KR20000049006A - 압력차를 전기 신호로 변환하는 셀 - Google Patents

Abstract

본 발명은 압력차를 전기신호로 변환시키는 셀(28)에 관한 것으로, 상기 셀은 외부 압력의 작용하에 변형될 수 있는 각각의 멤(32,34)에 의해 밀폐되고 비압축성 유체가 충전되며 강성의 벽(36,52,56)에 의해 각각 분리된 2개의 챔버(38,40)들과, 벽을 가로질러 작용하는 압력차에 응답하여 전기적 신호를 발생하며 상기 벽에 장착되는 센서(42)를 포함하며, 먼저 0까지 낮은 진동수에서 벽을 가로질로 작용하는 기생 압력차를 감쇠시키며 보다 높은 진동수에서 벽을 가로질러 발휘되는 압력차를 센서가 탐지하도록 허용하는 크기로 2개의 챔버(38,40)들 사이에 적어도 하나의 통로(50,54,58)가 형성된 것을 특징으로 한다.

Description

압력차를 전기 신호로 변환하는 셀{CELL FOR CONVERTING DIFFERENTIAL PRESSURE INTO AN ELECTRIC SIGNAL}

그러한 셀은 많은 분야에서 사용되며, 특히 유체 발진 유량계에 사용된다.

그런 형태의 유량계는 종방향 평면에 대하여 대칭이며, 그 속의 유체 유동은 유체 제트(fluid jet)로 변환되고, 상기 유체 제트은 유속에 비례한 진동수로 상기한 평면에 대하여 진동 챔버에서 발진한다.

위에서 정의된 종방향 평면을 중심으로 하여 대칭으로 유체 제트에 의해 교대로 발생되는 두 위치들 사이에서 나타나는 압력차의 변화는 셀(cell)에 의해 진동수로 나타나는 전기 신호로 변환된다.

관련 전자장치는 전기 신호를 방형파로 변환시키고, 그 방형파는 오실리에이터에서의 유속과 그것을 통과하는 량을 결정하는데 사용될 수 있다.

더욱이, 유체 제트의 두 대칭적 위치들 각각에 대응하는 두 압력 발생 위치들을 연결하는 채널을 제공하고, 압력차를 나타내는 전기적 신호를 얻기 위하여 유체 제트의 두 대칭적 위치들에 대응한 두 압력 발생 지점들 사이에서 채널에 컨버터 셀을 배치시킬 수 있다. 상기 컨버터 셀은 오일과 같은 비압축성 유체가 충전되고 강성의 벽에 의해 분리된 2 챔버들을 구비하며, 상기 챔버들 각각은 벽에서 떨어진 멤에 의해 한정된다.

멤들 각각은 채널의 유체와 접촉하게 되고 유체에 의해 압력을 직접 받게 된다. 그 결과 양 멤들은 유체 제트의 진동에 따라 교대로 변하는 압력차의 작용을 연속적으로 받게 된다. 상기 압력들은 챔버들에 제공된 비압축성 유체를 통하여 분리벽에 전달된다.

두 챔버들을 분리하는 벽은 챔버들에서의 압력들에 노출되도록 각각의 챔버들과 연통된 압력차 센서를 구비한다.

예를들어, 상기 센서는 대응된 챔버에서 얻어지는 압력을 각각 받게 되는 변형가능한 2개의 요소들 사이에서 고정된 중앙의 요소를 포함하는 스위스 특허 제 680 392호에 개시된 센서로 될 수 있다.

센서를 작동시킬 수 있게 하기 위하여 중앙의 요소와 각각의 변형가능한 요소 사이에서 연통된 2개의 평행한 공동들이 각각 형성된다. 변형가능한 요소들중 하나와 중앙 요소를 포함한 각각의 짝에는, 압력차가 변형가능한 요소들 각각에 작용될 때 여러 방식으로 변화하는 커패시턴스를 형성하며 서로를 향하여 배치된 전극이 각각 제공된다.

챔버들이 비압축성 유체로 충전되고 밀봉될 때, 두 챔버들에서의 유체 충전 작업과 시일 작업이 동일하지 않게 되기 쉬우며 그래서 챔버들 사이에서 압력차가 발생할 위험이 있다.

또한, 챔버들의 체적이 완전히 동일하지 않고 멤들이 정확히 같은 강성을 갖지 않는 경우에 압력차는 더욱 증가될 수 있게 된다.

이러한 "기생" 압력차 때문에, 센서의 변형가능한 요소는 후속적인 측정에서 자동적으로 에러를 발생시키는 잔류 변형을 받게 된다.

그러한 현상은 컨버터 셀이 발견해야할 매체의 온도가 낮거나 0인 진동수에서(비반복적 현상) 증가할 때 더욱 악화되며, 그 이유는 그와 같은 환경에서 챔버들의 체적은 챔버들 마다 달리 증가되어 변형가능한 요소의 보다 큰 잔류 변형을 증대시켜 측정을 하기 전에 보다 큰 에러를 포함하기 때문이다.

위와 같은 현상을 피하기 위하여, 컨버터 셀의 제조시에 특별한 주의가 요구하게 되며, 따라서 제조공정을 보다 복잡하게 하고 제조비용을 증가시킨다.

그러므로, 종래기술의 셀보다 제조하기가 용이하고 비용이 저렴한 한편 온도 편차에 덜 민감한 컨버터 셀을 제공하는 것이 바람직하다.

본 발명은 압력차를 전기 신호로 변환하는 셀에 관한 것으로, 상기 셀은 비압축성 유체가 충전되며 강성의 벽에 의해 서로 분리된 2개의 챔버와 상기 벽에 설치되어 그 벽 양측에 작용하는 압력차에 응답하는 센서를 포함하며, 상기 챔버들 각각은 외부 압력의 작용하에 적합하게 변형될 수 있는 멤브레인(멤)에 의해 밀폐되고, 상기 센서는 압력차에 응답하여 전기 신호를 발생하도록 구성된다.

도 1은 압력차를 전기 신호로 변환하도록 본 발명의 셀의 공지된 형태의 유체 발진기내의 위치를 도시한 개략적인 종단면도이다.

도 2는 본 발명의 제 1 실시예를 구성하는 컨버터 셀의 개략적인 단면도이다.

도 3은 2개의 필터들 사이에서 형성된 통로에 의하여 멤들에 의해 구성되는 유체 필터의 진동수 반응 곡선을 보여주는 그래프이다.

도 4는 도 1의 유체 발진기를 통과한 유체의 유속 Q의 변화와, 유체 발진기에 연결된 유입관의 물의 온도 상승, 및 도 2에 도시된 압력차 컨버터 셀의 응답(s)를 함께 보여주는 하나의 선도이다.

도 5는 도 3에 도시된 셀과 다른 실시예를 구성하는 컨버터 셀의 개략적인 단면도이다.

도 6은 도 2에 도시된 셀의 변형예를 형성하는 다른 컨버터 셀의 개략적인 단면도이다.

도 7은 본 발명의 다른 실시예를 구성하는 컨버터 셀의 개략적인 단면도이다.

따라서, 본 발명에 따라, 외부 압력의 작용하에 변형될 수 있는 각각의 멤에 의해 밀폐되고 비압축성 유체가 충전되며 강성의 벽에 의해 각각 분리된 2개의 챔버들과, 벽을 가로질러 작용하는 압력차에 응답하여 전기적 신호를 발생하며 상기 벽에 장착되는 센서를 포함하는 압력차를 전기신호로 변환시키는 셀에 있어서, 먼저 0까지 낮은 진동수에서 벽을 가로질로 작용하는 기생 압력차를 감쇠시키며 보다 높은 진동수에서 벽을 가로질러 발휘되는 압력차를 센서가 탐지하도록 허용하는 크기로 2개의 챔버들 사이에 적어도 하나의 통로가 형성된 것을 특징으로 하는 셀을 제공한다.

본 발명을 채용하지 않는 경우에, 압력차 센서에 의해 탐지되는 작동 범위의 진동수 아래의 진동수에서 챔버들을 분리하는 벽의 어느 일측에 발생하는 기생 압력차가 상기 센서에 작용한다.

적당한 크기의 통로는 비압축성 유체가 그 통로를 통하여 이동하도록 허용하고 유사 정전기적 방법으로 챔버들 내의 압력이 평형이 될 수 있도록 함으로써 기생 압력차를 낮은 진동수에서는 감쇠시키고 매우 낮은 진동수에서는 제거하도록 작용한다.

상기 통로는 기생 압력차의 진동수에서 유체 필터로서 작용한다.

상기 통로의 크기는 유체의 점성과, 기생 압력차가 센서에서 상당히 감쇠되는 "차단" 진동수 및 멤들용으로 사용된 재료들의 치수등과 같은 변수에 의존하게 되며, 상기 재료들의 치수는 기생 압력차의 진동수와 작동 진동 범위의 함수로서 각 경우마다 결정될 필요가 있다.

작동 진동수 범위의 낮은 진동수 위에서는 센서의 작동에 방해를 주기 때문에 상기 통로는 분리 벽의 일측에서 챔버들 사이의 압력차를 필터링해서는 안된다.

본 발명의 실시예에서, 적당한 크기의 통로가 챔버들을 분리하는 벽에 형성된다.

다른 실시예에서, 개구부는 챔버들을 분리하는 벽을 관통하여 형성되고 통로에 적합한 치수에 비하여 큰 치수를 가지며, 상기 통로는 개구부와 서로 연통되도록 상기 분리벽에 설치되는 부속품으로 형성된다.

본 발명의 다른 실시예에서, 적당한 치수의 통로가 챔버 분리벽을 우회하연 연통된 채널 형태로 형성된다.

본 발명의 특징에 따라, 상기 부속품은 사실상 원통형상이다.

본 발명의 다른 특징들과 장점들은 첨부된 도면을 참고하여 비제한적인 예에 대한 이하의 설명으로부터 명백해질 것이다.

압력차를 전기 신호로 변환하는 본 발명의 셀은 유체 발진 유량계용으로 특히 적합하다.

도 1에 도시된 바와같이, 공지 형태의 유체 발진기(10)는 하우징(12) 속에 유체 발진기의 종방향 대칭면(P)에 일직선으로 배열된 유체 유입관(16)과 유체 유동 배출관(18)과 함께 장애물(14)이 배치되어 있다.

유체 유입관(16)은 슬로트 형태로 형성되어 2차원적인 유체 제트를 발생하며, 상기 유체 제트는 하우징(12) 내부에서 상기 슬로트를 향하여 위치한 장애물(14)과 부딪히게 된다. 상기 장애물(14)은 중공부(22)가 슬로트(16)를 향하여 형성되고 그로부터 유입되는 유체 제트의 충격을 받는 전면벽(20)을 포함한다.

상기 슬로트(16)로부터 들어오는 유체 제트는 그 자체의 불안정성으로 인하여 중공부(22)의 벽들을 스쳐서 유체 발진기의 종방향 대칭면(P)의 양측으로 대칭되되는 2개의 극단적인 위치들을 갖게 된다. 상기 유체 제트의 극단적인 위치들은 P1과 P2로 표시되며 (도 1에서 점선으로 표시된) 채널(24,26)들을 통하여 본 발명의 컨버터 셀(28)에 연결된다.

상기 셀(28)은 장애물(14)의 위 또는 아래에 장착될 수 있으며, 그 대신에 크기가 가능하다면 장애물 속에 장착될 수도 있다.

도 2에 도시된 본 발명의 실시예에서, 컨버터 셀(28)은 원통 형상으로서 원통형의 주변 벽(30)과 2개의 반대측에 배치된 예를들어 스틸재로 원통의 양단에 배치됨으로써 원통을 밀폐시키는 멤(32,34)들을 포함한다. 상기 멤(32,34)들 각각은 셀의 내부와 대응된 채널(24 또는 26)에 배치된 유체에 접촉하게 되어서 대응된 위치 P1와 P2에 배치된 유체의 제트로부터의 압력을 받게 된다.

예를들어 알루미늄과 같은 재료로 만들어지는 강성의 벽(36)은 2개의 구별된 챔버(38,40)들로 셀의 내부를 분할한다. 2개의 챔버(38,40)들은 예를들어 오일과 같은 비압축성 유체가 충전된다.

예를들어 스위스 특허 제 680 392호와 프랑스 특허 제 2 701 564호에 기재된 형태의 압력차 센서(42)는 격벽(36)의 면(36a)들중 하나에 장착된다.

센서(42)의 면(42a)들중 하나는 챔버(38)의 오일과 접촉하며, 센서의 반대면(42b)은 격벽(36)을 통하여 형성된 구멍(44)을 통하여 다른 챔버(40)에 있는 오일과 접촉하게 된다. 더욱이, 유체 제트가 도 1의 중공부(22)를 스쳐지나가면서 교대로 위치(P1, P2)들을 점유하면, 각각의 멤(32,34)들은 각각의 압력(P',P")들을 받게 된다. 상기 P1과 P2의 압력차는 본 발명의 컨버터 셀에 "발진" 진동수로 교대로 작용되며 센서(42)는 챔버(38,40)들에 있는 오일에 의해 전달되는 압력차의 변화에 응답하여 제트의 발진 진동수를 나타내는 전기신호를 발생한다. 유속을 결정하기 위하여 센서에 의해 발생되는 신호를 처리하는데 필요한 전자장치는 격벽(36)에 도시되어 있지 않다.

예를들어 원형의 구멍 형태의 개구부(46)는 격벽(36)을 관통하여 형성된다.

예를들어 원통형상의 부품인 부속품(48)은 유리와 같은 재료로 만들어지며 개구부(46)를 향하여 장착된다.

부속품(48)의 반경 크기는 개구부(46)의 반경보다 더 크며, 상기 부속품은 개구부(46)의 주변 격벽(36)과 접촉하게 장착된다. 상기 추가되는 부속품(48)은 예를들어 접착제로 격벽(36)에 장착되며, 그 중심에 개구부(46)의 크기와 비교하여 작은 크기의 통로(50)를 갖는다. 상기 통로(50)의 형성을 간편하게 하기 위하여 상기 통로는 원통형상인 것이 바람직하다.

본 출원인은 통로(50)의 크기를 결정하기 위하여 전자 아날로지를 이용하는 것이 유용할 수 있다. 이 아날로지에서, 셀에 작용되는 압력차 │P'-P"│는 전압에 해당하며, 통로(50)를 통과하는 유량 Q는 전류에 해당하고, 단위 압력당 각 멤(32,34)의 편향도에 의해 이동되는 오일의 체적은 커패시턴스 C에 해당하고, 오일의 흐름에 대한 통로(50)의 저항은 전기 저항 R에 해당된다. 게다가 압력차 ΔP는 통상의 가상의 회전 표시법을 이용하여 아래와 같은 식으로 표시된다:

ΔP = [R + 1/j(C/2)ω]Q

여기서 ω는 각진동수, 즉 ω = 2πf이다.

압력차가 센서(42)의 양측에 동일하게 작용되면, 통로(50)는 ΔPs로 표시되고, 통로(50)의 치수를 결정하기 위하여 ΔPs/ΔP가 값 1에 가능한 근접하는 진동수를 결정할 필요가 있다.

실제로, ΔPs/ΔP가 1 - ε/2와 같은 것을 가정할 수 있다. 여기서 ε/2는 고려하는 진동수에서 허용가능한 에러(예를들어 4%)에 해당한다. 상기 방정식은 아래와 같이 표시될 수 있으며:

R/= 1 - ε/2

ε에 대하여 아래 값을 갖도록 풀 수 있다:

ε = 4R²C²ω²

필터의 시간 상수τ는 RC/2와 같고, 필터의 차단 진동수 fc는 신호의 감쇠가 작동 진동수 범위, 즉 1/πRC의 신호값에 대하여 1/이다.

진동수의 함수로서 필터의 작동을 나타내는 ΔPs/ΔP는 도 3에서 곡선으로 주어진 형태를 갖는다.

예를들어, ΔPs/ΔP가 0.96과 (즉, 1-4%까지) 같은 진동수는 아래의 두가지 변수를 고려하여 통로(50)의 크기에 의해 결정된다: 상기 변수는 첫째, 센서(42)가 필터로 인한 감쇠없이 탐지가 요구되는 측정될 유체의 최소 유량과 관련한 발진 진동수 신호와, 둘째로, 가능한한 많이 감쇠시킬 것이 요구되는 챔버(38,40)들의 격벽(36)의 일측에 나타나는 기생 압력차를 야기하는 느린 진동수 현상등이다.

예로서, 0.1Hz 보다 큰 발진 진동수를 탐지하는 한편, 챔버(38,40)들 사이의 기생 압력차를 설정하는 환경 때문에 진동수가 낮거나 (f ≪ 0.1Hz) 또는 0으로 느린 현상을 피하는 것이 요구될 수도 있으며, 그 이유는 그와 같은 낮은 진동수는 유체 발진기를 통하여 흐른 유체를 측정하는데 방해가 되기 때문이다. 단지 예로서, 그러한 현상은 챔버(38,40)들의 체적이 절대값으로 동일하지 않을 때, 그리고 측정 셀이 약 40초의 기간동안 실내 온도(20℃)에 대하여 25℃로 온도상승이 될 때 (진동수 0.025 Hz) 상기와 같은 현상은 발생될 수 있다.

적당한 치수의 통로(50)는 셀의 챔버(38,40)들의 압력차를 평형이 되게 함으로써 온도의 증가로 인한 기생 압력차에 대하여 보상할 수 있도록 한다.

이러한 모드의 셀 작동에서, ΔPs/ΔP의 비가 1보다 많이 작으면 (도 3의 곡선에서 진동수 fc의 좌측에 위치된 곡선 부분) 센서는 실제로 영향을 받지 않으며, 느린 교란 현상의 기간동안에 걸쳐 격벽(36)의 일측에서 압력은 사실상 평형으로 유지된다.

그렇게 느리지 않는 (10s 내지 20s 정도의 기간) 형상에서는 ΔPs/ΔP의 비가 앞의 경우 보다 1에 근접하게 되어서 센서가 실제로 기생 압력차가 나타남으로 인하여 보다 영향을 받게 된다.

0.1Hz 이상에서, 센서는 발진 신호를 탐지할 수 있어야 하며, 그 결과 통로(50)는 더 이상 압력이 평형이 되지 않아야 될 뿐만 아니라 압력차의 변동이 충분히 전달되어야 한다.

도 4는 도 1의 유체 발진기를 통한 유량 Q의 변화와, 유체 발진기에 연결된 유입관의 물의 온도 T의 상승 및 도 2에 도시된 압력차 컨버터 셀의 응답 S를 함께 보여주는 선도이다.

물의 온도가 20s 내에 20℃에서 47.5℃로 되면, 본 발명의 컨버터 셀에 의해 발생된 평균 신호 S는 (도 4에서 검은 부분) 40s 미만의 시간에서 신호 S의 좌측 부분에 의해 보여지는 바와같이 온도 상승에 의해 전혀 영향을 받지 않는다.

이와 대조적으로, 온도 변화가 매우 느릴 때, 도 4는 평균 신호 S가 평균값 0 V 주위에서 안정화되므로 상기 변화에 의해 영향을 받지 않고, 따라서 본 발명의 효과가 나타난다. 도 4는 또한, 순간 신호 S가 측정될 유량을 나타내는 높은 진동수의 발진(10 내지 40 Hz)을 신뢰성 있게 재현하고 있음을 보여준다.

자연적으로, 0.1 Hz 미만의 진동수의 현상들이 상술한 예에서 보다 큰 범위로 감쇠되는 식으로 도 2의 통로(50)의 치수를 결정할 수 있다. 그럼에도 불구하고 그와 같은 현상하에서 측정 셀은 낮은 진동수의 발진에서 유량 신호에 덜 민감하게 된다.

그러므로, 챔버(38,40)들 사이의 기생 압력차를 증가시키는 허용가능한 수준의 낮은 진동수의 현상들과 유체 발진기로부터 나오는 탐지할 필요가 있는 가장 낮은 진동수의 신호들 사이의 범위를 설정할 필요가 있다.

통로(50)용의 적당한 치수를 결정하기 위하여 아래와 같이 처리한다.

통로(50)를 통한 오일의 유량 Q은 아래와 같은 프와지유 공식에 의해 주어진다.

Q = ΔPsπd⁴/(128Lη)

여기서 d는 통로(50)의 직경이고, L은 개구부의 길이이며, η은 오일의 동점성도이고 ΔPs는 통로(50)를 가로지른 압력이다.

멤브레인(32,34)들은 이동되는 체적에 대하여 멤에 작용되는 압력의 비로서 정의되는 계수 K에 의해 특징되어진다. 상기 계수 K는 아래와 같이 표시된다.

K = ΔPm/ΔV, ΔP = 2ΔPm + ΔPs

예를들어, 평탄한 강재의 멤에 있어서, K는 0.11×10¹²Pa/m³와 같게 될 수 있다.

차단 진동수는 아래와 같이 표시된다.

fc = Kd⁴/(128L)

차단 진동수 fc가 탐지되어야 할 최저 진동수에 해당하는 0.1 Hz의 미리 설정된 값으로 고정되고, K와 η의 값이 주어지면, 상기 공식을 만족시키는 L과 d의 값을 결정할 수 있다.

더욱이, 예를들어, 통로(50)의 직경은 120 ㎛로 될 수 있고 그 길이 L은 1.6 mm으로 될 수 있으며, 원통(48)의 외경은 예를들어 4.5mm로 된다.

예를들어, 모세관을 적당한 치수로 절단함으로써 유리 원통을 얻을 수 있으며, 상기 모세관은 상표 N16B로 SCHOTT에 의해 1.6m의 길이로 판매되는 것을 사용할 수 있다.

도 3의 예에서, 수치는 다음과 같다.

멤의 직경 : 21 mm

멤의 두께 : 50 ㎛

챔버(38,40)의 체적 : 210 ㎣과 150 ㎣

사용된 오일 : 다우 코닝 디씨 200-5

동점성도 : 5 mm²s^-1

상기 통로(50)의 적당한 치수는 시간에 따라 멤(32,34)들 사이에서 압력차를 완화시킬 수 있으며, 또한 챔버들의 체적이 제조시에 완전히 동일하지는 않더라도 온도 상승에 의해 챔버(38,40)들 사이의 기생 압력차를 상승시킬 수 있으며 이들 멤들의 강성값들 사이에 존재할 수 있는 차이를 무시할 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에서, 적당한 치수의 통로(50)는 도 5에서 도시된 바와같은 셀의 격벽(52)을 관통하여 형성된다.

도 2에 도시된 본 발명의 변형예에서, 복수개의 통로(54)들이 (도 6의) 셀의 격벽(36)들에 부속품(55)이 관통하여 설치되며, 다수의 통로들은 도 2에 도시된 통로(50)의 것과 유사한 기능을 수행한다.

이들 통로들은 상술한 전기적 아날러지를 계속하여 이용하고 평행하게 연결된 복수개의 저항들로서 통로(54)들을 처리함으로써 치수가 결정된다.

도 7에 도시된 다른 실시예에서, 격벽(56)은 센서(42)를 구비한 저항기로 오직 하나의 구멍(44)을 갖는다.

챔버(38,40)들 사이의 통로가, 챔버들의 각각으로 개구된 단부(58a, 58b)들을 구비하고 격벽(56)을 우회시키도록 측정 셀의 주변 벽(30)에 배치된 연통 채널(58) 형태로 설치된다.

예로써, 채널은 미세한 모세관으로 설치된다.

채널의 기능은 도 2의 통로(50)의 것과 유사하며 그 치수도 그와 마찬가지로 결정된다.

챔버(38,40)들 사이를 연통시키는 통로가 감지 요소가 설치된 구역으로부터 떨어져 있는 센서의 벽을 관통하는 채널 형태로 압력차 센서에 직접 형성될 수 있음을 볼 수 있다.

본 발명에 따라, 먼저 0까지 낮은 진동수에서 벽을 가로질로 작용하는 기생 압력차를 감쇠시키며 보다 높은 진동수에서 벽을 가로질러 발휘되는 압력차를 센서가 탐지하도록 허용하는 크기로 2개의 챔버들 사이에 적어도 하나의 통로가 형성되게 구성함으로써 기생 압력차를 낮은 진동수에서는 감쇠시키고 매우 낮은 진동수에서는 제거하도록 유체 필터로서 작용하여 온도 편차에 덜 민감하게 되어 제조공정이 간편하고 제조비용이 저렴하게 되는 장점이 있다.

Claims (5)

1. 외부 압력의 작용하에 변형될 수 있는 각각의 멤(32,34)에 의해 밀폐되고 비압축성 유체가 충전되며 강성의 벽(36,52,56)에 의해 각각 분리된 2개의 챔버(38,40)들과, 벽을 가로질러 작용하는 압력차에 응답하여 전기적 신호를 발생하며 상기 벽에 장착되는 센서(42)를 포함하는 압력차를 전기신호로 변환시키는 셀에 있어서, 먼저 0까지 낮은 진동수에서 벽을 가로질로 작용하는 기생 압력차를 감쇠시키며 보다 높은 진동수에서 벽을 가로질러 발휘되는 압력차를 센서가 탐지하도록 허용하는 크기로 2개의 챔버(38,40)들 사이에 적어도 하나의 통로(50,54,58)가 형성된 것을 특징으로 하는 셀.
2. 제 1항에 있어서, 적합한 치수의 통로(50)는 챔버들을 분리하는 벽(52)에 형성되는 것을 특징으로 하는 측정 셀.
3. 제 1항에 있어서, 상기 개구부(46)가 통로에 대한 적당한 치수와 비교하여 넓은 치수를 가지며 챔버들을 분리하는 벽(36)을 관통하여 형성되고, 상기 통로(50,54)는 개구부와 서로 연통되도록 격벽(36)에 설치되는 부속품(48,55)으로 형성되는 것을 특징으로 하는 측정 셀.
4. 제 3항에 있어서, 상기 부속품(48,55)은 사실상 원통형상인 것을 특징으로 하는 측정 셀.
5. 제 1항에 있어서, 상기 적당한 치수의 통로가 챔버 격벽을 우회하여 연통 통로(58)의 형태로 설치되는 것을 특징으로 하는 측정 셀.