KR20000020329A - 카세트 인덱스 시스템 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 웨이퍼 카세트가 장입 및 인출되는 카세트 인덱스 시스템에 관한 것으로, 카세트 인덱스 시스템은 외부로부터 웨이퍼 카세트가 장입 및 인출되는 오프닝이 형성된 스테이션을 갖고 공정 챔버에 웨이퍼를 로딩 및 언로딩시키는 로드록 챔버와 연결되는 카세트 인덱스 시스템에 있어서, 오프닝의 위치된 스테이션의 상단에 설치되고, 오프닝에 에어 차단막을 만들기 위한 청정 에어를 분사하는 분사 노즐과, 분사 노즐에 연결되어 분사 노즐로 청정 가스가 공급되는 에어 라인 및, 청정 에어를 여과하기 위한 필터로 이루어진다.
Description
본 발명은 반도체 소자의 제조 공정에 사용되는 제조 장비에 관한 것으로, 좀더 구체적으로는 웨이퍼 카세트가 장입 및 인출되는 카세트 인덱스 시스템(cassette indexer system)에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자의 제조공정에 있어서 파티클(Paticle)은 공정중 장비의 불량발생에 결정적인 요인으로 작용하며, 이로 인한 제조단가의 상승도 무시할 수 없는 수준에 이른다.
이처럼 파티클은 모든 반도체소자의 제조공정에 막대한 영향을 주고 있으며, 이러한 문제를 해결하기 위해 대부분의 반도체 소자의 제조 장치는 파티클의 관리가 용이한 진공상태에서 공정을 수행하고 있다. 그리고 그러한 제조 장비는 외부로부터 웨이퍼 카세트를 장입 및 인출하는 카세트 인덱스 시스템과 상기 카세트 인덱스 시스템으로부터 웨이퍼를 공정 챔버로 로딩 및 언로딩 시키는 로드록 챔버를 사용하고 있다.
제 1 도는 상술한 카세트 인덱스 시스템의 개략적인 구조를 나타낸 도면이다.
제 1 도를 참조하면, 종래의 카세트 인덱스 시스템(100)은 외부로부터 웨이퍼 카세트(140)가 장입 및 인출되는 오프닝(112)이 형성된 스테이션부(110)를 갖는다. 상기 카세트 인덱스 시스템(100)은 공정 챔버(130)에 웨이퍼(142)를 로딩 및 언로딩시키는 로드록 챔버(120)와 연결되어 있다.
한편, 상기 웨이퍼 카세트(140)는 자동 반송 장치(미도시됨)에 의해 상기 스테이션부(110)로 장입 및 인출되며, 상기 자동 반송 장치의 원활한 반송을 위해 상기 스테이션부(110)에는 어떠한 커버나 차단장치가 없는 상태에서 운영된다.
이와 같은 종래 카세트 인덱스 시스템은 다음과 같은 문제점을 갖고 있다.
즉, 상기 스테이션부(110)에 놓인 웨이퍼 카세트(140)는 공정을 마친 웨이퍼를 기다리기 위해 오랜 시간을 스테이션부(110)에서 대기하게 된다. 이때, 외부의 공기중에 있는 파티클들이 상기 오프닝(112)을 통해 상기 스테이션부(110)로 유입된다. 그리고 상기 파티클들은 스테이션부(110)의 내부를 1차적으로 오염시키고, 2차적으로 대기중인 웨이퍼 카세트(140)와 웨이퍼들(142)을 오염시키는 치명적인 문제점이 발생된다. 이는 곧바로 반도체 수율이나 신뢰성 그리고 품질을 저하시키는 주요 원인이 된다.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 오프닝을 통해 스테이션부로 유입되는 불순물을 효과적으로 차단할 수 있도록 한 새로운 형태의 카세트 인덱스 시스템을 제공하는데 있다.
도 1은 종래 카세트 인덱스 시스템의 개략적인 구조를 나타낸 도면;
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 소자 제조장비의 카세트 인덱스 시스템을 개략적으로 보여주는 도면;
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 카세트 인덱스 시스템의 사용상태를 보여주는 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
12 : 스테이션부 14 : 오프닝
20 : 분사 노즐 22 : 에어 라인
24 : 필터 26 : 에어 차단막
30 : 공정 챔버 40 : 웨이퍼 카세트
42 : 웨이퍼 50 : 로드록 챔버
52 : 이송 아암
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 카세트 인덱스 시스템은 외부로부터 웨이퍼 카세트가 장입 및 인출되는 오프닝이 형성된 스테이션을 갖고 공정 챔버에 웨이퍼를 로딩 및 언로딩시키는 로드록 챔버와 연결되는 카세트 인덱스 시스템에 있어서, 상기 오프닝의 위치된 스테이션의 상단에 설치되고, 상기 오프닝에 에어 차단막을 만들기 위한 청정 에어를 분사하는 분사 노즐과; 상기 분사 노즐에 연결되어 상기 분사 노즐로 청정 가스가 공급되는 에어 라인 및; 상기 분사 청정 에어를 여과하기 위한 필터를 포함한다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 2 내지 도 3에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 소자 제조장비의 카세트 인덱스 시스템을 개략적으로 보여주는 도면이다. 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 카세트 인덱스 시스템의 사용상태를 보여주는 도면이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 카세트 인덱스 시스템(10)은 스테이션부(12)와, 에어 분사 수단을 갖는다. 상기 에어 분사 수단에 의해서 스테이션부(12)로 외부 불순물들의 유입을 차단할 수 있다.
상기 스테이션부(12)의 전면에는 오프닝(14)이 형성되어 있다. 이 오프닝(14)을 통해 웨이퍼 카세트(40)가 상기 스테이션부(12)에 놓여진다. 상기 웨이퍼 카세트(40)는 자동 반송 장치인 AGP(Auto Guide Vehicle; 미도시됨)에 의해 상기 스테이션부(12)로/로부터 장입 및 인출된다.
한편, 상기 에어 분사 수단은 외부의 불순물이 상기 오프닝(14)을 통해 상기 스테이션부(12)로 유입되는 것을 방지하기 위한 것으로, 그 구성을 살펴보면, 분사 노즐(20), 에어 라인(22) 그리고 필터(24)로 이루어지는 것을 알 수 있다. 상기 분사 노즐(20)은 상기 오프닝(14)이 위치된 스테이션부(12)의 상단에 설치된다. 이 분사 노즐(20)에서는 청정 에어가 아래로 일정한 압력으로 분사된다.(도 3참조) 상기 청정 에어에 의해 상기 오프닝(14)에는 에어 차단막(26)이 형성된다. 상기 분사 노즐(20)은 상기 에어 라인(22)을 통해 청정 에어를 공급받는다. 도면의 편의상 도시되어 있지 않지만, 상기 청정 에어는 CLEAN FAN 또는 자동 공급장치로부터 공급된다. 상기 필터(24)는 상기 분사노즐에서 분사될 청정 에어를 여과하기 위해 설치된다. (예컨대, 청정 에어는 일반 공기보다 불순물 함유율이 적은 에어로, 일반적으로 작업 공간의 청정도를 높이기 위한 목적으로 사용된다.)
상술한 구성을 갖는 신규한 카세트 인덱스 시스템은 자동 반송 장치(미도시됨)에 의해 이송되어 온 웨이퍼 카세트(40)가 오프닝(14)을 통해 상기 스테이션부(12)로 장입된다. 그리고 상기 스테이션부(12)에 장입된 웨이퍼 카세트에 있는 웨이퍼들은 이송 아암(52)에 의해 로드록 챔버(50)로 이송되며, 로드록 챔버(50)에서는 웨이퍼(42)를 공정 챔버(30)로 로딩시켜 공정을 진행시킨다.
여기서 본 발명의 구조적인 특징은 웨이퍼가 출입하는 오프닝에 에어 차단막을 만들기 위한 에어 분사 수단을 갖는데 있다.
예컨대, 상기 청정 에어는 청정 가스로도 이해할 수 있을 것이며, 청정 가스는 일반적으로 챔버내 대기압 형성 및 세정 목적으로 사용되는 질소 가스로도 이해할 수 있는 것이다. 또한 상기 수단은 웨이퍼 반출입 장치 및 오염원으로부터 근접한 장치 그리고 유니트, 모듈에 모두 사용할 수 있다는 것을 동업종의 종사자라면 용이하게 이해할 수 있는 것이다.
도 4를 참조하면, 상기 에어 라인(22)으로 흐르는 청정 에어는 필터(24)를 거친 후 상기 분사 노즐(20)을 통해 아래방향으로 분사된다. 분사되는 청정 에어에 의해 상기 오프닝(14)에는 에어 차단막(26)이 형성된다. 이처럼 오프닝(14)에 차단막이 형성된 카세트 인덱스 시스템(10)으로 웨이퍼 카세트(40)가 이송된다. 상기 웨이퍼 카세트(40)는 자동 이송 장치에 의해서, 상기 오프닝(14)을 통하여, 상기 스테이션부(12)로 장입된다. 상기 웨이퍼 카세트(40)에는 소정의 반도체 공정을 수행하기 위한 다수의 웨이퍼들(42)이 담겨져 있다. 그리고, 상기 웨이퍼 카세트는 공정에 따라 다르지만 일정시간을 상기 스테이션부(12)에서 대기하게 된다.
그러나 본 발명의 카세트 인덱스 시스템(10)은 웨이퍼 카세트(40)가 스테이션부(12)에 장시간 놓여져 있더라도, 상기 에어 차단막(26)에 의해서 외부의 불순물들이 스테이션부(12)로 유입되지 않으며, 특히, 낮은 청정도를 가지고 있는 서비스 영역의 공기가 유입되는 것을 차단할 수 있다.
이와 같은 본 발명의 카세트 인덱스 시스템에 의하면, 스테이션부로 유입되는 불순물을 포함한 공기를 차단할 수 있어, 스테이션부의 내부 및 그곳에서 대기하고 있는 웨이퍼가 오염되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 품질과 웨이퍼 생산의 수율을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
Claims (1)
- 외부로부터 웨이퍼 카세트가 장입 및 인출되는 오프닝이 형성된 스테이션을 갖고 공정 챔버에 웨이퍼를 로딩 및 언로딩시키는 로드록 챔버와 연결되는 카세트 인덱스 시스템에 있어서,상기 오프닝의 위치된 스테이션의 상단에 설치되고, 상기 오프닝에 에어 차단막을 만들기 위한 청정 에어를 분사하는 분사 노즐과;상기 분사 노즐에 연결되어 상기 분사 노즐로 청정 가스가 공급되는 에어 라인 및;상기 청정 에어를 여과하기 위한 필터를 포함하여,외부의 오염원이 상기 오프닝을 통해 상기 스테이션으로 유입되는 것을 방지할 수 있는 것을 특징으로 하는 카세트 인덱스 시스템.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980038890A KR20000020329A (ko) | 1998-09-19 | 1998-09-19 | 카세트 인덱스 시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980038890A KR20000020329A (ko) | 1998-09-19 | 1998-09-19 | 카세트 인덱스 시스템 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20000020329A true KR20000020329A (ko) | 2000-04-15 |
Family
ID=19551234
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019980038890A KR20000020329A (ko) | 1998-09-19 | 1998-09-19 | 카세트 인덱스 시스템 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20000020329A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100971015B1 (ko) * | 2002-11-28 | 2010-07-20 | 엘지전자 주식회사 | 세탁기의 컨트롤 장치 |
-
1998
- 1998-09-19 KR KR1019980038890A patent/KR20000020329A/ko not_active Application Discontinuation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100971015B1 (ko) * | 2002-11-28 | 2010-07-20 | 엘지전자 주식회사 | 세탁기의 컨트롤 장치 |
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