KR20000013406A - 역류 방지용 밸브를 설치한 반도체설비의 배기라인 - Google Patents

역류 방지용 밸브를 설치한 반도체설비의 배기라인 Download PDF

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KR20000013406A
KR20000013406A KR1019980032248A KR19980032248A KR20000013406A KR 20000013406 A KR20000013406 A KR 20000013406A KR 1019980032248 A KR1019980032248 A KR 1019980032248A KR 19980032248 A KR19980032248 A KR 19980032248A KR 20000013406 A KR20000013406 A KR 20000013406A
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류현수
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윤종용
삼성전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 대기가스나 분자가 챔버내로 역류되는 것을 방지하기 위한 역류 방지용 밸브를 설치한 반도체설비의 배기라인에 관한 것이다.
본 발명은, 챔버와 펌프를 연결하는 배기라인에 있어서, 상기 배기라인에 대기가스 또는 분자의 역류를 방지하기 위한 밸브를 더 구비하여 이루어진다.
상기 밸브는 체크밸브인 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면 챔버와 배기라인간의 압력차에 의해 하단의 펌프쪽으로서 상단의 챔버쪽으로 역류를 방지하므로써 챔버내의 청정 및 고진공 상태를 유지시키는 효과가 있다.

Description

역류 방지용 밸브를 설치한 반도체설비의 배기라인
본 발명은 역류 방지용 밸브를 설치한 반도체설비의 배기라인에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 대기가스나 분자가 챔버내로 역류되는 것을 방지하기 위한 역류 방지용 밸브를 설치한 반도체설비의 배기라인에 관한 것이다.
반도체 설비의 안정화된 공정을 유지하기 위해 고진공의 압력이 필요하다. 그 조건을 만족시키기 위해 진공 펌프를 사용해 챔버내의 대기 가스 및 분자를 배기한다.
도1은 종래의 챔버와 배기라인의 기본적인 계통도이다.
도1에서 보는 바와 같이, 챔버(10)와 터보펌프(12)사이에 메인 밸브(14)가 설치되어 있고, 상기 터보펌프(12)와 펌프(16)사이에는 포어라인(foreline) 밸브(18)가 설치되어 있다.
이는 메인 밸브(14)와 포어라인 밸브(18)가 열리면서 터보펌프(12)와 펌프(16)의 작동으로 챔버(10)내의 대기가스나 분자가 배기라인을 통해 배출된다.
그러나, 공정 진행중 챔버와 펌프, 그리고 이를 연결하여 주는 배기라인의 압력차 즉, 챔버측보다 펌프측의 압력이 낮게 되면 대기가스나 분자가 챔버내로 역류되어 챔버내에서 공정중 파티클, 공정불량, 품질불량을 초래하는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은, 펌프의 펌핑작용으로 배출되는 대기가스나 분자가 챔버내로 역류하는 것을 방지하기 위한 역류 방지용 밸브를 설치한 반도체설비의 배기라인을 제공하는 데 있다.
도1은 종래의 챔버와 배기라인의 기본적인 계통도이다.
도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 역류 방지용 밸브가 부착된 반도체설비의 배기라인을 나타내는 계통도이다.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10 : 챔버 12 : 터보펌프
14 : 메인 밸브 16 : 펌프
18 : 포어라인 밸브 20 : 체크밸브
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 역류 방지용 밸브를 설치한 반도체설비의 배기라인은 챔버와 펌프를 연결하는 배기라인에 있어서, 상기 배기라인에 대기가스 또는 분자의 역류를 방지하기 위한 밸브를 더 구비하여 이루어진다.
상기 밸브는 체크밸브인 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 배기라인 역류 방지용 밸브가 부착된 반도체설비의 배기라인을 나타내는 계통도이다.
도2에서 보는 바와 같이 챔버(10)와 터보펌프(12)사이에 메인 밸브(14)가 설치되어 있고, 상기 터보펌프(12)와 펌프(16)사이에는 포어라인 밸브(18)가 있다. 상기 메인 밸브(14)와 상기 터보펌브(12)사이에 체크 밸브(20)를 더 설치하여 이루어진다.
상기 메인 밸브(14)와 체크 밸브(20) 및 포어라인 밸브(18)가 열리면서 터보펌프(12)와 펌프(16)의 작동으로 챔버(10)내의 대기가스나 분자가 배기라인을 통해 배출된다. 그런데, 챔버(10)측보다 펌프(16)측의 압력이 높게 되면 대기가스나 분자가 챔버(10)내로 역류되는데 이때 체크 밸브(20)가 닫히면서 역류를 방지하게 된다.
상기 체크밸브를 설치함으로써 하단의 펌프쪽에서 상단의 챔버쪽으로의 역류를 방지하여 챔버내의 청정 및 고진공 상태를 유지시키는 이점이 있다.
따라서, 본 발명에 의하면 챔버와 배기라인간의 압력차에 의해 하단의 펌프쪽으로서 상단의 챔버쪽으로 역류를 방지하므로써 챔버내의 청정 및 고진공 상태를 유지시키는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (2)

  1. 챔버와 펌프를 연결하는 배기라인에 있어서,
    상기 배기라인에 대기가스 또는 분자의 역류를 방지하기 위한 밸브를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 역류 방지용 밸브를 설치한 반도체설비의 배기라인.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 밸브는 체크밸브인 것을 특징으로 하는 상기 역류 방지용 밸브를 설치한 반도체설비의 배기라인.
KR1019980032248A 1998-08-07 1998-08-07 역류 방지용 밸브를 설치한 반도체설비의 배기라인 KR20000013406A (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100959784B1 (ko) * 2003-04-02 2010-05-28 삼성전자주식회사 역류 방지 배관을 갖는 반도체 제조장치

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100959784B1 (ko) * 2003-04-02 2010-05-28 삼성전자주식회사 역류 방지 배관을 갖는 반도체 제조장치

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