KR20010036678A - Apparatus for opening and closing the door of wafer pod - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 소자의 제조에 사용되는 웨이퍼를 보관 및 운반하기 위한 웨이퍼용 퍼드(Pod)의 도어를 개폐하는 도어개폐장치에 관한 것으로, 상세하게는 도어 개폐시의 오작동을 방지할 수 있도록 된 웨이퍼용 퍼드의 도어개폐장치에 관한 것이다.The present invention relates to a door opening and closing device for opening and closing a door of a wafer pod for storing and transporting a wafer used in the manufacture of a semiconductor device, and more particularly, a wafer capable of preventing a malfunction in opening and closing the door. It relates to a door opening and closing device of the ford.
일반적으로 반도체 소자 제조공정의 진행 중에 공정 대상물인 반도체 웨이퍼는 반도체 제조장치와 장치간 또는 일정한 장소 사이를 빈번히 이동하게 되며, 이를 위해 반도체 웨이퍼를 보관하거나 운반하는 장치가 사용된다. 한편, 최근의 반도체 소자는 업-그레이드(up-grade)에 의한 칩의 크기 증가에 따라 그 생산량을 증대시키기 위해 종래의 8인치 웨이퍼에서 12인치 웨이퍼로의 전환이 시도되고 있다.In general, during the semiconductor device manufacturing process, a semiconductor wafer, which is a process object, frequently moves between a semiconductor manufacturing apparatus and a device or between a predetermined place, and an apparatus for storing or transporting a semiconductor wafer is used for this purpose. On the other hand, in recent years, the semiconductor device has been attempted to switch from a conventional 8 inch wafer to a 12 inch wafer in order to increase the yield as the size of the chip increases due to up-grade.
이와 같은 웨이퍼의 크기 증대에 따라 12인치 웨이퍼의 보관 및 운반을 위한 장치로서 전면 개방형 통합 퍼드(FOUP, Front Open Unified Pod, 이하 퍼드라 한다.)가 개발되어 사용되고 있다. 상기 퍼드는 웨이퍼의 보관 및 운반을 동시에 행할 수 있도록 되어 있으며, 또한 먼지나 화학가스 등 외부의 이물질에 의한 웨이퍼의 오염을 방지하기 위해 밀폐된 구조를 갖도록 되어 있다. 따라서, 상기 퍼드의 전면부에는 개구부가 형성되고, 상기 개구부에는 도어가 설치되며, 상기 도어를 열고 닫기 위한 도어 개폐장치가 마련된다. 상기 도어 개폐장치는 공정진행중 자동적으로 작동하여 상기 도어를 열고 닫도록 되어 있다.As the size of the wafer increases, a front open unified pod (FOUP) is developed and used as a device for storing and transporting a 12-inch wafer. The pod is capable of carrying and storing the wafer at the same time, and has a closed structure in order to prevent contamination of the wafer by foreign matter such as dust or chemical gas. Therefore, an opening is formed in the front portion of the pod, a door is installed in the opening, and a door opening and closing device for opening and closing the door is provided. The door opening and closing device is automatically operated during the process to open and close the door.
이하에서는, 종래의 웨이퍼용 퍼드와 도어개폐장치에 대하여 도면을 참조하면서 구체적으로 설명하기로 한다.Hereinafter, a conventional wafer pod and door opening and closing device will be described in detail with reference to the drawings.
도 1은 종래의 12인치 웨이퍼용 퍼드와 도어개폐장치를 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 도어개폐장치를 퍼드측에서 본 사시도이며, 도 3은 도 1에 도시된 도어의 내부에 설치된 도어로킹장치를 도시한 사시도이다.FIG. 1 is a perspective view schematically illustrating a conventional 12-inch wafer pad and a door opening and closing device, FIG. 2 is a perspective view of the door opening and closing device shown in FIG. 1 from a pod side, and FIG. 3 is a door shown in FIG. Is a perspective view showing a door locking device installed in the interior thereof.
도 1 내지 도 3을 함께 참조하면, 종래의 웨이퍼용 퍼드(100)는 그 내부에 웨이퍼(10)를 수납하도록 되어 있으며 그 일측면에 개구부(111)가 형성된 하우징(110)과, 상기 하우징(110)의 개구부(111)에 설치되는 도어(120)로 구성된다. 그리고, 상기 도어(120)를 열고 닫기 위한 도어개폐장치는 개폐작동시 상기 도어(120)와 결합되는 오프너(Opener, 200)와, 도시되지 않았지만 상기 오프너(200)를 전후이동 및 승강시키기 위한 수단을 구비한다.1 to 3 together, the conventional wafer pod 100 is configured to accommodate the wafer 10 therein, the housing 110 having an opening 111 formed on one side thereof, and the housing ( The door 120 is installed in the opening 111 of the 110. The door opening and closing device for opening and closing the door 120 includes an opener 200 coupled to the door 120 during opening and closing operation, and a means for moving the lifter 200 back and forth, although not shown. It is provided.
상기 하우징(110)의 내부 벽면에는 다수의 웨이퍼(10)를 지지하기 위해서 다수의 웨이퍼 지지홈(112)이 형성되어 있다. 상기 도어(120)는 상기 하우징(110) 내부를 밀폐하기 위한 것으로 하우징(110)의 전면 개구부(111)에 착탈 가능하도록 설치된다.A plurality of wafer support grooves 112 are formed on the inner wall of the housing 110 to support the plurality of wafers 10. The door 120 is to seal the inside of the housing 110 and is detachably installed at the front opening 111 of the housing 110.
그리고, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 도어(120)를 상기 하우징(110)의 개구부(111)에 로킹시키기 위한 도어로킹장치가 상기 도어(120)의 좌측과 우측에 마련된다. 상기 도어로킹장치는 도어(120)의 내부에 회전가능하도록 설치되는 회전판(121)과, 상기 회전판(121)의 중심부에 마련되는 키홈(122)과, 상기 회전판(121)에 그 일단부가 각각 연결되고 그 타단부는 각각 도어(120)의 상부와 하부를 향하도록 설치되는 두 개의 로킹바(123a, 123b)로 구성된다. 상기 도어(120)의 상면과 하면에는 상기 로킹바(123a, 123b)의 타단부가 출입할 수 있도록 로킹바출입구(124a, 124b)가 마련되며, 상기 하우징(110)의 개구부(111) 내측 상하 벽면에는 상기 로킹바(123a, 123b)의 타단부가 끼워지는 로킹홈(113)이 마련된다. 그리고, 도어개폐장치의 오프너(200)에는 상기 키홈(122)에 삽입되어 회전판(121)을 회전시키기 위한 키(225)가 마련되며, 상기 도어(120)의 전면에는 상기 키홈(122)으로 상기 키(225)가 삽입될 수 있도록 키삽입구(125)가 마련된다.3, door locking devices for locking the door 120 to the opening 111 of the housing 110 are provided on the left and right sides of the door 120. The door locking device has a rotary plate 121 rotatably installed inside the door 120, a key groove 122 provided at the center of the rotary plate 121, and one end thereof connected to the rotary plate 121. And the other end is composed of two locking bars (123a, 123b) are installed to face the upper and lower portions of the door 120, respectively. Locking bar entrances 124a and 124b are provided on the upper and lower surfaces of the door 120 to allow the other ends of the locking bars 123a and 123b to enter and exit, and the upper and lower sides of the opening 111 of the housing 110. A locking groove 113 into which the other ends of the locking bars 123a and 123b are fitted is provided on the wall surface. In addition, the opener 200 of the door opening and closing device is provided with a key 225 inserted into the key groove 122 to rotate the rotating plate 121, and the front of the door 120 is the key groove 122. The key insertion hole 125 is provided so that the key 225 can be inserted.
이와 같이 구성되는 상기 도어로킹장치는 아래와 같이 작동하게 된다. 상기 키(225)가 상기 키삽입구(125)를 통해 상기 키홈(122)에 삽입되어 상기 회전판(121)을 시계방향으로 회전시키게 되면, 상기 로킹바(123a, 123b)의 타단부는 상기 로킹바출입구(124a, 124b)를 통해 도어(120)의 외부로 돌출되어 상기 로킹홈(113)에 끼워짐으로써 도어(120)는 하우징(110)에 장착된 상태로 로킹된다. 이와 반대로 상기 키(225)가 상기 회전판(121)을 반시계방향으로 회전시키게 되면, 상기 로킹바(123a, 123b)의 타단부는 도어(120) 내부로 몰입되어 로킹 상태가 해제되므로 상기 도어(120)를 열 수 있게 된다.The door locking device configured as described above is operated as follows. When the key 225 is inserted into the key groove 122 through the key insertion hole 125 to rotate the rotating plate 121 in the clockwise direction, the other ends of the locking bars 123a and 123b are the locking bar. The door 120 is locked to the housing 110 by being protruded to the outside of the door 120 through the entrances 124a and 124b and fitted into the locking groove 113. On the contrary, when the key 225 rotates the rotating plate 121 in the counterclockwise direction, the other ends of the locking bars 123a and 123b are immersed in the door 120 and the locked state is released to the door ( 120) can be opened.
한편, 상기 도어개폐장치의 오프너(200)로 상기 도어(120)를 열고 닫을 때 상기 도어(120)의 흔들림을 방지하기 위한 도어지지수단이 마련된다. 상기 도어지지수단은 상기 도어(120)의 전면에 마련된 지지바삽입구(126a, 126b)와, 상기 오프너(200)의 상기 도어(120)의 전면과 마주보는 면에 돌출되도록 설치되는 도어지지바(226a, 226b)를 구비한다. 상기 지지바삽입구(126a, 126b)는 통상 소정 간격을 두고 두 개가 마련되며, 그 형상은 원형 또는 상하방향의 폭이 좁은 장방형으로 되어 있다. 상기 도어지지바(226a, 226b)는 상기 지지바삽입구(126a, 126b)에 삽입될 수 있도록 원형의 봉 형상으로 되어 있다.On the other hand, the door support means for preventing the shaking of the door 120 is provided when opening and closing the door 120 with the opener 200 of the door opening and closing device. The door support means may include support bar insertion holes 126a and 126b provided on the front surface of the door 120 and a door support bar protruding from a surface of the opener 200 facing the front surface of the door 120. 226a, 226b. The support bar insertion openings 126a and 126b are normally provided with two at predetermined intervals, and the shape is circular or a rectangular shape with a narrow width in the up-down direction. The door support bars 226a and 226b have a circular rod shape to be inserted into the support bar insertion holes 126a and 126b.
도 4a ~ 4d는 종래의 도어개폐장치에 의한 퍼드의 도어 개폐작동을 설명하기 위한 것으로, 퍼드와 도어개폐장치의 측면을 도시한 도면이다.4A to 4D are diagrams for explaining a door opening and closing operation of a pod by a conventional door opening and closing device, and showing the side of the pod and the door opening and closing device.
먼저 공정 수행을 위해 웨이퍼를 수납한 퍼드(100)가 도어개폐장치의 오프너(200)와 인접한 위치로 이동하게 된다(도 4a). 그 후 오프너(200)가 도시되지 않은 전후이동수단에 의해 퍼드(100)측으로 이동하여 도어와 결합하게 된다(도 4b). 이때 오프너(200)에 마련된 키(225)는 도어에 마련된 키삽입구에 삽입되어 도어로킹장치를 작동시킴으로써 도어의 로킹상태를 해제하고, 도어지지바(226a, 226b)는 도어에 마련된 지지바 삽입구에 삽입되어 도어를 열 때 도어가 흔들리지 않도록 지지하게 된다. 도어의 로킹 상태가 해제되면 오프너(200)는 도어(120)와 결합한 상태로 후진하게 되고(도 4c), 또한 도시되지 않은 승강수단에 의해 상승함으로써(도 4d), 퍼드(100)의 전면은 개방된다. 이에 따라 웨이퍼 이송 로보트가 퍼드(100)의 내부에 수납된 웨이퍼를 인출하여 공정수행장치로 로딩할 수 있게 된다.First, the pud 100 containing the wafer for the process is moved to a position adjacent to the opener 200 of the door opening and closing device (FIG. 4A). After that, the opener 200 is moved to the side of the pod 100 by the front and rear movement means (not shown) to engage with the door (FIG. 4B). At this time, the key 225 provided in the opener 200 is inserted into the key insertion opening provided in the door to release the locking state of the door by operating the door locking device, and the door support bars 226a and 226b are inserted into the support bar insertion opening provided in the door. It is inserted and supports the door so that it does not shake when the door is opened. When the locked state of the door is released, the opener 200 retreats in a state coupled with the door 120 (FIG. 4C), and is also lifted by a lifting means not shown (FIG. 4D), so that the front surface of the pod 100 is closed. Open. Accordingly, the wafer transfer robot can take out the wafer stored in the pod 100 and load the wafer into the process performing device.
한편, 퍼드(100)의 도어(120)를 닫고자 할 때에는 상술한 작동 순서와 반대의 순서로 진행된다.On the other hand, when you want to close the door 120 of the pud 100 proceeds in the reverse order to the above-described operating sequence.
그런데, 종래의 도어개폐장치에 있어서는 다음과 같은 문제점이 있다.However, the conventional door opening and closing device has the following problems.
상술한 바와 같이 도어의 개폐작동시 도어의 흔들림을 방지하기 위한 도어지지수단으로서 오프너(200)에는 도어지지바(226a, 226b)가 마련되고, 도어(120)에는 지지바삽입구(126a, 126b)가 마련되는데, 상기 도어지지바(226a, 226b)와 지지바삽입구(126a, 126b) 사이에는 상기 도어지지바(226a, 226b)가 상기 지지바삽입구(216a, 216b)에 원활하게 삽입되고 빠져 나올 수 있도록 하기 위해 여유가 존재한다. 즉, 도어지지바(226a, 226b)의 외경이 지지바삽입구(216a, 216b)의 내경보다 약간 작다. 그런데 이와 같은 여유로 인해 도어(120)를 열 때 도어(120)가 아래로 쳐지는 현상이 발생하게 되고, 또한 도어(120)와 오프너(200) 사이가 벌어져 도어(120)가 완전하게 열리지 않는 현상이 발생할 수 있다.As described above, the door opener 200 is provided with door support bars 226a and 226b as a door support means for preventing the door from shaking during the opening and closing operation of the door, and the support bar insertion holes 126a and 126b are provided in the door 120. Is provided, between the door support bars (226a, 226b) and the support bar inserts (126a, 126b) the door support bars (226a, 226b) smoothly inserted into the support bar inserts (216a, 216b) to come out. There is room to make it possible. That is, the outer diameters of the door support bars 226a and 226b are slightly smaller than the inner diameters of the support bar insertion holes 216a and 216b. However, when the door 120 is opened due to such a margin, a phenomenon in which the door 120 is struck down occurs, and the door 120 is opened between the opener 200 and the door 120 does not open completely. Symptoms may occur.
이와 같은 현상이 발생하게 되면, 도어(120)가 완전히 열렸는지를 감지하는 감지 센서로부터 에러신호가 발생되고, 이에 따라 공정진행이 중단되므로 생산에 차질이 발생하게 된다. 그리고, 도어(120)를 닫고자 할 때에도 도어(120)가 아래로 쳐진 상태에서는 퍼드(100)의 하우징(110) 개구부(111)에 완전히 닫혀지지 않게 된다. 이때에도 도어(120)가 완전히 닫혔는지를 감지하는 감지 센서로부터 에러신호가 발생되고, 이에 따라 공정진행이 중단된다.When such a phenomenon occurs, an error signal is generated from a detection sensor that detects whether the door 120 is completely opened, and thus, the process progress is interrupted, thereby causing a disruption in production. In addition, even when the door 120 is to be closed, the door 120 is not completely closed in the opening 111 of the housing 110 of the pad 100 when the door 120 is struck down. In this case, an error signal is generated from a detection sensor that detects whether the door 120 is completely closed, and thus the process is stopped.
상술한 바와 같이 종래의 도어개폐장치는 퍼드의 도어를 개폐함에 있어서, 오작동이 발생할 수 있으며, 이에 따라 공정진행이 중단됨으로써 생산성이 저하되는 문제점이 있다.As described above, the conventional door opening and closing device may have a malfunction in opening and closing the door of the pod, and thus there is a problem in that productivity is reduced by stopping the process.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 특히 웨이퍼용 퍼드의 도어 개폐시에 그 개폐작동이 보다 정확하게 이루어지도록 함으로써 오작동에 의한 공정진행의 중단을 방지할 수 있도록 하는 도어지지수단을 구비한 웨이퍼용 퍼드의 도어개폐장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention was created in order to solve the problems of the prior art as described above, in particular the door opening and closing operation of the wafer for the door to be made more precisely by opening and closing the door to prevent interruption of the process progress due to malfunction It is an object of the present invention to provide a door opening and closing device for a pud for wafers having support means.
도 1은 종래의 12인치 웨이퍼용 퍼드와 도어개폐장치를 개략적으로 도시한 사시도,1 is a perspective view schematically showing a conventional 12-inch wafer pad and door opening and closing device;
도 2는 도 1에 도시된 도어개폐장치를 퍼드측에서 본 사시도,2 is a perspective view of the door opening and closing device shown in FIG.
도 3은 도 1에 도시된 도어의 내부에 설치된 도어로킹장치를 도시한 사시도,3 is a perspective view showing a door locking device installed inside the door shown in FIG. 1;
도 4a ~ 4d는 종래의 도어개폐장치에 의한 퍼드의 도어 개폐작동을 설명하기 위한 것으로, 퍼드와 도어개폐장치의 측면을 도시한 도면,4a to 4d are views for explaining the door opening and closing operation of the pod by the conventional door opening and closing device, and showing the side of the pod and the door opening and closing device,
도 5는 본 발명에 따른 도어개폐장치의 바람직한 제1 실시예를 도시한 사시도,5 is a perspective view showing a first preferred embodiment of the door opening and closing device according to the present invention;
도 6은 도 5에 도시된 도어지지바와 탄성버턴의 A-A선 단면도,6 is a cross-sectional view taken along line A-A of the door support bar and the elastic button shown in FIG.
도 7은 도 5에 도시된 도어지지바가 도어의 지지바삽입구에 삽입된 상태를 도시한 도면,7 is a view showing a state in which the door support bar shown in Figure 5 is inserted into the support bar insertion hole of the door,
도 8a와 도 8b는 도 5에 도시된 바람직한 제1 실시예의 변형례를 보이기 위한 것으로, 도어지지바가 도어의 지지바삽입구에 삽입된 상태를 도시한 도면,8a and 8b are to show a modification of the first preferred embodiment shown in Figure 5, showing a state in which the door support bar is inserted into the support bar insertion opening of the door,
도 9는 본 발명에 따른 도어개폐장치의 바람직한 제2 실시예를 도시한 사시도,9 is a perspective view showing a second preferred embodiment of the door opening and closing device according to the present invention;
도 10a와 도 10b는 도 9에 도시된 도어지지바와 탄성판부재가 도어의 지지바삽입구에 삽입되기 전,후 상태를 도시한 측면도,10a and 10b is a side view showing a state before and after the door support bar and the elastic plate member shown in Figure 9 is inserted into the support bar insertion hole of the door,
도 11a와 도 11b는 도 9에 도시된 바람직한 제2 실시예의 변형례를 도시한 사시도,11A and 11B are perspective views showing a modification of the second preferred embodiment shown in FIG. 9;
도 12는 본 발명에 따른 도어개폐장치의 바람직한 제3 실시예를 도시한 사시도,12 is a perspective view showing a third preferred embodiment of the door opening and closing device according to the present invention;
도 13은 도 12에 도시된 다중지지바의 두 개의 지지바 상호 간격을 좁히는 조임수단을 도시한 사시도,13 is a perspective view showing a tightening means for narrowing the mutual spacing between the two support bars of the multi-support bar shown in FIG.
도 14a와 도 14b는 도 12에 도시된 다중지지바가 도어의 지지바삽입구에 삽입되기 전,후 상태를 도시한 측면도,Figure 14a and 14b is a side view showing a state before and after the multiple support bar shown in Figure 12 is inserted into the support bar insert of the door,
도 15a와 도 15b는 도 12에 도시된 바람직한 제3 실시예의 변형례를 보이기 위한 것으로, 다중지지바가 도어의 지지바삽입구에 삽입된 상태를 도시한 도면.15A and 15B are diagrams illustrating a modified example of the third preferred embodiment shown in FIG. 12, in which a multi-support bar is inserted into a support bar insertion hole of a door.
〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>
100...웨이퍼용 퍼드 110...하우징100 ... wafer pad 110 ... housing
111...개구부 112...웨이퍼 지지홈111 Opening 112 Wafer support groove
113...로킹홈 120...도어113 Locking groove 120 Door
121...회전판 122...키홈121.Tumbler 122 ... Keyway
123a,123b...로킹바 124a,124b...로킹바출입구123a, 123b ... locking bar 124a, 124b ... locking bar entrance
125...키삽입구 126a,126b...지지바삽입구125 Key inlet 126a, 126b Support bar inlet
200,300,400,500...오프너 225,325,425,525...키200,300,400,500 ... Opener 225,325,425,525 ... Key
226a,226b,326a,326b,426a,426b...도어지지바226a, 226b, 326a, 326b, 426a, 426b ... Door Support Bar
327...지지판 330,340,350...탄성버턴327 ... support plate 330,340,350 ... elastic button
331...버턴-캡 332,432,442,452...압축스프링331.Button cap 332,432,442,452 Compression spring
431,441,451...탄성판부재 526a,526b,556a,566a...다중지지바431,441,451 ... Elastic plate member 526a, 526b, 556a, 566a ... Multi support bar
5261,5262,5561,5562,5563,5661,5662,5663,5664...지지바5261,5262,5561,5562,5563,5661,5662,5663,5664 ...
5265,5266...나사부 527...구멍5265,5266 ... Thread 527 ... hole
531...조임너트 532...아이들기어531 Tightening Nuts 532 Children Gears
533...구동기어 534...구동모터533 Drive Gear 534 Drive Motor
상기 목적들을 달성하기 위하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼용 퍼드의 도어개폐장치는: 웨이퍼용 퍼드의 도어를 개폐하기 위한 것으로, 상기 도어의 개폐작동시 상기 도어에 결합되는 오프너를 포함하는 웨이퍼용 퍼드의 도어개폐장치에 있어서: 상기 오프너의 일측면에 돌출되도록 설치되어 상기 도어에 설치된 도어로킹장치를 작동시키는 키; 및 상기 오프너의 일측면에 돌출되도록 설치되어 상기 도어에 마련된 지지바삽입구에 삽입됨으로써 상기 도어의 개폐작동시 상기 도어가 흔들리지 않도록 지지하는 도어지지바;를 구비하며, 상기 도어지지바에는 적어도 두 개의 탄성수단이 설치되어, 상기 지지바삽입구에 상기 도어지지바가 삽입되었을 때 탄성력에 의해 상기 지지바삽입구의 내주면에 상기 탄성수단이 밀착됨으로써 상기 지지바삽입구의 내주면과 상기 탄성수단 사이에 마찰력이 발생할 수 있도록 된 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above objects, a door opening and closing apparatus for a wafer ford according to a preferred embodiment of the present invention includes: a wafer for opening and closing a door of a wafer ford, the wafer including an opener coupled to the door during opening and closing of the door; A door opening and closing device for a ford, comprising: a key installed to protrude on one side of the opener to operate a door locking device installed on the door; And a door support bar installed to protrude on one side of the opener and inserted into a support bar insertion hole provided in the door to support the door so that the door does not shake during the opening and closing operation of the door. When the elastic means is installed, the elastic means is in close contact with the inner circumferential surface of the support bar insertion hole by the elastic force when the door support bar is inserted into the support bar insertion hole may generate friction force between the inner circumferential surface of the support bar insertion hole and the elastic means. It is characterized by the fact that.
여기에서, 상기 탄성수단은 상기 도어지지바의 외주면상에 돌출되도록 설치되는 탄성버턴인 것이 바람직하며, 상기 탄성버턴은 상기 도어지지바의 내부에 그 일단부가 지지되는 압축스프링과, 상기 압축스프링의 타단부에 씌워지며 상기 도어지지바의 외주면상에 돌출되는 버턴-캡으로 구성되는 것이 바람직하다.Here, the elastic means is preferably an elastic button which is installed to protrude on the outer circumferential surface of the door support bar, the elastic button is a compression spring whose one end is supported in the door support bar, and the compression spring It is preferably composed of a button cap which is covered on the other end and protrudes on the outer circumferential surface of the door support bar.
그리고 본 발명의 다른 바람직한 실시예로서, 상기 탄성수단은 상기 도어지지바의 외측단부에 그 일단부가 결합되고 그 타단부는 상기 오프너의 일측면에 가까워질수록 상기 도어지지바의 외주면으로부터 점차 벌어지도록 탄성력이 인가된 탄성판부재인 것이 바람직하며, 상기 탄성판부재의 타단부와 상기 도어지지바의 외주면 사이에는 압축스프링이 설치되는 것이 바람직하다.And as another preferred embodiment of the present invention, the elastic means is one end coupled to the outer end of the door support bar and the other end is gradually widened from the outer peripheral surface of the door support bar closer to one side of the opener It is preferable that it is an elastic plate member to which an elastic force is applied, and a compression spring is preferably installed between the other end of the elastic plate member and the outer circumferential surface of the door support bar.
또한, 본 발명의 또 다른 바람직한 실시예로서, 웨이퍼용 퍼드의 도어를 개폐하기 위한 것으로, 상기 도어의 개폐작동시 상기 도어에 결합되는 오프너를 포함하는 웨이퍼용 퍼드의 도어개폐장치는, 상기 오프너의 일측면에 돌출되도록 설치되어 상기 도어에 설치된 도어로킹장치를 작동시키는 키; 상기 오프너의 일측면에 돌출되도록 설치되어 상기 도어에 마련된 지지바삽입구에 삽입됨으로써 상기 도어의 개폐작동시 상기 도어가 흔들리지 않도록 지지하는 상호 인접한 적어도 두 개의 지지바로 이루어지며, 상기 적어도 두 개의 지지바는 서로 벌어지도록 탄성력이 인가된 다중지지바; 및 상기 오프너의 내부에 설치되어 상기 다중지지바의 적어도 두 개의 지지바 상호 간격을 좁히는 조임수단;을 구비하며, 상기 지지바삽입구에 상기 다중지지바가 삽입되었을 때 탄성력에 의해 상기 지지바삽입구의 내주면에 상기 다중지지바가 밀착됨으로써 상기 지지바삽입구의 내주면과 상기 다중지지바 사이에 마찰력이 발생할 수 있도록 된 것을 특징으로 한다.In addition, as another preferred embodiment of the present invention, the door for opening and closing the door of the wafer pod, the door opening and closing device for the wafer pod comprising an opener coupled to the door during the opening and closing operation of the door, A key installed to protrude on one side to operate a door locking device installed on the door; It is installed to protrude on one side of the opener is inserted into the support bar insertion hole provided in the door consists of at least two support bars adjacent to each other to support the door does not shake during opening and closing operation of the door, the at least two support bars Multiple support bars to which elastic forces are applied to be separated from each other; And fastening means installed in the opener to narrow the gap between the at least two support bars of the multi support bar, wherein the support bar insertion hole is formed by an elastic force when the multi support bar is inserted into the support bar insertion hole. The multiple support bars are in close contact with each other, so that a frictional force may be generated between the inner circumferential surface of the support bar insertion hole and the multiple support bars.
여기에서, 상기 조임수단은 상기 다중지지바의 외주에 결합되는 조임너트와, 상기 조임너트를 회전시키기 위한 구동수단을 구비하며, 상기 조임너트의 소정 방향 회전에 의해 상기 적어도 두 개의 지지바에 인가된 탄성력을 극복하고 그 상호 간격을 좁힐 수 있도록 된 것이 바람직하다.Here, the tightening means has a tightening nut coupled to the outer circumference of the multi-support bar, and a driving means for rotating the tightening nut, and is applied to the at least two support bars by a predetermined direction of rotation of the tightening nut It is desirable to be able to overcome the elastic force and to close the mutual gap.
상술한 도어개폐장치는 12인치 웨이퍼용 퍼드의 도어를 개폐하는데 적용되는 것이 바람직하다.The above door opening and closing device is preferably applied to open and close the door of the 12-inch wafer pad.
이와 같은 본 발명에 의하면, 지지바삽입구의 내주면과 탄성버튼, 탄성판부재 또는 다중지지바의 외주면 사이에 마찰력이 제공되어 웨이퍼용 퍼드의 도어 개폐작동시 그 개폐작동이 보다 정확하게 이루어지게 된다.According to the present invention, a frictional force is provided between the inner circumferential surface of the support bar insertion opening and the outer circumferential surface of the elastic button, elastic plate member or multiple support bar, so that the opening and closing operation of the door for the wafer pad can be made more accurately.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 5는 본 발명에 따른 도어개폐장치의 바람직한 제1 실시예를 도시한 사시도이고, 도 6은 도 5에 도시된 도어지지바와 탄성버턴의 A-A선 단면도이며, 도 7은 도 5에 도시된 도어지지바가 도어의 지지바삽입구에 삽입된 상태를 도시한 도면이다.Figure 5 is a perspective view showing a first preferred embodiment of the door opening and closing device according to the present invention, Figure 6 is a cross-sectional view taken along line AA of the door support bar and the elastic button shown in Figure 5, Figure 7 is a door shown in Figure 5 Figure is a view showing a state in which the support bar is inserted into the support bar insertion opening of the door.
도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼 보관 및 운반용 퍼드의 도어를 개폐하기 위한 도어개폐장치는 개폐작동시 상기 도어와 결합되는 오프너(Opener, 300)와, 도시되지 않았지만 상기 오프너(300)를 전후이동 및 승강시키기 위한 수단을 구비한다.Referring to Figure 5, the door opening and closing device for opening and closing the door of the wafer storage and transport ford according to the present invention is an opener (300) coupled with the door during the opening and closing operation, and not shown, the opener 300 And means for moving back and forth.
상기 오프너(300)의 일측면, 즉 상기 도어의 전면과 대향하는 면에는 두 개의 키(325)와 두 개의 도어지지바(326a, 326b)가 돌출되도록 설치된다. 상기 키(325)는 상기 도어에 설치된 도어로킹장치를 작동시켜 상기 도어를 상기 퍼드의 하우징 개구부에 로킹시키거나 로킹상태를 해제하는 역할을 하게 된다. 상기 도어지지바(326a, 326b)는 상기 도어에 마련된 지지바삽입구에 삽입되어 상기 오프너(300)에 의해 상기 도어를 개폐할 때 상기 도어가 흔들리지 않도록 지지하는 도어지지수단으로서의 역할을 하게 된다.On one side of the opener 300, that is, the surface facing the front of the door, two keys 325 and two door support bars 326a and 326b are installed to protrude. The key 325 serves to lock the door to the housing opening of the pad or to release the locked state by operating a door locking device installed in the door. The door support bars 326a and 326b are inserted into a support bar insertion hole provided in the door to serve as door support means for supporting the door so as not to shake when the door is opened and closed by the opener 300.
그리고, 상기 도어지지바(326a, 326b)에는 본 발명의 특징인 탄성수단으로서 적어도 두 개의 탄성버턴(330)이 마련된다. 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 두 개의 탄성버턴(330)은 상기 도어지지바(326a)의 외주면상에 돌출되도록 설치된다. 상기 두 개의 탄성버턴(330)은 각각 상기 도어지지바(326a)의 상부와 하부를 향하도록 된 것이 상기 도어를 보다 효과적으로 지지할 수 있으므로 바람직하다. 상기 탄성버턴(330)은 상기 도어지지바(326a)의 내부에 설치된 지지판(327)에 그 일단부가 지지되는 압축스프링(332)과, 상기 압축스프링(332)의 타단부에 씌워지며 상기 도어지지바(326a)의 외주면상에 돌출되는 버턴-캡(331)으로 구성된다.The door support bars 326a and 326b are provided with at least two elastic buttons 330 as elastic means, which is a feature of the present invention. As shown in FIG. 6, the two elastic buttons 330 are installed to protrude on the outer circumferential surface of the door support bar 326a. The two elastic buttons 330 are preferably directed to the upper and lower portions of the door support bar 326a, so that the two elastic buttons 330 can support the door more effectively. The elastic button 330 is covered with a compression spring 332, one end of which is supported by a support plate 327 installed inside the door support bar 326a, and the other end of the compression spring 332, the door support It consists of a button cap 331 protruding on the outer circumferential surface of the bar 326a.
상기 도어지지바(326a)의 외경(D1)은 도 7에 도시된 지지바삽입구(126a)의 내경(D0)보다 작도록 되어 있으며, 상기 두 개의 탄성버턴(330)의 각각의 돌출단부 사이의 거리(D2)는 지지바삽입구(126a)의 내경(D0)보다 크도록 되어 있다. 따라서, 상기 도어지지바(326a)가 상기 지지바삽입구(126a)에 자유롭게 출입할 수 있으며, 또한 상기 탄성버턴(330)이 상기 지지바삽입구(126a)의 내주면에 가압밀착될 수 있다. 즉, 도어(120)에 마련된 지지바삽입구(126a)에 도어지지바(326a)가 삽입되었을 때 탄성버턴(330)은 그 탄성력에 의해 상기 지지바삽입구(126a)의 내주면에 밀착됨으로써, 상기 지지바삽입구(126a)의 내주면과 상기 탄성버턴(330) 사이에 마찰력을 발생시킨다.The outer diameter D 1 of the door support bar 326a is smaller than the inner diameter D 0 of the support bar insertion hole 126a shown in FIG. 7, and each protruding end of each of the two elastic buttons 330. The distance D 2 between them is larger than the inner diameter D 0 of the support bar insertion opening 126a. Accordingly, the door support bar 326a may freely enter and exit the support bar insertion hole 126a, and the elastic button 330 may be pressed against the inner circumferential surface of the support bar insertion hole 126a. That is, when the door support bar 326a is inserted into the support bar insertion hole 126a provided in the door 120, the elastic button 330 is in close contact with the inner circumferential surface of the support bar insertion hole 126a by the elastic force, thereby supporting the support. A friction force is generated between the inner circumferential surface of the bar insertion hole 126a and the elastic button 330.
한편, 도 8a와 도 8b에는 도 5에 도시된 바람직한 제1 실시예의 변형례가 도시되어 있다. 도 8a와 도 8b를 참조하면, 탄성버턴(340, 350)은 도어지지바(326a)의 외주면상에 등간격으로 세 개 또는 네 개가 돌출되도록 설치되어 있으며, 이는 지지바삽입구(126a) 내주면의 세 점 또는 네 점에서 마찰력을 발생시킨다.8A and 8B show modifications of the first preferred embodiment shown in FIG. 5. 8A and 8B, the elastic buttons 340 and 350 are installed to protrude three or four at equal intervals on the outer circumferential surface of the door support bar 326a, which is the inner circumferential surface of the support bar insertion hole 126a. Friction occurs at three or four points.
이에 따라 오프너(300)에 의해 도어(120)를 열 때나 닫을 때 상기 탄성버턴(330, 340, 350)의 탄성력에 의해 상기 도어(120)가 아래로 쳐지는 현상이 방지된다. 또한, 지지바삽입구(126a)의 내주면과 탄성버턴(330, 340, 350) 사이에 마찰력이 작용함으로써 상기 도어(120)가 완전히 열리지 않는 현상이 방지되므로, 도어(120)의 개폐작동이 정확하고 완전하게 이루어진다.Accordingly, when the door 120 is opened or closed by the opener 300, the door 120 is prevented from being struck by the elastic force of the elastic buttons 330, 340, and 350. In addition, since the friction force acts between the inner circumferential surface of the support bar insertion hole 126a and the elastic buttons 330, 340, and 350 to prevent the door 120 from being fully opened, the opening and closing operation of the door 120 is accurate. Completely done
도 9는 본 발명에 따른 도어개폐장치의 바람직한 제2 실시예를 도시한 사시도이고, 도 10a와 도 10b는 도 9에 도시된 도어지지바와 탄성판부재가 도어의 지지바삽입구에 삽입되기 전,후 상태를 도시한 측면도이다.9 is a perspective view showing a second preferred embodiment of the door opening and closing device according to the present invention, Figures 10a and 10b is before the door support bar and the elastic plate member shown in Figure 9 is inserted into the support bar insert of the door, It is a side view which shows the state after.
도 9를 참조하면, 본 발명에 따른 도어개폐장치의 오프너(400)의 일측면, 즉 퍼드의 도어 전면과 대향하는 면에는 상기 도어에 설치된 도어로킹장치를 작동시키는 두 개의 키(425)와, 상기 도어에 마련된 지지바삽입구에 삽입되어 상기 오프너(400)에 의해 상기 도어를 개폐할 때 상기 도어가 흔들리지 않도록 지지하는 도어지지수단으로서 두 개의 도어지지바(426a, 426b)가 돌출되도록 설치된다.9, one side of the opener 400 of the door opening and closing device according to the present invention, that is, the surface facing the front of the door of the ford two keys 425 for operating the door locking device installed in the door, Two door support bars 426a and 426b protrude from the support bar insertion holes provided in the door to support the door so as not to shake when the door is opened and closed by the opener 400.
그리고, 상기 도어지지바(426a, 426b)에는 본 발명의 특징인 탄성수단으로서 적어도 두 개의 탄성판부재(431)가 마련된다. 상기 탄성판부재(431)의 일단부는 상기 도어지지바(426a)의 외측단부에 결합되고, 그 타단부는 상기 오프너(400)의 일측면에 가까워질수록 상기 도어지지바(426a)의 외주면으로부터 점차 벌어지도록 탄성력이 인가된다. 또한, 상기 탄성판부재(431)의 타단부와 상기 도어지지바(426a)의 외주면 사이에는 압축스프링(432)이 설치될 수 있으며, 이는 상기 탄성판부재(431)의 타단부에 보다 확실하게 탄성력을 인가할 수 있으므로 바람직하다. 상기 두 개의 탄성판부재(431)는 각각 상기 도어지지바(426a)의 상부와 하부에 설치되는 것이 상기 도어를 보다 효과적으로 지지할 수 있으므로 바람직하다.The door support bars 426a and 426b are provided with at least two elastic plate members 431 as elastic means, which is a feature of the present invention. One end of the elastic plate member 431 is coupled to the outer end of the door support bar 426a, and the other end thereof is closer to one side of the opener 400 from the outer circumferential surface of the door support bar 426a. An elastic force is applied to gradually open. In addition, a compression spring 432 may be installed between the other end of the elastic plate member 431 and the outer circumferential surface of the door support bar 426a, which is more reliably provided at the other end of the elastic plate member 431. It is preferable because an elastic force can be applied. The two elastic plate members 431 are preferably installed at the upper and lower portions of the door support bar 426a, respectively, so that the doors can be supported more effectively.
도 10a를 참조하면, 상기 도어지지바(426a)의 외경(D3)은 상기 도어(120)에 마련된 지지바삽입구(126a)의 내경(D0)보다 작도록 되어 있으며, 상기 두 개의 탄성판부재(431)의 각각의 타단부 사이의 거리(D4)는 지지바삽입구(126a)의 내경(D0)보다 크도록 되어 있다. 따라서, 상기 도어지지바(426a)가 상기 지지바삽입구(126a)에 자유롭게 출입할 수 있으며, 또한 상기 탄성판부재(431)의 타단부가 상기 지지바삽입구(126a)의 내주면에 가압밀착될 수 있다. 즉 도 10b에 도시된 바와 같이, 상기 도어(120)에 마련된 지지바삽입구(126a)에 도어지지바(426a)가 삽입되었을 때 탄성판부재(431)는 그 자체의 탄성력 및 상기 압축스프링(432)의 탄성력에 의해 상기 지지바삽입구(126a)의 내주면에 밀착됨으로써, 상기 지지바삽입구(126a)의 내주면과 상기 탄성판부재(431) 사이에 마찰력을 발생시킨다.Referring to FIG. 10A, the outer diameter D 3 of the door support bar 426a is smaller than the inner diameter D 0 of the support bar insertion hole 126a provided in the door 120, and the two elastic plates The distance D 4 between each other end of the member 431 is larger than the inner diameter D 0 of the support bar insertion opening 126a. Therefore, the door support bar 426a can freely enter and exit the support bar insertion hole 126a, and the other end of the elastic plate member 431 can be pressed against the inner circumferential surface of the support bar insertion hole 126a. have. That is, as shown in Figure 10b, when the door support bar 426a is inserted into the support bar insertion hole 126a provided in the door 120, the elastic plate member 431 has its own elastic force and the compression spring 432 By being in close contact with the inner circumferential surface of the support bar insertion hole 126a by the elastic force of), a friction force is generated between the inner circumferential surface of the support bar insertion hole 126a and the elastic plate member 431.
한편, 도 11a와 도 11b에는 도 9에 도시된 바람직한 제2 실시예의 변형례가 도시되어 있다. 이를 참조하면, 탄성판부재(441, 451)와 압축스프링(442, 452)은 도어지지바(426a)의 외주에 등간격으로 세 개 또는 네 개가 설치될 수 있으며, 이는 지지바삽입구 내주면의 세 점 또는 네 점에서 마찰력을 발생시킨다.11A and 11B show modifications of the second preferred embodiment shown in FIG. 9. Referring to this, three or four elastic plate members 441 and 451 and the compression springs 442 and 452 may be installed at equal intervals on the outer circumference of the door support bar 426a, which is three of the inner circumferential surface of the support bar insertion hole. Generate friction at points or four points.
이에 따라 오프너(400)에 의해 도어(120)를 열 때나 닫을 때 상기 탄성판부재(431, 441, 451) 및 압축스프링(432, 442, 452)의 탄성력에 의해 상기 도어(120)가 지지되므로, 상기 도어(120)가 아래로 쳐지는 현상이 방지된다. 또한, 지지바삽입구(126a)의 내주면과 탄성판부재(431, 441, 451) 사이에 마찰력이 작용함으로써 상기 도어(120)가 완전히 열리지 않는 현상이 방지되므로, 도어(120)의 개폐작동이 정확하고 완전하게 이루어진다.Accordingly, when the door 120 is opened or closed by the opener 400, the door 120 is supported by the elastic force of the elastic plate members 431, 441, and 451 and the compression springs 432, 442, and 452. The phenomenon in which the door 120 is struck down is prevented. In addition, since the friction force acts between the inner circumferential surface of the support bar insertion hole 126a and the elastic plate members 431, 441, 451, the phenomenon in which the door 120 does not open completely is prevented, so the opening and closing operation of the door 120 is accurate. And complete.
도 12는 본 발명에 따른 도어개폐장치의 바람직한 제3 실시예를 도시한 사시도이고, 도 13은 도 12에 도시된 다중지지바의 두 개의 지지바 상호 간격을 좁히는 조임수단을 도시한 사시도이며, 도 14a와 도 14b는 도 12에 도시된 다중지지바가 도어의 지지바삽입구에 삽입되기 전,후 상태를 도시한 측면도이다.12 is a perspective view showing a third preferred embodiment of the door opening and closing device according to the present invention, Figure 13 is a perspective view showing the tightening means for narrowing the space between the two support bars of the multi-support bar shown in Figure 12, 14A and 14B are side views illustrating a state before and after the multi-support bar illustrated in FIG. 12 is inserted into the support bar insertion hole of the door.
도 12를 참조하면, 본 발명에 따른 도어개폐장치의 오프너(500)의 일측면에는 웨이퍼용 퍼드의 도어에 설치된 도어로킹장치를 작동시키는 두 개의 키(525)가 설치되며, 도어지지수단으로서 본 발명의 특징인 두 개의 다중지지바(526a, 526b)가 오프너(500)의 일측면에 마련된 구멍(527)을 통해 외부로 돌출되도록 설치된다.12, on one side of the opener 500 of the door opening and closing device according to the present invention, two keys 525 for operating the door locking device installed on the door of the wafer pad are installed, Two multi-support bars (526a, 526b) is a feature of the invention is installed to protrude out through the hole (527) provided on one side of the opener (500).
상기 다중지지바(526a, 526b)는 상호 인접한 두 개의 지지바(5261, 5262)로 이루어지며, 상기 두 개의 지지바(5261, 5261)는 서로 벌어지도록 탄성력이 인가되어 있다. 그리고, 도 13에 도시된 바와 같이, 상기 오프너(500)의 내부에는 상기 다중지지바(526a)의 두 개의 지지바(5261, 5262) 상호 간격을 좁히는 조임수단이 설치된다. 상기 조임수단으로는 상기 다중지지바(526a)의 외주에 결합되는 조임너트(531)와, 상기 조임너트(531)를 회전시키기 위한 구동수단이 구비된다. 상기 다중지지바(526a)의 외주에는 다중지지바(526a)의 길이방향으로 경사지게 된, 즉 다중지지바(526a)의 내측단부로 갈수록 그 직경이 작아지도록 된 나사부(5265, 5266)가 형성되며, 상기 나사부(5265, 5266)에 상기 조임너트(531)가 결합된다. 상기 구동수단은 구동모터(534)와 구동기어(533) 및 상기 구동기어(533)와 상기 조임너트(531) 사이에 설치되는 아이들기어(532)로 구성되며, 상기 구동모터(534)의 회전방향에 따라 상기 조임너트(531)의 회전방향도 바뀌도록 되어 있다.The multiple support bars 526a and 526b are formed of two support bars 5221 and 5262 adjacent to each other, and the two support bars 5221 and 5261 are elastically applied so as to be separated from each other. And, as shown in Figure 13, the inside of the opener 500 is provided with a tightening means for narrowing the gap between the two support bars (5261, 5262) of the multiple support bar (526a). The tightening means includes a tightening nut 531 coupled to an outer circumference of the multiple support bar 526a, and a driving means for rotating the tightening nut 531. On the outer circumference of the multi-support bar 526a, threaded portions 5265 and 5266 are inclined in the longitudinal direction of the multi-support bar 526a, that is, the diameter thereof becomes smaller toward the inner end of the multi-support bar 526a. The tightening nut 531 is coupled to the screw portions 5265 and 5266. The drive means includes a drive motor 534 and a drive gear 533 and an idle gear 532 installed between the drive gear 533 and the tightening nut 531, the rotation of the drive motor 534 The direction of rotation of the tightening nut 531 is also changed according to the direction.
도 14a에 도시된 바와 같이, 상기 오프너(500)가 상기 도어(120)와 분리되어 있거나 상기 도어(120)와 결합 또는 분리하고자 이동할 때에는, 상기 구동수단에 의해 상기 조임너트(531)가 제1 방향으로 회전하게 된다. 이때 상기 조임너트(531)는 상기 나사부(5265, 5266)와 치합되어 있으며 상기 다중지지바(526a)는 고정되어 있으므로, 상기 조임너트(531)는 도면에 표시된 F방향으로 이동하게 된다. 이와 같이 상기 조임너트(531)가 F방향으로 이동하게 되면 상기 조임너트(531)가 상기 두 개의 지지바(5261, 5262)를 외측에서 가압하게 되므로 두 개의 지지바(5261, 5262)의 상호 간격은 점차 좁혀지게 된다. 이에 따라 오프너(500)의 구멍(527)을 통해 외부로 돌출된 다중지지바(526a)의 돌출단부의 외경(D5)은 도어(120)에 마련된 지지바삽입구(126a)의 내경(D0)보다 작아지게 되어 상기 지지바삽입구(126a)에 자유롭게 출입할 수 있게 된다.As shown in FIG. 14A, when the opener 500 is separated from the door 120 or moves to engage or separate from the door 120, the tightening nut 531 is first driven by the driving means. Direction of rotation. At this time, the tightening nut 531 is engaged with the screw portions 5265 and 5266 and the multi-support bar 526a is fixed, so that the tightening nut 531 moves in the F direction shown in the drawing. As such, when the tightening nut 531 moves in the F direction, the tightening nut 531 presses the two support bars 5221 and 5262 from the outside, so that the mutual spacing between the two support bars 5221 and 5262 is increased. Will gradually narrow down. Accordingly, the outer diameter D 5 of the protruding end of the multi-support bar 526a protruding outward through the hole 527 of the opener 500 is the inner diameter D 0 of the support bar insertion hole 126a provided in the door 120. It becomes smaller than) to be able to freely enter and exit the support bar insertion hole (126a).
도 14b에 도시된 바와 같이, 상기 오프너(500)가 상기 도어(120)와 결합되어 있을 때에는, 상기 구동수단에 의해 상기 조임너트(531)가 상기 제1 방향과 반대방향으로 회전하게 되고, 이에 따라 상기 조임너트(531)는 도면에 표시된 R방향으로 이동하게 된다. 이와 같이 상기 조임너트(531)가 R방향으로 이동하게 되면, 상기 두 개의 지지바(5261, 5262)에 가해지던 외압이 해제되어 그 상호 간격이 그 자체의 탄성력에 의해 점차 벌어지게 된다. 따라서, 다중지지바(526a)의 외주면이 지지바삽입구(126a)의 내주면에 가압밀착되어 상기 지지바삽입구(126a)의 내주면과 상기 다중지지바(526a) 사이에 마찰력이 발생된다.As shown in FIG. 14B, when the opener 500 is coupled to the door 120, the tightening nut 531 is rotated in a direction opposite to the first direction by the driving means. Accordingly, the tightening nut 531 is moved in the R direction shown in the drawing. As such, when the tightening nut 531 moves in the R direction, the external pressure applied to the two support bars 5221 and 5262 is released, and the mutual gap is gradually opened by its elastic force. Therefore, the outer circumferential surface of the multiple support bar 526a is pressed against the inner circumferential surface of the support bar insertion hole 126a to generate a friction force between the inner circumferential surface of the support bar insertion hole 126a and the multi support bar 526a.
한편, 도 15a와 도 15b에는 도 12에 도시된 바람직한 제3 실시예의 변형례가 도시되어 있다. 도 15a에 도시된 다중지지바(556a)는 세 개의 지지바(5561, 5562, 5563)로 구성되며, 도 16a에 도시된 다중지지바(566a)는 네 개의 지지바(5661, 5662, 5663, 5664)로 구성된다. 이와 같은 다중지지바(556a, 566a)는 도어(120)에 마련된 지지바삽입구(126a) 내주면의 세 점 또는 네 점에서 마찰력을 발생시킬 수 있다.15A and 15B show modifications of the third preferred embodiment shown in FIG. 12. The multi-support bar 556a shown in FIG. 15A consists of three support bars 5551, 5562, 5563, and the multi-support bar 566a shown in FIG. 16A includes four support bars 5561, 5662, 5663, 5664). Such multiple support bars 556a and 566a may generate frictional force at three or four points of the inner circumferential surface of the support bar insertion hole 126a provided in the door 120.
이에 따라 오프너(500)에 의해 도어(120)를 열 때나 닫을 때 상기 다중지지바(526a, 556a, 566a)의 탄성력에 의해 상기 도어(120)가 지지되므로, 상기 도어(120)가 아래로 쳐지는 현상이 방지된다. 또한, 지지바삽입구(126a)의 내주면과 다중지지바(526a, 556a, 566a) 사이에 마찰력이 작용함으로써 상기 도어(120)의 개폐작동이 정확하고 완전하게 이루어질 수 있다.Accordingly, when the door 120 is opened or closed by the opener 500, the door 120 is supported by the elastic force of the multiple support bars 526a, 556a, and 566a, so that the door 120 is struck down. Phenomenon is prevented. In addition, a friction force acts between the inner circumferential surface of the support bar insertion hole 126a and the multiple support bars 526a, 556a, and 566a, so that the opening and closing operation of the door 120 can be accurately and completely performed.
본 발명은 개시된 실시예를 참조하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the disclosed embodiments, these are merely exemplary, and it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the appended claims.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 지지바삽입구의 내주면과 탄성버튼, 탄성판부재 또는 다중지지바의 외주면 사이에 마찰력이 제공되어 웨이퍼용 퍼드의 도어 개폐작동시 그 개폐작동이 보다 정확하게 이루어지게 된다. 따라서, 도어의 개폐작동시 오작동에 의한 공정진행의 중단이 방지되어 생산성이 향상되는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, the friction force is provided between the inner circumferential surface of the support bar insertion hole and the outer circumferential surface of the elastic button, elastic plate member or multi-support bar so that the opening and closing operation of the wafer ford door can be made more accurately. do. Therefore, the interruption of the process progress due to a malfunction during the opening and closing operation of the door is prevented there is an effect that the productivity is improved.
Claims (12)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019990043787A KR100311045B1 (en) | 1999-10-11 | 1999-10-11 | Apparatus for opening and closing the door of wafer pod |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019990043787A KR100311045B1 (en) | 1999-10-11 | 1999-10-11 | Apparatus for opening and closing the door of wafer pod |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20010036678A true KR20010036678A (en) | 2001-05-07 |
| KR100311045B1 KR100311045B1 (en) | 2001-11-02 |
Family
ID=19614770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019990043787A KR100311045B1 (en) | 1999-10-11 | 1999-10-11 | Apparatus for opening and closing the door of wafer pod |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100311045B1 (en) |
-
1999
- 1999-10-11 KR KR1019990043787A patent/KR100311045B1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100311045B1 (en) | 2001-11-02 |
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