KR20000027417A - Tray moving device of separable handler - Google Patents

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윤종용
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Abstract

PURPOSE: A tray moving device of the separable handler is provided to reduce the repairing time and to enhance the operation ratio of the device by easily separating the motor driving wire and changing it when the wire is cut off. CONSTITUTION: A tray moving device comprises a rotation axis(100), a motor(102), a motor driving wire(104), a projection part(106), and an opening part(108). The rotation axis(100) rotates the tray moving belt of the handler. The motor(102) drives the rotation axis. The motor driving wire(104) connects the motor and the rotation axis. The projection part(106) is formed at the part of the rotation axis which is connected with motor driving wire. The opening part(108) is structured for the projection part to be separated or inserted and is formed at the connecting part of the motor driving wire and the rotation axis.

Description

분리가 용이한 핸들러의 트레이 이송장치Easily removable tray feeder

본 발명은 반도체 소자의 검사공정에 사용되는 장비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 핸들러(handler)의 트레이(tray) 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to equipment used in the inspection process of semiconductor devices, and more particularly, to a tray feeder of a handler.

웨이퍼에 칩(Chip) 상태로 존재하던 반도체 집적회로는 일련의 패키징(Packaging) 공정을 거치면서 외부의 충격으로부터 칩이 보호되는 패키지 형태로 재 가공된다. 가공이 끝난 패키지(Package)는 사용자에게 전달되기에 앞서 최종적으로 전기적인 기능 검사(Final test)를 수행하게 된다. 이때, 컴퓨터에 각종 계측기기를 장착한 테스터(tester)와, 패키지를 자동으로 이송시켜 테스터와 연결시키는 장치인 핸들러(handler)를 사용하게 된다.Semiconductor integrated circuits that existed in a chip state on a wafer are reprocessed into a package form in which a chip is protected from an external impact through a series of packaging processes. The finished package is finally subjected to an electrical final test before being delivered to the user. In this case, a tester equipped with various measuring devices in a computer and a handler which automatically transfers a package and connects the tester are used.

이러한 핸들러의 기능은, 단위 반도체 패키지를 핸들러의 콘택터(contactor)에 연결하는 기능과, 콘택터에 연결되어 검사가 끝난 단위 반도체 패키지를 다시 검사결과에 따라 분류하여 단위 패키지들을 담거나 이송시키는 수단, 예컨대 트레이(tray)로 다시 넣는 역할을 한다.The function of the handler includes a function of connecting the unit semiconductor package to a contactor of the handler, and a means for containing or transporting the unit packages by classifying the unit semiconductor package connected to the contactor again according to the test result. It serves to put it back into the tray.

도 1은 일반적인 핸들러의 트레이 이송장치를 설명하기 위해 도시한 개략도이다.1 is a schematic view illustrating a tray feeder of a general handler.

도 1을 참조하면, 반도체 패키지(package)는 트레이(51)라는 이송수단에 담겨져 수평형의 핸들러 내부에서 이송된다. 이러한 트레이(51)는 모터(53)와 연결된 벨트(55)에 의해 핸들러 내부에서 주로 이동을 하게 된다. 여기서 참조부호 57은 테스트 챔버 팬 블록(test chamber fan block)을 가리킨다.Referring to FIG. 1, a semiconductor package is contained in a conveying means called a tray 51 and conveyed inside a horizontal handler. The tray 51 is mainly moved inside the handler by the belt 55 connected to the motor 53. Reference numeral 57 denotes a test chamber fan block.

도 2는 종래기술에 의한 고정방식의 핸들러 트레이 이송장치를 설명하기 위해 도시한 단면도이다.Figure 2 is a cross-sectional view for explaining the handler tray feeder of the fixed method according to the prior art.

도 2를 참조하면, 상기 도 1에서 벨트와 모터가 연결되는 부분(A)을 확대한 도면으로써 벨트와 모터의 연결은 모터 구동 와이어(59)에 의하여 이루어진다. 그러나 이러한 모터 구동 와이어(59)의 끊어짐이 발생할 때, 벨트를 회전시키기 위한 회전축(61)과 모터 구동 와이어(59)를 고정시키는 2개의 셋 스크루(set screw, 65)를 풀어야만 모터 구동 와이어(59)의 교체가 가능하다. 이때 셋 스크루(65)를 풀기 위해서는 테스트 챔버 팬 블록(도 1의 57)과 모터(도1의 53)를 해체해야만 한다.Referring to FIG. 2, an enlarged view of a portion A connecting the belt and the motor in FIG. 1, the connection between the belt and the motor is made by the motor driving wire 59. However, when such breakage of the motor drive wire 59 occurs, the motor drive wire (only when the two set screws 65 are fixed to the rotating shaft 61 for rotating the belt and the motor drive wire 59 is released). 59) can be replaced. At this time, in order to loosen the set screw 65, the test chamber fan block (57 in FIG. 1) and the motor (53 in FIG. 1) must be disassembled.

그러나, 상술한 종래기술은 모터 구동 와이어를 교체하기 위해 테스트 챔버 팬 블록(도1의 57)과 모터(도1의 53)를 해체해야만 하기 때문에 작업상의 손실(loss)이 크며, 특히 핸들러가 콜드 테스트(cold test)를 한 직후에는 핸들러의 온도를 높여 물기까지 모두 제거한 후에 작업을 해야하기 때문에 장비가동률이 상당히 떨어지는 문제점이 있다.However, the above-mentioned prior art has a large operational loss since the test chamber fan block (57 in FIG. 1) and the motor (53 in FIG. 1) have to be disassembled in order to replace the motor driving wire, and the handler is cold. Immediately after the cold test, there is a problem that the operation rate of the equipment decreases considerably because the temperature of the handler must be removed after the water is removed.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 분해가 용이하고 정비시간을 절약할 수 있으며, 장비의 가동률을 향상시킬 수 있는 핸들러의 트레이 이송장치를 제공하는데 있다.The technical problem to be achieved by the present invention is to provide a tray feeder of a handler that can be easily disassembled, save maintenance time, and improve the operation rate of the equipment.

도 1은 일반적인 핸들러의 트레이 이송장치를 설명하기 위해 도시한 개략도이다.1 is a schematic view illustrating a tray feeder of a general handler.

도 2는 종래기술에 의한 고정방식 핸들러 트레이 이송장치를 설명하기 위해 도시한 단면도이다.Figure 2 is a cross-sectional view for explaining a fixed handler tray transport apparatus according to the prior art.

도 3은 본 발명에 의한 분리가 용이하도록 구성된 핸들러 트레이 이송장치를 설명하기 위해 도시한 사시도이다.3 is a perspective view illustrating the handler tray feeder configured to facilitate separation according to the present invention.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은 제1 실시예를 통하여, 핸들러의 트레이 이동용 벨트를 회전시키기 위한 회전축과, 상기 회전축을 구동시키는 모터(motor)와, 상기 회전축과 모터를 연결하도록 구성된 모터 구동 와이어(motor driving wire)와, 상기 회전축에서 상기 모터 구동 와이어와 연결되는 부분에 구성된 돌출부와, 상기 모터 구동 와이어에서 상기 회전축과 연결되는 부분에 구성되고 상기 돌출부가 끼워지거나 빠질 수 있도록 구성된 개구부를 구비하는 분리가 용이한 핸들러의 트레이 이송장치를 제공한다.In order to achieve the above technical problem, the present invention provides a rotating shaft for rotating the tray moving belt of the handler, a motor for driving the rotating shaft, and a motor driving configured to connect the rotating shaft and the motor through the first embodiment. A motor driving wire, a protrusion formed at a portion of the rotary shaft connected to the motor driving wire, and an opening formed at a portion of the motor driving wire connected to the rotary shaft and configured to allow the protrusion to be fitted into or slipped out of the motor driving wire. It provides a tray feeder of the handler easy to remove.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은 변형예를 통하여, 핸들러의 트레이 이동용 벨트를 회전시키기 위한 회전축과, 상기 회전축을 구동시키는 모터와, 상기 회전축과 모터를 연결하도록 구성된 모터 구동 와이어(motor driving wire)와, 상기 모터 구동 와이어에서 상기 회전축과 연결되는 부분에 구성된 돌출부와, 상기 회전축에서 상기 모터 구동 와이어와 연결되는 부분에 구성되고 상기 돌출부가 끼워지거나 빠질 수 있도록 구성된 개구부를 구비하는 분리가 용이한 핸들러의 트레이 이송장치를 제공한다.In order to achieve the above technical problem, the present invention, through a modification, a rotating shaft for rotating the tray for moving the belt of the handler, a motor for driving the rotating shaft, and a motor driving wire configured to connect the rotating shaft and the motor (motor driving wire) ), A protrusion formed at a portion of the motor drive wire connected to the rotary shaft, and an opening formed at a portion connected to the motor drive wire at the rotary shaft and configured to allow the protrusion to be fitted into or slipped out. Provide a tray feeder for the handler.

본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 돌출부는 상기 개구부에 끼워졌을 때, 잘 돌아갈 수 있도록 다각 기둥의 형상인 사각형으로 구성된 것이 적합하다.According to a preferred embodiment of the present invention, when the protrusion is fitted into the opening, it is preferable that the protrusion is formed of a quadrangle in the shape of a polygonal pillar so as to be able to return well.

바람직하게는, 상기 트레이(tray)가 수평방식으로 이동되도록 구성된 것이 적합하다.Preferably, the tray is configured to be moved in a horizontal manner.

본 발명에 따르면, 핸들러의 트레이 이송장치에서 모터 구동 와이어가 끊어졌을 때, 모터 구동 와이어를 손쉽게 분리하여 이를 교체함으로써 정비시간을 단축하고 장비가 못쓰게 되는 시간을 단축하여 장비가동률을 높일 수 있다.According to the present invention, when the motor drive wire is broken in the tray feeder of the handler, the motor drive wire can be easily disconnected and replaced to shorten the maintenance time and shorten the time that equipment is not used, thereby increasing the equipment operation rate.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

당 명세서에서 말하는 분리 및 결합이 손쉽게 이루어지도록 하는 수단인 돌출부와 개구부는 가장 넓은 의미로 사용하고 있으며 본 발명을 설명하기 위해 도시된 특정 형상을 한정하는 의미가 아니다. 따라서, 아래의 바람직한 실시예에서 기재한 내용은 예시적인 것이며 한정하는 의미가 아닌 것으로 해석되어야 할 것이다.Projections and openings, which are means to facilitate separation and coupling in the present specification, are used in the broadest sense and are not intended to limit the specific shapes shown to explain the present invention. Therefore, the content described in the following preferred embodiment is to be construed as illustrative and not limiting.

실시예Example

도 3은 본 발명에 의한 분리가 용이하도록 구성된 핸들러 트레이 이송장치를 설명하기 위해 도시한 사시도이다.3 is a perspective view illustrating the handler tray feeder configured to facilitate separation according to the present invention.

도 3을 참조하면, 상기 도 1의 A부분을 확대한 도면으로, 본 발명에 의한 분리가 용이한 핸들러 트레이 이송장치의 구성은 핸들러의 트레이 이동용 벨트를 회전시키기 위한 회전축(100)과, 상기 회전축을 구동시키는 모터(motor, 102)와, 상기 회전축(100)과 모터(102)를 연결하도록 구성된 모터 구동 와이어(motor driving wire, 104)와, 상기 회전축(100)에서 상기 모터 구동 와이어(104)와 연결되는 부분에 구성된 돌출부(106)와, 상기 모터 구동 와이어에서 상기 회전축과 연결되는 부분에 구성되고 상기 돌출부가 끼워지거나 빠질 수 있도록 구성된 개구부(108)로 구성된다. 여기서 상기 돌출부(106)와 개구부(108)는 분리가 용이하게 트레이 이송장치를 구성하는 본 발명의 목적을 달성하는 주요한 수단이 된다. 즉, 모터 구동 와이어(104)가 끊어질 경우에 종래 기술에서는 모터 구동 와이어와 회전축이 고정형으로 구성되어 핸들러의 다른 부분을 해체한 후에 교체가 가능했었다. 하지만, 본 발명에서는 상기 모터 구동 와이어(104)와 회전축(100)을 돌출부(106)와 개구부(108)에서 분리함으로써 손쉽게 교체가 가능하다.Referring to FIG. 3, an enlarged view of part A of FIG. 1, the configuration of the handler tray conveying apparatus, which is easy to remove according to the present invention, includes a rotating shaft 100 for rotating the tray moving belt of the handler and the rotating shaft. A motor driving a motor 102, a motor driving wire 104 configured to connect the rotation shaft 100 and the motor 102, and the motor driving wire 104 on the rotation shaft 100. And a protrusion 106 formed at a portion connected with the opening, and an opening 108 configured at a portion of the motor driving wire connected to the rotating shaft and configured to allow the protrusion to be fitted into or slipped out. Here, the protrusions 106 and the openings 108 are the main means for achieving the object of the present invention constituting the tray feeder for easy separation. That is, in the case where the motor drive wire 104 is broken, in the prior art, the motor drive wire and the rotating shaft are configured to be fixed so that the replacement is possible after disassembling another part of the handler. However, in the present invention, the motor drive wire 104 and the rotating shaft 100 can be easily replaced by separating the protrusion 106 and the opening 108.

변형예Variant

상기 실시예에서는 돌출부를 트레이 이송용 벨트를 회전시키기 위한 회전축에 구성하고, 개구부를 모터 구동 와이어에 구성하였지만, 이를 반대로 구성할 수 있다. 즉, 돌출부를 모터 구동 와이어에 구성하고, 개구부를 회전축에 구성한 경우에도 본 발명에서 추구하는 목적을 충분히 달성할 수 있다.In the above embodiment, the protrusion is formed on the rotating shaft for rotating the tray conveying belt, and the opening is formed on the motor driving wire, but this can be configured in reverse. That is, even when the protrusion is formed on the motor drive wire and the opening is formed on the rotating shaft, the object pursued in the present invention can be sufficiently achieved.

본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명이 속한 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 많은 변형이 가능함이 명백하다.The present invention is not limited to the above embodiments, and it is apparent that many modifications can be made by those skilled in the art within the technical spirit to which the present invention belongs.

따라서, 상술한 본 발명에 따르면, 핸들러의 트레이 이송장치에서 모터 구동 와이어가 끊어졌을 때, 모터 구동 와이어를 손쉽게 분리하여 이를 교체함으로써, ① 정비시간을 단축하고, ② 장비가동률을 높일 수 있다.Therefore, according to the present invention described above, when the motor drive wire is broken in the tray feeder of the handler, by easily disconnecting and replacing the motor drive wire, ① maintenance time can be shortened, ② equipment operation rate can be increased.

Claims (7)

핸들러의 트레이 이동용 벨트를 회전시키기 위한 회전축;A rotating shaft for rotating the tray moving belt of the handler; 상기 회전축을 구동시키는 모터;A motor for driving the rotating shaft; 상기 회전축과 모터를 연결하도록 구성된 모터 구동 와이어(motor driving wire);A motor driving wire configured to connect the rotating shaft and the motor; 상기 회전축에서 상기 모터 구동 와이어와 연결되는 부분에 구성된 돌출부; 및A protrusion formed at a portion of the rotation shaft connected to the motor driving wire; And 상기 모터 구동 와이어에서 상기 회전축과 연결되는 부분에 구성되고 상기 돌출부가 끼워지거나 빠질 수 있도록 구성된 개구부를 구비하는 분리가 용이한 핸들러의 트레이 이송장치.And a tray transfer device of an easy handler having an opening configured to be connected to the rotating shaft in the motor driving wire and configured to allow the protrusion to be inserted into or removed from the motor drive wire. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 회전축의 일단에 구성된 돌출부는 상기 모터 구동 와이어에 구성된 개구부에 끼워졌을 때, 잘 돌아갈 수 있도록 다각 기둥의 형상으로 구성된 것을 특징으로 하는 분리가 용이한 핸들러의 트레이 이송장치.The protrusion of one end of the rotating shaft is inserted into the opening formed in the motor drive wire, the tray transport apparatus of the easy handler, characterized in that configured in the shape of a polygonal pillar so as to be able to return well. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 다각 기둥의 형상은 사각기둥인 것을 특징으로 하는 분리가 용이한 핸들러의 트레이 이송장치.The shape of the polygonal pillar is a tray conveying device of the handler easy to separate, characterized in that the rectangular pillar. 제1항에 있어서, 상기 트레이(tray)가 수평방식으로 이동되도록 구성된 것을 특징으로 하는 분리가 용이한 핸들러의 트레이 이송장치.2. The tray transport apparatus of claim 1, wherein the tray is configured to move in a horizontal manner. 핸들러의 트레이 이동용 벨트를 회전시키기 위한 회전축;A rotating shaft for rotating the tray moving belt of the handler; 상기 회전축을 구동시키는 모터;A motor for driving the rotating shaft; 상기 회전축과 모터를 연결하도록 구성된 모터 구동 와이어(motor driving wire);A motor driving wire configured to connect the rotating shaft and the motor; 상기 모터 구동 와이어에서 상기 회전축과 연결되는 부분에 구성된 돌출부; 및A protrusion formed at a portion of the motor driving wire connected to the rotation shaft; And 상기 회전축에서 상기 모터 구동 와이어와 연결되는 부분에 구성되고 상기 돌출부가 끼워지거나 빠질 수 있도록 구성된 개구부를 구비하는 분리가 용이한 핸들러의 트레이 이송장치.And a tray transfer device of an easy handler having an opening configured to be connected to the motor driving wire in the rotating shaft and configured to allow the protrusion to be inserted into or removed from the rotary shaft. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 모터 구동 와이어의 일단에 구성된 돌출부는 상기 회전축에 구성된 개구부에 끼워졌을 때, 잘 돌아갈 수 있도록 다각 기둥의 형상으로 구성된 것을 특징으로 하는 분리가 용이한 핸들러의 트레이 이송장치.When the protrusion formed at one end of the motor drive wire is fitted in the opening formed in the rotating shaft, it is configured in the shape of a polygonal pillar so that it can be turned back easily. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 다각 기둥의 형상은 사각기둥인 것을 특징으로 하는 분리가 용이한 핸들러의 트레이 이송장치.The shape of the polygonal pillar is a tray conveying device of the handler easy to separate, characterized in that the rectangular pillar.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101879697B1 (en) * 2017-04-07 2018-08-17 주식회사 인팩 Actuator for Plug Locking
KR101950224B1 (en) * 2017-11-24 2019-02-22 주식회사 인팩 Rechargeable plug lock actuator

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101879697B1 (en) * 2017-04-07 2018-08-17 주식회사 인팩 Actuator for Plug Locking
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