KR20000015678A - 안전성이 향상된 반도체 제조공정의 공기압 구동용 검사설비 및조립설비 - Google Patents

안전성이 향상된 반도체 제조공정의 공기압 구동용 검사설비 및조립설비 Download PDF

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Abstract

공기압에 의해 구동되는 설비에서 주전원이 차단되면 설비 내부의 공기 유입을 차단함으로써 안전성을 향상시킬 수 있는 공기압으로 구동된 반도체 검사 및 조립 설비를 제공한다. 이를 위해 본 발명은, 설비의 몸체 일단에 장착된 주 전원과, 상기 설비의 일단에 연결된 메인 공기 공급 라인과, 상기 메인 공기 공급 라인과 연결되도록 구성된 배기라인과, 상기 메인 공기 공급 라인에서 공기를 공급받아 설비의 각종 구동부위로 공기를 전달하는 유틸리티 공기 공급 라인과, 상기 주전원, 상기 메인 공기 공급라인, 상기 배기라인 및 상기 유틸리티 공기 공급 라인에 연결되어 주 전원에 의해 온/오프(ON/OFF)되며 오프(OFF)되면 공기의 흐름을 상기 유틸리티 공급 라인에서 배기라인 쪽으로 전환할 수 있는 솔레노이드 밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정의 공기압 구동용 검사 및 조립설비를 제공한다.

Description

안전성이 향상된 반도체 제조공정의 공기압 구동용 검사설비 및 조립설비
본 발명은 반도체 소자의 제조공정에 사용되는 설비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 공기압으로 구동되는 검사 및 조립 설비에 관한 것이다.
반도체 소자의 패키징 공정에서는 테스터와 핸들러(handler)를 사용하여 조립이 끝난 단위 반도체 소자를 전기적으로 검사한다. 이러한 핸들러는 전기적인 신호를 받아 기계적인 동작을 함으로써, 반도체 소자를 테스터와 연결된 콘택터(contactor)에 연결시켜 전기적인 특성을 검사하게 하고, 또한 검사된 결과를 바탕으로 반도체 소자를 양품과 불량으로 분류하여 다시 튜브(tube), 트레이(tray)와 같은 반도체 패키지 캐리어(carrier)로 반도체 소자를 언로딩(unloading)시키는 역할을 수행한다.
이러한 핸들러의 기계적인 동작은 크게 유압 또는 공기압에 의해 구동된다. 이중에서 공기압에 의해 구동되는 설비의 경우, 공기압 공급이 주전원과 상관없이 외부의 공기압 제어 수단에 의해서 운용되기 때문에, 유사시 전원을 차단하더라도 공기압은 설비의 내부에 그대로 남아서 각종 안전사고의 가능성을 유발시킨다.
도 1은 종래기술에 의한 공기압 구동용 검사 및 조립 설비인 핸들러의 공기 흐름을 설명하기 위해 도시한 플루차트(flowchart)이다.
도 1을 참조하면, 외부 공기압 조절 수단에 의해 개폐되는 공기가 핸들러의 메인 공기 공급 라인으로 공급된다. 그 후, 핸들러의 유틸리티 공급 라인을 통하고 솔레노이드 밸브를 걸쳐 각 부위의 실린더를 구동시킨다.
그러나 상술한 종래기술에 의한 반도체 제조공정에 사용되는 공기압 구동용 검사 및 조립 설비는 유사시 핸들러의 주전원을 차단할 수 있는 비상전원 차단 스위치(emergency s/w)를 눌러도 핸들러 전원만 차단되고 핸들러 내부로 유입된 공기압은 그대로 있어 외부로 배출되지 않는다. 따라서, 공기압 구동용 검사 및 조립 설비를 운용 중에 손과 같은 신체의 일부가 강한 공기압으로 구동되는 실린더에 끼더라도 비상전원 차단 스위치(emergency switch)로 복원이 되지 않아 안전사고의 유발 위험이 언제나 잔존하는 상태이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 설비내의 공기압을 비상전원 차단 스위치의 개폐에 의해 제어하여 안정성을 향상시킬 수 있는 반도체 제조공정의 공기압 구동용 검사 및 조립 설비를 제공하는데 있다.
도 1은 종래 기술에 의한 공기압 구동용 검사 및 조립 설비의 공기 흐름을 설명하기 위해 도시한 플루차트이다.
도 2는 본 발명에 의한 공기압 구동용 검사 및 조립 설비의 공기 흐름을 설명하기 위해 도시한 플루차트이다.
도 3은 상기 도 2에서 3방향 솔레노이드 밸브의 기능을 설명하기 위해 도시한 개략도이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은, 설비의 몸체 일단에 장착된 주전원과, 상기 설비의 일단에 연결된 메인 공기 공급 라인과, 상기 메인 공기 공급 라인과 연결되도록 구성된 배기라인과, 상기 메인 공기 공급 라인에서 공기를 공급받아 설비의 각종 구동부위로 공기를 전달하는 유틸리티 공기 공급 라인과, 상기 주전원, 상기 메인 공기 공급라인, 상기 배기라인 및 상기 유틸리티 공기 공급 라인에 연결되어 주전원에 의해 온/오프(ON/OFF)되며 오프(OFF)되면 공기의 흐름을 상기 유틸리티 공급 라인에서 배기라인 쪽으로 전환할 수 있는 솔레노이드 밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정의 공기압 구동용 검사 및 조립설비를 제공한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 검사 설비는 패키징 공정의 최종 전기적 검사(electrical final test)에 사용되는 핸들러이고, 상기 주전원은 상기 설비의 일단에 설치된 비상 전원 차단 스위치(emergency switch)와 연결되도록 구성된 것이 적합하다.
본 발명에 따르면, 반도체 제조공정에 사용되는 공기압 구동용 검사 및 조립 설비에서 비상전원 차단 스위치의 조절에 의해 설비 내로 유입되는 공기를 차단시키킴으로써 유사시 안전사고의 위험을 억제할 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
당 명세서에서 말하는 공기압 구동용 검사 및 조립설비는 가장 넓은 의미로 사용하고 있으며 핸들러와 같이 특정 설비를 한정하는 것이 아니다. 이는 공기압에 의해 기계적인 구동력을 얻는 모든 설비에 적용 가능하다. 따라서, 아래의 바람직한 실시예에서 기재한 내용은 예시적인 것이며 한정하는 의미가 아니다.
도 2는 본 발명에 의한 공기압 구동용 검사 및 조립 설비인 핸들러의 공기 흐름을 설명하기 위해 도시한 플루차트(flowchart)이다.
도 2를 참조하면, 외부 공기압 조절 수단과 핸들러의 메인 공기 공급 배관 사이에 본 발명에 따른 3방향 솔레노이드 밸브를 추가로 설치한다. 그리고 상기 3방향 솔레노이드 밸브는 비상전원 차단 스위치에 의해 제어되도록 구성하여 유사시에 비상전원 차단 스위치를 누름으로써 핸들러 내부로 유입된 공기를 외부로 모두 배출시킬 수 있도록 한다. 따라서, 장비를 운용하는 도중에 신체의 일부가 핸들러 내부에서 강한 공기압에 의해 구동되는 실린더에 끼이는 사고가 발생하더라도 비상전원 차단 스위치를 한번만 눌러주면 다시 신체의 일부를 뺄 수 있게 됨으로써 대형 안전사고로의 위험을 미연에 방지할 수 있다.
도 3은 상기 도 2에서 3방향 솔레노이드 밸브의 기능을 설명하기 위해 도시한 개략도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명에 의한 3방향 솔레노이드 밸브(100)는 주전원 및 비상전원 차단 스위치(102)에 의해 온/오프(ON/OFF)가 가능하며, 3 방향 솔레노이드 밸브(100)로 24V의 직류전원이 공급되는 온(ON) 상태에서는, 외부 공기압 조절 수단으로부터 핸들러의 메인 공기 공급라인(104)으로 들어온 공기를 각부위의 실린더를 구동하기 위한 조절기(filter regulator)로 공기를 배급하는 유틸리티 공기 공급라인(106)으로 전달한다. 그러나, 주전원 또는 비상전원 차단 스위치(102)를 누름으로써 3방향 솔레노이드 밸브(100)가 오프(OFF) 상태로 되면, 핸들러의 메인 공기 공급라인(104)으로 들어온 공기를 배기라인으로 돌려서 더 이상의 공기압의 유입을 차단시킴으로써 본 발명에서 추구하는 안정성을 향상시킬 수 있다. 따라서, 핸들러 내부의 공기압은 떨어지게 되고 설비를 운용 중에 신체의 일부가 끼더라도 비상전원 차단 스위치(102)를 누르면 쉽게 뺄 수 있게 된다.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명이 속한 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 많은 변형이 가능함이 명백하다.
따라서, 상술한 본 발명에 따르면, 반도체 제조공정에 사용되는 공기압 구동용 검사 및 조립 설비에서 비상전원 차단 스위치의 조절에 의해 설비 내로 유입되는 공기를 차단시키도록 함으로써 유사시 안전사고의 위험을 저하시킬 수 있다.

Claims (3)

  1. 설비의 몸체 일단에 장착된 주전원;
    상기 설비의 일단에 연결된 메인 공기 공급 라인;
    상기 메인 공기 공급 라인과 연결되도록 구성된 배기라인;
    상기 메인 공기 공급 라인에서 공기를 공급받아 설비의 각종 구동부위로 공기를 전달하는 유틸리티 공기 공급 라인; 및
    상기 주전원, 상기 메인 공기 공급라인, 상기 배기라인 및 상기 유틸리티 공기 공급 라인에 연결되어,
    주전원에 의해 온/오프(ON/OFF)되며,
    오프(OFF)되면 공기의 흐름을 상기 유틸리티 공급 라인에서 배기라인 쪽으로 전환할 수 있는 솔레노이드 밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정의 공기압 구동용 검사 및 조립설비.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 검사 설비는 패키징 공정의 최종 전기적 검사(electrical final test)에 사용되는 핸들러인 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정의 공기압 구동용 검사 및 조립설비.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 주전원은 상기 설비의 일단에 설치된 비상 전원 차단 스위치와 연결되도록 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정의 공기압 구동용 검사 및 조립설비.
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