KR20000052093A - Multi-chip chip scale package - Google Patents

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KR20000052093A
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insulating film
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슈안민-치
린챙-태
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로버트 에이치. 씨. 챠오
유나이티드 마이크로일렉트로닉스 코퍼레이션
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Abstract

PURPOSE: A multi-chip chip scale package is provided which has reduced thickness and surface area, to improve the operation of a chip by shortening the signal transmission path. CONSTITUTION: A film carrier is used in a multi-chip chip scale package. Two same chips(50,52) having different sizes can be placed on a film carrier(58). The above chips are arranged face to face in a side of each film carrier by using the flip chip technology. In addition, bumps(64,66) are formed on each chip and are connected with the film carrier electrically. An insulation material(68) is filled between the chips and one side of each chip is revealed. Moreover, a conductive wire(56) of the film carrier is connected to the chip directly without passing through other carrier.

Description

멀티-칩 칩 스케일 패키지{MULTI-CHIP CHIP SCALE PACKAGE}Multi-chip chip scale package {MULTI-CHIP CHIP SCALE PACKAGE}

본 발명은 반도체 패킹 구조에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로는 멀티-칩(multi-chip) 칩 스케일 패키지(chip scale package:CSP)에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor packing structure, and more particularly to a multi-chip chip scale package (CSP).

반도체 제조 공정 기술이 점점 발전함에 따라, 반도체 소자에 요구 되는 조건에 부응하기 위해서 적당한 기술이 더 발전되어야 한다. 반도체 소자 제조 공정은 전형적으로 다음의 세 단계를 포함한다. 첫 번째 단계로, 에피탁시(epitaxy) 기술로서, 반도체 기판 형성에 사용된다. 두 번째 단계로, MOS(metal-oxide semiconductor), 다층 배선(multilevel interconnection)등과 같은 반도체 소자를 반도체 기판 상에 형성하는 것이다. 세 번째 단계로, 패킹 공정이 있다. 최근 반도체 소자 제조 공정은, 소자 또는 전기적 산물(electronic product)을 얇고, 가볍고 그리고 작은 치수(dimension)로 제조하는 것이 주류를 이루고 있다. 즉 반도체 소자가 고집적화되고 있다. 패키지의 관점에서 볼 때, 칩 스케일 패키지, 멀티-칩 모듈(multi-chip module:MCM)등과 같은 많은 기술이 고집적화를 달성하기 위해 발전되었다. 0.18micrometer 의 선폭(line width)을 갖는 반도체 제조 공정 기술의 발달은 큰 관심과 강렬한 연구를 불러 일으켰으며, 이로 인해 패키지 볼륨은 더욱더 감소했다. 따라서 하나의 패키지에 하나 이상의 칩을 배열시키는 기술이 매우 중요하게 된다. 멀티-칩 패키지에 있어서, 프로세서(microprocessors) 칩, 디램(dynamic random access memory:DRAM) 과 플레시(flash) 메모리를 포함하는 메모리 칩 그리고 논리 회로 칩들은 반도체 제조 공정 단가 및 패키지 볼륨의 감소를 위해 하나의 패키지에 패키지 될 수 있다. 더 나아가, 신호 전달 경로(signal transmission path)가 효율을 강화하기 위해 짧아졌다. 멀티-칩 집적회로 패킹 기술은 다음에 열거하는 다양한 기능과 작동 주파수(frequency)를 가지는 멀티-칩 시스템에도 적용될 수 있다.As semiconductor manufacturing process technologies are further developed, appropriate technologies must be further developed to meet the requirements of semiconductor devices. The semiconductor device manufacturing process typically includes the following three steps. In a first step, as an epitaxy technique, it is used to form a semiconductor substrate. In the second step, a semiconductor device such as a metal-oxide semiconductor (MOS), a multilevel interconnection, or the like is formed on a semiconductor substrate. In the third step, there is a packing process. BACKGROUND OF THE INVENTION In the recent semiconductor device manufacturing process, the manufacture of devices or electronic products in thin, light and small dimensions has become mainstream. In other words, semiconductor devices are becoming highly integrated. In terms of packages, many technologies such as chip scale packages, multi-chip modules (MCMs), etc. have been developed to achieve high integration. Advances in semiconductor manufacturing process technology with a line width of 0.18 micrometers have attracted great interest and intense research, which has further reduced package volume. Therefore, the technique of arranging one or more chips in one package becomes very important. In a multi-chip package, microchips chips, memory chips including dynamic random access memory (DRAM) and flash memory and logic circuit chips are used to reduce semiconductor manufacturing process costs and package volume. Can be packaged in a package. Furthermore, the signal transmission path has been shortened to enhance efficiency. Multi-chip integrated circuit packing techniques can also be applied to multi-chip systems having various functions and operating frequencies as listed below.

1. 메모리 칩, 마이크로 프로세서, 레지스터, 커패시터 그리고 인덕터를 포함하는 시스템.1. A system that includes memory chips, microprocessors, resistors, capacitors, and inductors.

2. 메모리 칩(디램), 논리회로 칩 그리고 메모리 칩(플레시 메모리)을 포함하는 시스템.2. A system comprising a memory chip (DRAM), a logic circuit chip and a memory chip (Flash memory).

3. 아날로그 칩, 논리회로 칩, 메모리 칩(디램, SRAM, 플레시 메모리 포함), 레지스터, 커패시터 그리고 인덕터를 포함하는 시스템.3. A system that includes analog chips, logic chips, memory chips (including DRAM, SRAM, flash memory), resistors, capacitors, and inductors.

종래의 멀티-칩 모듈이 도 1에 도시되어 있다. 멀티-레벨(multi-level) 인쇄 배선 회로 기판(printed circuit board:PCB, 이하에서 PCB라 한다)은 전형적으로 멀티-칩 모듈의 캐리어의 기판으로 적용된다. 하나 이상의 칩(12)이 상기 기판(10) 상에 절연성 아교(14)에 의해 부착된다. 상기 칩(12) 상의 본딩 패드(bonding pad)는 도전성 와이어(wire, 16)에 의해 상기 기판(10) 상의 터미널(terminal)에 전기적으로 연결된다. 와이어 본딩뿐 아니라, 상기 칩(12)과 상기 기판(10) 사이의 연결은 플립 칩(flip chip) 또는 컨트롤된 컬랩스 칩 연결(controlled collapse chip connection, C4) 기술에 의한 범프(bump) 형성에 의해서도 가능하다. 레신(resin,18)이 사용되어 상기 칩(12)을 밀봉하고(seal) 전체 패키지와 PCB 사이의 전기적 연결은 볼 그리드 어레이(ball grid array:BGA)에 의해 달성된다. 상기 BGA는 솔더 볼(solder ball, 20)을 사용하여 상기 터미널을 상기 PCB에 연결시킨다. 상술한 종래의 멀티-칩 모듈은 동일한 표면 사이드에 칩들이 패키지 되지 때문에 넓은 표면이 필요하게 된다. 따라서 패키지 볼륨이 증가하고 칩들 사이의 신호 전달 경로(signal transmission path)가 길어지게 되는 문제점이 발생된다. 뿐만 아니라, 비록 칩과 캐리어를 연결하기 위해 플립 칩 기술을 사용하여 패키지 볼륨을 감소시킬 수 있다고 하더라도, 테스트를 위해서는 KGD(known good die) 방법이 사용되어야 한다. 이로 인해 수율저하 및 고비용의 문제점이 발생된다.A conventional multi-chip module is shown in FIG. Multi-level printed circuit boards (PCBs, hereinafter referred to as PCBs) are typically applied as substrates for carriers of multi-chip modules. One or more chips 12 are attached by an insulating glue 14 on the substrate 10. Bonding pads on the chip 12 are electrically connected to terminals on the substrate 10 by conductive wires 16. In addition to wire bonding, the connection between the chip 12 and the substrate 10 may result in bump formation by flip chip or controlled collapse chip connection (C4) technology. It is also possible. Resin 18 is used to seal the chip 12 and electrical connection between the entire package and the PCB is achieved by a ball grid array (BGA). The BGA uses a solder ball 20 to connect the terminal to the PCB. The conventional multi-chip module described above requires a large surface because the chips are not packaged on the same surface side. Therefore, a problem arises in that the package volume increases and the signal transmission path between the chips becomes long. In addition, although the package volume can be reduced using flip chip technology to connect the chip and carrier, a known good die (KGD) method should be used for the test. This leads to problems of yield reduction and high cost.

US Patent no. 5,331,235는 패키지 볼륨을 더욱더 줄이기 위해, 마주보는 멀티-칩 패키지(face to face multi-chip package)를 개시하고 있다. 도 2에 상기 멀티-칩 패키지가 도시되어 있다. 도 2를 보면, 상기 멀티-칩 패키지는 테입 자동 본딩(tape automatic bonding:TAB) 방식에 의해 서로 마주 보는 칩들(30, 32)을 포함하고 있다. 내부 리드 본딩(inner leading bonding:ILB)을 위해 두 개의 칩(30, 32)은 각각 범프(34, 36)를 가지고 있으며, 상기 범프(34, 36)들은 전기적으로 필름 캐리어(38)에 연결된다. 외부 리드 본딩(outer leading bonding:OLB)을 위해, 상기 칩들(30, 32)이 리드 프레임(lead frame, 40)에 연결된다. 솔더 볼(42)이 상기 칩들(30, 32) 사이에 형성된다. 그리고 나서, 상기 칩들(30, 32), 상기 필름 캐리어(38) 그리고 상기 리드 프레임(40)이 레신(44)에 의해 몰드된다. 상술한 멀티-칩 패키지는 테입 자동 본딩 기술을 사용하고 있다. 칩들과 PCB 사이의 전기적 연결이 리드 프레임 또는 다른 캐리어 설치에 의해 이루어진다. 따라서, 신호 전달 경로가 길어지게 된다. 뿐만 아니라, 패키지 몰딩 물질(레신)을 사용하고 있어 두께가 증가되고 표면 면적이 증가하게 된다. 이로 인해 적용가능성이 감소하고 열방산(heat dissipation)에 있어서 효율성이 떨어진다. 더나아가, 이러한 종류의 패키지는 양산성을 달성할 수 없다.US Patent no. 5,331, 235 discloses face to face multi-chip packages to further reduce package volume. The multi-chip package is shown in FIG. 2, the multi-chip package includes chips 30 and 32 facing each other by a tape automatic bonding (TAB) method. Two chips 30, 32 have bumps 34, 36, respectively, for inner leading bonding (ILB), which bumps 34, 36 are electrically connected to the film carrier 38. . The chips 30 and 32 are connected to a lead frame 40 for outer leading bonding (OLB). Solder balls 42 are formed between the chips 30 and 32. Then, the chips 30, 32, the film carrier 38 and the lead frame 40 are molded by resin 44. The multi-chip package described above uses tape autobonding technology. Electrical connections between the chips and the PCB are made by lead frame or other carrier installation. Thus, the signal transmission path becomes long. In addition, the use of package molding material (resin) increases thickness and surface area. This reduces applicability and reduces efficiency in heat dissipation. Furthermore, this kind of package cannot achieve mass production.

본 발명은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로서, 두께와 표면 면적이 감소된 멀티-칩 칩 스케일 패키지를 제공하는 데 그 목적이 있다. 본 발명에 의하면 패키지 표면 면적은 패키지 되는 칩들 중 가장 큰 칩과 거의 동일하거나 조금 크다.The present invention has been proposed to solve the above-mentioned problems, and an object thereof is to provide a multi-chip chip scale package with reduced thickness and surface area. According to the present invention, the package surface area is almost equal to or slightly larger than the largest chip among the packages to be packaged.

본 발명에 의한 멀티-칩 칩 스케일 패키지에 의하면, 신호 전달 경로를 짧게 하여 칩의 동작을 향상시킨다.According to the multi-chip chip scale package according to the present invention, the signal transmission path is shortened to improve chip operation.

본 발명에 의한 멀티-칩 칩 스케일 패키지에 의하면, 열방산이 증가된다. 상기 열방산은 금속 플레이트 또는 PCB 상의 인쇄 배선 회로(printed circuit)를 통해 일어난다. 또는 다른 열방산 장치에 의해 일어날 수 있다.According to the multi-chip chip scale package according to the present invention, heat dissipation is increased. The heat dissipation occurs through a printed circuit on a metal plate or PCB. Or by other heat dissipation devices.

또한, 본 발명에 의하면, KGD 방법 없이 칩 패키지의 검사가 패키기 공정 중에 수행된다.In addition, according to the present invention, inspection of the chip package is performed during the packaging process without the KGD method.

도 1은 종래의 멀티-칩 모듈 패키지를 개략적으로 보여주는 단면도;1 is a cross-sectional view schematically showing a conventional multi-chip module package;

도 2는 종래의 마주보는(face-to-face) 멀티-칩 모듈 패키지를 보여주는 단면도;2 is a cross-sectional view showing a conventional face-to-face multi-chip module package;

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 멀티-칩 칩 스케일 패키지를 보여주는 단면도;3 is a cross-sectional view showing a multi-chip chip scale package according to a preferred embodiment of the present invention;

도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 멀티-칩 칩 스케일 패키지의 필름 캐리어들을 보여주는 도면;4A-4D show film carriers of a multi-chip chip scale package according to a preferred embodiment of the present invention;

도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 멀티-칩 칩 스케일 패키지의 위치 구멍들(location holes)을 가지는 필름 캐리어를 보여주는 단면도; 그리고5 is a cross-sectional view showing a film carrier having location holes of a multi-chip chip scale package according to a preferred embodiment of the present invention; And

도 6a 및 도 6b는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄 배선 회로 기판(printed circuit board)에 적용된 멀티-칩 칩 스케일 패키지를 보여주는 단면도이다.6A and 6B are cross-sectional views illustrating a multi-chip chip scale package applied to a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

50, 52 : 칩54 : 절연필름50, 52: chip 54: insulating film

56 : 도전성 와이어58 : 필름 캐리어56 conductive wire 58 film carrier

64, 66 : 범프68 : 절연물질64, 66: bump 68: insulating material

80 : 리딩 홀82 : 프리-플로팅 링80: reading hole 82: pre-floating ring

84 : 코너 지지 링 86 : 위치 구멍84: corner support ring 86: position hole

100 : 인쇄 배선 회로 기판102 : 기판100: printed wiring circuit board 102: substrate

104, 106 : 인쇄 배선 회로104, 106: printed wiring circuit

(구성)(Configuration)

상술한 목적 및 효과를 달성하기 위한 멀티-칩 칩 스케일 패키지는, 서로 다른 크기를 가지는 두 개의 칩을 나르기 위해 필름 캐리어를 사용한다. 플립 칩 기술을 사용하여 상기 두 개의 칩이 서로 마주 보도록 상기 필름 캐리어의 양쪽 면에 놓여진다. 상기 칩들 각각은 상기 필름 캐리어에 연결되는 범프를 가지고 있다. 절연 물질이 상기 칩들 사이에 충진되는 반면에 상기 칩들 각각의 다른 사이드는 드러나게 된다. 결과적으로 패키지의 두께가 감소하고 열방산이 증가한다. 게다가 도전성 와이어가 상기 필름 캐리어 상에 형성되어 직접적으로 외부 신호와 연결된다. 따라서 신호 전달 경로가 추가된 캐리어로 인해 통해 짧아진다.Multi-chip chip scale packages for achieving the above objects and effects use a film carrier to carry two chips having different sizes. Using flip chip technology, the two chips are placed on both sides of the film carrier so that they face each other. Each of the chips has a bump connected to the film carrier. An insulating material is filled between the chips while the other side of each of the chips is exposed. As a result, the thickness of the package decreases and heat dissipation increases. In addition, a conductive wire is formed on the film carrier to directly connect with an external signal. Thus the signaling path is shortened due to the added carrier.

멀티-칩 칩 스케일 패키지를 PCB 상에 배열시키데 있어, 상기 칩은 사이드를 가지고 이를 통해 PCB 상의 인쇄 배선 회로 또는 금속 플레이트에 직접적으로 연결됨으로서 효과적인 열방산을 제공할 수 있다. 추가적인 열방산 창치는 또한 상기 PCB의 원단(遠端)에 있는 다른 칩의 표면에 장착될 수 있어 열방산 효과가 더욱더 향상된다.In arranging a multi-chip chip scale package on a PCB, the chip has a side and can be directly connected to a printed wiring circuit or metal plate on the PCB to provide effective heat dissipation. Additional heat dissipation hatches may also be mounted on the surface of other chips in the distal end of the PCB, further improving the heat dissipation effect.

또한 적어도 하나의 위치 구멍(location hole)이 상기 절연 필름 상에 형성되고 절연물질로 충진되어 상기 칩이 상기 필름 캐리어에 보다 안정적으로 연결될 수 있다. 따라서, 향상된 패킹 특질(packing quality)과 강화된 신뢰성을 달성할 수 있다.In addition, at least one location hole may be formed on the insulating film and filled with an insulating material so that the chip may be more stably connected to the film carrier. Thus, improved packing quality and enhanced reliability can be achieved.

전술한 일반적인 설명과 아래의 상세한 설명은 예시적이고 설명적인 것에 지나지 않으며, 본 발명을 한정하지 않는다.The foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory only and do not limit the invention.

이하 도 3 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 패키지 공정은 전형적으로 아래의 단계들을 포함한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 3 to 6. The package process typically includes the following steps.

1)캐리어 선택:특별한 요구 조건, 예를 들면, 리드 프레임, 필름 캐리어 또는 PCB에 따라 칩의 종류가 선택되어져야 한다. 필름 캐리어는 일반적으로 테입 자동 본딩 기술에 사용된다;1) Carrier selection: Chip type should be selected according to special requirements, eg lead frame, film carrier or PCB. Film carriers are commonly used in tape auto bonding techniques;

2)칩과 캐리어 사이의 전기적 연결:현재, 와이어 본딩, 필름 자동 본딩(film automatic bonding) 그리고 필름 칩 또는 컨트롤된 컬랩스 칩 연결(C4)등과 같은 기술이 발전되어 널리 사용되고 있다; 그리고2) Electrical connection between chip and carrier: At present, technologies such as wire bonding, film automatic bonding and film chip or controlled collapsing chip connection (C4) have been developed and widely used; And

3)패키지와 소자 실링:칩과 캐리어가 레신, 세라믹 또는 다른 패킹 물질에 의해 칩 상의 소자와 칩과 캐리어 사이에 있는 배선(connection)을 보호하기 위해 커버되거나 실드된다.3) Package and device sealing: The chip and carrier are covered or shielded by resin, ceramic or other packing material to protect the connections between the device and the chip and carrier on the chip.

도 3은 본 발명에 의한 멀티-칩 칩 스케일 패키지를 나타내는 단면도이다. 본 발명에 의하면, 서로 다른 크기를 가지는 두 개의 칩들(50,52)이 하나의 패키지 내에 패키지되며, 상기 패키지 크기는 상기 칩들(50,52)중 큰 것과 거의 동일하다. 예를 들어 상기 하나의 칩(50)은 다른 칩(52) 보다 더 큰 표면 면적을 가지도록 본 발명에서는 도 3에 나타나 바와 같이 형성된다. 상기 칩들(50,52)은 디램, 롬(ROM:read only memory), 로직 또는 아날로그 회로, 기타 다른 소자들을 포함한다. 캐리어의 경우, 본 발명의 실시예에서는 필름 캐리어(58)가 선택된다. 도에 나타난 바와 같이, 상기 필름 캐리어(58)는 절연 필름(54)과 상기 절연 필름(54)상에 형성되는 도전성 와이어(56)를 포함한다. 상기 필름 캐리어(58)의 도전성 와이어(56)는 다른 종류의 캐리어에 사용되는 도전성 와이어에 비해 더 얇고 좁은 치수(dimension)를 가지기 때문에, 이러한 패키지는 높은 주파수 소자(frequency device)에 적용될 수 있다.3 is a cross-sectional view showing a multi-chip chip scale package according to the present invention. According to the present invention, two chips 50 and 52 having different sizes are packaged in one package, and the package size is almost the same as the larger of the chips 50 and 52. For example, one chip 50 is formed as shown in FIG. 3 to have a larger surface area than the other chip 52. The chips 50 and 52 include DRAM, read only memory (ROM), logic or analog circuitry, and other components. In the case of a carrier, the film carrier 58 is selected in the embodiment of the present invention. As shown in the figure, the film carrier 58 includes an insulating film 54 and a conductive wire 56 formed on the insulating film 54. Since the conductive wire 56 of the film carrier 58 has a thinner and narrower dimension than the conductive wire used for other types of carriers, such a package can be applied to high frequency devices.

플립 칩( 또는 C4) 기술은 상기 칩들(50,52)과 상기 필름 캐리어(58) 사이의 전기적 연결을 형성하기 위해 사용된다. 상기 플립 칩 기술에 의해, 패키지의 두께는 감소되고, 신호 전달 경로는 줄어든다. 상기 칩들(50,52)은 각각 그 표면(60,62) 상에 여러 소자를 포함한다. 본딩 패드들(미도시)가 상기 칩들(50,52)의 표면(60,62)상에 형성될 수 있고, 범프들(64,66)은 상기 본딩 패드들에 각각 형성될 수 있다. 상기 칩들(50,52)은 상기 필름 캐리어(58)의 마주하는 양 사이드 상에 서로 마주 보도록(face (60)-to-face(62)) 놓여진다. 상기 범프들(64,66)을 통해 상기 칩들(50,52)은 서로 전기적으로 연결된다. 바람직하게는 상대적으로 작은 크기를 갖는 칩(52)을 상기 절연 필름(54)이 위치된 상기 캐리어 필름(56)의 사이드에 위치시킨다. 이에 따라 패키지가 얇아 질 수 있다. 뿐만 아니라, 상기 칩(52)의 상기 범프(66)는 단면으로 보여지는 상기 절연 필름(54)에 의해 둘러싸인 도전성 와이어(56)의 내부 끝단에 바람직하게 연결된다. 반면, 상기 칩(50)의 상기 범프(64)는, 바람직하게 상기 절연 필름(54)에 대응하는 위치에서 상기 도전성 와이어(56)에 연결되는 데, 상기 범프(66)가 연결된 상기 도전성 와이어(56)에 대응하는 사이드의 맞은편 사이드에 연결된다. 이러한 방법은 연결부 스트레스(junction stress)에 의한 기형(deformation) 또는 위치변이(dislocation)등에 의해 유발되는 상기 범프들(64,66)과 상기 도전성 와이어(56) 사이의 오정렬을 방지한다.Flip chip (or C4) technology is used to form an electrical connection between the chips 50, 52 and the film carrier 58. By the flip chip technique, the thickness of the package is reduced and the signal transmission path is reduced. The chips 50, 52 each comprise several elements on their surfaces 60,62. Bonding pads (not shown) may be formed on the surfaces 60 and 62 of the chips 50 and 52, and bumps 64 and 66 may be formed in the bonding pads, respectively. The chips 50, 52 are placed face to face (60-to-face 62) on opposite sides of the film carrier 58. The chips 50 and 52 are electrically connected to each other through the bumps 64 and 66. Preferably, a chip 52 having a relatively small size is placed on the side of the carrier film 56 where the insulating film 54 is located. As a result, the package may be thinner. In addition, the bump 66 of the chip 52 is preferably connected to the inner end of the conductive wire 56 surrounded by the insulating film 54 shown in cross section. On the other hand, the bump 64 of the chip 50 is preferably connected to the conductive wire 56 at a position corresponding to the insulating film 54, the conductive wire connected to the bump 66 ( To the opposite side of the side corresponding to 56). This method prevents misalignment between the bumps 64 and 66 and the conductive wire 56 caused by deformation or dislocation due to junction stress.

패키지와 소자 실링에 있어서는, 에폭시(epoxy)와 같은 절연 물질(68)이 상기 칩들(50,52) 사이에 충진된다. 상기 칩들(50,52)의 표면(60,62)에 있는 소자들만을 보호하기 위해서 상기 절연 물질(68)은 상기 칩들(50,52) 사이에 충진된다. 반면, 상기 칩들(50,52)의 다른 사이드(70,72)는 노출되는데 이는 패키지 치수를 감소시키고 열방산 패스를 제공한다.In package and device sealing, an insulating material 68, such as epoxy, is filled between the chips 50,52. The insulating material 68 is filled between the chips 50, 52 to protect only the elements on the surfaces 60, 62 of the chips 50, 52. On the other hand, the other sides 70, 72 of the chips 50, 52 are exposed, which reduces the package dimensions and provides a heat dissipation pass.

상기 필름 캐리어(58)의 상기 도전성 와이어(56)가 추가의 캐리어를 사용하지 않고 외부로의 신호 전달을 위해 사용되었기 때문에, 신호 전달 경로가 줄어들게 된다. 도에 나타난 바와 같이, 상기 도전성 와이어(56)는 구부러져서 커브 또는 특별히 필요로 되는 형상으로 형성된다. 상기 도전성 와이어(56)의 형성 공정과 후속하는 상기 도전성 와이어(56)와 PCB사이의 표면 실장 기술(surface mount technique)은 종래 기술이므로 여기서의 설명은 생략한다.Since the conductive wire 56 of the film carrier 58 was used for signal transmission to the outside without using an additional carrier, the signal transmission path is reduced. As shown in the figure, the conductive wire 56 is bent to form a curved or specially required shape. Since the formation process of the conductive wire 56 and the subsequent surface mount technique between the conductive wire 56 and the PCB are conventional techniques, the description thereof is omitted.

도 4a 내지 도 4d는 필름 캐리어의 여러 가지 예시를 보여주는 평면도이다. 상기 필름 캐리어(58)는 여기서 상세히 설명된다. 도 4a를 참조하면, 필름 캐리어(58)는 상기 절연 필름(54)과 상기 도전성 와이어(56), 예를 들면, 구리 와이어를 포함하며 상기 도전성 와이어(56)는 상기 절연 필름(54) 상에 배열된다. 전형적으로, 상기 도전성 와이어(56)는, 패키지 되지 전에 스트립 형상(strip shape)으로 유연한(구부러질 수 있는) 상태로 존재한다. 자동 생산(automatic production)에 있어서, 상기 절연 필름(54)은 그 양 끝단에 상기 필름 캐리어(58)의 이동의 편의를 위해 리딩 홀(leading hole,80)을 구비하고 있다. 도 4a는 긴 리드 캔티레버 와이어(cantilever wire)를 도시하고 있다. 단지 상기 도전성 와이어(56)의 외부 끝단만이 상기 절연 필름(54)과 접촉하고 있다.4A-4D are plan views showing various examples of film carriers. The film carrier 58 is described in detail here. Referring to FIG. 4A, a film carrier 58 includes the insulating film 54 and the conductive wire 56, eg, copper wire, and the conductive wire 56 is on the insulating film 54. Are arranged. Typically, the conductive wire 56 is in a flexible (bentable) state in a strip shape before being packaged. In automatic production, the insulating film 54 has leading holes 80 at both ends for ease of movement of the film carrier 58. 4A shows a long lead cantilever wire. Only the outer end of the conductive wire 56 is in contact with the insulating film 54.

도 4b를 참조하면, 필름 캐리어(58)는 상기 절연 필름(54)의 내부에 프리-플로팅(free-floating) 링(82)을 가지고 있으며, 상기 도전성 와이어(56)의 내부 끝단에 연결되어 있다. 따라서, 상기 도전성 와이어(56)의 내부 끝단은 상기 프리-플로팅 링(82)에 따라 위치되어 질 수 있다. 도 4c에는 상기 절연 필름(54)의 내부에 코너 지지 링(corner supported ring, 84)을 구비하는 필름 캐리어(58)가 도시되어 있다. 상기 코너 지지 링(84)은 상기 절연 필름(54)과의 연결을 위한 코너를 가지고 있다. 상기 코너 지지 링(84)으로 인해, 상기 도전성 와이어(56)는 상기 절연 필름(54)에 견고하게 놓여진다. 도 4b의 상기 프리-플로팅 링(82)과 도 4c의 상기 코너 지지 링(84)은 모두 절연물질로 형성되며, 바람직하게는 상기 절연 필름을 구성하는 물질로 형성된다. 뿐만 아니라, 상기 링들(82,84)은 모두 상기 도전성 와이어(56)에 테입(tape)되거나 또는 상기 절연 필름(54)과 함께 형성될 수 있다.Referring to FIG. 4B, the film carrier 58 has a free-floating ring 82 inside the insulating film 54 and is connected to the inner end of the conductive wire 56. . Thus, the inner end of the conductive wire 56 may be positioned along the pre-floating ring 82. 4C shows a film carrier 58 having a corner supported ring 84 inside the insulating film 54. The corner support ring 84 has a corner for connection with the insulating film 54. Due to the corner support ring 84, the conductive wire 56 is firmly laid on the insulating film 54. The pre-floating ring 82 of FIG. 4B and the corner support ring 84 of FIG. 4C are both formed of an insulating material, and are preferably formed of a material constituting the insulating film. In addition, the rings 82 and 84 may both be taped to the conductive wire 56 or may be formed together with the insulating film 54.

도 3에 나타난 상기 칩들(50,52) 사이에 충진되는 상기 절연 물질(68)의 정착(고정)을 향상시키기 위해, 향상된 필름 캐리어(58)가 도 4d에 도시된 바와 같이 본 발명에서 개시된다. 상기 필름 캐리어(58)는 도 4c에 도시된 것과 비슷한 코너 지지 링(84)을 포함한다. 상기 코너 지지 링(84)의 코너에는 십자가 형상, 둥근 형상, 사각 형상 또는 다른 기하학적 형성을 가지는 위치 구멍(locating hole, 86) 이 형성된다. 도 5에는 비록 점선(dash-line) 프레임(88)으로 나타난 바와 같은 범위 내에서 상기 절연 물질(68)이 상기 칩들(50,52) 사이에 충진되지만, 상기 위치 구멍(86)은 상기 절연 물질(68)로 채워져 있다. 결과적으로, 상기 절연 물질(68)의 고정은 향상되고, 상기 칩들(50,52)과 상기 필름 캐리어(58) 사이의 고정 효과는 증가된다.In order to improve the fixing (fixing) of the insulating material 68 filled between the chips 50, 52 shown in FIG. 3, an improved film carrier 58 is disclosed in the present invention as shown in FIG. 4D. . The film carrier 58 includes a corner support ring 84 similar to that shown in FIG. 4C. A corner of the corner support ring 84 is formed with a locating hole 86 having a cross shape, a round shape, a square shape or another geometric shape. Although the insulating material 68 is filled between the chips 50 and 52 within the range as shown by the dashed-line frame 88 in FIG. 5, the location hole 86 is formed by the insulating material. It is filled with (68). As a result, the fixing of the insulating material 68 is improved, and the fixing effect between the chips 50 and 52 and the film carrier 58 is increased.

도 6a 및 도 6b는 인쇄 배선 회로 기판(printed circuit board:PCB)에 적용된 멀티-칩 칩 스케일 패키지를 개략적으로 보여주고 있다. PCB(100)는 전형적으로 기판(102), 인쇄 배선 회로들(printed circuit, 104, 106)을 포함한다. 상기 기판은 예를 들면, 라미네이션(lamination)에 의해 형성된 멀티-레벨(multi-level) 인쇄 배선 회로 기판이다. 상기 인쇄 배선 회로를 구성하는 물질은 예를 들면, 구리 박막(copper foil)을 포함한다. 또한, 상기 PCB(100)는 전기적으로 상기 필름 캐리어(58)의 상기 도전성 와이어(56)와 직접적으로 접촉하고 있다. 따라서 신호 전달 경로가 필름 캐리어의 도전성 와이어와 PCB 사이의 연결을 표면 실장 기술에 의해 형성하는 종래의 기술에 비해 짧아지게 된다. 본 발명에서는 상기 절연 물질(68)이 상기 칩들(50,52)의 표면들(60,62) 사이에 충진되고 한편 다른 표면들(70,72)은 노출되게 된다. 상기 칩들(50,52)의 패킹이 상기 PCB(100) 상에 놓여지는 반면, 도 6a 및 도 6b에 나타난 바와 같이, 상기 칩(52)의 표면(72)은 직접적으로 상기 인쇄 배선 회로에 연결된다. 상기 칩(52)의 표면(72)이 상기 PCB(100)와 접촉하고 있어, 열방산 패스가 증가된다. 예를 들면, 상기 인쇄 배선 회로(106)의 표면 면적은 상기 인쇄 배선 회로 기판(100) 상에 연결된 그라운드 와이어를 통해 확장 될 수 있다. 결과적으로, 열방산효과는 향상된다. 또한, 히트 싱크(heat sink) 또는 열분산기(heat spreader)와 같은 열방산 장치(108)가 상기 PCB의 원단(遠端) 위치의 상기 칩(50)의 표면(70) 상에 장착되어, 상기 칩(50)의 열방산 패스를 제공할 수 있다. 도 6b에서는 패키지가 PCB(100)에 놓여지는 동안 전복된다.6A and 6B schematically illustrate a multi-chip chip scale package applied to a printed circuit board (PCB). PCB 100 typically includes a substrate 102, printed circuits 104, 106. The substrate is, for example, a multi-level printed wiring circuit board formed by lamination. The material constituting the printed wiring circuit includes, for example, a copper foil. In addition, the PCB 100 is in electrical contact with the conductive wire 56 of the film carrier 58 directly. The signal transmission path is thus shorter than in the prior art, which forms the connection between the conductive wires of the film carrier and the PCB by surface mount technology. In the present invention, the insulating material 68 is filled between the surfaces 60 and 62 of the chips 50 and 52 while the other surfaces 70 and 72 are exposed. While the packing of the chips 50, 52 is placed on the PCB 100, as shown in FIGS. 6A and 6B, the surface 72 of the chip 52 is directly connected to the printed wiring circuit. do. The surface 72 of the chip 52 is in contact with the PCB 100, increasing the heat dissipation path. For example, the surface area of the printed wiring circuit 106 may be extended through a ground wire connected on the printed wiring circuit board 100. As a result, the heat dissipation effect is improved. In addition, a heat dissipation device 108, such as a heat sink or heat spreader, is mounted on the surface 70 of the chip 50 at the distal location of the PCB. A heat dissipation pass of the chip 50 can be provided. In FIG. 6B the package is rolled over while being placed on the PCB 100.

상술한 필름 캐리어를 사용하면, 칩패키지 검사가 종래의 KGD 방법의 사용 없이 패키지 프로세스 동안에 수행된다. 따라서, 공정 비용이 감소된다.Using the film carrier described above, chip package inspection is performed during the package process without the use of conventional KGD methods. Thus, the process cost is reduced.

요약하면, 본 발명은 적어도 아래와 같은 효과를 포함한다.In summary, the present invention includes at least the following effects.

1)멀티-칩 칩 스케일 패키지의 적용으로 인해 패키지의 두께 및 표면 면적이 감소된다. 패키지의 크기는 패키지되는 칩중 큰 칩의 사이즈에 비해 단지 아주 조금 크다.1) The application of multi-chip chip scale packages reduces the package thickness and surface area. The size of the package is only a little larger than the size of the larger chips that are packaged.

2)필름 캐리어의 도전성 와이어가 신호 전달을 위해 칩에 직접적으로 연결되어, 칩과 PCB 사이의 신호 전달 경로가 줄어들고 칩의 동작 성능이 향상된다.2) The conductive wire of the film carrier is directly connected to the chip for signal transmission, which reduces the signal transmission path between the chip and the PCB and improves the chip's operating performance.

3)본 발명은 노출-칩 패키지(bared-chip package)를 적용하여 열방산 능력을 향상시켰다. 열은 PCB상의 인쇄 배선 회로(printed circuit), 금속 플레이트, 또는 추가로 형성되는 열방산 장치를 통해 방산된다.3) The present invention improves heat dissipation ability by applying a bared-chip package. Heat is dissipated through a printed circuit on a PCB, metal plate, or additionally formed heat dissipation device.

4)패키지 검사는 종래의 KGD 공정 없이 패키지되는 동안에 직접적으로 칩에 수행된다.4) Package inspection is performed directly on the chip while being packaged without the conventional KGD process.

5)위치 구멍을 형성함으로써 칩과 필름 캐리어 사이에 충진된 절연 물질의 고정을 향상시켜서 칩이 필름 캐리어에 좀더 견고하게 놓여진다.5) The formation of the position holes improves the fixation of the filled insulating material between the chip and the film carrier so that the chip is placed more firmly in the film carrier.

통상의 지식을 가진 자는 여기에 개시된 본 발명의 상세한 설명 및 실시예로부터 본 발명의 다른 실시예를 도출 할 수 있음은 자명하다. 본 발명의 상세한 설명 및 실시예들은 단지 예시에 지나지 않으며, 본 발명의 진정한 범위 및 사상은 아래에서 주장된 청구범위에 의해 지적되어 진다.It will be apparent to those skilled in the art that other embodiments of the invention may be derived from the description and the embodiments disclosed herein. The detailed description and examples of the present invention are merely exemplary, and the true scope and spirit of the present invention are pointed out by the claims claimed below.

본 발명의 멀티-칩 칩 스케일 패키지에 의하면 패키지의 두께 및 표면 면적을 감소시킬 수 있으며, 필름 캐리어의 도전성 와이어가 신호 전달을 위해 칩에 직접적으로 연결되어, 칩과 PCB 사이의 신호 전달 경로가 줄어들고 칩의 동작 성능이 향상되며, 노출-칩 패키지(bared-chip package)를 적용하여 열방산 능력을 향상시켰으며, 패키지 검사는 종래의 KGD 공정 없이 패키지되는 동안에 직접적으로 칩에 수행되고, 위치 구멍의 형성은 칩과 필름 캐리어 사이에 충진된 절연 물질의 고정을 향상시켜서 칩이 필름 캐리어에 좀더 견고하게 놓여지는 효과가 있다.According to the multi-chip chip scale package of the present invention, the thickness and surface area of the package can be reduced, and the conductive wire of the film carrier is directly connected to the chip for signal transmission, thereby reducing the signal transmission path between the chip and the PCB The chip's operating performance is improved, and the heat-dissipation capability is improved by applying a bare-chip package, and package inspection is performed directly on the chip while being packaged without the conventional KGD process, Forming improves the fixation of the filled insulating material between the chip and the film carrier, which has the effect of placing the chip more firmly on the film carrier.

Claims (19)

필름 캐리어와,With film carrier, 상기 필름 캐리어는 절연 필름과 상기 절연 필름 상에 배열된 다수의 도전성 와이어들을 포함하고;The film carrier comprises an insulating film and a plurality of conductive wires arranged on the insulating film; 상기 필름 캐리어의 상기 절연 필름을 가지는 제 1 사이드 상에 형성된, 상기 필름 캐리어에 연결된 제 1 범프를 가지는 제 1 칩과;A first chip having a first bump connected to said film carrier, formed on a first side having said insulating film of said film carrier; 상기 제 1 사이드에 반대하는 상기 필름 캐리어의 제 2 사이드 상에 형성된, 상기 필름 캐리어에 연결된 제 2 범프를 가지는 제 2 칩과; 그리고A second chip having a second bump connected to the film carrier, formed on a second side of the film carrier opposite the first side; And 상기 필름 캐리어의 상기 제 1 사이드 및 상기 제 2 사이드 상에 상기 제 1 칩 및 상기 제 2 칩 사이에 채워진 절연 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티-칩 칩 스케일 패키지.And an insulating material filled between the first chip and the second chip on the first side and the second side of the film carrier. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 칩은 상기 제 2 칩에 비해 사이즈가 작은 것을 특징으로 하는 멀티-칩 칩 스케일 패키지.And the first chip is smaller in size than the second chip. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 필름 캐리어는 상기 절연 물질에 의해 채워진 적어도 하나의 위치 구멍을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티-칩 칩 스케일 패키지.And the film carrier further comprises at least one location hole filled by the insulating material. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 도전성 와이어의 지지를 강화하기 위해 상기 절연 필름에 의해 둘러싸인 프리-플로팅 링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티-칩 칩 스케일 패키지.And a pre-floating ring surrounded by the insulating film to strengthen the support of the conductive wire. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 필름 캐리어는 상기 절연 필름에 의해 둘러싸이고 상기 절연 필름에 연결된 코너 지지 링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티-칩 칩 스케일 집적회로 패키지.And the film carrier further comprises a corner support ring surrounded by the insulation film and connected to the insulation film. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 코너 지지 링은 상기 절연 필름에 연결된 다수의 코너를 가지는 것을 특징으로 하는 멀티-칩 칩 스케일 패키지.And the corner support ring has a plurality of corners connected to the insulating film. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 각각의 코너는 적어도 하나의 위치 구멍을 가지는 것을 특징으로 하는 멀티-칩 칩 스케일 패키지.Wherein each corner has at least one location hole. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 칩 및 상기 제 2 칩은 각각 노출된 하나의 사이드와 상기 절연 물질에 의해 실드된 다른 사이드를 가지는 것을 특징으로 하는 멀티-칩 칩 스케일 패키지.Wherein said first chip and said second chip each have one exposed side and the other side shielded by said insulating material. 패키지가 배열된 인쇄 배선 회로 기판에 있어서,In a printed wiring board having a package arranged, 상기 인쇄 배선 회로 기판은,The printed wiring circuit board, 기판과; 그리고A substrate; And 상기 기판 상의 다수의 인쇄 배선 회로를 포함하고;A plurality of printed wiring circuits on the substrate; 상기 패키지는,The package, 필름 캐리어와, 상기 필름 캐리어는 절연 필름과; 그리고 상기 절연 필름 상에 배열된 다수의 도전성 와이어를 포함하고;A film carrier, said film carrier comprising an insulating film; And a plurality of conductive wires arranged on the insulating film; 상기 필름 캐리어의 상기 절연 필름을 가지는 제 1 사이드 상에 형성된, 상기 필름 캐리어에 연결된 제 1 범프를 가지는 제 1 칩과;A first chip having a first bump connected to said film carrier, formed on a first side having said insulating film of said film carrier; 상기 제 1 사이드에 반대하는 상기 필름 캐리어의 제 2 사이드 상에 형성된, 상기 필름 캐리어에 연결된 제 2 범프를 가지는 제 2 칩과,A second chip having a second bump connected to the film carrier, formed on a second side of the film carrier opposite the first side; 상기 제 1 칩과 제 2 칩 중 어느 하나는 상기 기판 상에 연결되고; 그리고One of the first chip and the second chip is connected on the substrate; And 상기 필름 캐리어의 상기 제 1 사이드 및 상기 제 2 사이드 상에 상기 제 1 칩 및 상기 제 2 칩 사이에 채워진 절연 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 패키지가 배열된 인쇄 배선 회로 기판.And an insulating material filled between the first chip and the second chip on the first side and the second side of the film carrier. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 제 1 칩 및 상기 제 2 칩 중 어느 하나는 상기 기판 상의 적어도 하나의 상기 인쇄 배선 회로에 연결되는 뒤 표면(rear surface)을 가지고, 다른 하나의 칩은 노출된 뒤 표면을 가지는 것을 특징으로 하는 패키지가 배열된 인쇄 배선 회로 기판.One of the first chip and the second chip has a rear surface connected to at least one of the printed wiring circuits on the substrate, and the other chip has an exposed back surface Printed wiring circuit board with packages arranged. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 열방산 장치가 상기 노출 뒤 표면에 장착되는 것을 특징으로 하는 패키지가 배열된 인쇄 배선 회로 기판.A printed wiring circuit board with a package arranged thereon, wherein a heat dissipation device is mounted on the exposed back surface. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 열방산 장치는 열분산기(heat spreader)를 포함하는 것을 특징으로 하는 패키지가 배열된 인쇄 배선 회로 기판.And the heat dissipation device comprises a heat spreader. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 열방산 장지는 히트 싱크(heat sink)를 포함하는 것을 특징으로 하는 패키지가 배열된 인쇄 배선 회로 기판.And the heat dissipation device comprises a heat sink. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 절연 필름은 상기 절연 물질에 의해 충진된 적어도 하나의 위치 구멍을 포함하는 것을 특징으로 하는 패키지가 배열된 인쇄 배선 회로 기판.And the insulating film includes at least one location hole filled by the insulating material. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 기판은 멀티-레벨 인쇄 배선 회로 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 패키지가 배열된 인쇄 배선 회로 기판.And the substrate comprises a multi-level printed wiring circuit board. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 필름 캐리어는 상기 도전성 와이어의 지지를 강화하기 위해 상기 절연 필름에 의해 둘러싸인 프리-플로팅 링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패키지가 배열된 인쇄 배선 회로 기판.And the film carrier further comprises a pre-floating ring surrounded by the insulating film to reinforce the support of the conductive wire. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 필름 캐리어는 상기 절연 필름에 의해 둘러싸이고 상기 절연 필름에 연결된 코너 지지 링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패키지가 배열된 인쇄 배선 회로 기판.And the film carrier further comprises a corner support ring surrounded by the insulating film and connected to the insulating film. 제 17 항에 있어서,The method of claim 17, 상기 코너 지지 링은 상기 절연 필름에 연결된 다수의 코너를 가지는 것을 특징으로 하는 멀티-칩Wherein said corner support ring has a plurality of corners connected to said insulating film. 칩 스케일 패키지.Chip scale package. 제 18 항에 있어서,The method of claim 18, 상기 각각의 코너는 적어도 위치 구멍을 가지는 것을 특징으로 하는 멀티-칩 칩 스케일 패키지.Wherein each corner has at least a location hole.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100508261B1 (en) * 2000-10-04 2005-08-18 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 Semiconductor package and method for manufacturing the same
KR100575590B1 (en) * 2003-12-17 2006-05-03 삼성전자주식회사 Thermal emission type stack package and modules mounting the same
KR100631939B1 (en) * 2002-07-16 2006-10-04 주식회사 하이닉스반도체 A semiconductor device which is formed by stacking a bga package and a tsop package

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