KR20000007753A - Semiconductor device molding die including position arrangement pin sensor - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 소자(Semiconductor device) 조립 장치 중에서 성형 금형(Molding die)에 관한 것이며, 더욱 구체적으로는 하부금형(Low die)에 공급되는 리드프레임의 위치를 정렬하는 위치 정렬핀(Location pin)의 손상 여부를 확인할 수 있는 감지기를 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 성형 금형에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a molding die in a device for assembling semiconductor devices, and more particularly to a location pin for aligning a position of a lead frame supplied to a low die. It relates to a semiconductor device molding die, characterized in that it has a sensor that can determine whether the damage.
반도체 소자의 조립 공정 중에서, 반도체 칩과 그 칩에 전기적으로 연결된 리드프레임의 내부리드들과 그 전기적 연결수단들을 먼지, 열, 습기, 전기 및 기계적 부하 등의 외부환경으로부터 보호하기 위하여 에폭시 몰딩 컴파운드(EMC ; Epoxy Molding Compound)와 같은 성형수지로 봉지(Encapsulation)하는 공정을 성형 공정(Molding)이라 한다.In the process of assembling a semiconductor device, in order to protect the semiconductor chip and the inner leads of the lead frame electrically connected to the chip and its electrical connecting means from the external environment such as dust, heat, moisture, electrical and mechanical loads, an epoxy molding compound ( The process of encapsulation with molding resin such as EMC (Epoxy Molding Compound) is called Molding.
일반적으로 성형 공정에서 사용되는 성형 장치 중에서, 본 발명은 다중 포트(Multi port)를 갖는 자동 성형 장치를 일 예로 기술하고 있으며, 본 발명은 자동 성형 장치의 성형 금형에 관한 것이다.In general, among molding apparatuses used in a molding process, the present invention describes an automatic molding apparatus having a multi port as an example, and the present invention relates to a molding die of an automatic molding apparatus.
도 1은 종래의 반도체 소자 성형 금형(100)을 나타낸 사시도이며, 도 2는 도 1의 크리너(50)를 나타낸 하부 사시도이다. 도 1 및 도 2를 참고로 하여 종래의 성형 금형(100)의 구조를 살펴보면 다음과 같다.FIG. 1 is a perspective view illustrating a conventional semiconductor device molding die 100, and FIG. 2 is a bottom perspective view illustrating the cleaner 50 of FIG. 1. Looking at the structure of a conventional molding die 100 with reference to FIGS. 1 and 2 as follows.
반도체 소자 성형 금형(100)은 각각 복수개의 상/하부주형들(40/20)을 갖는 상/하부금형(30/10)을 포함하며, 이에 더하여 상/하부금형(30/10) 사이에서 수평(A)으로 움직이는 크리너(50)를 더 포함한다. 하부주형(20)은 반도체 소자들의 몸체를 형성하기 위한 복수개의 캐버티들(22)과 이들 캐버티들로 성형수지(도시되진 않음)가 전달되는 경로인 러너들(24) 및 러너로 성형수지가 주입되는 포트(26)를 포함한다. 또한 캐버티들(22)을 따라 하부주형(20)의 양 측면에 위치 정렬핀들(28)이 돌출 되어 있다.The semiconductor device forming mold 100 includes an upper / lower mold 30/10 having a plurality of upper / lower molds 40/20, respectively, in addition to the horizontal between the upper / lower molds 30/10. It further includes a cleaner 50 moving to (A). The lower mold 20 is formed of a plurality of cavities 22 for forming the body of the semiconductor elements and a runner 24 and a runner 24 which is a path through which a molding resin (not shown) is transferred to the cavities. It includes a port 26 to be injected. In addition, the alignment pins 28 protrude from both sides of the lower mold 20 along the cavities 22.
크리너(50)는 하부주형(20) 위에서 수평(A)으로 움직이며, 하부주형(20) 위의 이물질(도시되지 않음)을 제거하기 위하여 브러시(52)와 진공 흡입구(54) 및 공기 배출구(56)가 하부에 형성되어 있다.The cleaner 50 moves horizontally A above the lower mold 20 and removes the foreign matter (not shown) on the lower mold 20. 56 is formed at the bottom.
위치 정렬핀들에 대하여 좀 더 구체적으로 살펴보면, 캐버티들이 형성된 측면을 따라 하부주형 위로 돌출 되며, 반도체 칩들이 실장된 리드프레임(도시되지 않음)의 스프로켓 홀(Sprocket hole ; 도시되지 않음)에 끼워져 리드프레임의 위치를 정렬한다.More specifically, the alignment pins protrude above the lower mold along the side where the cavities are formed, and are inserted into the sprocket hole (not shown) of the lead frame (not shown) in which the semiconductor chips are mounted. Align the position of the frame.
이러한 구조에서, 위치 정렬핀이 부러지는 등 손상된 경우에는 리드프레임이 하부주형 위에 정확하게 정렬되지 못할 수 있으며, 이로 인하여 리드프레임의 공급불량 및 성형 된 후의 품질불량 등이 일어날 수 있다. 또한, 이를 방지하기 위하여 1일 3회씩의 작업자의 육안에 의한 위치 정렬핀 검사를 실시하고 있으나, 이는 결국 작업시간의 증가와 정비인력의 증가를 가져올 수 있다.In such a structure, when the alignment pin is damaged, such as a broken pin, the lead frame may not be correctly aligned on the lower mold, which may cause a poor supply of the lead frame and a poor quality after molding. In addition, in order to prevent this, the inspection of the alignment pins by the naked eye of the operator three times a day, but this may result in an increase in working time and an increase in maintenance personnel.
본 발명의 목적은 위치 정렬핀을 감지할 수 있는 감지기를 포함하는 반도체 소자 성형 금형을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a mold for forming a semiconductor device including a detector capable of detecting a positioning pin.
도 1은 종래의 반도체 소자 성형 금형을 나타낸 사시도,1 is a perspective view showing a conventional semiconductor device molding die,
도 2는 도 1의 크리너를 나타낸 하부 사시도,Figure 2 is a bottom perspective view of the cleaner of Figure 1,
도 3은 본 발명에 따른 반도체 소자 성형 금형의 일부를 나타낸 사시도,3 is a perspective view showing a part of a semiconductor device molding die according to the present invention;
도 4는 도 3의 크리너를 나타낸 하부 사시도,4 is a bottom perspective view of the cleaner of FIG. 3;
도 5는 본 발명에 따른 크리너가 위치 정렬핀들을 감지하는 모습을 나타낸 측면도이다.5 is a side view showing a cleaner in accordance with the present invention to detect the position alignment pins.
<도면의 주요 부분에 대한 설명>Description of the main parts of the drawing
10, 110 : 하부금형(Low die) 20, 120 : 하부주형(Low chase)10, 110: Low die 20, 120: Low chase
22, 122 : 캐버티(Cavity) 24, 124 : 러너(Runner)22, 122: Cavity 24, 124: Runner
26, 126 : 포트(Port) 28, 128 : 위치 정렬핀(Location pin)26, 126: Port 28, 128: Location pin
30, 130 : 상부금형(Upper die) 40, 140 : 상부주형(Upper chase)30, 130: Upper die 40, 140: Upper chase
50, 150 : 크리너(Cleaner) 52, 152 : 브러시(Brush)50, 150: Cleaner 52, 152: Brush
54, 154 : 진공 흡입구 56, 156 : 공기 배출구54, 154: vacuum inlet 56, 156: air outlet
100, 200 : 반도체 소자 성형 금형(Semiconductor device molding die)100, 200: semiconductor device molding die
160 : 감지기160: Detector
이러한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 반도체 칩들이 실장된 각 리드프레임에 대응하여 패키지 몸체를 성형시키기 위한 캐버티들과, 캐버티들로 성형수지가 전달되는 통로인 러너들과, 러너들의 중심에 형성되어 성형수지가 주입되는 포트들 및 캐버티들을 따라 양 측면에 돌출된 위치 정렬핀들을 포함하는 하부주형들을 갖는 하부금형;과 각 하부주형에 대응되는 상부주형들을 갖는 상부금형; 및 상/하부금형 사이에서 수평으로 움직이며, 하부주형 위의 이물질을 제거하는 크리너;를 포함하는 반도체 소자 성형 금형에 있어서, 크리너는 위치 정렬핀들의 손상 여부를 감지할 수 있는 감지기들을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 성형 금형을 제공한다.In order to achieve this object, the present invention provides cavities for forming a package body corresponding to each lead frame in which semiconductor chips are mounted, runners which are passages through which molding resin is transferred to cavities, and centers of runners. A lower mold having lower molds including position alignment pins protruding on both sides along ports and cavities into which the molding resin is injected, and an upper mold having upper molds corresponding to each lower mold; And a cleaner moving horizontally between the upper and lower molds and removing foreign matter on the lower mold, wherein the cleaner includes detectors for detecting whether the alignment pins are damaged. A semiconductor element molding die is provided.
이하, 도면을 참고로 하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, with reference to the drawings will be described a preferred embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자 성형 금형(200)을 나타낸 사시도이며, 도 4는 도 3의 크리너(150)를 나타낸 하부 사시도이다. 도 3 및 도 4를 참고로 하여 종래의 성형 금형(200)의 구조를 살펴보면 다음과 같다.3 is a perspective view illustrating a semiconductor device molding die 200 according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a bottom perspective view of the cleaner 150 of FIG. 3. Looking at the structure of the conventional molding die 200 with reference to Figures 3 and 4 as follows.
종래와 마찬가지로 반도체 소자 성형 금형(200)은 각각 복수개의 상/하부주형들(140/120)을 갖는 상/하부금형(130/110)과 상/하부금형(130/110) 사이에서 수평(A)으로 움직이는 크리너(150)를 포함한다. 하부주형(120)은 반도체 소자들의 몸체를 형성하기 위한 복수개의 캐버티들(122)과 이들 캐버티들로 성형수지가 전달되는 경로인 러너들(124) 및 고형화된 타블렛(Tablet) 형태로 성형수지가 주입되는 포트(126)를 포함한다. 또한 캐버티들(122)을 따라 하부주형(120)의 양 측면에 위치 정렬핀들(28)이 돌출 되어 있다.As in the prior art, the semiconductor device forming mold 200 is horizontally formed between the upper / lower molds 130/110 and the upper / lower molds 130/110 having a plurality of upper / lower molds 140/120, respectively. It includes a cleaner 150 moving to). The lower mold 120 is formed in the form of a plurality of cavities 122 for forming the body of the semiconductor devices and runners 124 and solidified tablets, which are paths through which molding resin is transferred to the cavities. A port 126 into which the resin is injected. In addition, the alignment pins 28 protrude from both sides of the lower mold 120 along the cavities 122.
크리너(150)는 하부주형(120) 위에서 수평(A)으로 움직이며, 브러시(152)와 진공 흡입구(154) 및 공기 배출구(156)가 하부에 형성되어 있다. 또한 크리너(150)는 성형수지가 주입되어 각 캐버티에서 패키지 몸체(도시되지 않음)를 형성한 후 하부주형(120) 위에 남겨진 잔여물인 이물질을 제거하는 것을 특징으로 한다.The cleaner 150 moves horizontally A on the lower mold 120, and a brush 152, a vacuum inlet 154, and an air outlet 156 are formed below. In addition, the cleaner 150 may be injected with a molding resin to form a package body (not shown) in each cavity, and then remove foreign substances, which are residues left on the lower mold 120.
이에 더하여, 본 발명에서는 크리너(150)의 하부에 하부주형(120)의 위치 정렬핀들(128)에 대응하는 감지기들(160)이 포함되어 있다. 감지기들은 근접센서들(Proximity sensor)이며, 위치 정렬핀들의 높이를 감지함으로써 각 위치 정렬핀의 손상 여부를 감지한다.In addition, in the present invention, the detectors 160 corresponding to the alignment pins 128 of the lower mold 120 are included under the cleaner 150. The detectors are proximity sensors and detect the damage of each alignment pin by sensing the height of the alignment pins.
도 5는 본 발명에 따른 크리너(150)가 위치 정렬핀들(128)을 감지하는 모습을 나타낸 측면도이다. 도 5를 참고로 하여 감지기들(160)이 위치 정렬핀들(128)의 손상 여부를 검출하는 과정을 설명하면 다음과 같다.5 is a side view showing a state in which the cleaner 150 according to the present invention detects the alignment pins 128. The process of detecting whether the detectors 160 are damaged by the alignment pins 128 will now be described with reference to FIG. 5.
약 3㎜의 높이로 형성되고 캐버티들을 따라 하부주형(120)의 양 측면에 약 세 개씩 형성된 위치 정렬핀들(128)이 있으며, 크리너(150)가 브러시(152) 등을 이용하여 하부주형(120) 위의 이물질들을 제거하기 위해 상/하부금형(130/110)의 사이에서 수평(A)으로 움직임에 따라, 크리너(150)의 하부에 형성된 감지기들(160)이 각 위치 정렬핀들(128)의 위 부분들을 감지한다.There are three position alignment pins 128 formed at a height of about 3 mm and formed on each side of the lower mold 120 along the cavities, and the cleaner 150 is formed by using a brush 152 or the like. 120 As the horizontal A moves between the upper and lower molds 130/110 to remove the foreign matters above, the detectors 160 formed at the bottom of the cleaner 150 are positioned at the respective alignment pins 128. ) Detect the upper parts of
만일 임의의 위치 정렬핀이 부러진 경우 해당 위치 정렬핀의 높이가 낮아져 다른 위치 정렬핀들과 다름을 이용하여 위치 정렬핀의 손상을 검출할 수 있는 것이다. 감지기가 각 하부주형에 대하여 위치 정렬핀을 3회 감지할 때 위치 정렬핀들의 손상이 없는 것이며, 이에 반하여 2회 또는 그 이하의 회수로 위치 정렬핀을 감지할 때는 감지하지 못한 개수만큼의 위치 정렬핀이 손상된 것이다.If any of the alignment pins are broken, the height of the corresponding alignment pins is lowered, so that damage to the alignment pins can be detected by using different from the other alignment pins. When the detector detects the alignment pins three times for each lower mold, there is no damage of the alignment pins. On the other hand, the number of positioning alignments not detected when the alignment pins are detected two or less times. The pin is damaged.
이와 같이, 매 성형 작업이 실시될 때마다 구동되는 크리너에 감지기를 설치함으로써 위치 정렬핀들의 손상 여부를 알 수 있으며, 위치 정렬핀의 손상이 일어난 경우 즉시 이를 알 수 있게 되어 위치 정렬핀의 손상으로 인한 리드프레임의 공급불량 및 성형된 후의 품질불량을 방지할 수 있다.As such, by installing a detector on the cleaner driven every time the molding operation is performed, whether the alignment pins are damaged or not can be recognized immediately. Due to the poor supply of the lead frame and poor quality after molding.
본 발명에 따른 반도체 소자 성형 금형은 매 성형 작업이 실시된 후에 하부주형 위의 이물질을 제거하는 크리너의 하부에 하부주형의 위치 정렬핀들의 손상 여부를 감지할 수 있는 감지기들을 형성함으로써, 위치 정렬핀들이 부러지는 등의 손상을 즉시 검출하여 이를 작업자가 보정할 수 있으며, 위치 정렬핀의 손상으로 인하여 리드프레임이 잘못 정렬되는 리드프레임의 공급불량 및 잘못 정렬된 리드프레임을 성형하여 발생되는 성형된 후의 품질불량 등을 방지할 수 있다. 또한, 이를 방지하기 위해 종래 작업자의 육안 작업에 의하던 것을 자동화함으로써 작업시간 및 작업인력의 절감을 가져올 수 있으며 결과적으로 공정의 효율을 향상할 수 있다.The semiconductor device molding die according to the present invention forms the detectors that detect whether the alignment pins of the lower mold are damaged under the cleaner which removes the foreign matter on the lower mold after every molding operation. This broken and the like damage can be detected immediately and corrected by the operator, the lead frame is misaligned due to the damage of the alignment pins, and the result after molding caused by molding the misaligned lead frame Quality defects can be prevented. In addition, in order to prevent this by automating the work by the naked eye of the conventional worker can bring a reduction in working time and work manpower and consequently improve the efficiency of the process.
Claims (7)
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1019980027237A KR20000007753A (en) | 1998-07-07 | 1998-07-07 | Semiconductor device molding die including position arrangement pin sensor |
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KR1019980027237A KR20000007753A (en) | 1998-07-07 | 1998-07-07 | Semiconductor device molding die including position arrangement pin sensor |
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KR1019980027237A KR20000007753A (en) | 1998-07-07 | 1998-07-07 | Semiconductor device molding die including position arrangement pin sensor |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100426812B1 (en) * | 2001-08-07 | 2004-04-08 | 삼성전자주식회사 | Semiconductor molding apparatus and lead frame setting error detecting method thereof |
-
1998
- 1998-07-07 KR KR1019980027237A patent/KR20000007753A/en not_active Application Discontinuation
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR100426812B1 (en) * | 2001-08-07 | 2004-04-08 | 삼성전자주식회사 | Semiconductor molding apparatus and lead frame setting error detecting method thereof |
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