KR20010030156A - 기계적으로 단순화된 고 해상도 광학 포커싱 및 조향 장치 - Google Patents

Abstract

타켓에 자유 광빔을 포커스하기 위한 방법 및 장치가 개시된다. 타켓은 흔히 극히 작거나 또는 각도가 제한된다. 이 장치는 두개의 평행한 윈도우에 의해 둘러싸인 렌즈(20)를 구비한다. 자유 빔의 포커싱은 제1 윈도우(30)를 기울어지게 하여 렌즈를 통한 광빔을 타켓쪽으로 배향시키고, 렌즈 포커스를 조정하여 광빔을 초점 스폿에 포커스하고, 제2 윈도우(40)를 기울어지게 하여 타켓 양단에 포커스된 스폿을 이동시킴으로써 달성된다. 이 렌즈는 또한 보다 큰 이동 범위를 제공하도록 기울어질 수 있다.

Description

기계적으로 단순화된 고 해상도 광학 포커싱 및 조향 장치{MECHANICALLY SIMPLIFIED, HIGH RESOLUTION, OPTICAL FOCUSING AND STEERING APPARATUS}

본 발명은 자유 공간 빔을 타켓에 포커스하고 조준하는 것에 관한 것이다.

자유 공간 빔을 타켓에 포커스하고 조준하는 것은 광섬유와 같은 어플리케이션에 중요하다. 흔히 작고 왜곡되지 않은 스폿(spot)을 유지하고 평균 입사각을 타켓의 각도 허용치 이내에 유지하면서 포커스된 빔에 대해 긴 주행 범위를 제공할 필요가 있다. 시도되고 있는 방법들은 이와 같은 모든 목적을 달성하는데 실패하거나 또는 비효율적인 또는 비현실적인 방식으로 달성하고 있다.

예를 들어, 단일 렌즈 발사기는 공통 제조 오차를 보상하기에 충분한 자유도를 제공하지 못하고 있다. 예를 들어, 만일 입사 빔이 시작할 타켓의 중심에 놓이지 않으면, 단일 렌즈 발사기에 렌즈가 아무리 잘 조정되어 있다 하더라도, 모든 광은 타켓에 진입하지 못할 수 있다. 두개의 렌즈 발사기는 보다 큰 자유도를 제공하지만, 위치에 무관하게 각도가 조정될 수 없다. Lynch 등에 의해 1991년 12월 31일 허여된 "Apparatus For Precision Focussing and Positioning of A Beam Waist On A Target"이라는 제목의 미국특허 제5,077,622호에 개시된 이 장치는, 고해상도 위치정렬을 달성하지만, 적어도 7개의 개별적인 조정축을 필요로 하며, 콤팩트한 패키지에 수용되는 것이 힘들다. 마지막으로, 테이퍼진 광섬유는 입력에서타켓을 보다 크게 하고, 최종 크기로 테이퍼함으로써 소용되는 해상도를 감소시킨다. 비싼 것 이외에, 이들은 또한, 광이 테이퍼에서 손실되기 때문에 덜 효율적이다. 실제로, 테이퍼가 클 수록 많은 광이 손실된다. 테이퍼진 광섬유는 또한 테이퍼가 광의 분극을 스크램블(scrambles)하기 때문에 분극 유지 응용에는 사용할 수 없다.

본 발명은 극히 작고/작거나 각도가 제한된 타켓에 정밀하게 포커스하고 조준하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다. 이 장치는 두개의 평행한 윈도우에 의해 둘러싸인 렌즈를 구비한다. 이들 구성요소는 선반으로부터 떨어져 이용가능하다. 심지어 이들이 특정하게 적용하기 위해 고객의 주문에 따라 만들어져야 할지라도, 이 윈도우는 제조하기가 용이하다. 첫번째 윈도우는 빔을 렌즈를 통해 타겟쪽으로 배향시키는 배향 윈도우이다. 두번째 윈도우는 타켓 양단에 포커스된 스폿을 이동시켜, 렌즈의 임의의 오정렬을 교정하기 위한 이동 윈도우(translation window)이다.

장치의 조정은 두개 윈도우의 경사와, 렌즈 또는 타켓중 어느 하나의 수직 이동(포커싱)이다. 심지어 비-조정가능한 구성요소의 정렬이 불완전할 지라도 높은 효율과 작은 스폿 크기가 달성될 수 있다. 포커스된 빔은 타겟에의 최적의 조정을 위해 독립적으로 이동되어 경사질 수 있다. 이 장치는 작고 왜곡되지 않은 스폿을 유지하면서 긴 주행 범위를 제공한다. 이 장치는 제한된 공간에서의 적용을 위해 콤팩트하고 단단하게 만들어질 수 있다. 이와 유사하게, 만곡 플레이트(flexure plate)와 스크류와 같은 표준 조작기가 윈도우를 경사시키고, 장치의 전면으로부터 렌즈를 포커스하는데 사용될 수 있다. 종래에 시도되고 있는 방법과 비교하여, 본 발명은 정밀한 정렬을 달성하는데 최소한의 조정을 필요로 한다.

다른 실시예에서, 이 렌즈는 또한 경사시킬 수 있다. 이동 윈도우 이외에 렌즈를 경사시키게 되면, 코마(coma)가 스폿을 크게 왜곡시키기 전에 포커스된 스폿이 이동될 수 있는 거리를 증가시킨다. 이로써 렌즈 및 타겟의 오정렬을 교정할 수 있는 보다 큰 능력이 제공된다.

도 1은 광학 포커싱 및 조향 장치도.

도 2는 배향 윈도우의 경사를 도시하는 광학 포커싱 및 조향 장치도.

도 3은 이동 윈도우(translation window)의 경사를 도시하는 광학 포커싱 및 조향 장치도.

도 4는 렌즈 및 이동 윈도우를 도시하는 광학 포커싱 및 조향 장치도.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10 : 광학 포커싱 및 조향 장치

20 : 렌즈

30,40 : 윈도우

광학 포커싱 및 조향 장치(10)는 광의 자유빔을 단일 모드 섬유와 같은 작고/작거나 각도가 제한된 타켓에 정밀하게 정렬하는 것을 가능하게 한다. 이 장치(10)는 도 1에 도시한 바와 같이, 두개의 평탄한 윈도우 간에 렌즈(20)를 구비한다. 비용을 최소화하고 부품의 대체를 간단히 하기 위해, 렌즈(20) 및 윈도우에 대해 용이하게 이용가능한 광학계가 사용될 수 있다. 이와 유사하게, 비용을 최소화하고 교체를 간단히 하기 위해, 표준 액츄에이터와 고정기를 포함한 간단하고 단단한 메커니즘이 사용된다. 단지 한 측에서만 접근할 수 있게 한정된 공간에서 조립 및 정렬이 가능하도록 최종 패키지가 콤팩트하게 만들어질 수 있다. 전형적으로, 최종 패키지는 렌즈(20), 두개의 윈도우(30,40), 경사 메커니즘, 및 포커싱 메커니즘을 포함하는 하우징이다. 바람직하게, 패키지는 그 전면에서 이들 메커니즘을 접근할 수 있게 한다.

첫번째 윈도우는 도 1에 도시한 바와 같이 배향 윈도우(30)이다. 배향 윈도우(30)는 전체적으로 렌즈를 통해 타켓(도시 않됨)쪽으로 빔을 배향시킨다. 배향 윈도우(30)는 도 2에 도시하고, 이하에 설명하는 바와 같이, 빔 내의 경사에 의해 이를 달성한다. 배향 윈도우(30)는 전형적으로 소정의 패키지 크기, 필요한 각도 조준 해상도, 및 중심 허용 스택-업(stack-up)에 따라 설계된 저 광행차 윈도우(low-aberration)이다. 각도 중심의 타켓은 수렴 빔 평균 입사각이 최적의 결과를 제공하여야 하는 수용 각 범위를 가질 것이다. 타켓의 수용각 범위는 배향 윈도우(30)의 필요한 각도 조준 해상도를 결정한다. 중심 허용치는 수렴 빔을 중심에 위치시키기 위한 타켓의 허용치이다.

배향 윈도우(30)에 의해 달성할 수 있는 각도 범위 및 해상도는 배향 윈도우(30)의 두께 및 굴절 지수에만 의존하지 않는다. 렌즈(20)의 포커스 길이 및 경사 메커니즘의 범위와 해상도가 또한 고려되어야 한다. 배향 윈도우(30)는 빔을 렌즈(20) 양단에 이동시키고, 렌즈(20)는 이 이동을 각도 변화로 변환한다. 제1차 계산으로 관심있는 파장에서 굴절지수 "n"과 두께 "t"를 갖는 배향 윈도우(30)의 경사각 "α"에 대한 입력 빔 이동 "y"를 판정한다.

작은 이동의 경우, 포커스 길이 "f"이 얇은 등가 렌즈는 입력 이동 "y"를 출력 각 "u"으로 변경할 것이다.

이 계산은 구성요소를 선정하기 위한 시작점을 제공하지만, 구성요소를 주문하기 전에 정확한 광선 추적(ray-trace) 코드에 의한 철저한 취급이 권고된다. 배향 윈도우(30)는 또한 입력 빔과 비교하여 렌즈(20)의 크기, 중심 이탈에 대한 렌즈(20)의 광행차 응답(이와 같은 종류의 변위에 무관한 렌즈(20)를 선택하는 것이 권장됨), 및 이용가능한 공간에서 허용될 수 있는 배향 윈도우(30)의 양에 의해 한정될 것이다. 배향 윈도우(30) 해상도는 주로 그 경사 메커니즘의 각도 해상도에 의해 결정된다.

만일 각도 중심의 타켓(도시되지 않음)이 각을 가지고 장착되거나 또는 만일 입력 빔, 렌즈(20) 및 타켓이 타켓의 허용치 내와 동축이 아니면, 배향 윈도우(30)를 경사시키는 것은 오차를 보상하고, 대부분의 광을 타켓에 결합시킨다. 도 2에 도시한 바와 같이, 입력 빔에서 배향 윈도우(30)를 경사시키는 것은 (1) 빔을 약간 변위된 렌즈(20)의 중심에 위치시켜 광학 광행차를 최소화시키며/최소화시키거나 (2) 수렴 빔 스폿을 이동시키지 않고 타켓 윈도우에서의 평균 입사각을 변화시킬 수 있다. 배향 윈도우(30)를 경사지게 하는 두번째 효과는, 수렴 빔이 그 포커스 둘레이 선회한다는 사실로 인한다. 바람직하게, 배향 윈도우(30)의 경사 조정은 배향 윈도우(30)에 접속된 만곡 플레이트와 스크류 또는 피에조(압전 포지셔너)와 같은 표준 액츄에이터를 포함하는 경사 메커니즘(도시 않됨)을 갖는 장치(10)의 전면에서달성된다.

렌즈(20)는 빔을 타켓에 포커스한다. 렌즈(20)는, 윈도우가 수렴빔에 놓인다면 그 광행차가 급격히 증가하지 않는 고품질 렌즈(20)이다. 짧은 포커스 길이로 낮은 광행차를 제공하는 선반으로부터 떨어진(off the shelf) 많은 렌즈가 마이크로스코프 대물렌즈로서 사용하기 위해 설계되어 있으며, 본래 렌즈와 이미지 평면 간의 윈도우(즉, 마이크로스코프 슬라이드 상의 커버 슬립)와 최적화되어 있다. 도 1에 도시한 실시예에서, 렌즈(20)는 주물형 플라스틱 또는 글래스로 만들어진 비구면 렌즈이다. 렌즈(20)는 또한 다중 구면 또는 왜상(anamorphic)(예를 들어, 원주형 또는 소용돌이 면을 갖는 렌즈)일 수 있다. 렌즈(20)의 크기는 적용 및 패키지 크기에 따른다.

만일 렌즈(20)의 광축과 타켓의 광학계가 적절하게 공통으로 선형이면(예를 들어, 5㎜ 포커스 길이 렌즈가 0.025㎜ 내에 중심에 놓임), 이는 단지 타켓의 포커스 길이 또는 변위 오차를 보상하는 포커스 조정이 필요하다. 만일 타켓이 빔 웨이스트(waist) 범위 이내에 고정되어 허용가능하게 장착되면, 이때 렌즈(20)의 포커스 길이가 제조업체의 사양 내에서 변하고/변하거나 효율이 중요하지 않을 때에도 포커스 조정은 필요하지 않을 수 있다. 빔을 포커스하기 위해, 렌즈(20)가 이동할 수 있고, 전체 장치(10)가 이동할 수 있고/있거나 타켓이 이동할 수 있다. 극히 반복가능한 빔 커플링과 함께 다수회 분리되고 교체되지 않거나 또는 렌즈(20) 포커싱 메커니즘이 단단해서 타켓을 제거하고 교체하는 응력이 정렬의 손실을 야기하지 않으면 타켓이 이동할 수 있다. 바람직하게, 포커싱 메커니즘은, 측면에서 접근하는 것을 필요로 하기 보다는 장치(10)의 전면에서 액츄에이트된다. 포커싱 메커니즘은, 만곡 플레이트와 스크류 또는 피에조과 같은 렌즈(20)에 결합된 표준 액츄이에터를 포함한다.

이동 윈도우(40)는 도 1에 도시한 바와 같이, 렌즈(20)와 타겟(도시않됨) 간의 수렴 빔에 놓인다. 이동 윈도우(40)는 일반적으로 유한한 크기를 갖는 수렴 빔의 포커스된 스폿과 수렴 빔 간의 임의의 불일치를 피하거나 또는 교정하는데 도움이 된다. 바람직하게, 만일 렌즈(20)가 윈도우릍 통해 이미지하도록 설계되어 있다면, 이동 윈도우(40)는 렌즈(20)가 이를 통해 이미지하도록 설계되어 있는 설계와 동일한 광학 경로 차를 야기할 것이다. 만일 렌즈(20)가 윈도우( 마이크로스코프 커버 슬립 또는 다이오드 레이저의 하우징 내의 윈도우와 같은)를 통해서 이미지하고 설계 파장에 사용되도록 설계되어 있다면, 이때 이동 윈도우(40)는 그 특성이 설계 윈도우와 유사하면 최소의 광행차를 야기할 것이다. 그러나, 만일 설계 파장이 실제로 사용된 파장과 다르면, 이때 사용된 파장을 위해 이동 윈도우(40)가 선택되어야 한다.

도 3에 도시한 바와 같이, 수렴 빔 내에서 이동 윈도우(40)를 경사지게 함으로서, 수렴 빔의 포커스된 스폿이 입사 각을 교란시키지 않고 타겟을 가로질로 이동하게 된다. 이는 포커스된 스폿이 "이동"되게 하여, 타겟의 광축 상에 그리고 타겟의 중심 허용 내에 놓이게 한다. 포커스된 스폿의 이와 같은 중심정렬(centrering)은 렌즈(20)와 타겟의 오정렬을 교정할 수 있게 한다.

그러나, 이동 윈도우(40)를 너무 많이 경사시키게 되면, 코마 광행차(coma aberrations)로 인해 포커스된 스폿을 확산시킬 수 있다. 만일 이동 윈도우(40)가 더 두껍거나 또는 보다 높은 굴절지수의 글래스로 만들어지면, 보다 적은 경사에 대해 따라서, 보다 적은 광행차에 대해 보다 많은 이동이 발생할 것이다. 이동 윈도우(40)의 두께는 패키지 크기와 분극에 제한된다. 만일 자유 공간 빔을 단일 모드 분극 보존 필터에 결합시키는 것을 포함하는 분극이 중요한 적용에서와 같이 분극이 문제가 되면, 이동 윈도우(40)는 등방성 재료로 만들어질 필요가 있다. 사파이어와 같이 인기있는 많은 고굴절율 재료는 복굴절이고, 그 크리스탈 축이 극히 정밀하게 배향되어 있지 않는 한 분극을 열화시킬 수 있다. 또한, BK7과 같은 공칭 일부 등방성 재료는 주조, 절단 또는 장착되는 동안 지나친 기계적 응력이 가해지거나 또는 조각들이 동질인 낮은 등급의 벌크 재료로부터 절단되면, 약하게 복굴절이 될 수 있다. 극히 분극이 중요한 적용에서, 모든 이동 윈도우(40) 글래스는 등급 AA 이상이어야 하고, 이동 윈도우(40)가 2.5㎜ 이상 두꺼우면 부수적인 열처리가 권장된다. 도 2에 도시한 이동 윈도우(40)는 분극이 중요한 응용에 사용하도록 설계된 2㎜ 윈도우이다. 이동 윈도우(40)의 허용가능한 두께는 또한 렌즈(20)가 극히 짧은 배면 포커스 간격을 가질 때 제한될 것이다.

바람직하게, 이동 윈도우(40)의 경사 조정은, 배향 윈도우(30)의 경사 조정과 유사한 방식으로 수행된다. 따라서, 이동 윈도우(40)의 경사를 조정하는 것은 또한, 이동 윈도우(40)에 접속된, 만곡 플레이트와 스크류 또는 피에조와 같은 표준 액츄에이터를 포함하는 경사 메커니즘을 사용하여 장치(10)의 전면에서 달성된다.

렌즈(20)와 타겟 상의 보다 느슨한 기계적 장착 허용을 보상하고 이를 교정하기 위해, 렌즈(20)는 또한 도 4에 도시한 바와 같은 경사 조정을 갖는다. 이동 윈도우(40)를 따라 렌즈(20)를 경사시키는 것은, 포커스된 스폿이 코마 광행차로 인해 확산하지 않고 이동되게 하는 범위를 증가시킨다. 이하에는, 도면에 도시한 1㎜ 빔과 5㎜ 포커스 길이 구면 렌즈(20)의 경우의 컴퓨터화된 광학 모델의 결과를 도시하는 그래프이다.

이 그래프로부터 알 수 있는 바와 같이, 이동 윈도우(40)와 렌즈(20) 모두가 경사질 수 있을 때 최소 광행차량에 대해 최대 이동량이 발생한다. 이동 윈도우(40)를 경사시킬 때 렌즈(20)를 포커스하는 것은 대부분의 광행차를 극복하고, 또한 렌즈(20)를 경사시키면 최적의 결과를 발생한다.

바람직하게, 렌즈(20)의 경사 조정은 상술한 배향 윈도우(30)와 이동 윈도우(40)로서와 같이, 액츄에이터를 갖는 경사 메커니즘으로서 달성된다. 렌즈(20)용 경사 메커니즘은, 이동 윈도우(40)를 위한 경사 메커니즘에 결합될 수 있다.

바람직하게, 타겟(도시않됨)이 상술한 조정가능한 구성요소에 독립적으로 견고하게 장착되어, 만일 제거되거나 교체되면, 나머지 조립체를 오정렬할 위험이 없게 된다. 이는 최소의 광학 전문 지식 또는 어떠한 광학 전문 지식을 갖지 않고도 최종 사용자에 의해 제거되고 교체되는 광섬유 및 다른 타겟에 대해 이상적이다. 이는 그 수명 동안 많은 제거-교체 사이클을 겪게 되지 않는 타겟에 대해 특히 사실이지만, 나머지 조립체와 비교하여 수명이 짧고, (본래의) 부품에서 (교체) 부품까지의 광학 응답에서의 차이를 나타낼 수 있다. 예를 들어, 빔의 포커스를 조정하기 위해 렌즈(20) 또는 장치(10)를 이동시키는 대신에, 포커스를 조정하기 위해 타겟이 이동될 수 있다.

장치(10)는 사용될 특정 어플리케이션에 맞도록 수정될 수 있다. 윈도우의 선택과 경사 메커니즘의 위치를 통해 범위와 해상도 간에 다양한 절충이 이루어질 수 있다. 예를 들어, 보다 두꺼운 이동 윈도우(40)는 보다 적은 경사인 경우 보다 큰 이동을 제공하지만, 글래스 품질이 잘 조절되지 않으면 거의 동질적이지 않을 수 있고, 동일한 경사 메커니즘에대해 보다 얇은 윈도우보다 불량한 해상도를 제공할 것이다. 이동 윈도우(40)(단독)를 경사시키는 것으로 인한 포커스된 스폿의 이동은, 배향 윈도우(30)에 대해 상기 설명한 동일한 1차 방정식(1)을 따른다. 소정의 이동 윈도우(40)의 경우, 두께 "t"와 굴절지수 "n"는 상수이고, 유일한 변수는 경사각 α이다. 만일 이동 윈도우(40)와 렌즈(20) 모두가 경사지면, 신뢰성있는 코드로서의 레이스-추적 모델링이 권장된다.

도면에 도시한 장치(10)은 자유공간 빔을 단일 모드 분극 보존 광성유에 결합하는데 사용하도록 설계되어 있다. 장치(10)는 이와 유사하게, 초점 스폿의 공간 분석에 기초한 빔 및 광학 시스템의 진단, 공간 필터를 통한 빔의 포커싱, 및 집적 광학 시스템 또는 반도체 레이저 증폭기에의 빔의 주입과 같이, 무한 공액 및 콜리메이트 빔을 갖는 다른 응용에 사용될 수 있다. 만일 타겟이 각도에 민감하지 않다면, 어떠한 배향 윈도우(30)도 필요하지 않다.

비록 본 발명이 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명되었지만, 본 개시는, 첨부한 특허청구범위의 범위와 정신 내에서 기술분야에 변형이 용이하게 발생할 수 있는 바와 같이 제한하는 의미보다는 예시적인 것이다.

본 발명의 장치에 따르면, 조정이 가능하지 않은 구성요소의 정렬이 불완전하더라도 높은 효율과 작은 스폿 크기를 달성할 수 있고, 작고 왜곡되지 않은 스폿을 유지하면서 긴 주행 범위를 제공할 수 있는 효과가 있다. 또한, 본 발명에 따른 장치는 제한된 공간에서 콤팩트하고 단단하게 만들어질 수 있다. 부수적으로, 본 발명은 종래에 시도되고 있는 방법과 비교하여, 정밀한 정렬을 달성하는데 최소한의 조정을 필요로 하는 효과가 있다.

Claims (10)

1. 자유 공간 광빔을 작은 타겟(small target)에 정렬시키기 위한 장치에 있어서,

   상기 광빔의 경로에 위치한 배향 윈도우(30) - 상기 빔은 상기 타겟에 평균 입사각을 가지며, 상기 배향 윈도우는 상기 타겟 상의 상기 빔의 평균 입사각을 변경시킴으로써 상기 광빔을 상기 타겟으로 배향시킴-;

   상기 빔이 상기 타겟 상의 스폿(spot)에 수렴하도록, 상기 배향 윈도우를 통과한 후에 상기 빔을 포커스하는 렌즈(20); 및

   상기 수렴 빔의 경로에 위치하며, 상기 평균 입사각을 교란시키지 않고 상기 스폿을 상기 타겟 양단의 스폿에 이동시키는 이동 윈도우(translation window)(40)

   를 구비하는 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 배향 윈도우는 상기 광 빔을 상기 타겟으로 배향시키기 위해 경사진 장치.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 이동 윈도우는 상기 타겟 상의 스폿을 이동시키기 위해 경사진 장치.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 렌즈는 비구면 렌즈인 장치.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 렌즈는 상기 타겟 양단의 스폿을 이동시키기 위해 상기 이동 윈도우와 함께 경사진 장치.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 배향 윈도우, 상기 렌즈, 및 상기 이동 윈도우에 접속된 액츄에이터를 더 구비하되, 상기 액츄에이터는 구동될 때 상기 배향 윈도우, 상기 렌즈, 및 상기 이동 윈도우가 경사지게 하는 장치.
7. 자유 공간 광빔을 작은 타겟에 정렬하는 방법에 있어서,

   상기 광빔의 경로에 배향 윈도우를 위치시키는 단계;

   상기 배향 윈도우로서 소정의 평균 입사 각으로 상기 광빔을 상기 타겟으로 배향시키는 단계;

   상기 배향 윈도우 후에 상기 광빔의 경로에 렌즈를 위치시키는 단계;

   수렴 빔 내의 상기 광빔을 상기 타겟에 포커스하는 단계;

   상기 수렴 빔의 경로에 이동 윈도우를 위치시키는 단계; 및

   상기 광빔의 평균 입사각을 교란시키지 않고, 상기 수렴 빔을 상기 타겟 양단으로 이동시키는 단계

   를 포함하는 방법.
8. 제 7 항에 있어서,

   상기 배향 단계는 상기 배향 윈도우를 경사지게 하는 단계를 포함하는 방법.
9. 제 7 항에 있어서,

   상기 이동 단계는 상기 배향 윈도우를 경사지게 하는 단계를 포함하는 방법.
10. 제 9 항에 있어서,

    상기 이동 단계는 상기 렌즈를 경사지게 하는 단계를 더 포함하는 방법.