KR20010002497A

KR20010002497A - 웨이퍼 로딩장치 및 그 장착방법

Info

Publication number: KR20010002497A
Application number: KR1019990022317A
Authority: KR
Inventors: 엄홍국
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1999-06-15
Filing date: 1999-06-15
Publication date: 2001-01-15

Abstract

웨이퍼 로딩장치 및 그 장착방법이 개시된다. 웨이퍼 로딩장치는 장벽부재에 대해 직선이동가능하게 설치된 이완부재를 갖는 웨이퍼 장착 플레이트, 웨이퍼 장착 플레이트를 관통하여 그 상부에 로딩된 웨이퍼를 지지할 수 있도록 설치된 복수의 지지핀을 갖는 승강기, 이완부재를 탄성적으로 직선이동시킬 수 있도록 이완부재와 결합된 힌지추, 지지핀이 웨이퍼 장착 플레이트 상면 부근에 도달하기 전의 소정위치에서부터 이완부재가 장벽부재로부터 멀어지는 방향으로 이완되게 힌지추를 간섭할 수 있도록 승강기에 수직상으로 슬라이딩가능하게 설치된 간섭부재 및 간섭부재가 힌지추를 간섭하기 시작하는 승강기의 승강위치에서 그 단부가 웨이퍼 장착 플레이트 상면보다 하방에 위치하며, 간섭부재가 힌지추를 소정 높이 들어올리는 승강기의 승강위치에서부터 지지핀이 웨이퍼 장착 플레이트 상부에 로딩된 웨이퍼를 지지할 수 있는 높이까지의 승강기의 승강거리까지 그 단부가 웨이퍼 장착 플레이트 상면에서 소정높이로 돌출되되 이완부재의 높이보다는 낮게 유지되도록 승강기에 수직상으로 슬라이딩 가능하게 결합된 슬라이딩 핀을 구비한다. 이러한 웨이퍼 로딩장치 및 웨이퍼 장착방법에 의하면, 웨이퍼를 웨이퍼 장착플레이트 상면에 밀착시켜 장착할 수 있어, 후속되는 이온주사공정에서 웨이퍼 장착플레이트의 회전에 의한 웨이퍼의 이탈을 억제시킬 수 있다.

Description

웨이퍼 로딩장치 및 그 장착방법{Wafer loading apparatus and method of installing the same}

본 발명은 웨이퍼 로딩장치 및 그 장착방법에 관한 것으로서, 상세하게는 외부로부터 이송된 웨이퍼를 웨이터 장착 플레이트상에 틈 발생이 억제되도록 안착시켜 지지시킬 수 있도록 된 웨이퍼 로딩장치 및 그 장착방법에 관한 것이다.

통상적인 이온빔 주입시스템은 가공대상 웨이퍼들을 적재해 놓은 웨이퍼 적재장치와, 웨이퍼 적재장치에 적재된 웨이퍼를 웨이퍼 로딩장치로 이송하는 웨이퍼 이송기와, 웨이퍼 로딩장치에 장착된 웨이퍼에 이온빔을 주입하는 빔주입기를 구비한다.

상기 웨이퍼 로딩장치는 웨이퍼가 장착되는 웨이퍼 장착플레이트와, 웨이퍼 이송기로부터 이송된 웨이퍼를 웨이퍼 장착 플레이트에 안착시키기 위한 웨이퍼 리프트부를 갖는다.

도 1에 웨이퍼 장착 플레이트가 도시되어 있다.

도면을 참조하면, 웨이퍼 장착 플레이트(10)에는 웨이퍼를 안착하기 위한 웨이퍼 안착부(11)가 소정간격 이격 배치되어 있다. 각 웨이퍼 안착부(11)에는 그 상면에 안착된 웨이퍼를 양측에서 지지할 수 있도록 웨이퍼 장착플레이트(10) 상면에서 소정높이로 돌출된 장벽부재(12)와, 장벽부재(12)에 대해 진퇴가능하게 설치된 이완부재(13)가 마련되어 있다. 상기 이완부재(13)는 복원력이 작용하도록 탄성부재에 의해 결합되어 있다.

웨이퍼 장착 플레이트(10) 상부로 이송된 웨이퍼를 웨이퍼 안착부(11)에 장착시키기 위해서는 먼저, 이완부재(13)가 장벽부재(12)로부터 멀어지는 방향으로 후퇴시킨 다음, 웨이퍼를 웨이퍼 안착부(11)에 안착시키고, 웨이퍼가 이완부재(13)와 장벽부재(12)에 의해 지지될 수 있도록 이완부재(13)를 장벽부재(12)쪽으로 이동시키면 된다. 이러한 웨이퍼 장착이 자동적으로 수행될 수 있도록 된 종래의 웨이퍼 로딩장치가 도 2에 도시되어 있다.

도면을 참조하면, 회동추(14)의 회동에 의해 진퇴가능하게 이완부재(13)가 웨이퍼 장착플레이트(10)에 설치되어 있다.

웨이퍼 리프트부(20)는 승강기(21)와, 웨이퍼 장착플레이트(10)에 형성된 관통홀(15)을 통과할 수 있도록 승강기(21)에 고정 설치된 복수의 지지핀(22)과, 회동추(14)를 간섭할 수 있도록 승강기(21)에 설치된 간섭부재(23)와, 승강기(21)에 슬라이딩 가능하게 설치된 슬라이딩핀(24)을 구비한다.

간섭부재(23)는 승강기(21)에 그 일단이 연결된 스프링(29)의 타단과 접속되어 승강기(21)에 수직상으로 슬라이딩 가능하게 설치되어 있다.

웨이퍼 리프트부(20)에 의해 웨이퍼(30)를 웨이퍼 장착플레이트(10)에 장착하는 과정을 살펴본다.

먼저, 제1승강단계에서는 지지핀(22)이 웨이퍼 장착플레이트(10) 상부에 이송된 웨이퍼(30)를 지지할 수 있도록 승강기(21)를 상승시킨다. 이과정에서 간섭부재(23)가 회동추(14)를 밀어올려 이완부재(13)가 장벽부재(12)로부터 멀어지는 방향으로 이완된다. 한편, 승강기(21)에 그 일단이 탄성부재인 스프링(25)에 의해 결합된 슬라이딩부재(26)에 블로킹핀(27)과 슬라이딩핀(24)이 고정 설치되어 있어, 블로킹핀(27)이 웨이퍼 장착플레이트(10)의 저면에 도달한 승강위치에서부터 유지된 슬라이딩핀(24)의 높이가 승강기(21)가 보다 높이 상승하더라도 그대로 유지된다.

지지핀(22)에 의해 웨이퍼(30)가 지지된 다음에는 제1하강단계를 수행한다. 제1하강단계에서는 지지핀(30)이 웨이퍼(30)로부터 분리되고, 웨이퍼(30)가 슬라이딩핀(24)에 의해 그 일측이 떠서 웨이퍼 장착플레이트(10)에 지지될 수 있는 높이까지 승강기(21)를 하강시킨다. 이과정에서 간섭부재(23)의 하강에 연동되는 이완부재(13)가 웨이퍼(30)를 장벽부재(12)쪽으로 밀게된다. 도시된 승강기(21)의 하강위치가 제1하강단계를 완료한 상태를 나타낸다.

웨이퍼 안착부(11) 상면은 웨이퍼(30)의 지지력을 높이기 위해 고무재질과 같이 마찰계수가 큰 물질로 피복되어 있기 때문에 슬라이딩핀(24)에 의해 그 일측이 떠 있도록 지지된 웨이퍼(30)는 이완부재(13)가 원위치로 복귀하면서 미는힘에 의해 장벽부재(12)쪽으로 미끄러진다. 이 과정에서 이완부재(13)가 웨이퍼(30)를 장벽부재(12)에 완전히 밀착되게 이동시키지 못하는 경우를 고려하여 이완부재(13)가 웨이퍼(30)를 재차 압박하도록 한다. 이를 위해 이완부재(13)가 웨이퍼(30)로부터 분리되도록 승강기(21)를 소정높이 승강시키는 제2승강단계를 수행한다. 제2승강단계이후에는 이완부재(13)가 웨이퍼(30)를 압박하도록 승강기(21)를 원위치로 하강시키는 제2하강단계를 수행한다.

이러한 승강기(21)의 승하강은 콘츄롤러(미도시)에 의해 제어된다. 제2하강단계까지의 승강기(21)의 승하강 높이를 단계별로 제어하기 위해 간섭부재(23) 상단에 마련된 접촉스위치(28)가 회동추(14)와의 접촉 및 분리에 대응되는 신호를 콘츄롤러에 출력하도록 되어 있다. 따라서, 콘츄롤러는 제1승강단계이후, 간섭부재(23)가 회동추(14)로부터 분리될 때 접촉스위치(28)로부터 발생되는 신호에 동기시켜 승강기(21)의 하강을 중단시킨 다음, 설정된 높이까지 승강기(21)를 승강시키고나서 승강기(21)를 원위치까지 하강시킨다.

종래에는 웨이퍼(30)가 이완부재(13)의 간섭에 의해 장벽부재(12)쪽으로 잘 미끄러져 슬라이딩될 수 있도록 간섭부재(23)와 회동추(14)가 접촉되기 시작하는 승강기(21)의 높이에서 슬라이딩핀(24)이 웨이퍼 장착플레이트(10) 상부로 소정높이 돌출되도록 그 높이가 결정되어 있어, 제2승강단계와 제2하강단계 이후에도 웨이퍼가 웨이퍼 장착플레이트(10)에 밀착되지 않고 이완부재(13)와 접촉하고 있는 부분이 웨이퍼 장착플레이트(10)로부터 소정 높이 떠 있는 상태로 지지된다.

웨이퍼(30)를 웨이퍼 장착플레이트(10)에 장착이 완료된 이후에는 웨이퍼 장착플레이트(10)를 소정속도로 회전시키고, 웨이퍼 안착부(11) 정도의 개구를 갖는 이온빔 주입기의 이온 출사구에 대향되게 웨이퍼 장착플레이트(10)를 수직상으로 세운다. 그런다음, 웨이퍼 장착플레이트(10)를 계속해서 회전시키면서 이온빔 주입기로부터 이온을 웨이퍼(30)에 주사한다. 그러나, 종래의 웨이퍼 장착방법에 의해 웨이퍼(30)가 웨이퍼 장착플레이트(10) 상면에 일부가 떠있는 상태로 지지된체 회전하게 되면, 웨이퍼(30)의 지지력이 약해 웨이퍼(30)가 원심력을 이기지 못하고 웨이퍼 장착플레이트(10)로부터 이탈하는 문제점이 발생한다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위해서 창안된 것으로서, 웨이퍼 장착플레이트에 틈이 발생하지 않게 웨이퍼가 밀착 지지시킬 수 있도록 된 웨이퍼 로딩장치 및 그 장착방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1은 웨이퍼를 장착시키기 위한 웨이퍼 장착 플레이트를 나타내보인 평면도이고,

도 2는 종래의 웨이퍼 로딩장치에 의해 웨이퍼를 웨이퍼 장착 플레이트에 장착하고 있는 상태를 나타내보인 단면도이고,

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 로딩장치를 나타내보인 단면도이고,

도 4는 도 3의 간섭부재가 회동추를 간섭하기 시작하기 전 위치까지 승강기가 승강된 상태를 보여주는 단면도이고,

도 5a 내지 도 5d는 도 3의 웨이퍼 로딩장치에 의한 웨이퍼 로딩과정을 단계적으로 나타내보인 공정도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10: 웨이퍼 장착플레이트 11: 웨이퍼 안착부

12: 장벽부재 13: 이완부재

14: 회동추 15: 관통홀

20, 30: 웨이퍼 리프트부 21: 승강기

22: 지지핀 23: 간섭부재

24, 34: 슬라이딩핀 25: 스프링

26: 슬라이딩부재 27, 37: 블로킹핀

28: 접촉스위치 30: 웨이퍼

40: 웨이퍼 이송기

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따르면, 그 상면에 로딩된 웨이퍼를 양측에서 지지할 수 있도록 소정높이로 돌출된 장벽부재와 상기 장벽부재에 대해 직선이동가능하게 설치된 이완부재를 갖는 웨이퍼 장착 플레이트, 웨이퍼 이송기에 의해 상기 웨이퍼 장착 플레이트 상부에 로딩된 웨이퍼를 그 승강에 의해 상기 웨이퍼 장착 플레이트에 형성된 복수의 관통홀을 통해 지지할 수 있도록 설치된 복수의 지지핀을 갖는 승강기, 그 회동에 의해 상기 이완부재를 탄성적으로 직선이동시킬 수 있도록 상기 이완부재와 결합된 힌지추, 상기 지지핀이 상기 웨이퍼 장착 플레이트 상면 부근에 도달하기 전의 소정위치에서부터 상기 이완부재가 상기 장벽부재로부터 멀어지는 방향으로 이완되게 상기 힌지추를 간섭할 수 있도록 상기 승강기에 수직상으로 슬라이딩가능하게 설치된 간섭부재를 구비하는 웨이퍼 로딩장치에 있어서, 상기 간섭부재가 상기 힌지추를 간섭하기 시작하는 상기 승강기의 승강위치에서는 그 단부가 상기 웨이퍼 장착 플레이트 상면보다 하방에 위치하며, 상기 간섭부재가 상기 힌지추를 소정 높이 들어올리는 상기 승강기의 승강위치에서부터 상기 지지핀이 상기 웨이퍼 이송기에 의해 상기 웨이퍼 장착 플레이트 상부에 로딩된 웨이퍼를 지지할 수 있는 높이까지의 상기 승강기의 승강위치까지 그 단부가 상기 웨이퍼 장착 플레이트 상면에서 소정높이로 돌출되되 상기 이완부재의 높이보다는 낮게 유지되도록 상기 승강기에 수직상으로 슬라이딩 가능하게 결합된 슬라이딩 핀;을 구비한다.

바람직하게는 상기 승강기와 그 일단이 탄성부재에 결합되어 상기 승강기에 대해 수직상으로 슬라이딩 가능하게 설치된 슬라이딩부재를 구비하고, 상기 슬라이딩핀은 상기 슬라이딩부재의 일측에 결합되며, 상기 슬라이딩핀의 상기 웨이퍼 장착플레이트 상면으로의 돌출 최대높이를 조절할 수 있도록 상기 웨이퍼 장착 플레이트와 대하는 상기 슬라이딩부재의 일측에 상방으로 높이조절이 가능하게 설치된 블로킹 핀;을 구비한다.

또한, 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 웨이퍼 로딩장치의 웨이퍼 장착방법에 따르면, 가. 상기 웨이퍼 장착 플레이트 상부에 상기 웨이퍼 이송기에 의해 로딩된 웨이퍼를 상기 지지핀이 지지할 수 있도록 상기 승강기를 소정 높이 승강시키는 단계와; 나. 상기 지지핀이 상기 웨이퍼 장착 플레이트 하방으로 후퇴되고, 상기 웨이퍼의 일측은 상기 웨이퍼 장착 플레이트 상면으로 소정높이 돌출된 상기 슬라이딩핀에 의해 지지되고 상기 장벽부재와 대하는 상기 웨이퍼의 타측은 상기 웨이퍼 장착 플레이트에 안착되도록 상기 승강기를 하강시키는 단계와; 다. 상기 슬라이딩핀이 상기 웨이퍼 장착 플레이트 하방으로 후퇴되고, 상기 간섭부재의 하강에 의해 상기 이완부재가 상기 웨이퍼를 상기 장벽부재에 밀착압박하도록 상기 승강기를 하강시키는 단계와; 라. 상기 이완부재를 상기 웨이퍼로부터 소정거리 이격시킬 수 있는 높이까지 상기 승강기를 소정높이로 상승시켜 상기 웨이퍼를 상기 웨이퍼 장착플레이트에 안착시키는 단계; 및 마. 상기 이완부재가 상기 웨이퍼를 압박하도록 상기 승강기를 하강시키는 단계;를 포함한다.

이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 로딩장치 및 그 웨이퍼 장착방법을 보다 상세하게 설명한다.

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 로딩장치를 나타내보인 단면도이다. 앞서도시된 도면에서와 동일기능을 하는 요소는 동일 참조부호로 표기한다.

도면을 참조하면, 웨이퍼 로딩장치는 웨이퍼 장착 플레이트(10)와, 웨이퍼 리프트부(30)를 갖는다. 참조부호 40은 웨이퍼 이송기이다.

본 발명을 특징지우는 웨이퍼 리프트부(30)는 승강기(31)에 슬라이딩가능하게 장착된 간섭부재(23)가 회동추(14)를 간섭하기 시작하는 위치에서 슬라이딩핀(34)이 웨이퍼 장착플레이트(10) 상면보다 아래에 위치되도록 슬리이딩핀(34)의 높이가 결정되어 있다. 즉, 도시된 도면에서 간섭부재(23) 상단에 설치된 접촉스위치(28)와 대응하는 위치의 회동추(14)와의 이격거리(a)가 슬라이딩핀(34) 상단에서부터 웨이퍼 장착 플레이트(10) 상면까지의 이격거리(b)보다 짧게 슬라이딩핀(34)의 높이가 결정되어 있다. 따라서 도 4에 도시된 바와 같이 간섭부재(23)가 회동추(14)를 간섭하기 시작하기 바로 전의 승강기의 승강위치에서 슬라이딩핀(34)은 웨이퍼 장착플레이트(10) 상면보다 아래에 위치된다.

또한, 간섭부재(23)가 회동추(14)를 간섭하기 시작하는 위치에서부터 지지핀(22)이 웨이퍼(30)를 지지할 수 있는 높이까지의 승강기(21)의 승강거리 범위내에서의 슬라이딩핀(34)의 최대높이가 웨이퍼 장착플레이트(10) 상면보다는 높되 이완부재(13)보다는 낮게 되도록 결정되어 있다. 승강기(21)에 그 일단이 탄성부재인 스프링(25)에 의해 결합되어 승강기(21)에 수직상으로 슬라이딩할 수 있도록 설치된 슬라이딩부재(26)에 설치된 블로킹핀(37)의 높이가 슬라이딩핀(34)의 최대높이를 제한 할 수 있도록 설치되어 있다. 상기 블로킹핀(37)은 슬라이딩부재(26)로부터의 높이조절이 가능하도록 설치되는 것이 바람직하다. 도시된 예에서는 슬라이딩부재(26)에 블로킹핀(37)이 나사결합되어 있어, 블로킹핀(37)의 회전에 의해 그 높이조절이 가능하게 되어 있다.

한편, 간섭부재(23)가 회동추(14)를 간섭하지 않는 상태에서 회동추(14)의 중력과 회동추(14)와 웨이퍼 장착플레이트(10)를 연결하고 있는 스프링(16)력이 균형을 이루는 위치에서의 이완부재(13)와 장벽부재(12)와의 간격은 웨이퍼(30)의 직경보다 약간 작게 결정된다.

이러한 웨이퍼 로딩장치에 의한 웨이퍼 장착과정을 도 5a 내지 도 5d를 참조하면서 설명한다.

웨이퍼 이송기(40)가 웨이퍼 장착 플레이트(10)의 선택된 웨이퍼 안착부(11) 상부로 웨이퍼(30)를 이송해 오면, 제1승강단계에서는 지지핀(22)이 웨이퍼 장착플레이트(10) 상부에 이송된 웨이퍼(30)를 지지할 수 있도록 승강기(21)를 상승시킨다(도 5a 참조). 제1승강단계에서 승강기(21)의 승강시의 작동과정을 좀더 세분하여 살펴보면, 먼저, 간섭부재(23)가 회동추(14)를 간섭하기 시작하는 승강기(21)의 승강위치에서 블로킹핀(37)은 아직 웨이퍼 장착플레이트(10)에 도달하지 않은 상태가 되고, 슬라이딩핀(34)은 웨이퍼 장착플레이트(10) 상면으로 돌출되지 않되 웨이퍼 장착플레이트(10)의 관통홀(15)에 삽입된 상태가 되고, 지지핀(22)은 슬라이딩 핀(34) 보다 하방에 위치한다. 이후 계속되는 승강기(21)의 승강에 의해 블로킹핀(37)이 웨이퍼 장착플레이트(10)에 도달하여 블로킹 핀(37)이 더 이상 진행할 수 없는 상태가 되면, 블로킹핀(37)과 함께 슬라이딩부재(26)에 설치된 슬라이딩핀(34)도 그 전진이 중단된다. 간섭부재(23)는 회동추(14)를 밀어올려 이완부재(13)가 장벽부재(12)로부터 멀어지게 한다. 이후 계속되는 승강기(21)의 승강에 의해 지지핀(22)이 웨이퍼 장착플레이트(10) 상부에 로딩된 웨이퍼(30)를 지지할 수 있는 높이까지 승강하게 되면 승강기(21)의 승강을 멈춘다.

지지핀(22)이 웨이퍼 이송기(40) 하부의 관통홀을 통해 웨이퍼(30)를 들어올려 지지하게 되면, 웨이퍼 이송기(40)는 또 다른 웨이퍼(30)를 이송하기 위해 웨이퍼 적재장치로 이동시킨다.

제1하강단계에서는 간섭부재(23)가 회동추(14)로부터 분리되기 시작하는 위치까지 승강기(21)를 하강시킨다. 이 과정에서, 도 5b에서와 같이, 간섭부재(23)가 회동추(14)로부터 이격되기 전에 지지핀(22)이 웨이퍼 장착플레이트(10) 상면보다 낮은 위치로 후퇴할 때 웨이퍼(30)는 슬라이딩핀(34)에 의해 그 일측이 지지되어 웨이퍼 장착플레이트(10)에 소정 각도로 기울여 지지된다. 이후, 간섭부재(23)가 회동추(14)로 이격되는 위치까지 승강기가 하강되면, 압축된 스프링(16)이 복원되는 위치로 회동추(14)가 회동되면서 이완부재(13)가 장벽부재(12)쪽으로 이동하면서 웨이퍼(30)를 장벽부재(12)쪽으로 밀게된다. 이때 슬라이딩핀(34)은 웨이퍼 장착플레이트(10) 상면 아래로 하강함으로써, 도 5c에서와 같이 웨이퍼(30)는 그 일측이 장벽부재(12)에 타측은 이완부재(13)에 의해 지지된다.

간섭부재(23)가 회동추(14)로부터 이격되는 위치에서 접촉스위치(28)로부터 발생된 신호에 동기시켜 제1하강단계를 중지시킨 콘츄롤러는 이완부재(13)와 장벽부재(12)의 이격거리가 웨이퍼(30)의 직경보다 약간 크게 되는 위치까지 이완부재(13)가 다시 후퇴되도록 승강기(21)를 소정 높이 승강시키는 제2승강단계를 수행한다. 이때 소정각도로 기울여 지지되던 웨이퍼(30)는 이완부재(13)의 후퇴에 의해 웨이퍼 장착플레이트(10) 상면에 안착된다.

이후, 승강기(21)를 간섭부재(23)가 회동추(14)로부터 소정거리 이격되는 초기위치까지 하강시키는 제2하강단계를 수행하여, 장착대상 웨이퍼(30)의 장착과정을 완료시킨다(도 5d참조).

이러한 과정은 웨이퍼 장착플레이트(10)에 설정된 웨이퍼 수 만큼 모두 장착될 때 까지 반복된다.

지금까지 설명된 바와 같이 본 발명에 따른 웨이퍼 로딩장치 및 웨이퍼 장착방법에 의하면, 웨이퍼를 웨이퍼 장착플레이트 상면에 밀착시켜 장착할 수 있어, 후속되는 이온주사공정에서 웨이퍼 장착플레이트의 회전에 의한 웨이퍼의 이탈을 억제시킬 수 있다.

Claims

그 상면에 로딩된 웨이퍼를 양측에서 지지할 수 있도록 소정높이로 돌출된 장벽부재와 상기 장벽부재에 대해 직선이동가능하게 설치된 이완부재를 갖는 웨이퍼 장착 플레이트, 웨이퍼 이송기에 의해 상기 웨이퍼 장착 플레이트 상부에 로딩된 웨이퍼를 그 승강에 의해 상기 웨이퍼 장착 플레이트에 형성된 복수의 관통홀을 통해 지지할 수 있도록 설치된 복수의 지지핀을 갖는 승강기, 그 회동에 의해 상기 이완부재를 탄성적으로 직선이동시킬 수 있도록 상기 이완부재와 결합된 힌지추, 상기 지지핀이 상기 웨이퍼 장착 플레이트 상면 부근에 도달하기 전의 소정위치에서부터 상기 이완부재가 상기 장벽부재로부터 멀어지는 방향으로 이완되게 상기 힌지추를 간섭할 수 있도록 상기 승강기에 수직상으로 슬라이딩가능하게 설치된 간섭부재를 구비하는 웨이퍼 로딩장치에 있어서,

상기 간섭부재가 상기 힌지추를 간섭하기 시작하는 상기 승강기의 승강위치에서는 그 단부가 상기 웨이퍼 장착 플레이트 상면보다 하방에 위치하며, 상기 간섭부재가 상기 힌지추를 소정 높이 들어올리는 상기 승강기의 승강위치에서부터 상기 지지핀이 상기 웨이퍼 이송기에 의해 상기 웨이퍼 장착 플레이트 상부에 로딩된 웨이퍼를 지지할 수 있는 높이까지의 상기 승강기의 승강위치까지 그 단부가 상기 웨이퍼 장착 플레이트 상면에서 소정높이로 돌출되되 상기 이완부재의 높이보다는 낮게 유지되도록 상기 승강기에 수직상으로 슬라이딩 가능하게 결합된 슬라이딩 핀;을 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 로딩장치.
제1항에 있어서,

상기 승강기와 그 일단이 탄성부재에 결합되어 상기 승강기에 대해 수직상으로 슬라이딩 가능하게 설치된 슬라이딩부재를 구비하고,

상기 슬라이딩핀은 상기 슬라이딩부재의 일측에 결합되며,

상기 슬라이딩핀의 상기 웨이퍼 장착플레이트 상면으로의 돌출 최대높이를 조절할 수 있도록 상기 웨이퍼 장착 플레이트와 대하는 상기 슬라이딩부재의 일측에 상방으로 높이조절이 가능하게 설치된 블로킹 핀;을 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 로딩장치.
그 상면에 로딩된 웨이퍼를 양측에서 지지할 수 있도록 소정높이로 돌출된 장벽부재와 상기 장벽부재에 대해 직선이동가능하게 설치된 이완부재를 갖는 웨이퍼 장착 플레이트와, 웨이퍼 이송기에 의해 상기 웨이퍼 장착 플레이트 상부에 로딩된 웨이퍼를 그 승강에 의해 상기 웨이퍼 장착 플레이트에 형성된 복수의 관통홀을 통해 지지할 수 있도록 설치된 복수의 지지핀을 갖는 승강기와, 그 회동에 의해 상기 이완부재를 탄성적으로 직선이동시킬 수 있도록 상기 이완부재와 결합된 힌지추와, 상기 지지핀이 상기 웨이퍼 장착 플레이트 상면에 도달하기 전부터 상기 이완부재가 상기 장벽부재로부터 멀어지는 방향으로 이완되게 상기 힌지추를 간섭할 수 있도록 상기 승강기에 수직상으로 슬라이딩 가능하게 설치된 간섭부재 및 상기 승강기에 수직상으로 슬라이딩 가능하게 설치된 슬라이딩핀을 구비하는 웨이퍼 로딩장치의 웨이퍼 장착방법에 있어서,

가. 상기 웨이퍼 장착 플레이트 상부에 상기 웨이퍼 이송기에 의해 로딩된 웨이퍼를 상기 지지핀이 지지할 수 있도록 상기 승강기를 소정 높이 승강시키는 단계와;

나. 상기 지지핀이 상기 웨이퍼 장착 플레이트 하방으로 후퇴되고, 상기 웨이퍼의 일측은 상기 웨이퍼 장착 플레이트 상면으로 소정높이 돌출된 상기 슬라이딩핀에 의해 지지되고 상기 장벽부재와 대하는 상기 웨이퍼의 타측은 상기 웨이퍼 장착 플레이트에 안착되도록 상기 승강기를 하강시키는 단계와;

다. 상기 슬라이딩핀이 상기 웨이퍼 장착 플레이트 하방으로 후퇴되고, 상기 간섭부재의 하강에 의해 상기 이완부재가 상기 웨이퍼를 상기 장벽부재에 밀착압박하도록 상기 승강기를 하강시키는 단계와;

라. 상기 이완부재를 상기 웨이퍼로부터 소정거리 이격시킬 수 있는 높이까지 상기 승강기를 소정높이로 상승시켜 상기 웨이퍼를 상기 웨이퍼 장착플레이트에 안착시키는 단계; 및

마. 상기 이완부재가 상기 웨이퍼를 압박하도록 상기 승강기를 하강시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 로딩장치의 웨이퍼 장착방법.