KR20000017407U - Alien substance removal apparatus for shadow mask manufacturing system - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 239000000126 substance Substances 0.000 title description 8
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 176
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 88
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims abstract description 11
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 abstract description 12
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
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Abstract
본 고안은 면봉이나 점착롤러를 사용하지 않고, 공기 분사시 공기를 이온화시킨 후 제공하여 철판에 존재하는 정전기를 제거함과 동시에 이물질을 철판으로부터 분리시키고, 공기 흡입기를 이용하여 이물질을 흡입함으로써 제조공정에서의 불량을 줄여 수율을 높이고, 제품의 품질을 향상시킬 수 있는 섀도우 마스크 제조장비의 이물질 제거장치에 관한 것으로서,The present invention eliminates the static electricity present in the iron plate by providing ionized air during air injection without using a cotton swab or adhesive roller, and separates the foreign matter from the iron plate, and inhales the foreign matter using an air inhaler. The present invention relates to a debris removal device of a shadow mask manufacturing equipment that can reduce yield defects, improve yield, and improve product quality.
철판의 상하측에 배치되어 상기 철판의 표면을 향하여 소정의 압력을 갖는 공기를 제공함으로써 철판 표면의 이물질을 분리시키는 공기 공급부와, 상기 공기 공급부의 좌우측에 배치되어 철판에 부딪친 공기와 철판으로부터 분리된 이물질을 흡입하는 공기 흡입부를 포함하는 것을 특징으로 한다.An air supply unit disposed above and below the iron plate to separate the foreign matter from the surface of the iron plate by providing air having a predetermined pressure toward the surface of the iron plate, and separated from air and the iron plate disposed on the left and right sides of the air supply unit It characterized in that it comprises an air intake unit for sucking the foreign matter.
이때, 상기 공기 공급부에는 철판 표면의 정전기를 제거하기 위하여 공기를 이온화시켜 철판으로 제공하는 에미터(emitter)와, 철판의 끝단부와 접촉되는 위치에 부착되어 철판의 이송시 철판 표면의 이물질을 분리시키는 브러시(brush)를 더 포함할 수 있다.At this time, the air supply unit is an emitter (ion) to ionize the air to remove the static electricity on the surface of the iron plate (emitter) and attached to a position in contact with the end of the iron plate to separate the foreign matter on the surface of the iron plate during transfer of the iron plate A brush may be further included.
Description
본 고안은 섀도우 마스크 제조장비의 이물질 제거장치에 관한 것으로서 특히, 섀도우 마스크의 제조공정 초기에 소재로서 제공되는 철판에 부착되어 있는 이물질 및 정전기 등을 용이하게 제거할 수 있도록 하는 섀도우 마스크 제조장비의 이물질 제거장치에 관한 것이다.The present invention relates to a foreign material removal device of the shadow mask manufacturing equipment, in particular, foreign matter of the shadow mask manufacturing equipment to easily remove the foreign matter and static electricity attached to the iron plate provided as a material at the beginning of the shadow mask manufacturing process It relates to a removal device.
현재 표시수단으로서 주로 사용되고 있는 디스플레이 장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 전자총(1), CPM(2), 편향요크(3), 내부 실드(inner shield : 4), 퍼널(funnel : 5), 패널(panel : 6), 형광면(7), 섀도우 마스크(8)를 포함한다.As the display device mainly used as a display means as shown in Fig. 1, the electron gun 1, the CPM 2, the deflection yoke 3, the inner shield 4, the funnel 5, A panel 6, a fluorescent surface 7, and a shadow mask 8.
상기와 같은 디스플레이 장치의 동작원리를 설명하면, 상기 전자총(1)에서 방사된 R,G,B의 전자빔이 편향요크(3)에서 수직/수평으로 편향되고, 상기 섀도우 마스크(8)의 구멍을 통과하여 스크린의 내면에 대응하는 형광면(7)에 부딪쳐 3원색 조합을 통해 컬러를 재현한다. 여기서, 3원색의 조합을 결정하는 섀도우 마스크(8)는 제조품질에 따라 디스플레이 장치의 성능을 결정한다.Referring to the operation principle of the display device as described above, the electron beams of R, G, and B emitted from the electron gun 1 are deflected vertically and horizontally in the deflection yoke 3, and the holes of the shadow mask 8 are closed. Passes and hits the fluorescent surface 7 corresponding to the inner surface of the screen to reproduce colors through the three primary color combinations. Here, the shadow mask 8 that determines the combination of the three primary colors determines the performance of the display device according to the manufacturing quality.
도 2는 소재인 철판에 다수의 섀도우 마스크가 만들어진 형태를 나타낸다.2 illustrates a form in which a plurality of shadow masks are made on an iron plate which is a material.
도 2를 참조하면, 섀도우 마스크의 제조공정에서 소재인 철판에 횡2매 방식으로 다수의 섀도우 마스크가 형성되는데, 각각의 섀도우 마스크에는 수십만개의 구멍이 형성된다. 이때, 구멍의 형태에 따라 CPT(color picture tube)와 CDT(color display tube)로 구분된다.Referring to FIG. 2, in the manufacturing process of the shadow mask, a plurality of shadow masks are formed on an iron plate, which is a raw material, in a horizontal two-sheet manner, and hundreds of thousands of holes are formed in each shadow mask. At this time, according to the shape of the hole is divided into CPT (color picture tube) and CDT (color display tube).
상기에서 CPT의 경우는 텔레비젼용으로 주로 사용되고, 구멍이 슬롯형태로 약15만개 형성된다. 또한, CDT의 경우는 컴퓨터의 모니터용으로 주로 사용되고, 구멍이 원형으로 약80만개 형성된다. 이때, CDT의 경우는 앞뒷면의 구멍의 크기가 서로 다르게 되어 있다.The CPT is mainly used for televisions, and about 150,000 holes are formed in slots. In addition, CDT is mainly used for computer monitors, and about 800,000 holes are formed in a circular shape. In this case, in the case of the CDT, the sizes of the holes in the front and rear surfaces are different from each other.
상기에서 각각의 구멍은 위치에 따라 크기와 테이퍼량이 다른 특성을 갖는다. 이때, 섀도우 마스크에 형성된 구멍의 형태는 중심선을 기준으로 좌우 대칭적인데, 구멍에서 중심과 멀어진 부분의 테이퍼량이 중심과 가까운 부분의 테이퍼량 보다 더 크게 형성된다.In the above, each hole has a characteristic that the size and the amount of taper vary depending on the position. At this time, the shape of the hole formed in the shadow mask is symmetrical with respect to the center line, the taper amount of the portion away from the center from the hole is formed larger than the taper amount of the portion close to the center.
도 3은 섀도우 마스크의 제조공정을 나타내는 도면이다.3 is a diagram illustrating a manufacturing process of a shadow mask.
도 3을 참조하면, 정면공정, 노광공정, 현상공정, 에칭공정을 순차적으로 수행하여 섀도우 마스크의 제조를 수행한다.Referring to FIG. 3, a shadow mask may be manufactured by sequentially performing a front process, an exposure process, a developing process, and an etching process.
이때, 상기 정면공정은 도 3의 (A)에 도시된 바와 같이, 소재인 철판(11)이 외부로부터 투입되어지면, 상기 철판(11)의 표면 이물질을 완전히 제거하여 세정하고, 감광액을 상기 철판(11)의 상하면에 도포하여 감광막(12,13)을 형성시킨다.In this case, as shown in FIG. 3A, when the iron plate 11, which is a material, is introduced from the outside, the front surface of the iron plate 11 is completely removed and washed, and the photoresist is plated. It is applied to the upper and lower surfaces of (11) to form photosensitive films 12 and 13.
또한, 상기 노광공정은 도 3의 (B)에 도시된 바와 같이, 마스크(미도시)를 이용하여 상기 철판(11)에 형성된 감광막(12,13)의 특정부분을 패턴에 따라 노광시킨다. 이때, 상기 철판(11)의 상하면에서 노광되는 면적은 서로 다르게 되고, 노광된 부분의 감광막(12A,13A)은 경화된다.In addition, in the exposure process, as shown in FIG. 3B, a specific portion of the photosensitive films 12 and 13 formed on the iron plate 11 is exposed according to a pattern using a mask (not shown). At this time, the areas exposed on the upper and lower surfaces of the iron plate 11 are different from each other, and the photosensitive films 12A and 13A of the exposed portions are cured.
또한, 상기 현상공정은 도 3의 (C)에 도시된 바와 같이, 상기 노광공정에서 노광이 이루어지지 않은 감광막(12B,13B)을 현상액을 이용하여 제거한다. 이때, 섀도우 마스크에서 구멍을 만들고자 하는 위치에 철판(11)이 노출된다.In the developing step, as illustrated in FIG. 3C, the photosensitive films 12B and 13B that are not exposed in the exposure step are removed using a developing solution. At this time, the iron plate 11 is exposed to the position to make a hole in the shadow mask.
또한, 상기 에칭공정은 도 3의 (D)에 도시된 바와 같이, 상기 현상공정에서 노출된 부분(14,15)을 통해 염화제2철을 분사하여 철판(11)의 표면을 부식시킴으로써 관통구멍을 형성시킨다. 이때, 상기 철판(11)의 양면에서 노출되는 부분의 크기가 서로 다르기 때문에 철판(11) 상하면의 에칭정도가 다르게 나타난다. 그후, 상기 철판(11)의 상하면에 존재하는 감광막(12A,13A)을 제거함으로써 섀도우 마스크가 완성된다.In addition, the etching process, as shown in Figure 3 (D), by spraying ferric chloride through the exposed portions (14, 15) in the developing process to corrode the surface of the iron plate 11 through the through hole To form. At this time, since the sizes of the portions exposed on both sides of the iron plate 11 are different from each other, the degree of etching of the upper and lower surfaces of the iron plate 11 is different. Thereafter, the shadow mask is completed by removing the photosensitive films 12A and 13A existing on the upper and lower surfaces of the iron plate 11.
그런데, 상기와 같은 공정에서, 정면공정 및 노광공정 전에 이루어지는 세정작업에 따라 섀도우 마스크의 품질이 결정된다. 따라서, 세정작업을 정밀하게 수행하기 위한 이물질 제거장치가 필요하게 된다.By the way, in the above process, the quality of the shadow mask is determined according to the cleaning operation performed before the front side process and the exposure process. Therefore, there is a need for a foreign matter removal device for precisely performing the cleaning operation.
도 4는 종래 기술에 의한 섀도우 마스크 제조장비의 이물질 제거장치의 구성을 나타내는 도면이다.Figure 4 is a view showing the configuration of the foreign material removal apparatus of the shadow mask manufacturing equipment according to the prior art.
도 4를 참조하면, 참조번호 21은 철판(11)이 감겨져 있는 권출드럼을 나타내고, 22는 면포가 감겨있어서 철판(11)의 진행시 표면과 접촉되어 이물질을 제거하기 위한 면봉을 나타내고, 23은 다수개의 면봉(22)을 동시에 지지하고 상기 면봉(22)이 상하로 접촉되도록 배치시키는 치구대를 나타내고, 24는 면봉(22)의 다음단에 배치되어 그 표면에 점착성이 있는 물질이 도포됨으로써 철판(11)과 접촉되어 이물질을 제거하는 점착롤러를 나타낸다.Referring to FIG. 4, reference numeral 21 denotes an unwinding drum in which the iron plate 11 is wound, and 22 denotes a cotton swab for contacting the surface during removal of the iron plate 11 so as to remove foreign substances. Supports a plurality of cotton swabs 22 at the same time and indicates the jig for placing the cotton buds 22 to be in contact with the upper and lower, 24 is placed on the next stage of the cotton swab 22 is coated with a sticky material on the surface of the iron plate The adhesive roller which contacts with (11) and removes a foreign material is shown.
상기와 같은 구성을 갖는 종래 기술의 동작을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the prior art having the configuration as described above is as follows.
먼저, 상기 권출드럼(21)에서 철판(11)을 장력을 일정하게 유지하면서 반송시켜서 상기 상하로 접촉되어 있는 면봉(22)의 사이로 통과시키면, 상기 철판(11)의 표면에 존재하는 이물질들을 1차적으로 제거한다.First, in the unwinding drum 21, the iron plate 11 is conveyed while maintaining a constant tension, and then passed between the cotton swabs 22 which are in contact with the upper and lower sides, and foreign substances existing on the surface of the iron plate 11 are 1. Remove it automatically.
그후, 상기 면봉(22)을 통과한 철판(11)을 점착롤러(24)의 사이를 통과시킴으로써 점착성이 있는 물질에 의해 이물질들이 2차적으로 제거된다.Thereafter, foreign matters are secondarily removed by the tacky material by passing the iron plate 11 passing through the swab 22 between the tacky rollers 24.
상기와 같은 종래 기술에 의한 섀도우 마스크 제조장비의 이물질 제거장치는 면봉을 사용하기 때문에 면포 자체에서 보푸라기성 이물질이 다량으로 발생되는 동시에 잦은 교체로 인해 작업시간이 늘어나 작업효율이 저하되고, 점착롤러와 철판과의 마찰시 정전기가 발생하여 오히려 철판표면에 이물질을 흡착시키기 때문에 이물질의 제거효율을 저하시키는 문제점이 발생한다.As the foreign material removal device of the shadow mask manufacturing equipment according to the prior art as described above uses a cotton swab, a large amount of lint-free foreign matter is generated from the cotton cloth itself, and the working time increases due to frequent replacement, and the work efficiency is reduced. When friction with the iron plate is generated static electricity, rather than adsorb the foreign matter on the surface of the iron plate has a problem of reducing the removal efficiency of the foreign matter.
또한, 면포와 철판의 마찰로 인해 철판 표면의 감광막에 손상이 발생되기 때문에 노광시 불량률이 증가하여 제품의 품질 및 수율을 저하시키는 문제점이 발생한다.In addition, since the damage occurs to the photoresist film on the surface of the iron plate due to the friction between the cotton cloth and the iron plate, the defective rate increases during exposure to reduce the product quality and yield.
또한, 철판으로부터 분리된 이물질이 계속적으로 면봉 및 점착롤러에 부착되기 때문에 철판 표면의 손상을 일으키고, 장기적으로 이물질의 제거효율이 저하되는 문제점이 발생한다.In addition, since foreign matters separated from the iron plate are continuously attached to the cotton swab and the adhesive roller, the surface of the iron plate may be damaged and the removal efficiency of the foreign matter may be reduced in the long term.
본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 면봉이나 점착롤러를 사용하지 않고 공기를 분사하여 이물질을 철판으로부터 분리시키고, 공기 흡입기를 이용하여 이물질을 흡입함으로써 이물질 제거효율을 향상시키고, 부품의 교체가 필요없도록 하여 작업효율을 향상시킬 수 있는 섀도우 마스크 제조장비의 이물질 제거장치를 제공하는데 있다.The present invention is devised to solve the above problems, the purpose is to separate the foreign matter from the iron plate by spraying air without using a cotton swab or adhesive roller, and to remove the foreign matter by suctioning the foreign matter by using an air inhaler The present invention provides an apparatus for removing foreign substances from shadow mask manufacturing equipment that can improve work efficiency by improving parts and eliminating the need for replacement of parts.
또한, 본 고안의 다른 목적은 공기 분사시 공기를 이온화시킨 후 제공하여 철판에 존재하는 정전기를 제거함으로써 제조공정에서의 불량을 줄여 수율을 높이고, 제품의 품질을 향상시킬 수 있는 섀도우 마스크 제조장비의 이물질 제거장치를 제공하는데 있다.In addition, another object of the present invention is to provide an after ionizing the air during the air injection to remove the static electricity present in the iron plate to reduce the defects in the manufacturing process to increase the yield, and improve the quality of the product of the shadow mask manufacturing equipment To provide a foreign material removal device.
도 1은 일반적인 디스플레이 장치의 구성을 나타내는 도면,1 is a view showing the configuration of a general display device;
도 2는 철판에 횡2매 방식으로 다수의 섀도우 마스크가 만들어진 형태를 나타내는 도면,2 is a view showing a form in which a plurality of shadow masks are made in a two-sheet method on the iron plate,
도 3은 섀도우 마스크의 제조공정을 나타내는 도면,3 is a view showing a manufacturing process of a shadow mask;
도 4는 종래 기술에 의한 이물질 제거장치의 구성을 나타내는 도면,4 is a view showing the configuration of a foreign material removing apparatus according to the prior art,
도 5는 본 고안에 의한 이물질 제거장치의 구성을 나타내는 도면,5 is a view showing the configuration of the foreign matter removal apparatus according to the present invention,
도 6은 본 고안에 의한 공기 공급부 및 공기 흡입기의 분해된 구성을 나타내는 도면.Figure 6 is a view showing an exploded configuration of the air supply unit and the air inhaler according to the present invention.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the reference numerals for the main parts of the drawings>
30 : 공기 공급부 31 : 공기 공급구30: air supply part 31: air supply port
32 : 공기 박스(air box) 33 : 슬릿 노즐(slit nozzle)32: air box 33: slit nozzle
34 : 슬릿 박스 35 : 에미터(emitter)34: slit box 35: emitter
36 : 브러시(brush) 40 : 공기 흡입부36: brush 40: air intake
41 : 공기 배출구 42 : 공기박스 연결부41: air outlet 42: air box connection
43 : 석션 플레이트(suction plate) 44 : 슬릿박스 연결부43: suction plate 44: slit box connection
45 : 측면커버45: side cover
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안의 특징에 따르면, 섀도우 마스크의 제조공정에서 소재인 철판이 공급되는 단계에서 철판 표면에 존재하는 이물질을 제거하기 위한 섀도우 마스크 제조장비의 이물질 제거장치에 있어서,According to a feature of the present invention for achieving the above object, in the foreign material removal apparatus of the shadow mask manufacturing equipment for removing the foreign matter present on the surface of the iron plate in the step of supplying the iron plate material in the manufacturing process of the shadow mask,
상기 철판의 상하측에 배치되어 상기 철판의 표면을 향하여 소정의 압력을 갖는 공기를 제공함으로써 철판 표면의 이물질을 분리시키는 공기 공급부와, 상기 공기 공급부의 좌우측에 배치되어 철판에 부딪친 공기와 철판으로부터 분리된 이물질을 흡입하는 공기 흡입부를 포함하는 섀도우 마스크 제조장비의 이물질 제거장치를 제공한다.An air supply unit disposed above and below the iron plate to separate air from the surface of the iron plate by providing air having a predetermined pressure toward the surface of the iron plate, and separated from air and the iron plate disposed on the left and right sides of the air supply unit to impinge the steel plate; It provides a foreign material removal device of the shadow mask manufacturing equipment including an air suction unit for sucking the foreign matter.
이때, 본 고안의 부가적인 특징에 따르면, 상기 공기 공급부에는 철판 표면의 정전기를 제거하기 위하여 공기를 이온화 시키는 에미터(emitter)를 더 포함할 수 있다.At this time, according to an additional feature of the present invention, the air supply may further include an emitter (ionic) to ionize the air to remove the static electricity on the surface of the iron plate.
또한, 상기 공기 공급부에는 철판의 끝단부와 접촉되는 위치에 부착되어 철판의 이송시 철판 표면의 이물질을 분리시키는 브러시(brush)를 더 포함할 수 있다.In addition, the air supply may further include a brush attached to a position in contact with the end of the iron plate to separate the foreign matter on the surface of the iron plate during transfer of the iron plate.
또한, 상기 공기 흡입부에는 철판과 대향되는 다공판을 구비하고, 상기 다공판에 형성된 구멍은 안쪽으로 경사지게 형성되는데 철판의 표면과 가까울수록 크기가 작게 형성되어 이물질의 제거가 원활하게 하는 것이 바람직하다.In addition, the air intake is provided with a porous plate facing the iron plate, the hole formed in the porous plate is formed to be inclined inward, the closer to the surface of the iron plate is formed smaller in size is preferable to facilitate the removal of foreign matter. .
이하, 본 고안에 의한 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention will be described in detail.
도 5는 본 고안에 의한 섀도우 마스크 제조장비의 이물질 제거장치의 구성을 나타내는 도면이고, 도 6은 본 고안에 의한 공기 공급부 및 공기 흡입기의 분해된 구성을 나타내는 도면이다.5 is a view showing the configuration of the foreign material removal apparatus of the shadow mask manufacturing equipment according to the present invention, Figure 6 is a view showing an exploded configuration of the air supply unit and the air inhaler according to the present invention.
도 5를 참조하면, 참조번호 30은 철판(11)의 상하측에 배치되어 상기 철판(11)의 표면을 향하여 소정의 압력을 갖는 공기를 제공함으로써 철판(11) 표면의 이물질을 분리시키는 공기 공급부를 나타내고, 40은 상기 공기 공급부(30)의 좌우측에 배치되어 철판(11)에 부딪친 공기와 철판(11)으로부터 분리된 이물질을 흡입하는 공기 흡입부를 나타낸다.Referring to FIG. 5, reference numeral 30 is provided on the upper and lower sides of the iron plate 11 to supply air having a predetermined pressure toward the surface of the iron plate 11 to supply an air to separate foreign substances on the surface of the iron plate 11. 40 denotes an air suction unit disposed on the left and right sides of the air supply unit 30 to suck air hitting the iron plate 11 and foreign matter separated from the iron plate 11.
상기 공기 공급부(30)는 도 6의 (A)에 도시된 바와 같이, 외부로부터 공기를 공급하기 위한 튜브(미도시)와 연결되는 다수의 공기 공급구(31)와, 상기 다수의 공기 공급구(31)를 지지하는 공기 박스(32)와, 철판(11)의 표면을 향하여 소정의 압력을 갖는 공기를 불어주는 슬릿 노즐(33)과, 상기 공기 박스(32)와 슬릿 노즐(33)을 연결하고 측면을 밀폐시키는 사각링 형태의 슬릿 박스(34)와, 상기 슬릿 박스(34) 내부에 배치되어 철판(11) 표면의 정전기를 제거하기 위하여 공기를 이온화 시키는 에미터(35)와, 상기 슬릿 노즐(33)에 철판(11)과 접촉되는 위치에 부착되어 철판(11)의 이송시 철판(11) 표면의 이물질을 분리시키는 브러시(36)를 포함한다.As shown in FIG. 6A, the air supply unit 30 includes a plurality of air supply ports 31 connected to a tube (not shown) for supplying air from the outside, and the plurality of air supply ports. An air box 32 supporting the 31, a slit nozzle 33 for blowing air having a predetermined pressure toward the surface of the iron plate 11, and the air box 32 and the slit nozzle 33 A slit box 34 having a rectangular ring shape to connect and seal the side, an emitter 35 which is disposed inside the slit box 34 to ionize air to remove static electricity from the surface of the iron plate 11, and The brush 36 is attached to the slit nozzle 33 in contact with the iron plate 11 to separate foreign substances on the surface of the iron plate 11 when the iron plate 11 is transferred.
상기 공기 흡입부(40)는 도 6의 (B)에 도시된 바와 같이, 외부의 공기 흡입펌프(미도시)와 연결되는 다수의 공기 배출구(41)와, 상기 다수의 공기 배출구(41)를 지지하고 상기 공기 박스(32)의 측면에 결합되는 공기박스 연결부(42)와, 철판(11)의 표면과 대향되도록 배치되고 다수의 공기 흡입용 구멍이 형성되어 있는 석션 플레이트(suction plate)(43)와, 상기 공기박스 연결부(42)와 석션 플레이트(43)를 연결하고 슬릿 박스(34)의 측면에 결합되어 공기 흡입경로를 형성하는 슬릿박스 연결부(44)를 포함한다. 이때, 상기 석션 플레이트(43)는 슬릿 박스(34)와의 접촉면에서 철판(11)과의 간격이 크고, 슬릿 박스(34)에서 멀어질수록 철판(11)과의 간격이 작아지도록 경사지게 배치되는데 철판의 표면과 간격이 가까울수록 공기 흡입용 구멍의 크기가 작게 형성된다.As shown in (B) of FIG. 6, the air intake unit 40 includes a plurality of air outlets 41 connected to an external air intake pump (not shown), and the plurality of air outlets 41. Air box connecting portion 42 which is supported and coupled to the side of the air box 32, the suction plate 43 is disposed to face the surface of the iron plate 11 and formed with a plurality of air suction holes 43 ), And a slit box connecting portion 44 that connects the air box connecting portion 42 and the suction plate 43 and is coupled to the side of the slit box 34 to form an air suction path. At this time, the suction plate 43 is disposed to be inclined so that the distance between the iron plate 11 is greater in the contact surface with the slit box 34, and the distance from the iron plate 11 is smaller away from the slit box 34. The closer to the surface of the gap, the smaller the size of the air suction hole is formed.
도 6의 (B)에서 미설명부호 45는 상기 공기 공급부(30)와 공기 흡입부(40)를 결합시키는 측면커버를 나타낸다.In FIG. 6B, reference numeral 45 denotes a side cover for coupling the air supply unit 30 and the air intake unit 40.
상기와 같은 구성을 갖는 본 고안의 동작을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the present invention having the configuration as described above are as follows.
먼저, 권출드럼(21)으로부터 제공된 철판(11)이 도 5에 도시된 바와 같이 상하로 배치된 2개의 공기 공급부(30) 사이로 통과되면서 각 표면의 이물질이 제거된다. 이때, 상기 공기 공급부(30)에서는 에미터(35)에 의해 공기가 이온화되어 슬릿 노즐(33)을 통해 철판(11)으로 분사된다.First, as the iron plate 11 provided from the unwinding drum 21 passes between two air supply units 30 arranged up and down as shown in FIG. 5, foreign substances on each surface are removed. At this time, in the air supply unit 30, the air is ionized by the emitter 35 is injected to the iron plate 11 through the slit nozzle 33.
상기 철판(11)의 표면에서는 공기의 압력에 의해 이물질들이 분리되고, 분리된 이물질들은 상기 공기 흡입부(40)의 석션 플레이트(43)에 형성된 다수의 구멍을 통해 공기와 함께 흡입되어 제거된다. 이때, 철판(11) 표면의 정전기도 동시에 제거된다.Foreign matters are separated from the surface of the iron plate 11 by the pressure of air, and the separated foreign matters are sucked and removed together with air through a plurality of holes formed in the suction plate 43 of the air suction part 40. At this time, the static electricity on the surface of the iron plate 11 is also removed at the same time.
한편, 섀도우 마스크의 정면공정에서는 감광액을 철판(11)에 도포한 후 철판(11) 끝단부의 감광액을 진공흡입후 건조하는데, 진공흡입으로 인해 철판(11)의 끝단부에 찌꺼기 및 이물질이 존재하게 된다. 결국, 상기와 같이 철판(11)의 끝단부에 존재하는 찌꺼기 및 이물질은 브러시(36)를 이용하여 철판(11)과 분리시킨 후 상기 공기 흡입부(40)를 통해 흡입하여 제거한다.Meanwhile, in the front process of the shadow mask, the photoresist is applied to the iron plate 11, and the photoresist at the end of the iron plate 11 is vacuum sucked and dried, so that debris and foreign substances exist at the end of the iron plate 11 due to vacuum suction. do. As a result, the debris and foreign matter present at the end of the iron plate 11 is separated from the iron plate 11 by using the brush 36 and then sucked and removed through the air suction unit 40.
이상에서 설명한 바와 같은 본 고안의 섀도우 마스크 제조장비의 이물질 제거장치는 공기를 분사할 때 이온화시킨 후 제공하여 정전기 발생을 억제함과 동시에 철판 표면의 이물질을 분리한 후 흡입하기 때문에 이물질의 재부착 및 비산을 방지하여 이물질 및 정전기에 의한 불량률을 감소시켜 제품의 수율 및 품질을 향상시키는 효과가 있다.The foreign material removal device of the shadow mask manufacturing equipment of the present invention as described above provides ionization when injecting air to suppress static electricity and at the same time separates and removes the foreign material on the surface of the iron plate, thereby reattaching the foreign matter and By preventing scattering to reduce the defective rate by foreign matter and static electricity has the effect of improving the yield and quality of the product.
또한, 철판과의 마찰이 이루어지지 않도록 하여 철판의 손상을 방지함으로써 섀도우 마스크의 불량률을 감소시켜 제품의 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, by preventing friction with the iron plate to prevent damage to the iron plate has the effect of reducing the defect rate of the shadow mask to improve the yield of the product.
또한, 브러시의 사용으로 철판 끝단부의 이물질에 대한 제거효율을 향상되고, 면봉제작 및 점착롤러 세정으로 인한 시간손실을 줄여 공정을 단순화할 수 있으며, 공정의 효율을 증가시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the use of the brush to improve the removal efficiency of the foreign matter of the iron plate end, and to simplify the process by reducing the time loss due to cotton swab manufacturing and adhesive roller cleaning, there is an effect that can increase the efficiency of the process.
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR2019990002868U KR20000017407U (en) | 1999-02-25 | 1999-02-25 | Alien substance removal apparatus for shadow mask manufacturing system |
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20000017407U true KR20000017407U (en) | 2000-09-25 |
Family
ID=54759702
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|---|---|---|---|
| KR2019990002868U KR20000017407U (en) | 1999-02-25 | 1999-02-25 | Alien substance removal apparatus for shadow mask manufacturing system |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| KR (1) | KR20000017407U (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100588015B1 (en) * | 2004-06-28 | 2006-06-09 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Impurity Removal Device of Liquid Crystal Display |
| KR20100019341A (en) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | 후지 세이사쿠쇼 가부시키가이샤 | Blasting method and apparatus having abrasive recovery system, processing method of thin-film solar cell panel, and thin-film solar cell panel processed by the method |
| KR100958573B1 (en) * | 2003-10-06 | 2010-05-18 | 엘지디스플레이 주식회사 | Manufacturing apparatus and manufacturing method of liquid crystal display panel |
-
1999
- 1999-02-25 KR KR2019990002868U patent/KR20000017407U/en not_active Application Discontinuation
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| KR20100019341A (en) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | 후지 세이사쿠쇼 가부시키가이샤 | Blasting method and apparatus having abrasive recovery system, processing method of thin-film solar cell panel, and thin-film solar cell panel processed by the method |
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