 가늘고 긴 방전 용기(3)를 통해 한쪽 전극과 다른쪽 전극이 설치되어 있고, 유전체 배리어 방전 램프(2)의 일단측에만 한쪽 전극과 다른쪽 전극에 전기적으로 접속된 급전 부분을 갖는 마우스 피스(5)가 설치되어 있고, 유전체 배리어 방전 램프(2)의 타단측인 방전 용기(3)의 선단부(3a)는 케이싱(1) 내에 설치된 유지 부재(6)에 의해 유지되어 있는 것을 특징으로 한다.

Description

유전체 배리어 방전 램프 장치{Dielectric barrier discharge lamp device}

본 발명은 케이싱 내에 유전체 배리어 방전 램프가 배치된 유전체 배리어 방전 램프 장치에 관한 것이다.

종래부터 도 1에 나타낸 바와 같은 유전체 배리어 방전 램프가 알려져 있다.

유전체 배리어 방전 램프(2)는 유전체 배리어 방전의 유전체를 겸하는 외형 형상이 가늘고 긴 방전 용기(3)를 갖고 있고, 이 방전 용기(3)는 내측관(3a)과 외측관(3b)으로 이루어지는 중공 원통상이며, 외측관(3b)의 외표면에 한쪽의 그물상 전극(40)이 설치되어 있고, 내측관(3a)의 외측표면에 다른쪽의 전극(41)이 설치되어 있다. 그리고, 이 유전체 배리어 방전 램프(2)의 일단측에만 한쪽 전극(40)과 전기적으로 접속하고 글랜드에 접속된 급전 부분(50)과, 다른쪽 전극(41)에 전기적으로 접속하고 마이너스 하이볼트를 인가하는 급전 부분(51)을 갖는 마우스 피스(5)가 설치되어 있다.

그리고, 이러한 유전체 배리어 방전 램프(2)는 도 2에 나타낸 바와 같이, 그 일단측의 마우스 피스(5)를 케이싱(1)에 고정함으로써, 유전체 배리어 방전 램프(2)를 케이싱(1) 내에 배치하는 것이다. 즉, 유전체 배리어 방전 램프(2)의 타단측은 케이싱(1) 내에서 자유로운 상태로 되어 있다.

또한, 7은 케이싱에 부착된 유전체 배리어 방전 램프로부터 방사된 광을 취출하는 창 부재이다.

그러나, 이러한 유전체 배리어 방전 램프 장치에서는 이하와 같은 문제가 있었다.

도 2를 사용하여 설명하면, 액정 기판 등의 피처리물(W)의 대형화에 대응하도록, 유전체 배리어 방전 램프(2)의 방전 용기(3)가 축방향으로 길어짐에 따라, 방전 용기(3)의 자중으로 방전 용기(3)의 휨이 발생하여, 자유로운 상태인 유전체 배리어 방전 램프(2)의 타단측 발광부인 방전 용기(3)와 그 부분과 대향하는 피처리물(W)의 이간 거리(H1)가, 마우스 피스(5)측의 발광부인 방전 용기(3)와 그 부분과 대향하는 피처리물의 이간 거리(H2)에 비해 짧아지는 현상이 발생했다.

그 결과, 피처리물 상의 조도 분포가 고르지 않게 되어 피처리물을 균일하게 적절한 상태로 처리할 수 없었다.

또, 유전체 배리어 방전 램프 장치에 진동이 가해진 경우, 유전체 배리어 방전 램프(2)는 케이싱(1)에 고정되어 있는 마우스 피스(5)를 지점으로 하여, 마우스 피스(5)와 반대측의 자유로운 상태인 타단측이 크게 흔들려, 마우스 피스(5)측의 방전 용기(3)가 파손되는 문제가 있었다.

본 발명은 이상과 같은 사정에 기초하여 이루어진 것으로서, 그 목적은 유전체 배리어 방전 램프의 방전 용기가 축방향으로 길어져도, 방전 용기의 휨이 발생하지 않아 피처리물 상의 조도 분포를 균일하게 할 수 있고, 또한 유전체 배리어 방전램프 장치에 진동이 가해져도 유전체 배리어 방전 램프의 흔들림을 방지할 수 있어, 방전 용기가 파손되지 않는 유전체 배리어 방전 램프 장치를 제공하는 것에 있다.

도 1은 종래의 유전체 배리어 방전 램프 장치의 설명도,

도 2는 종래 및 본 발명의 유전체 배리어 방전 램프 장치에 이용되는 유전체 배리어 방전 램프의 설명도,

도 3은 본 발명의 유전체 배리어 방전 램프 장치의 설명도,

도 4는 본 발명의 유전체 배리어 방전 램프를 유지하는 유지 부재의 설명도,

도 5는 본 발명의 유전체 배리어 방전 램프를 유지하는 유지 부재의 다른 예를 나타낸 설명도,

도 6은 본 발명의 유전체 배리어 방전 램프를 유지하는 유지 부재의 다른 예를 나타낸 설명도이다.

〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉

1 … 케이싱 2 … 유전체 배리어 방전 램프

3 … 방전 용기 40 … 전극

41 … 전극 5 … 마우스 피스

6 … 유지 부재

청구항 1에 기재된 유전체 배리어 방전 램프 장치는, 케이싱 내에 유전체 배리어 방전 램프가 배치된 유전체 배리어 방전 램프 장치에 있어서, 상기 유전체 배리어 방전 램프는 유전체 배리어 방전의 유전체를 겸하는 외형 형상이 가늘고 긴 방전 용기를 통해 한쪽 전극과 다른쪽 전극이 설치되어 있고, 상기 유전체 배리어 방전 램프의 일단측에만 한쪽 전극과 다른쪽 전극에 전기적으로 접속된 급전 부분을 갖는 마우스 피스가 설치되어 있고, 상기 유전체 배리어 방전 램프의 타단측인 방전 용기의 선단부는 상기 케이싱 내에 설치된 유지 부재에 의해 유지되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 2에 기재된 유전체 배리어 방전 램프 장치는, 제 1항에 기재된 유전체 배리어 방전 램프로서, 특히 상기 유지 부재는 상기 방전 용기의 선단부에 접하는 접촉 유지부와 상기 접촉 유지부에 일단이 고정되고 타단이 케이싱에 고정된 탄성부로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

청구항 3에 기재된 유전체 배리어 방전 램프 장치는, 제 1항에 기재된 유전체 배리어 방전 램프로서, 특히 상기 유지 부재는 나선상 스프링 부재로 이루어지고,상기 스프링 부재는 일단측의 스프링 내경이 상기 방전 용기의 외경보다 크고, 상기 스프링 부재의 일단측이 상기 방전 용기의 선단부의 외주에 접함과 동시에, 타단측이 케이싱에 고정되어 있고, 스프링 부재의 일단측으로부터 타단측을 향해 나선경이 연속적으로 작아져 있는 것을 특징으로 한다.

도 3은 본 발명의 유전체 배리어 방전 램프 장치의 설명도이다.

본 발명의 유전체 배리어 방전 램프 장치에 장착되어 있는 유전체 배리어 방전 램프(2)는 도 1에 나타낸 유전체 배리어 방전 램프와 동일한 것이며, 한쪽 전극과 전기적으로 접속하여 글랜드에 접속된 급전 부분(50)과, 다른쪽 전극과 전기적으로 접속하여 마이너스 하이볼트가 인가되는 급전 부분(51)을 갖는 마우스 피스(5)가 설치되어 있다.

케이싱(1) 내에 장착된 유전체 배리어 방전 램프(2)는 나사 또는 끼우기 등 적절한 수단에 의해, 일단측에 설치된 마우스 피스(5)가 케이싱(1)의 측면에 고정되고, 유전체 배리어 방전 램프(2)의 방전 용기(3)가 케이싱(1)의 내측을 향해 이어져 있고, 타단측인 방전 용기(3)의 선단부(3a)가 케이싱(1) 내에 설치된 유지 부재(6)에 의해 유지되어 있다.

또한, 도 2와 동일 부호는 동일 부분을 나타낸다.

그 결과, 방전 용기(3)의 선단부(3a)를 유지 부재(6)로 유지하고 있으므로, 방전 용기(3)의 자중에 의한 휨을 방지할 수 있고, 유전체 배리어 방전 램프(2)의 발광부인 방전 용기(3)는 어느 위치에서도 피처리물과의 이간 거리를 일정하게 유지할 수 있으므로, 피처리물 상의 조도 분포를 균일하게 할 수 있어, 적절한 상태로 피처리물을 처리할 수 있다.

또한, 유전체 배리어 방전 램프 장치에 진동이 가해져도, 유전체 배리어 방전 램프(2)는 일단측의 마우스 피스(5)가 케이싱(1) 내에 고정되고, 타단측의 방전 용기(3)의 선단부(3a)가 유지 부재(6)로 유지되어 있으므로, 유전체 배리어 방전 램프(2)의 흔들림을 방지할 수 있어 방전 용기(3)가 파손되지 않는다.

도 4는 유지 부재의 상세한 설명도이다.

유지 부재(6)는 일단측이 케이싱(1)의 내면에 고정되고, 타단측에 방전 용기(3)의 선단부(3a)에 접하는 접촉 유지부(61)를 갖는 것이다.

접촉 유지부(61)는 방전 용기(3)의 선단부(3a)를 향해 내경이 커지도록 테이퍼상으로 되어 있는 것이며, 케이싱(1) 내에 유전체 배리어 방전 램프(2)를 삽입하여 배치하는 경우, 이 테이퍼가 방전 용기(3)의 선단부(3a)를 접촉 유지부(61)에 확실하게 안내하는 역할을 하는 것이다.

도 5는 유지 부재의 다른 예를 나타낸 설명도이다.

유지 부재(6)는 방전 용기(3)의 선단부(3a)에 접하는 접촉 유지부(61a)와, 이 접촉 유지부(61a)에 일단이 고정되고 타단이 케이싱(1)의 내면에 고정된 탄성 부재(61b)로 이루어지는 것이다.

탄성 부재(61b)는 본 실시예에 있어서는 코일상의 스프링을 사용하고 있으나, 판스프링이어도 되고, 중요한 것은 접촉 유지부(61a)를 방전 용기(3)의 선단부(3a) 방향으로 압압하는 역할을 하는 것이면 어떠한 탄성 부재라도 된다.

이렇게, 접촉 유지부(61a)를 방전 용기(3)의 선단부(3a) 방향으로 압압하여 방전 용기(3)를 유지하는 구조이므로, 방전 용기(3)의 선단부(3a)와 접촉 유지부(61)의 위치 관계(이간 위치 관계)를 정확하게 결정할 필요가 없고, 유전체 배리어 방전 래프(2)를 케이싱(1) 내에 삽입하여 마우스 피스(5)를 케이싱(1)에 고정하는 경우, 케이싱(1) 내에 수용되는 유전체 배리어 방전 램프(2)의 길이 방향의 엄밀한 위치 맞춤을 필요로 하지 않아, 간단한 구조로 용이하고 게다가 확실하게 방전 용기(3)의 선단부(3a)를 유지 부재(6)로 유지할 수 있다.

또, 유지 부재(6)의 탄성 부재(61b)에 의해, 유전체 배리어 방전 램프 장치에 가해진 진동을 효과적으로 흡수할 수 있으므로, 유전체 배리어 방전 램프(2)의 흔들림을 확실하게 방지할 수 있어 방전 용기(3)가 파손되지 않는다.

도 6은 유지 부재의 다른 예를 나타낸 설명도이다.

유지 부재(6)는 나선상 스프링 부재(61c)로 이루어지고, 이 스프링 부재(61c)의 일단이 방전 용기(3)에 접하고, 타단이 케이싱(1)의 내면에 고정되어 있다.

상세하게 설명하면, 유지 부재(6)인 나선상 스프링 부재(61c)는 방전 용기(3)의 선단부(3a) 방향의 일단측의 스프링 내경이 방전 용기(3)의 외경보다 약간 크게 되어 있고, 방전 용기(3)의 선단부(3a)의 외주에 스프링 부재(61c)의 일단측이 접해 있다. 또, 스프링 부재(61c)의 타단측은 케이싱(1)의 내면에 고정되어 있고, 스프링 부재(61c)는 방전 용기(3)의 선단부(3a)의 외주에 접하는 일단측으로부터 케이싱(1)에 고정되는 타단측에 걸쳐 나선경이 연속적으로 작아져 있다.

이렇게, 나선경이 연속적으로 작아짐으로써, 스프링 부재(61c) 전체에서 테이퍼 구조로 되어 있으므로, 케이싱(1) 내에 유전체 배리어 방전 램프(2)를 삽입하여 배치하는 경우, 방전 용기(3)의 선단부(3a)를 테이퍼를 따라 확실하게 안내할 수 있어, 스프링 부재(61c)에 의해 확실하게 방전 용기(3)의 선단부(3a)를 유지할 수 있다.

또, 스프링 부재(61c)의 탄성 작용에 의해, 유전체 배리어 방전 램프 장치에 가해진 진동을 효과적으로 흡수할 수 있으므로, 유전체 배리어 방전 램프(2)의 흔들림을 확실하게 방지할 수 있어 방전 용기(3)가 파손되지 않는다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 유전체 배리어 방전 램프 장치에 의하면, 케이싱 내에 배치된 유전체 배리어 방전 램프는 일단측에 설치된 마우스 피스가 케이싱에 고정되고, 유전체 배리어 방전 램프의 방전 용기가 케이싱의 내측을 향해 이어지고, 타단측인 방전 용기의 선단부가 케이싱 내에 설치된 유지 부재에 의해 유지되어 있으므로, 방전 용기의 자중에 의한 휨을 방지할 수 있고, 유전체 배리어 방전 램프(2)의 발광부인 방전 용기는 어느 위치에서도 피처리물과의 이간 거리를 일정하게 유지할 수 있으므로, 피처리물 상의 조도 분포를 균일하게 할 수 있어 적절한 상태로 피처리물을 처리할 수 있다.

또한, 유전체 배리어 방전 램프 장치에 진동이 가해져도, 유전체 배리어 방전 램프는 일단측의 마우스 피스가 케이싱에 고정되고, 타단측 방전 용기의 선단부가 유지 부재로 유지되어 있으므로, 유전체 배리어 방전 램프의 흔들림을 방지할 수 있어 방전 용기가 파손되지 않는다.

Claims (3)

1. 케이싱 내에 유전체 배리어 방전 램프가 배치된 유전체 배리어 방전 램프 장치에 있어서,

   상기 유전체 배리어 방전 램프는 유전체 배리어 방전의 유전체를 겸하는 외형 형상이 가늘고 긴 방전 용기를 통해 한쪽 전극과 다른쪽 전극이 설치되어 있고,

   상기 유전체 배리어 방전 램프의 일단측에만 한쪽 전극과 다른쪽 전극에 전기적으로 접속된 급전 부분을 갖는 마우스 피스가 설치되어 있고,

   상기 유전체 배리어 방전 램프의 타단측인 방전 용기의 선단부는 상기 케이싱 내에 설치된 유지 부재에 의해 유지되어 있는 것을 특징으로 하는 유전체 배리어 방전 램프 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 유지 부재는 상기 방전 용기의 선단부에 접하는 접촉 유지부와 상기 접촉 유지부에 일단이 고정되고 타단이 케이싱에 고정된 탄성부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유전체 배리어 방전 램프 장치.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 유지부재는 나선상 스프링 부재로 이루어지고,

   상기 스프링 부재는 일단측의 스프링 내경이 상기 방전 용기의 외경보다 크고, 상기 스프링 부재의 일단측이 상기 방전 용기의 선단부의 외주에 접함과 동시에, 타단측이 케이싱에 고정되어 있고, 스프링 부재의 일단측으로부터 타단측을 향해 나선경이 연속적으로 작아져 있는 것을 특징으로 하는 유전체 배리어 방전 램프 장치.