KR20000057941A - 가동 연마 시트를 이용한 화학 기계 연마 장치 및 방법 - Google Patents
가동 연마 시트를 이용한 화학 기계 연마 장치 및 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (25)
- 화학 기계 연마 장치에 있어서,회전가능한 가압판;상기 가압판과 회전하도록 상기 가압판에 해제가능하도록 고정되며, 기판을 연마하기 위하여 상기 가압판의 상부면으로 연장되는 노출 부분을 가지며, 상기 기판의 직경 보다 큰 폭을 가지는 선형 연마 시트; 및상기 가압판의 상부면을 통하여 선 방향으로 연마 시트를 점진적으로 전진시키는 구동 메커니즘을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기계 연마 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 연마 시트는 상기 가압판에 회전가능하도록 연결된 공급 롤러 주위에 감긴 사용되지 않은 부분 및 상기 가압판에 회전가능하도록 연결된 테이크업 롤러 주위에 감긴 사용된 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기계 연마 장치.
- 제 2항에 있어서, 상기 구동 메커니즘은 상기 공급 롤러로부터 상기 연마 시트의 사용되지 않는 부분의 제 1세그먼트를 풀고 상기 테이크업 롤러 주위에 연마 시트의 노출 부분의 제 2세그먼트를 감음으로써 연마 시트를 점진적으로 전진시키는 것을 특징으로 하는 화학 기계 연마 장치.
- 제 3항에 있어서, 상기 공급 롤러 근처에 위치하며 갭을 형성하도록 상기 연마 시트 위에 매달려 있는 프레임 및 상기 연마 시트의 사용되지 않은 부분의 오염을 방지하기 위하여 상기 갭을 통하여 가스를 전달하는 가압된 가스 소스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기계 연마 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 구동 메커니즘은 상기 제 2롤러가 제 1방향으로 회전하도록 하며 상기 가압판의 상부면사이에서 상기 연마 시트를 당기도록 배치된 스프링,상기 제 1롤러가 회전하는 것을 방지하도록 상기 제 1롤러에 연결된 기어와 맞물리어 연마 시트가 상기 가압판의 상부면 사이에서 이동하는 것을 방지하는 래치트,상기 제 1롤러가 회전시키기 위하여 상기 기어로부터 상기 래치트를 해제시키도록 작동될 수 있는 도피 클러치 및상기 제 2롤러가 상기 제 1방향과 반대인 제 2방향으로 회전하는 것을 방지하기 위하여 상기 제 2롤러에 연결된 슬립 클러치를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기계 연마 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2롤러는 상기 가압판의 상부면 하부에 배치되는 것을 특징으로 하는 화학 기계 연마 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 가압판에 상기 연마 시트를 진공 척킹시키도록 상기 가압판에 채널을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기계 연마 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 연마 시트는 고정된 연마제 연마 물질 또는 고정되지 않은 연마제 연마 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기계 연마 장치.
- 화학 기계 연마 장치에 있어서,원형 가압판 또는 사각 가압판을 수용하는 회전가능한 가압판 베이스 및 연마 시트를 선 방향으로 점진적으로 전진시키는 구동 메커니즘을 각각 포함하는 다수의 연마 스테이션; 및상기 다수의 연마 스테이션 위에 다수의 연마 헤드를 지지하는 캐러셀을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기계 연마 장치.
- 화학 기계 연마 방법에 있어서,회전가능한 가압판의 상부면 위로 연장하며 기판 직경 보다 큰 폭을 가진 선형 연마 시트와 기판을 접촉시키는 단계;상기 가압판에 연마 시트를 해제가능하도록 고정시키는 단계;상기 연마 시트를 회전시키고 상기 기판과 상기 연마 시트사이에 상대 이동을 발생시키도록 상기 가압판을 회전시키는 단계;상기 가압판으로부터 상기 연마 시트를 해제시키는 단계; 및연마 단계가 완료된 후에 상기 가압판의 상부면 사이에 상기 연마 시트를 선 방향으로 점진적으로 전진시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기계 연마 방법.
- 화학 기계 연마 장치에 있어서,가압판;제 1 릴 및 제 2릴 사이에 연장하며, 연마될 기판 직경보다 큰 폭을 가지며, 기판을 연마하기 위하여 상기 가압판의 상부면위로 연장하는 부분을 가진 연마 시트; 및연마 중에 상기 가압판의 상부면 사이에서 상기 연마 시트가 선 방향으로 이동하도록 상기 제 1 및 제 2릴중 적어도 하나를 구동하는 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기계 연마 장치.
- 제 11항에 있어서, 상기 모터는 제 1릴에서 제 2릴로 상기 연마 시트를 전달하는 제 1방향 및 제 2릴에서 제 1릴로 상기 연마 시트를 전달하는 제 2방향으로 상기 제 1 및 제 2릴을 구동시키는 것을 특징으로 하는 화학 기계 연마 장치.
- 제 12항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2방향으로 상기 제 1 및 제 2릴을 상기 모터가 선택적으로 구동하도록 하는 제어기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기계 연마 장치.
- 제 11항에 있어서, 프레임, 상기 제 1 및 제 2릴을 상기 프레임에 고정시키는 다수의 리테이너 및 가압판을 프레임쪽으로 그리고 이로부터 멀리 이동시키도록 상기 프레임에 상기 가압판을 연결시키는 액추에이터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기계 연마 장치.
- 화학 기계 연마 방법에 있어서,제 1릴 및 제 2릴사이에서 연장하며, 기판 직경 보다 큰 폭을 가진 선형 연마 시트와 기판을 접촉시키는 단계;연마 중에 가압판의 상부면사이에서 상기 연마 시트를 선 방향으로 이동시키도록 상기 제 1릴 및 제 2릴을 구동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기계 연마 방법.
- 제 15항에 있어서, 제 1릴에서 제 2릴로 연마 시트를 전달하는 제 1방향 및 제 2릴에서 제 1릴로 상기 연마 시트를 전달하는 제 2방향으로 제 1 및 제 2릴을 선택적으로 구동시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기계 연마 장치.
- 화학 기계 연마 장치에 있어서,제 1선 방향으로 이동가능한 제 1연마 시트; 및제 2선 방향 이동가능한 제 2연마 시트를 포함하며,상기 제 1 및 제 2연마 시트는 연마 중에 기판 표면과 접촉하도록 평행하고 동일 평면상에 배치되는 것을 특징으로 하는 화학 기계 연마 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2선 방향은 평행한 것을 특징으로 하는 화학 기계 연마 장치.
- 제 16항에 있어서, 제 1롤러 및 제 2롤러를 더 포함하며, 상기 제 1 및 제 2연마 시트는 상기 제 1 및 제 2롤러사이에서 연장하는 것을 특징으로 하는 화학 기계 연마 장치.
- 제 19항에 있어서, 상기 제 1롤러를 회전시키고 상기 제 1 및 제 2연마 시트를 소정 방향으로 구동시키는 제 1모터 및 상기 제 2롤러를 회전시키고 상기 제 1 및 제 2연마 시트를 상기 소정 방향과 반대 방향으로 구동시키는 제 2모터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기계 연마 장치.
- 제 16항에 있어서, 제 1롤러, 제 2롤러, 제 3롤러 및 제 4롤러를 더 포함하며, 상기 제 1연마 시트는 제 1 및 제 2롤러사이에서 연장하며, 제 2연마 시트는 제 3 및 제 4롤러사이에서 연장하는 것을 특징으로 하는 화학 기계 연마 장치.
- 제 21항에 있어서, 상기 제 1 및 제 3롤러는 회전가능하도록 연결되며, 상기 제 2 및 제 4롤러는 회전가능하도록 연결됨,상기 장치는 상기 제 1롤러 및 제 3롤러를 회전시키고 상기 제 1 및 제 2연마 시트를 소정 방향으로 구동시키는 제 1모터 및 상기 제 2롤러 및 제 4롤러를 회전시키고 상기 제 1 및 제 2연마 시트를 상기 소정 방향과 반대 방향으로 구동시키는 제 2모터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기계 연마 장치.
- 제 7항에 있어서, 제 1방향으로 상기 제 1연마 시트를 구동시키도록 상기 제 1롤러를 회전시키는 제 1모터, 제 2방향으로 상기 제 2연마 시트를 구동시키도록 상기 제 3롤러를 회전시키는 제 2모터, 제 1방향으로 상기 제 1연마 시트를 구동시키도록 상기 제 2롤러를 회전시키는 제 1모터 및 제 2방향과 반대 방향으로 상기 제 2연마 시트를 구동시키도록 상기 제 4롤러를 회전시키는 제 4모터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기계 연마 장치.
- 화학 기계 연마 장치에 있어서,다수의 연마 표면;연마 중에 기판이 상기 다수의 연마 표면과 접촉을 유지하도록 하는 캐리어 헤드; 및상기 다수의 연마 표면을 이동시키는 구동 메커니즘을 포함하며,상기 연마 표면은 상기 기판 상에 마찰력을 생성하며, 상기 연마 표면은 상기 기판상의 마찰력이 서로 상쇄되도록 배치되고 구동되는 것을 특징으로 하는 화학 기계 연마 장치.
- 화학 기계 연마 방법에 있어서,평행하고 동일 평면에 배치된 다수의 연마 시트와 기판이 접촉하도록 하는 단계; 및상기 기판을 연마시키기 위하여 가압판의 상부면사이에서 상기 다수의 연마 시트를 선 방향으로 구동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기계 연마 장치.
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