KR20000025770A - Semiconductor cassette box - Google Patents

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KR20000025770A
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윤정훈
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윤종용
삼성전자 주식회사
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Abstract

PURPOSE: A semiconductor cassette box is provided to prevent the damage of a component and the inferiority of a wafer by optimizing the cracking angle of a cover in order to lower the variation of the center of gravity when opening the cover. CONSTITUTION: A semiconductor cassette box maintains a cover(20) not to contact with the bottom. The semiconductor cassette box includes: a body(10) whose top is opened in order for a cassette to be accommodated inside; the cover formed to be able to be opened and closed as being hinge-combined with the top of the body; and a stopper(30) which is projected from the body in order to prevent the cover from being opened above a fixed angle and supports the cover by contacting with the opened cover.

Description

반도체 카셋트 박스Semiconductor cassette box

본 발명은 반도체 카셋트 박스에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 뚜껑이 바닥에 닿지 않게 하는 반도체 카셋트 박스에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a semiconductor cassette box, and more particularly, to a semiconductor cassette box in which a lid does not touch the floor.

일반적으로 반도체 웨이퍼용 카셋트는 상기 카셋트를 둘러싸는 용기의 일종인 카셋트 박스에 수납되어 작업자 또는 이송장치에 의해 운반된다.Generally, a cassette for a semiconductor wafer is accommodated in a cassette box, which is a kind of container surrounding the cassette, and then transported by an operator or a transfer device.

이러한 상기 카셋트 박스는, 도1에 도시된 바와 같이, 다수개의 웨이퍼(1)가 적재된 카셋트(2)를 수납하는 상방이 개방된 형태의 몸체(110) 및 상기 몸체(110)와 힌지결합되어 상기 몸체(110)를 밀폐시키고, 사용자의 필요에 따라 개폐되는 뚜껑(120)으로 이루어진다.As shown in FIG. 1, the cassette box is hinged to the body 110 and the body 110 having an open shape to accommodate a cassette 2 loaded with a plurality of wafers 1. The body 110 is sealed and made of a lid 120 that is opened and closed according to a user's need.

그러나, 이러한 상기 뚜껑(120)은, 도2에 도시된 바와 같이, 상기 몸체(110)를 기준으로 카셋트(2)가 출입할 수 있는 소정의 각도 이상(대략 220도 이상)으로 지나치게 벌어져서 바닥에 충돌하는 경우가 빈번했기 때문에 상기 뚜껑(120)이 파손되거나 파손시 발생된 파티클이 웨이퍼(1)에 흡착되어 웨이퍼(1)의 불량이 발생하였다.However, as shown in FIG. 2, the lid 120 is excessively opened at a predetermined angle or more (approximately 220 degrees or more) at which the cassette 2 can enter and exit with respect to the body 110. Since the collision often occurred, the cap 120 was broken or particles generated when the lid was broken were adsorbed onto the wafer 1, resulting in a defect of the wafer 1.

또한, 상기 뚜껑(120)이 지나치게 벌어지면서 작업자가 상기 카셋트 박스의 균형을 순간적으로 잡지 못하여 떨어뜨리는 등의 문제점이 있었다.In addition, there is a problem that the operator can not grasp the balance of the cassette box instantaneously while the lid 120 is too wide open.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 뚜껑이 바닥에 닿지 않고, 뚜껑의 개방시 무게 중심의 변동을 작게 하도록 뚜껑의 벌어지는 각도를 최적화하여 부품의 파손 및 웨이퍼의 불량을 방지하게 하는 반도체 카셋트 박스를 제공함에 있다.The present invention is to solve the conventional problems as described above, the object is that the lid does not reach the bottom, optimize the opening angle of the lid so as to reduce the variation of the center of gravity when opening the lid to break the parts and defect of the wafer To provide a semiconductor cassette box to prevent the.

도1은 종래의 반도체 카셋트 박스의 뚜껑이 밀폐된 상태를 나타낸 정면도이다.1 is a front view showing a closed state of a lid of a conventional semiconductor cassette box.

도2는 도1의 반도체 카셋트 박스의 뚜껑이 개방된 상태를 나타낸 정면도이다.FIG. 2 is a front view illustrating an open state of a lid of the semiconductor cassette box of FIG. 1.

도3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 반도체 카셋트 박스의 뚜껑이 밀폐된 상태를 나타낸 정면도이다.Figure 3 is a front view showing a closed state of the lid of the semiconductor cassette box according to an embodiment of the present invention.

도4는 도3의 반도체 카셋트 박스의 뚜껑이 개방된 상태를 나타낸 정면도이다.4 is a front view illustrating an open state of a lid of the semiconductor cassette box of FIG. 3.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of codes for main parts of drawing

1: 웨이퍼 2: 카셋트1: wafer 2: cassette

10, 110: 몸체 20, 120: 뚜껑10, 110: body 20, 120: lid

30: 스토퍼(Stopper)30: Stopper

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 카셋트 박스는, 내부에 카셋트가 수납되도록 상방이 개방된 형태의 몸체와, 상기 몸체의 상방에 힌지결합되어 개폐가 가능하도록 형성되는 뚜껑과, 상기 뚜껑이 상기 몸체로부터 소정의 각도 이상 벌어지는 것을 방지하도록 상기 몸체에 돌출되어 형성되고, 소정의 각도로 벌어진 뚜껑에 접촉되어 상기 뚜껑을 지지하는 스토퍼를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.The semiconductor cassette box according to the present invention for achieving the above object, the body of the upper shape is opened so that the cassette is stored therein, the lid is hinged to the upper side of the body is formed to be opened and closed, and the lid It characterized in that it comprises a stopper is formed protruding to the body to prevent the opening from the body over a predetermined angle, the lid in contact with the lid opened at a predetermined angle to support the lid.

또한, 기 스토퍼는 일측단부가 상기 몸체에 고정되고, 타측단부가 상기 몸체로부터 소정의 각도로 벌어진 상기 뚜껑에 접촉하는 "Ｌ" 형상인 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the stopper has a "L" shape in which one end is fixed to the body, and the other end is in contact with the lid opened at a predetermined angle from the body.

이하, 본 발명의 구체적인 일 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도3을 참조하여 설명하면, 본 발명의 반도체 카셋트 박스는, 내부에 다수개의 웨이퍼(1)가 적재된 카셋트(2)가 수납되도록 상방이 개방된 형태의 몸체(10)와, 상기 몸체(10)의 상방에 힌지결합되어 개폐가 가능하도록 형성되는 뚜껑(20) 및 상기 뚜껑(20)이 상기 몸체(10)로부터 소정의 각도 이상 벌어지는 것을 방지하도록 상기 몸체(10)에 돌출되어 형성되고, 소정의 각도로 벌어진 뚜껑(20)에 접촉되어 상기 뚜껑(20)을 지지하는 스토퍼(30)를 구비하여 이루어진다.Referring to FIG. 3, the semiconductor cassette box of the present invention includes a body 10 having an upper side open to accommodate a cassette 2 having a plurality of wafers 1 loaded therein, and the body 10. The lid 20 is hinged to the upper side of the) and is formed to protrude to the body 10 so as to prevent the lid 20 from opening beyond a predetermined angle from the body 10, the predetermined It is provided with a stopper 30 in contact with the lid 20 is opened at an angle of supporting the lid 20.

여기서, 상기 스토퍼(30)는 일측단부가 상기 몸체(10)에 고정되고, 타측단부가 상기 몸체(10)로부터 소정의 각도로 벌어진 상기 뚜껑(20)에 접촉하는 "Ｌ" 형상이다.Here, the stopper 30 has a "L" shape in which one end of the stopper is fixed to the body 10 and the other end of the stopper 30 contacts the lid 20 opened at a predetermined angle from the body 10.

또한, 상기 스토퍼(30)는 상기 뚜껑(20)이 상기 몸체(10)를 기준으로 90도 내지 220도의 어느 한 각도를 선택하여 벌어지도록 하는 것으로서, 일반적인 카셋트 박스의 형태를 기준으로 사용하기에 편리한 최적의 각도는 대략 120도 정도이다.In addition, the stopper 30 is to open the cover 20 by selecting any angle of 90 degrees to 220 degrees with respect to the body 10, it is convenient to use based on the shape of a general cassette box The optimal angle is about 120 degrees.

이외에도 상기 스토퍼(30)의 형상은 매우 다양하게 형성될 수 있으며, 특히, 상기 스토퍼(30)의 재질을 탄성재질로 하여 상기 뚜껑(20)의 급격한 개방에 따른 충격을 흡수할 수 있게 하는 것이 바람직하다.In addition, the shape of the stopper 30 can be formed in a variety of ways, in particular, it is preferable that the material of the stopper 30 to absorb the impact of the sudden opening of the lid 20 by the elastic material. Do.

따라서, 상기 뚜껑(20)은, 도4에 도시된 바와 같이, 상기 몸체(10)를 기준으로 카셋트(2)가 출입할 수 있는 소정의 각도(90도 내지 220도)로만 벌어져서 바닥에 충돌하는 경우를 방지할 수 있기 때문에 상기 뚜껑(20)의 파손이나 파손으로 인한 파티클의 피해를 최소화할 수 있는 것이다.Thus, as shown in FIG. 4, the lid 20 is opened at a predetermined angle (90 degrees to 220 degrees) to which the cassette 2 can enter and exit based on the body 10 to impinge on the floor. Since the case can be prevented, damage to the particles due to breakage or breakage of the lid 20 can be minimized.

또한, 상기 뚜껑(20)이 적정 각도(대략 120도)로 벌어지게 하여 무게 중심의 변동을 적게 함으로써 작업자가 상기 카셋트 박스의 균형을 순간적으로 잡지 못하여 떨어뜨리는 등의 경우를 방지할 수 있다.In addition, by opening the lid 20 at an appropriate angle (approximately 120 degrees) to reduce the variation in the center of gravity it is possible to prevent the case that the operator does not grasp the balance of the cassette box instantaneously dropping.

이상에서와 같이 본 발명에 따른 반도체 카셋트 박스에 의하면, 뚜껑이 바닥에 닿지 않고, 뚜껑의 개방시 무게 중심의 변동을 작게 하도록 뚜껑의 벌어지는 각도를 최적화하여 부품의 파손 및 웨이퍼의 불량을 방지하게 하는 효과를 갖는 것이다.As described above, according to the semiconductor cassette box according to the present invention, the lid does not reach the bottom, and the angle of opening of the lid is optimized to reduce the variation of the center of gravity at the time of opening of the lid, thereby preventing breakage of the parts and defect of the wafer. It has an effect.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the described embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical scope of the present invention, and such modifications and modifications are within the scope of the appended claims.

Claims (2)

내부에 카셋트가 수납되도록 상방이 개방된 형태의 몸체;A body having an upper side open to accommodate the cassette therein; 상기 몸체의 상방에 힌지결합되어 개폐가 가능하도록 형성되는 뚜껑; 및A lid hinged to the upper side of the body to be opened and closed; And 상기 뚜껑이 상기 몸체로부터 소정의 각도 이상 벌어지는 것을 방지하도록 상기 몸체에 돌출되어 형성되고, 소정의 각도로 벌어진 뚜껑에 접촉되어 상기 뚜껑을 지지하는 스토퍼;A stopper protruding from the body so as to prevent the lid from opening at a predetermined angle from the body, and being in contact with the lid at a predetermined angle to support the lid; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 카셋트 박스.A semiconductor cassette box comprising a. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 스토퍼는 일측단부가 상기 몸체에 고정되고, 타측단부가 상기 몸체로부터 소정의 각도로 벌어진 상기 뚜껑에 접촉하는 "Ｌ" 형상인 것을 특징으로 하는 상기 반도체 카셋트 박스.The stopper is the semiconductor cassette box, characterized in that the one end is fixed to the body, the other end is in the "L" shape in contact with the lid opened at a predetermined angle from the body.
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