KR20000003267A - 공압기가 구비되는 반도체소자 제조장치 - Google Patents
공압기가 구비되는 반도체소자 제조장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20000003267A KR20000003267A KR1019980024471A KR19980024471A KR20000003267A KR 20000003267 A KR20000003267 A KR 20000003267A KR 1019980024471 A KR1019980024471 A KR 1019980024471A KR 19980024471 A KR19980024471 A KR 19980024471A KR 20000003267 A KR20000003267 A KR 20000003267A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- pneumatic
- semiconductor device
- manufacturing apparatus
- device manufacturing
- line
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
Abstract
본 발명은 공압기로 주입되는 공압을 확인할 수 있도록 개선시킨 공압기가 구비되는 반도체소자 제조장치에 관한 것이다.
본 발명은, 공압으로 개폐동작을 수행하는 공압밸브에 상기 공압을 주입시킬 수 있는 공압기가 구비되는 반도체소자 제조장치에 있어서, 상기 공압기로 주입되는 공압을 확인할 수 있는 공압확인수단을 상기 공압기의 내부라인과 연결시켜 이루어진 것을 특징으로 한다.
따라서, 공압기가 구비되는 반도체소자 제조장치의 이상발생을 용이하게 확인하고, 신속하게 조치를 취함으로써 반도체소자 제조장치의 운용에 따른 효율성이 향상되는 효과가 있다.
Description
본 발명은 공압기가 구비되는 반도체소자 제조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 공압기로 주입되는 공압을 확인할 수 있도록 개선시킨 공압기가 구비되는 반도체소자 제조장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체소자는 다양한 단위공정을 수행함으로써 제조되고, 이러한 단위공정의 수행에서는 다양한 제조장치를 이용한다.
이러한 제조장치 즉, 반도체소자 제조장치 중에는 가스(Gas) 또는 케미컬(Chemical) 등을 취급하는 제조장치 또한 다양하게 구비된다.
그리고 상기 가스 또는 케미컬 등을 취급하는 제조장치에는 상기 가스 또는 케미컬의 플로우(Flow) 등을 제어할 수 있는 밸브(Valve)들이 구비되는데, 이러한 밸브 중에서는 공압에 의해 그 개폐동작을 수행하는 공압밸브를 주로 이용한다.
여기서 상기 공압밸브의 개폐동작은 일반적으로 도1에 도시된 바와 같이 공압밸브(10)에 공압을 주입시킬 수 있는 공압기(12)를 이용한다.
그리고 공기공급라인(14)을 상기 공압기(12)에 연결시켜 공기가 주입되도록 한다.
여기서 상기 공압기(12)의 동작상태는 상기 공압이 주입된 상태와 상기 공압이 주입된 상태로 나눌 수 있지만, 종래에는 상기 공압기(12)에 공압이 주입되었는 지의 여부를 확인할 수 없었다.
이에 따라 종래에는 상기 공압기(12)가 구비되는 반도체소자 제조장치의 이상유무를 용이하게 확인할 수 없었다.
또한 상기 공압밸브(10)가 동작되지 않을 경우, 상기 공압밸브(10)의 자체의 이상인지 아니면 공압이 주입되지 않았는 지를 확인할 수 없었다.
이에 따라 종래에는 상기 공압기(12)가 구비되는 반도체소자 제조장치의 이상발생시 그 조치 등을 신속하게 취할 수 없었다.
따라서 종래에는 공압기가 구비되는 반도체소자 제조장치의 이상발생에 따른 조치 등을 신속하게 취하지 못함에 따라 반도체소자 제조장치의 운용의 효율성이 저하되는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은, 공압기가 구비되는 반도체소자 제조장치의 이상발생을 용이하게 확인하고, 신속하게 조치를 취함으로써 반도체소자 제조장치의 운용에 따른 효율성을 향상시키 위한 공압기가 구비되는 반도체소자 제조장치를 제공하는 데 있다.
도1은 종래의 공압기가 구비되는 반도체소자 제조장치를 설명하기 위한 모식도이다.
도2 및 도3은 본 발명에 따른 공압기가 반도체소자 제조장치의 일 실시예를 설명하기 위한 모식도이다.
※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 공압밸브 12, 22 : 공압기
14, 24 : 공기공급라인 26 : 내부라인
28 : 공압확인수단 30 : 벨로우즈라인
32 : 플레이트
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 공압기가 구비되는 반도체소자 제조장치는, 공압으로 개폐동작을 수행하는 공압밸브에 상기 공압을 주입시킬 수 있는 공압기가 구비되는 반도체소자 제조장치에 있어서, 상기 공압기로 주입되는 공압을 확인할 수 있는 공압확인수단을 상기 공압기의 내부라인과 연결시켜 이루어진 것을 특징으로 한다.
상기 공압확인수단은 공압으로 수축/팽창할 수 있는 밸로우즈라인의 일측단은 상기 공압기의 내부라인과 연결시키고, 플레이트로 밀폐시킬 수 있는 상기 밸로우즈라인의 타측단은 상기 공압기의 외부로 연장시켜 이루어진 것이 바람직하다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도2 및 도3은 본 발명에 따른 공압기가 반도체소자 제조장치의 일 실시예를 설명하기 위한 모식도이다.
먼저, 본 발명은 공압으로 개폐동작을 수행할 수 있는 공압밸브(도시되지 않음) 및 상기 공압밸브에 공압을 주입시킬 수 있는 공압기(22)가 구비된다.
여기서 본 발명은 공기공급라인(24)을 상기 공압기(22)에 연결시켜 공기가 주입되도록 한다.
그리고 본 발명은 상기 공압기(22)로 주입되는 공압을 확인할 수 있도록 상기 공압기(22)의 내부라인(26)과 연결시킨 공압확인수단(28)을 구비시킬 수 있다.
여기서 본 발명은 상기 공압확인수단(28)을 밸로우즈라인(Bellows)(30) 등으로 구비시킬 수 있는데, 이러한 본 발명의 공압확인수단(28)은 공압으로 수축/팽창할 수 있는 벨로우즈라인(30)의 일측단은 상기 공압기(22)의 내부라인(26)과 연결시키고, 플레이트(Plate)(32)로 밀폐시킬 수 있는 상기 벨로우즈라인(30)의 타측단은 상기 공압기(22)의 외부로 연장되도록 구비시킬 수 있다.
이에 따라 본 발명은 도2 및 도3에 도시된 바와 같이 상기 공압기(22)에 공압이 주입되었을 경우와 주입되지 않았을 경우를 외부에서 용이하게 확인할 수 있다.
이러한 구성으로 이루어지는 본 발명은 상기 공압확인수단(28)을 이용함으로써 상기 공압기(22)가 구비되는 반도체소자 제조장치의 이상유무를 신속하게 확인할 수 있다.
또한 상기 공압확인수단(28)을 이용함으로써 공압에 의한 이상인지 아니면 상기 공압밸브 자체의 이상인지를 용이하게 파악할 수 있다.
이에 따라 본 발명은 상기 공압기(22)가 구비되는 반도체소자 제조장치의 이상발생시 그 조치 등을 신속하게 취할 수 있다.
따라서, 본 발명에 의하면 공압기가 구비되는 반도체소자 제조장치의 이상발생을 용이하게 확인하고, 신속하게 조치를 취함으로써 반도체소자 제조장치의 운용에 따른 효율성이 향상되는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
Claims (2)
- 공압으로 개폐동작을 수행하는 공압밸브(Air Valve)에 상기 공압을 주입시킬 수 있는 공압기가 구비되는 반도체소자 제조장치에 있어서,상기 공압기로 주입되는 공압을 확인할 수 있는 공압확인수단을 상기 공압기의 내부라인과 연결시켜 이루어진 것을 특징으로 하는 공압기가 구비되는 반도체소자 제조장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 공압확인수단은 공압으로 수축/팽창할 수 있는 밸로우즈라인(Bellows Line)의 일측단은 상기 공압기의 내부라인과 연결시키고, 플레이트(Plate)로 밀폐시킬 수 있는 상기 밸로우즈라인의 타측단은 상기 공압기의 외부로 연장시켜 이루어진 것을 특징으로 하는 상기 공압기가 구비되는 반도체소자 제조장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980024471A KR20000003267A (ko) | 1998-06-26 | 1998-06-26 | 공압기가 구비되는 반도체소자 제조장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980024471A KR20000003267A (ko) | 1998-06-26 | 1998-06-26 | 공압기가 구비되는 반도체소자 제조장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20000003267A true KR20000003267A (ko) | 2000-01-15 |
Family
ID=19541020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019980024471A KR20000003267A (ko) | 1998-06-26 | 1998-06-26 | 공압기가 구비되는 반도체소자 제조장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20000003267A (ko) |
-
1998
- 1998-06-26 KR KR1019980024471A patent/KR20000003267A/ko not_active Application Discontinuation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6047672B1 (ja) | 真空処理装置 | |
| JP2000117091A (ja) | 真空マニホルド隔離を備えた処理装置 | |
| KR20000003267A (ko) | 공압기가 구비되는 반도체소자 제조장치 | |
| KR100446455B1 (ko) | 진공 게이트밸브 | |
| KR20060087707A (ko) | 스풀의 작동성을 향상시킨 쓰리-포지션 에어 솔레노이드 밸브의 구조 | |
| CN217582423U (zh) | 一种集成电路制造不停机换泵管路系统 | |
| KR101643627B1 (ko) | 반도체 제조용 격리 밸브의 리크 프루프 디바이스 | |
| KR200195119Y1 (ko) | 반도체 에피텍셜 공정용 멀티 챔버 시스템의 안전 장치 | |
| CN219623346U (zh) | 一种管线端口开关装置 | |
| KR102496494B1 (ko) | 유체배출포트와 연결되는 커넥터 및 커넥터가 연결된 유체압력조정밸브 | |
| KR100242984B1 (ko) | 자석플런저 밸브 | |
| JP2004011648A (ja) | 致死ガスを処理する遠心圧縮機のための密封システム | |
| CN111188907B (zh) | 排气接头 | |
| KR200384513Y1 (ko) | 스풀의 작동성을 향상시킨 쓰리-포지션 에어 솔레노이드 밸브의 구조 | |
| KR20040079060A (ko) | 반도체소자 제조설비의 배기시스템 | |
| KR20000020883A (ko) | 반도체 자동식각 설비의 공기유입 방지장치 | |
| KR200180891Y1 (ko) | 가스 공급 장치 | |
| KR20050022473A (ko) | 아르곤이 주입된 이중벨로우즈를 갖는 스퍼터링 설비 | |
| JP2006233882A (ja) | 生産システム | |
| KR20000009767U (ko) | 크라이오 펌프의 배기장치 | |
| KR20030039452A (ko) | 반도체 제조 장비의 로드락 챔버 | |
| KR19990026811A (ko) | 압축공기 제어장치 | |
| KR20000010864U (ko) | 급속배기밸브가 구비된 진공 시스템 | |
| KR200182401Y1 (ko) | 압력제어 장치 | |
| KR20090018506A (ko) | 가스 배기장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |