KR20000017990U - Safety system for gas box - Google Patents
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Abstract
본 고안은 가스 박스에 잔존하는 잔류 전류를 감소시키기 위한 접지바와 가스 박스간의 아킹 발생을 방지할 수 있도록 한 가스 박스용 안전 시스템에 관한 것으로, 이를 위하여 본 고안은, 가스 박스룸에 구비된 도어의 개폐 여부에 따라 기계적으로 연동하는 접지바를 이용하여 가스 박스와 접지간의 연결을 제어하는 전술한 종래 장치와는 달리, 프로세스를 진행하기 위한 파워 버튼의 온/오프 여부에 따라 에어를 이용하여 가스 박스와 접지간의 연결을 자동 제어함으로써, 가스 박스에서의 잔류 전류를 감소시킨다. 따라서, 본 고안은, 종래 장치에서와 같이 접지바의 휨현상에 기인하여 접지바와 가스 박스간에 발생하는 아킹에 의한 전자 회로 소자들의 손상을 확실하게 방지할 수 있기 때문에, 가스 박스에 대한 유지 보수의 비용 절감은 물론 가스 박스의 장수명화를 도모할 수 있는 것이다.The present invention relates to a safety system for a gas box that can prevent the occurrence of arcing between the grounding bar and the gas box to reduce the residual current remaining in the gas box. Unlike the above-described conventional apparatus which controls the connection between the gas box and the ground by using a ground bar that is mechanically interlocked depending on whether it is opened or closed, the gas box is connected to the gas box by using air depending on whether the power button for processing is on or off. By automatically controlling the connection between grounds, the residual current in the gas box is reduced. Therefore, the present invention can reliably prevent damage to electronic circuit elements due to arcing generated between the ground bar and the gas box due to the deflection of the ground bar, as in the conventional apparatus, and thus the cost of maintenance for the gas box. In addition to savings, the service life of the gas box can be extended.
Description
본 고안은 가스 박스용 안전 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 고전압을 사용하는 가스 박스에서 발생하는 잔류 전류(leakage current)를 접지시켜 감소시키는 데 적합한 가스 박스용 안전 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a safety system for a gas box, and more particularly, to a safety system for a gas box suitable for grounding and reducing the leakage current generated in a gas box using a high voltage.
통상적으로, 반도체 소자를 제조하는 데 있어서는 여러 가지 공정, 예를들면 증착 공정, 산화 공정, 포토 리쏘그라피 공정, 식각 공정, 세정 공정, 린스 공정, 도핑 공정(이온 확산 공정 또는 이온 주입 공정), 어닐링 공정 등과 같은 여러 가지 공정들을 필요로 한다.Generally, in manufacturing a semiconductor device, various processes such as a deposition process, an oxidation process, a photolithography process, an etching process, a cleaning process, a rinse process, a doping process (ion diffusion process or ion implantation process), annealing Various processes such as process are required.
따라서, 반도체 소자의 생산 라인에는 각종 공정을 수행하는 데 적합한 여러 가지의 장치, 예를들어 증착 장비, 노광 장비, 식각 장비, 도핑 장비, 어닐링 장비 등이 구비되어 있으며, 또한 가스(예를들면, Ar, BF3, ASH3, PH3 등) 공급을 필요로하는 장비로의 가스 공급을 위해 가스 박스가 내장된 가스 박스룸이 구비되어 있다.Therefore, the production line of the semiconductor device is equipped with various apparatuses suitable for carrying out various processes, for example, deposition equipment, exposure equipment, etching equipment, doping equipment, annealing equipment, and the like. Ar, BF3, ASH3, PH3, etc.) There is a gas box room with a built-in gas box for supplying gas to equipment requiring supply.
도 3은 종래의 가스 박스용 안전 시스템을 채용한 가스 박스룸의 외관을 도시한 외관 평면도를 나타낸다.Fig. 3 shows an external plan view showing the exterior of a gas box room employing a conventional safety system for gas boxes.
도 3을 참조하면, 도시 생략된 다수의 도어가 구비된 가스 박스룸(300)에는, 예를들어 Ar, BF3, ASH3, PH3 등의 가스가 들어 있는 가스 박스(302)가 내장되며, 도면에서의 상세한 도시는 생략되었으나, 이러한 가스 박스(302)에는 다수의 전자 회로 소자가 실장된 PCB 보드 등으로 구성되어 가스 박스(302)에서의 가스 유량 및 가스 배출 등을 제어하는 제어 박스가 탑재되어 있다. 이때, 가스 박스(302)에는 고전압, 예를들면 100KeV의 고전압이 사용된다.Referring to FIG. 3, a gas box room 300 including a plurality of doors (not shown) includes a gas box 302 containing gas such as Ar, BF3, ASH3, and PH3. Although not shown in detail, the gas box 302 is equipped with a control board configured to control a gas flow rate and gas discharge from the gas box 302 by a PCB board on which a plurality of electronic circuit elements are mounted. . At this time, a high voltage, for example, a high voltage of 100 KeV is used for the gas box 302.
또한, 가스 박스(302)에는 외부로 신장되는 가스 배출관(304)이 연결되어 있는 데, 이러한 가스 배출관(304)을 통해 배출되는 가스는 반도체 소자의 제조 공정시에 도시 생략된 제조 장비로 제공된다.In addition, the gas box 302 is connected to the gas discharge pipe 304 extending to the outside, the gas discharged through the gas discharge pipe 304 is provided to the manufacturing equipment not shown in the manufacturing process of the semiconductor device. .
더욱이, 가스 박스(302)에서는 고전압을 사용하기 때문에 가스 박스룸(300)의 내벽과 도어(308) 사이는 일정한 간격이 유지되어야 하며, 이를 위해 가스 박스룸(300)의 바닥에서 임의의 간격만큼 떨어져 지지하기 위한 기구가 필요, 즉 가스 박스(302)의 하단에는 임의의 높이를 갖는 절연 지지체(306)가 구비된다. 예를들어, EATON I-HEE 장비의 경우 가스 박스와 도어 사이에 최소한 400mm 이상의 간격이 유지되어야 한다.Furthermore, since the gas box 302 uses a high voltage, a constant distance must be maintained between the inner wall of the gas box room 300 and the door 308, and for this purpose, a certain distance from the bottom of the gas box room 300 is required. A mechanism for supporting away is needed, i.e., the lower end of the gas box 302 is provided with an insulating support 306 having an arbitrary height. For example, for EATON I-HEE equipment, there should be at least 400 mm gap between the gas box and the door.
한편, 도어(308)의 내측에는 도어의 개폐에 따라 기계적으로 연동, 즉 일예로서 도 4a에 도시된 바와같이 도어(308)가 열린 상태일 때 가스 박스(302)의 일측에 맞닿고, 도 4b에 도시된 바와같이 도어(308)가 닫힌 상태일 때 일정 간격만큼 가스 박스(302)로부터 이격되는 접지바(310)가 형성되어 있다. 이때, 접지바(310) 또한 가스 박스(302)로부터 일정 간격만큼 거리를 유지할 필요가 있다.On the other hand, the inner side of the door 308 is mechanically interlocked according to the opening and closing of the door, that is, as shown in Figure 4a as an example, when the door 308 is open, as shown in Fig. 4b, the side of the gas box 302, Figure 4b As shown in FIG. 2, a ground bar 310 spaced apart from the gas box 302 by a predetermined interval when the door 308 is closed is formed. At this time, the ground bar 310 also needs to maintain a distance from the gas box 302 by a predetermined interval.
이러한 접지바(310)는 도어가 개방될 때 가스 박스(302)에 잔존하는 잔류 전류(leakage current)를 접지시켜 감소시키는 기능을 수행한다. 여기에서, 가스 박스(302)에 잔존하는 잔류 전류를 감소시키는 이유는 가스 박스(302)에 잔존하는 잔류 전류가 가스 박스(302)내에 탑재된 제어 박스내의 전자 회로 소자에 악영향을 미치는 것을 방지(즉, 회로 소자의 보호)하기 위해서이다. 따라서, 이러한 가스 박스룸(300)에서는 가스 박스(302)에 잔존하는 잔류 전류에 의해 가스 박스(302)에 탑재된 제어 박스내의 전자 회로 소자들이 손상되는 것을 방지할 수 있다.The ground bar 310 serves to ground and reduce the residual current remaining in the gas box 302 when the door is opened. Here, the reason for reducing the residual current remaining in the gas box 302 is to prevent the residual current remaining in the gas box 302 from adversely affecting the electronic circuit elements in the control box mounted in the gas box 302 ( That is, for the protection of circuit elements). Therefore, in the gas box room 300, it is possible to prevent the electronic circuit elements in the control box mounted on the gas box 302 from being damaged by the residual current remaining in the gas box 302.
다른 한편, 도어(308)의 내측에 형성되어 도어의 개폐에 따라 기계적으로 연동하는 접지바(310)는 가스 박스룸을 오랜 기간동안 사용하게 되며, 접지바(310)의 자유단(310a), 즉 도어(308)의 내측에 연결되지 않은 측의 자유단(310a)이 중력에 의해 아래 방향으로 휘어지는 휨현상이 나타나게 된다.On the other hand, the grounding bar 310 formed inside the door 308 and mechanically interlocked according to the opening and closing of the door uses the gas box room for a long time, and the free end 310a of the grounding bar 310, That is, a bending phenomenon in which the free end 310a of the side not connected to the inside of the door 308 is bent downward by gravity is shown.
따라서, 상기한 이유로 인해 접지바(310)의 자유단(310a)이 아래 방향으로 휘어지게 되는 경우, 접지바(310)와 가스 박스(302)간에 유지되어야 할 거리가 좁아지게 되며, 이와같이 접지바(310)와 가스 박스(302)간의 간격이 좁아지면 접지바(310)와 가스 박스(302) 사이에서 아킹(arcing)이 발생하게 된다.Therefore, when the free end 310a of the ground bar 310 is bent downward due to the above reason, the distance to be maintained between the ground bar 310 and the gas box 302 becomes narrow, and thus the ground bar When the gap between the 310 and the gas box 302 is narrowed, arcing occurs between the ground bar 310 and the gas box 302.
그 결과, 접지바(310)와 가스 박스(302) 사이에서 발생하는 아킹은 가스 박스(302)내 제어 박스에 탑재된 전자 회로 소자들의 손상(파괴 등)을 야기시키는 주요한 요인이 되고 있는 실정이다. 이러한 전자 회로 소자들의 손상은 가스 박스(302)를 유지 보수하는 데 필요로하는 시간과 인력의 낭비를 초래할 뿐만 아니라 가스 박스(302)의 수명을 단축시키는 큰 원인이 되고 있다.As a result, arcing generated between the ground bar 310 and the gas box 302 is a major factor causing damage (destruction, etc.) of electronic circuit elements mounted in the control box in the gas box 302. . The damage of these electronic circuit elements not only causes waste of time and manpower required to maintain the gas box 302, but also causes a great shortening of the life of the gas box 302.
따라서, 본 고안은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 가스 박스에 잔존하는 잔류 전류를 감소시키기 위한 접지바와 가스 박스간의 아킹 발생을 방지할 수 있는 가스 박스용 안전 시스템을 제공하는 데 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention is to solve the above problems of the prior art, to provide a safety system for a gas box that can prevent the occurrence of arcing between the ground bar and the gas box to reduce the residual current remaining in the gas box. There is a purpose.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은, 소정 크기의 내측 공간을 가지며 접지 레벨에 연결된 가스 박스룸, 상기 가스 박스룸의 각 내벽측으로부터 일정 간격 만큼 이격되어 상기 내측 공간에 구비된 가스 박스 및 상기 가스 박스로부터 상기 가스 박스룸의 외부로 연결된 가스 배출관을 갖는 가스 공급 장비에서 상기 가스 박스의 잔류 전류를 제거하는 안전 시스템에 있어서, 상기 가스 공급 장비의 프로세스 진행을 위해 파워 버튼을 온 또는 오프할 때 그에 상응하는 파워 조작신호를 발생하는 조작 수단; 상기 발생된 파워 조작신호에 응답하여 그에 상응하는 에어 공급 제어신호를 발생하는 제어 수단; 상기 발생된 에어 공급 제어신호에 응답하여 외부로부터의 에어 공급을 절환하는 에어 공급 절환 수단; 및 접지 레벨인 상기 가스 박스룸의 내벽측에 장착되며, 상기 에어 공급 절환 수단의 작동에 따라 에어 라인을 통해 공급되는 에어에 의거해 그의 일측에 장착된 접지바를 이용하여 상기 가스 박스와 접지 레벨간을 적응적으로 연결하는 에어 실린더로 이루어진 가스 박스용 안전 시스템을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention, a gas box room having an inner space of a predetermined size and connected to the ground level, the gas box and the gas provided in the inner space spaced by a predetermined distance from each inner wall side of the gas box room A safety system for removing residual current in a gas box in a gas supply equipment having a gas discharge pipe connected from a box to the outside of the gas box room, the power button being turned on or off when proceeding with the process of the gas supply equipment. Operating means for generating a corresponding power operation signal; Control means for generating an air supply control signal corresponding thereto in response to the generated power operation signal; Air supply switching means for switching the air supply from the outside in response to the generated air supply control signal; And a ground bar mounted on an inner wall side of the gas box room, which is a ground level, and mounted on one side of the gas box based on air supplied through an air line according to the operation of the air supply switching means. It provides a safety system for a gas box consisting of an air cylinder to adaptively connect the.
도 1은 본 고안에 따른 가스 박스용 안전 시스템을 채용한 가스 박스룸의 외관을 도시한 외관 평면도,1 is an external plan view showing the appearance of a gas box room employing a safety system for a gas box according to the present invention;
도 2는 본 고안에 따라 에어에 의해 접지바가 작동하는 과정을 설명하기 위해 도시한 일부 절결도,2 is a partial cutaway view illustrating a process of operating the ground bar by air according to the present invention,
도 3은 종래의 가스 박스용 안전 시스템을 채용한 가스 박스룸의 외관을 도시한 외관 평면도,3 is an exterior plan view showing the appearance of a gas box room employing a safety system for a conventional gas box;
도 4는 종래 방법에 따라 접지바가 작동하는 과정을 설명하기 위해 도시한 일부 절결도.4 is a partially cutaway view illustrating a process of operating the ground bar according to a conventional method.
＜도면의 주요부분에 대한 부호의 설명＞<Description of the code | symbol about the principal part of drawing>
100 : 가스 박스룸 102 : 가스 박스100: gas box room 102: gas box
104 : 가스 배출관 106 : 절연 지지체104: gas discharge pipe 106: insulating support
108 : 에어 실린더 110 : 접지바108: air cylinder 110: ground bar
112 : 에어 라인 202 : 조작 블록112: air line 202: operation block
204 : 제어 블록 206 : 솔레노이드 밸브204: control block 206: solenoid valve
본 고안의 상기 및 기타 목적과 여러 가지 장점은 이 기술분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 하기에 기술되는 본 고안의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.The above and other objects and various advantages of the present invention will become more apparent from the preferred embodiments of the present invention described below with reference to the accompanying drawings by those skilled in the art.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 고안에 따른 가스 박스용 안전 시스템을 채용한 가스 박스룸의 외관을 도시한 외관 평면도를 나타낸다.1 shows an exterior plan view showing the exterior of a gas box room employing a safety system for a gas box according to the present invention.
도 1을 참조하면, 도시 생략된 다수의 도어가 구비된 가스 박스룸(100)에는, 예를들어 Ar, BF3, ASH3, PH3 등의 가스가 들어 있는 가스 박스(102)가 내장되며, 도면에서의 상세한 도시는 생략되었으나, 이러한 가스 박스(102)에는 다수의 전자 회로 소자가 실장된 PCB 보드 등으로 구성되어 가스 박스(102)에서의 가스 유량 및 가스 배출 등을 제어하는 제어 박스가 탑재되어 있다. 이때, 가스 박스(102)에는 고전압, 예를들면 100KeV의 고전압이 사용된다.Referring to FIG. 1, a gas box room 100 including a plurality of doors (not shown) includes a gas box 102 containing gas such as Ar, BF3, ASH3, and PH3. Although not shown in detail, such a gas box 102 is equipped with a control board for controlling a gas flow rate and gas discharge from the gas box 102, which is composed of a PCB board on which a plurality of electronic circuit elements are mounted. . At this time, the gas box 102 uses a high voltage, for example, a high voltage of 100 KeV.
여기에서, 가스 박스(102)에는 외부로 신장되는 가스 배출관(104)이 연결되며, 이러한 가스 배출관(104)을 통해 배출되는 가스는 반도체 소자의 제조 공정시에 도시 생략된 제조 장비(예를들면, 증착 장비, 식각 장비, 도핑 장비, 어닐링 장비 등)로 제공된다.Here, the gas box 102 is connected to the gas discharge pipe 104 extending to the outside, the gas discharged through the gas discharge pipe 104 is the manufacturing equipment (not shown) during the manufacturing process of the semiconductor device (for example , Deposition equipment, etching equipment, doping equipment, annealing equipment, etc.).
또한, 가스 박스(102)에서는 고전압을 사용하기 때문에 가스 박스룸(100)의 내벽과 도어(도시 생략)는 일정한 간격이 유지되어야 하는 데, 이를 위해 가스 박스룸(100)의 바닥에서 임의의 간격만큼 떨어져 가스 박스(102)를 지지하기 위한 기구가 필요, 즉 가스 박스(102)의 하단에는 임의의 높이를 갖는 절연 지지체(106)가 구비된다. 예를들어, EATON I-HEE 장비의 경우 가스 박스와 도어 사이에 최소한 400mm 이상의 간격이 유지되어야 한다.In addition, since the gas box 102 uses a high voltage, the inner wall of the gas box room 100 and the door (not shown) must be maintained at a constant distance. For this purpose, an arbitrary distance from the bottom of the gas box room 100 is required. A mechanism for supporting the gas box 102 by a distance is required, that is, the lower end of the gas box 102 is provided with an insulating support 106 having an arbitrary height. For example, for EATON I-HEE equipment, there should be at least 400 mm gap between the gas box and the door.
한편, 상술한 바와같은 구성을 갖는 가스 박스룸에 채용 가능한 본 고안에 따른 가스 박스용 안전 시스템은, 도 1에 도시된 바와같이, 조작 블록(202), 제어 블록(204), 솔레노이드 밸브(206), 에어 실린더(108) 및 접지바(110)를 포함하는 데, 에어 실린더(108) 및 접지바(110)는 가스 박스룸(100)의 내부에 장착되고, 조작 블록(202), 제어 블록(204) 및 솔레노이드 밸브(206)는 가스 박스룸(100)의 외부에 구비된다.On the other hand, the safety system for a gas box according to the present invention that can be employed in the gas box room having the configuration as described above, as shown in Figure 1, the operation block 202, the control block 204, the solenoid valve 206 ), An air cylinder 108 and a ground bar 110, wherein the air cylinder 108 and the ground bar 110 are mounted inside the gas box room 100, and an operation block 202, a control block. 204 and solenoid valve 206 are provided outside of gas box room 100.
도 1을 참조하면, 에어 라인(112)을 통해 가스 박스룸(100)의 외부에 있는 솔레노이드 밸브(206)에 연결된 에어 실린더(108)는 가스 박스룸(100)의 임의의 내벽측에 장착되며, 또한 에어 실린더(108)에 장착된 접지바(110)는 에어 라인(112)을 통해 공급되는 에어에 따라 작동(즉, 수축 및 팽창)하는 에어 실린더(108)에 의해 가스 박스(102)와 가스 박스룸(100)의 내벽측간을 선택적으로 접지시킨다. 여기에서, 에어 실린더(108)는 접지 레벨에 연결되어 있다.Referring to FIG. 1, an air cylinder 108 connected to a solenoid valve 206 outside of the gas box room 100 via an air line 112 is mounted on any inner wall side of the gas box room 100. In addition, the ground bar 110 mounted to the air cylinder 108 is connected to the gas box 102 by an air cylinder 108 that operates (ie, contracts and expands) in accordance with the air supplied through the air line 112. The inner wall side of the gas box room 100 is selectively grounded. Here, the air cylinder 108 is connected to the ground level.
또한, 조작 블록(202)은, 예를들면 가스 박스룸(100)에서의 가스 유동 제어에 필요한 각종 제어를 수행하기 위한 다수의 조작 버튼(예를들어, 파워 버튼 등), 가스 박스룸(100)에서 행해지는 가스 제어의 감시를 위한 모니터를 구비하는 것으로, 사용자(또는 작업자)에 의해 고접압(예를들어, 대략 100KeV) 발생을 위한 파워 버튼이 조작될 때, 그에 상응하는 파워 조작신호를 발생하여 제어 블록(204)으로 제공한다.In addition, the operation block 202 may include, for example, a plurality of operation buttons (for example, a power button, etc.) for performing various controls required for gas flow control in the gas box room 100, the gas box room 100 And a monitor for monitoring gas control, which is operated by the user (or operator) when the power button for generating a high contact pressure (for example, approximately 100 KeV) is operated. To the control block 204.
다음에, 제어 블록(204)은, 예를들면 마이크로 프로세서 등을 포함하여, 작업자 조작에 따라 가스 박스룸(100)에서 행해지는 가스 유동 제어에 필요한 각종 제어신호를 발생하여 가스 박스룸(100)으로 제공하는 것으로, 상기한 조작 블록(202)으로부터 파워 조작신호가 제공될 때 그에 응답하여 에어 공급 제어신호를 발생하며, 여기에서 발생된 에어 공급 제어신호를 솔레노이드 밸브(206)로 제공된다.Next, the control block 204 includes, for example, a microprocessor, to generate various control signals necessary for gas flow control performed in the gas box room 100 according to the operator's operation to generate the gas box room 100. In this case, an air supply control signal is generated in response to the power operation signal supplied from the operation block 202, and the air supply control signal generated here is provided to the solenoid valve 206.
한편, 솔레노이드 밸브(206)는, 이 기술분야에 잘 알려진 전자식 밸브인 것으로, 상기한 제어 블록(204)으로부터 에어 공급 제어신호가 인가될 때 에어 라인(112)을 통해 가스 박스룸(100)의 내벽에 장착된 에어 실린더(108)에 에어를 공급함으로써, 에어 실린더(108)에 장착된 접지바(110)의 작동을 제어한다.On the other hand, the solenoid valve 206 is an electronic valve well known in the art, and when the air supply control signal is applied from the above-described control block 204, the solenoid valve 206 of the gas box room 100 By supplying air to the air cylinder 108 mounted on the inner wall, the operation of the ground bar 110 mounted on the air cylinder 108 is controlled.
다른 한편, 에어 실린더(108)는 에어 라인(112)을 통해 공급되는 에어에 의거하여 장착된 접지바(110)를 가스 박스(102)에 연결하거나 혹은 접지바(110)를 가스 박스(102)로부터 일정 간격 이격, 즉 작업자가 조작 블록(202)내의 파워를 온할 때 그에 응답하는 솔레노이드 밸브(206)의 작동에 의거하여 에어 라인(112)을 통해 공급되는 에어에 의거하여 에어 실린더(108)에 장착된 접지바(110)는 도 1의 ①번 위치에 연결(즉, 가스 박스(102)가 접지바(110)를 통해 접지에 연결)되고, 또한 작업자가 조작 블록(202)내의 파워를 오프할 때 그에 응답하는 솔레노이드 밸브(206)의 작동에 의거하여 에어 라인(112)을 통해 공급되는 에어에 의거하여 에어 실린더(108)에 장착된 접지바(110)는 도 1의 ②번 위치에 연결(즉, 가스 박스(102)가 접지로부터 이탈)된다.On the other hand, the air cylinder 108 connects the ground bar 110 mounted on the basis of the air supplied through the air line 112 to the gas box 102 or the ground bar 110 to the gas box 102. From the air cylinder 108 based on the air supplied through the air line 112 based on the operation of the solenoid valve 206 in response to a predetermined distance apart, that is when the operator turns on the power in the operation block 202. The mounted ground bar 110 is connected to the position ① of FIG. 1 (that is, the gas box 102 is connected to the ground through the ground bar 110), and the operator turns off the power in the operation block 202. Ground bar 110 mounted on the air cylinder 108 based on the air supplied through the air line 112 based on the operation of the solenoid valve 206 in response thereto is connected to the position ② of FIG. (Ie, the gas box 102 is separated from ground).
보다 상세하게, 가스 박스룸에 구비된 도어의 개폐 여부에 따라 가스 박스와 접지간의 연결을 결정하는 전술한 종래 장치와는 달리, 본 고안에 따른 가스 박스용 안전 시스템에서는 조작 블록(202)에 구비된 파워 버튼(즉, 프로세스를 진행하기 위한 버튼)의 온/오프 여부에 따라 에어를 이용하여 가스 박스(102)와 접지간의 연결을 자동 제어함으로써, 가스 박스(102)에 잔존하는 잔류 전류에 의해 가스 박스(102)에 탑재된 제어 박스(도시 생략)내의 전자 회로 소자들이 손상되는 것을 방지한다.More specifically, unlike the above-described conventional apparatus for determining the connection between the gas box and the ground according to whether the door provided in the gas box room is opened or closed, in the safety system for a gas box according to the present invention provided in the operation block 202 By using the air to automatically control the connection between the gas box 102 and the ground depending on whether the power button (that is, the button for proceeding with the process) is turned on, the remaining current remaining in the gas box 102 Electronic circuit elements in a control box (not shown) mounted on the gas box 102 are prevented from being damaged.
즉, 본 고안의 가스 박스용 안전 시스템은, 가스 박스룸에 구비된 도어가 개방 상태이든 폐쇄 상태이든간에 관계없이, 파워가 오프 상태일 때 도 2a에 도시된 바와같이 접지 레벨인 에어 실린더(108)에 장착된 접지바(110)가 가스 박스(102)에 연결되어 잔류 전류를 감소시키고, 프로세스의 진행을 위해 파워가 온 상태일 때 도 2b에 도시된 바와같이 접지바(110)가 가스 박스(102)로부터 일정 간격만큼 이격된 상태를 유지한다.That is, the safety system for a gas box according to the present invention is an air cylinder 108 that is at a ground level as shown in FIG. 2A when the power is off, regardless of whether the door provided in the gas box room is open or closed. Is connected to the gas box 102 to reduce the residual current, and when the power is turned on for the progress of the process, the ground bar 110 is connected to the gas box 102 as shown in FIG. It is kept spaced apart from the 102 by a predetermined interval.
따라서, 본 고안의 가스 박스용 안전 시스템은, 도어의 개폐 동작에 따라 기계적으로 연동하지 않고, 프로세스의 진행을 위한 파워의 온/오프 여부에 따라 작동하는 에어를 이용하여 가스 박스에서의 잔류 전류를 효과적으로 제거함으로써, 접지바의 휨현상에 기인하여 접지바와 가스 박스간에 발생하는 아킹을 확실하게 방지할 수 있다.Therefore, the safety system for a gas box of the present invention does not mechanically interlock according to the opening / closing operation of the door, and uses residual air in the gas box to operate the air according to whether the power for the process proceeds. By effectively removing it, it is possible to reliably prevent arcing occurring between the ground bar and the gas box due to the bending of the ground bar.
부가적으로, 전술한 종래 장치에서는 가스 박스룸에 구비된 도어의 수에 대응하는 다수의 접지바를 구비해야만 하는 반면에, 본 고안에서는 도어의 수에 관계없이 단지 하나의 접지바만을 구비하더라도 가스 박스에서의 잔류 전류를 효과적으로 제거할 수 있다.In addition, in the above-described conventional apparatus, a plurality of grounding bars corresponding to the number of doors provided in the gas box room must be provided, whereas in the present invention, even if only one grounding bar is provided regardless of the number of doors, the gas box The residual current at can be effectively removed.
이상 설명한 바와같이 본 고안에 따르면, 가스 박스룸에 구비된 도어의 개폐 여부에 따라 기계적으로 연동하는 접지바를 이용하여 가스 박스와 접지간의 연결을 제어하는 전술한 종래 장치와는 달리, 프로세스를 진행하기 위한 파워 버튼의 온/오프 여부에 따라 에어를 이용하여 가스 박스와 접지간의 연결을 자동 제어함으로써, 가스 박스에서의 잔류 전류를 효과적으로 감소시킬 수 있다.As described above, according to the present invention, unlike the above-described conventional apparatus for controlling the connection between the gas box and the ground by using a grounding bar that is mechanically interlocked according to whether the door provided in the gas box room is opened or closed, proceeding the process By automatically controlling the connection between the gas box and the ground using air depending on whether the power button is on or off, the residual current in the gas box can be effectively reduced.
따라서, 본 고안은, 종래 장치에서와 같이 접지바의 휨현상에 기인하여 접지바와 가스 박스간에 발생하는 아킹에 의한 전자 회로 소자들의 손상을 확실하게 방지할 수 있기 때문에, 가스 박스에 대한 유지 보수의 비용 절감은 물론 가스 박스의 장수명화를 도모할 수 있다.Therefore, the present invention can reliably prevent damage to electronic circuit elements due to arcing generated between the ground bar and the gas box due to the deflection of the ground bar, as in the conventional apparatus, and thus the cost of maintenance for the gas box. In addition to savings, the service life of the gas box can be extended.
Claims (2)
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| KR20-1999-0003746U KR200343244Y1 (en) | 1999-03-10 | 1999-03-10 | Safety system for gas box |
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| CN107968348A (en) * | 2017-12-04 | 2018-04-27 | 西门子中压开关技术（无锡）有限公司 | Gas insulation switch cabinet |
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1999
- 1999-03-10 KR KR20-1999-0003746U patent/KR200343244Y1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107968348A (en) * | 2017-12-04 | 2018-04-27 | 西门子中压开关技术（无锡）有限公司 | Gas insulation switch cabinet |
| CN107968348B (en) * | 2017-12-04 | 2023-10-27 | 西门子中压开关技术（无锡）有限公司 | Gas-insulated switchgear |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| KR200343244Y1 (en) | 2004-03-03 |
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