KR20000002781A - Resin tablet feeding device for sealing up resin in semiconductor apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체장치의 수지밀봉용 수지태블릿 공급장치에 관한 것으로, 반도체장치의 제조과정에 있어서 반도체장치의 수지밀봉에 사용되는 하나 또는 적정량씩의 수지태블릿을 펠렛 카세트에 안정되게 공급하기 위한 반도체장치의 수지밀봉용 수지태블릿 공급장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resin tablet supply device for resin sealing of a semiconductor device, wherein the semiconductor device for stably supplying one or an appropriate amount of resin tablet used for resin sealing of a semiconductor device to a pellet cassette during a semiconductor device manufacturing process. It relates to a resin tablet supply device for resin sealing.
일반적으로 수지태블릿은 반도체 패키지를 제조할 때 집적회로를 부착한 리드 프레임상에 피복하여 이들을 외부로 보호할 수 있도록 한 것 임은 이미 주지된 사실이다.In general, it is well known that resin tablets are coated on a lead frame to which an integrated circuit is attached when manufacturing a semiconductor package to protect them externally.
상기의 수지태블릿은 열경화성 수지를 녹인 컴파운드를 리드 프레임의 상에 위치시킨 후 상하부에서 가압하여 경화시켜 리드 프레임에 피복되도록 한다.In the resin tablet, the compound in which the thermosetting resin is dissolved is placed on the lead frame, and then pressurized in the upper and lower parts so as to be coated on the lead frame.
그리고 상기의 수지 태블릿은 컴파운드 성형기에서 성형된 후 수지 태블릿 공급장치에 의해 펠렛 카세트로 옮겨져서 반도체 패키지를 제조하는 공정에 적절히 적용될 수 있도록하여야 한다.In addition, the resin tablet may be molded in a compound molding machine and then transferred to a pellet cassette by a resin tablet supply device so that the resin tablet may be appropriately applied to a process of manufacturing a semiconductor package.
그러므로 종래에는 고정상태의 기판(7)위에 스톡커 플레이트(8)를 다리(9)에 의해 받쳐진 상태로 장치하고,Therefore, conventionally, the stocker plate 8 is mounted on the substrate 7 in a fixed state with the legs 9 supported.
이 플레이트(8)에는 좌우로 뻗어있는 일직선상에 태블릿인출구(10A,10B)를 형성하면서 이 태블릿인출구(10A,10B)에 각통형의 태블릿 스톡커(1A,1B)의 하단을 보강부재(11A,11B)로 보강하여 쓰러지지 않도록 하고,The lower end of each cylindrical tablet stocker (1A, 1B) to the tablet outlet (10A, 10B) while forming the tablet outlet (10A, 10B) in a straight line extending from side to side on the plate (8) Reinforce with 11B),
상기의 스톡커 플레이트(8)에는 스톡커(1A,1B)의 하단에서 태블릿(2)을 1개씩 인출하기 위한 태블릿인출기구(12A,12B)를 동일한 태블릿 스토퍼(13A,13B) 및 스토퍼구동용 실린더(14A,12B)의 구성을 갖도록 하고,The stocker plate 8 includes a tablet take-out mechanism 12A, 12B for taking out the tablet 2 one by one from the bottom of the stocker 1A, 1B for the same tablet stopper 13A, 13B and stopper driving. To have the configuration of the cylinders 14A and 12B,
상기 태블릿인출기구(12B)의 태블릿 스토퍼(13B)는 거의 L형의 스토퍼본체(15)를 구비하여 일측 단부가 핀(16)에 의해 회전가능하도록 부착하고,The tablet stopper 13B of the tablet taking-out mechanism 12B has an almost L-shaped stopper body 15 so that one end thereof is rotatably attached by the pin 16,
상기 실린더(14B)의 실린더본체(19)가 플레이트(8)의 아랫면에 매달린 상태로 고정하고,The cylinder body 19 of the cylinder 14B is fixed in a state suspended from the lower surface of the plate 8,
로드(20)의 선단에 U자형 아암(10a)이 스토퍼본체(15)는 핀(16)의 주위를 회전하도록 하여 태블릿(2)의 낙하를 저지하는 위치와 핀(16)의 주위를 반시계방향으로 회전하여 태블릿(2)을 낙하시킬 수 있는 위치를 갖도록 하고,The U-shaped arm 10a at the tip of the rod 20 causes the stopper body 15 to rotate around the pin 16 to prevent the tablet 2 from falling off and the pin 16 counterclockwise. To the position that the tablet 2 can fall by rotating in the direction,
태블릿 스톡커(1A,1B)의 아랫쪽에는 태블릿(2)을 태블릿 척크(4)까지 운반하는 태블릿받침부(3)가 설치하고,At the bottom of the tablet stockers 1A and 1B, a tablet support 3 for carrying the tablet 2 to the tablet chuck 4 is installed.
상기 태블릿받침부(3)는 가로방향으로 된 원통형 태블릿(2)의 주측면을 안정하게 받아들이기 위해 횡단면이 V자형인 홈(3a)을 갖도록 하여 홈(3a)위에 태블릿(2)이 탑재된 상태의 여부를 광학형 태블릿 유무검출센서(13)로 검출하도록 하고,The tablet support portion 3 is provided with a tablet 2 on the groove 3a to have a V-shaped groove 3a in order to stably receive the main side surface of the cylindrical tablet 2 in the horizontal direction. Whether the state is detected by the optical tablet presence or absence detection sensor 13,
상기 센서(13)는 서로 마주보는 발광부와 수광부를 구비하여 발광부의 빛이 중앙부분에 핀(13b)으로 지탱된 검지편(13a)에 의해 차단 및 도통되어 온·오프(ON·OFF)가 절환되도록 하고,The sensor 13 includes a light emitting portion and a light receiving portion facing each other, and the light of the light emitting portion is blocked and conducted by the detection piece 13a supported by the pin 13b at the center thereof. To switch,
기판(7)의 아랫면에 수평구동용모터(24) 및 한쌍의 지지판(25, 26)을 장착하여 모터(24)에 의해 바퀴(25a)가 회전하도록 하고,The wheel 25a is rotated by the motor 24 by mounting the horizontal driving motor 24 and the pair of support plates 25 and 26 on the lower surface of the substrate 7,
이 바퀴(25a)와 지지판(26)에 의해 지지된 바퀴(25b)와의 사이에 벨트(27)를 결합하고,The belt 27 is coupled between the wheel 25a and the wheel 25b supported by the support plate 26,
상기 벨트(27)의 동작에 의해 태블릿받침부 지지체(28)가 지지판(25,26) 사이에 걸쳐 있는 수평이동형 가이드(29)에 의해 안내되어 수평이동하도록 하고,By the operation of the belt 27, the tablet support portion 28 is guided by the horizontal movable guide (29) spanning between the support plates (25, 26) to horizontally move,
상기 태블릿받침부 지지체(28)를 태블릿 척크(24)의 아랫쪽인 제 1 위치, 태블릿 스톡커(1A)의 아랫쪽인 제 2 위치 및 태블릿 스톡커(1B)의 아랫쪽인 제 3위치에 각각 정지시키기 위해 이들 각 위치에서 수평위치결정센서(31A∼31C)를 기판(7)상에 설치하고,Stopping the tablet backing support 28 in a first position below the tablet chuck 24, a second position below the tablet stocker 1A, and a third position below the tablet stocker 1B, respectively. For each of these positions, horizontal positioning sensors 31A to 31C are provided on the substrate 7,
상기 태블릿받침부 지지체(28)의 수평운동에 의해 뒷면측에 고정되어 있는 위치결정판(32)이 상기의 센서(31A)의 안쪽으로 들어오면 발광부와 수광부 사이가 차단되어 작동하여 제 1∼제 3의 위치검출신호가 출력되면서 수평구동용 모터(24)의 회전이 제어장치(30)에 의해 제어되어 태블릿받침부 지지체(28)가 상기 제 1∼제 3 위치중 어느 한곳의 위치에 정지하도록 한다.When the positioning plate 32 fixed to the rear side by the horizontal movement of the tablet support portion 28 enters the sensor 31A, the light emitting portion and the light receiving portion are blocked to operate. While the position detection signal 3 is output, the rotation of the horizontal drive motor 24 is controlled by the controller 30 so that the tablet supporter 28 stops at any one of the first to third positions. do.
또한 상기 태블릿받침부 지지체(28)는 태블릿받침부(3)를 지탱하는 로드(54)를 지지하여 태블릿받침부 지지체(28)가 부착되어 있는 상하구동용 실린더(35)에 의해 상하로 진동하도록 하고,In addition, the tablet supporter 28 supports the rod 54 supporting the tablet supporter 3 so as to vibrate up and down by the up and down driving cylinder 35 to which the tablet supporter support 28 is attached. and,
상기 실린더(35)의 실린더본체(36)는 태블릿받침부 지지체(28)에 설치하면서 로드(37)는 태블릿받침부(3)에 설치하여 실린더(35)의 로드(37)의 신축에 의해 태블릿받침부(3)가 상한위치 및 하한위치의 사이를 상하로 이동하도록 하였다.The cylinder body 36 of the cylinder 35 is installed on the tablet support part supporter 28, while the rod 37 is installed on the tablet support part 3 so that the tablet is stretched by the stretching of the rod 37 of the cylinder 35. The support part 3 was made to move up and down between an upper limit position and a lower limit position.
그러나 상기와 같은 종래의 반도체장치의 수지밀봉용 수지태블릿 공급장치에 의하여서는 각통형의 태블릿 스톡커(1A,1B)에 수지태블릿을 적절히 공급하여야 하므로 이를 위한 별도의 수작업이 필요하게 됨은 물론, 상기 각통형의 태블릿 스톡커(1A,1B)의 하단에 각각 설치한 태블릿인출기구(12A,12B)를 통하여 태블릿(2)을 1개씩 하향으로 인출하면서 태블릿받침부(3)에 얹혀지도록 한 후 태블릿 척크(4)까지 운반하여 인출하도록 하였으므로 그 작업 능률이 저하되는 등의 문제점이 있었다.However, the resin tablet supplying device for resin sealing of the conventional semiconductor device as described above needs to supply the resin tablet appropriately to each cylindrical tablet stocker 1A, 1B, so that a separate manual work is required for this. After the tablet 2 is pulled down one by one through the tablet taking-out mechanisms 12A and 12B respectively installed at the bottom of the square stock tableters 1A and 1B, the tablet is placed on the tablet support 3 and then Since the chuck 4 was transported and pulled out, there was a problem that its work efficiency was lowered.
이에 따라 본 발명은 상기와 같은 단점을 개선하기 위한 것으로서 수지태블릿을 원활하게 공급하면서 펠렛 카세트에 안정되게 공급하기 위한 반도체장치의 수지밀봉용 수지태블릿 공급장치를 제공함을 그 목적으로 한다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a resin tablet supplying device for resin sealing of a semiconductor device for stably supplying a pellet to a pellet cassette while smoothly supplying a resin tablet.
또한 본 발명은 수직형 팰렛 카세트의 가이더에 5∼6개씩의 수지태블릿을 한번에 공급할 수 있도록 함을 다른 목적으로 한다.Another object of the present invention is to be able to supply 5 to 6 resin tablets at a time to the guider of the vertical pallet cassette.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 외부로 부터 수지태블릿이 태블릿 공급수단의 공급부로 일정하게 공급되어 스토퍼에서 인지하면 정렬가이더에 의해 안정된 수직의 상태가 되도록 하고,In order to achieve the above object, the present invention allows the resin tablet to be constantly supplied to the supply portion of the tablet supply means from the outside so as to be in a stable vertical state by the alignment guider when recognized by the stopper.
상기 수지태블릿이 수직의 상태로 정렬되면 하단으로 부터 작동봉이 상승되면서 수지태블릿을 상향으로 밀어주게 되고,When the resin tablet is aligned in a vertical state, the operating rod is pushed up from the bottom to push the resin tablet upward,
상향으로 이동하는 수지태블릿은 두 복귀스프링에 의한 탄성력을 각각 받는 두 작동편을 축을 중심으로 회전시키면서 그 벌려진 공간으로 상승되고,The resin tablet moving upwards is lifted up to its open space while rotating two working pieces each receiving elastic force by two return springs about an axis.
수지태블릿이 상승된 후 두 작동편이 복귀스프링에 의한 복원력으로 원상태로 환원된 상태에서 작동봉도 하향으로 하강하면 수지태블릿이 제 1 가이더의 내부에서 두 작동편위에 얹혀져 하나씩 이송하는 상태가 되고,After the resin tablet is raised, the two working pieces are returned to their original state by the restoring force by the return spring, and when the working rod is also lowered, the resin tablet is placed on the two working pieces inside the first guider and transferred one by one.
상기 제 1 가이더의 내부를 통하여 상승되는 수지태블릿은 조인트를 통하여 결합된 이송수단의 상향이송부와 만곡이송부 및 하향이송부를 통해 점진적으로 이송된 후 끝단의 스토퍼에 의해 이송이 제어되도록 하고,The resin tablet which is lifted up through the inside of the first guider is gradually transported through the upward conveying part, the curved conveying part and the downward conveying part of the conveying means coupled through the joint so that the conveyance is controlled by the stopper at the end,
상기 이송라인의 하향이송부의 끝단과 접하는 바로 아래에는 원주상으로 다수의 인서트가 위치하는 태블릿 저장수단에서 모터에 의해 인서트들을 순차적으로 회전시키면서 수지태블릿이 없는 인서트에만 공급이 가능하도록 하고,Directly below the end of the transfer line of the transfer line in the tablet storage means in which a plurality of inserts are located circumferentially by rotating the inserts by the motor to be supplied only to the insert without the resin tablet,
상기 인서트의 상단부에는 센서를 설치하여 인서트의 내부에 수지태블릿이 있는 가의 여부를 인식하여 상기 이송수단을 통한 재공급이 가능하도록 하고,A sensor is installed at the upper end of the insert to recognize whether or not there is a resin tablet inside the insert to enable resupply through the transfer means,
상기 인서트들의 하단 받침판의 일부에는 슬라이드편을 형성하여 실린더에 의해 당겨진 상태에서는 원형공과 인서트가 접하면서 수지태블릿의 하향이송이 가능하도록 하고,A slide piece is formed on a part of the lower support plate of the inserts so that the resin tablet can be transported downward while the circular hole and the insert are in contact with each other when the cylinder is pulled by the cylinder.
상기 슬라이드편의 하단에 위치하며 원형공을 통한 수지태블릿이 하향이동하는 제 2 가이더의 하단에는 소정의 각만큼 회전하면서 수지태블릿을 잡아주어 하향이동을 저지하는 파지클램프를 설치하며 그 하단에는 상기 파지클램프에 파지된 상태에서 해제된 수지태블릿을 하향으로 이동시키기 위한 인출작동봉을 형성하여 평면상의 팰렛 카세트에 하나씩의 수지태블릿을 원활히 공급하도록 하는 한편,Located on the lower end of the slide piece is installed on the bottom of the second guider that the resin tablet through the circular hole is moved downward by a predetermined angle while holding the resin tablet to hold the resin tablet to stop the downward movement and the grip clamp at the bottom In order to smoothly supply one resin tablet to a flat pallet cassette by forming a pull-out operation rod for moving the released resin tablet downward while held in the
상기의 제 2 가이더에 설치되는 파지 클램프 및 인출작동봉을 제거한 상태에서 슬라이드편에 의해 인서트의 내부에 충진된 5∼6개의 수지태블릿을 일시에 하향이동시켜 수직형 팰렛 카세트에 적재할 수 있도록 한 것이다.5 to 6 resin tablets filled in the insert by the slide piece are temporarily moved downwards so that they can be loaded into the vertical pallet cassette while the gripping clamps and the extraction operation rods installed in the second guider are removed. will be.
도 1은 종래 태블릿 공급장치의 구성을 나타낸 개략도.1 is a schematic view showing the configuration of a conventional tablet supply device.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 구성을 나타낸 분리 사시도.Figure 2 is an exploded perspective view showing a configuration according to an embodiment of the present invention.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 이송수단의 구성을3 and 4 is a configuration of the transfer means according to an embodiment of the present invention
도시한 사시도.Illustrated perspective view.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 구성을 도시한 사시도.5 is a perspective view showing a configuration according to another embodiment of the present invention.
도 6의 (가) 및 (나)는 본 발명에 수직형 팰렛 카세트의 구성을6 (a) and 6 (b) illustrate the configuration of a vertical pallet cassette according to the present invention.
나타낸 사시도Shown perspective
* 도면의 주요부분에 대한 부호 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
40 : 수지태블릿 41 : 수지태블릿 공급수단40: resin tablet 41: resin tablet supply means
42 : 공급부 44 : 정렬가이더42: supply unit 44: alignment guider
46 : 작동편 47 : 복귀스프링46: operation piece 47: return spring
49 : 제 1 가이더 51 : 이송수단49: first guider 51: transfer means
55 : 스토퍼 61 : 태블릿 저장수단55: stopper 61: tablet storage means
67 : 슬라이드편 69 : 제 2 가이더67: slide piece 69: the second guider
70 : 파지클램프 71 : 인출작동봉70: gripping clamp 71: drawing operation rod
73 : 수직형 팰렛 카세트 76 : 작동간73: vertical pallet cassette 76: operation
이하 본 발명을 일실시예에 따라 상세히 기술하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in detail according to an embodiment.
도 2 내지 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 구성을 개략적으로 도시한 것으로서,2 to 4 schematically show a configuration according to an embodiment of the present invention,
외부로 부터 일정하게 공급되는 수지태블릿(40)이 태블릿 공급수단(41)의 공급부(42)의 스토퍼(43)에 의해 진행을 멈추게 되면 정렬가이더(44)의 작동에 의해 정확한 위치에서 안정된 수직의 상태가 되도록 하여 상향으로 이동할 때 충돌에 의해 파손되는 것을 방지하도록 하고,When the resin tablet 40 which is constantly supplied from the outside stops progressing by the stopper 43 of the supply part 42 of the tablet supply means 41, the alignment guide 44 is stable at the correct position by the operation of the alignment guider 44. To prevent it from being broken by collision when moving upwards,
상기 수지태블릿(40)이 수직의 상태로 정렬되면 하단으로 부터 작동봉(45)이 상승되면서 수지태블릿(40)을 상향으로 밀어주게 되고,When the resin tablet 40 is aligned in a vertical state, the operating rod 45 is raised from the lower side to push the resin tablet 40 upward,
상향으로 이동하는 수지태블릿(40)은 두 복귀스프링(47)에 의한 탄성력을 각각 받는 두 작동편(46)을 축(48)을 중심으로 회전시키면서 그 벌려진 공간으로 상승하게 되고,The resin tablet 40 moving upwards is lifted up to its open space while rotating the two working pieces 46 respectively receiving the elastic force by the two return springs 47 about the shaft 48,
상기의 수지태블릿(40)이 상승된 후 두 작동편(46)이 복귀스프링(47)에 의한 복원력으로 원상태로 환원되고 작동봉(45)도 하향으로 하강하면 수지태블릿(40)이 제 1 가이더(49)의 내부에서 두 작동편(46)위에 얹혀져 하나씩 이송하면서 안정된 수직의 이송이 이루어져 파손되지 않는다.After the resin tablet 40 is raised, the two working pieces 46 are restored to their original state by the restoring force by the return spring 47, and the working rod 45 is also lowered, and the resin tablet 40 is first guided. It is placed on the two working pieces 46 in the interior of the 49 and is transported one by one, and stable vertical conveyance is made and is not broken.
상기 제 1 가이더(49)의 내부를 통하여 상승되는 수지태블릿(40)은 조인트(50)를 통하여 결합된 이송수단(51)의 상향이송부(52)와 만곡이송부(53) 및 하향이송부(54)를 통해 점진적으로 이송된 후 끝단의 스토퍼(55)에 의해 이송이 제어되어 안정되고 원활한 이송의 제어가 가능하도록 한다.The resin tablet 40 which is lifted up through the inside of the first guider 49 is an upward conveying part 52, a curved conveying part 53, and a downward conveying part of the conveying means 51 coupled through the joint 50. The feed is controlled by the stopper 55 at the end after being gradually transferred through the 54 to allow stable and smooth control of the feed.
상기 이송수단(51)의 하향이송부(54)의 끝단과 접하는 바로 아래에는 원주상으로 다수의 인서트(62)를 형성한 원통형상의 태블릿 저장수단(61)에서 모터(63)에 의해 인서트(62)들이 순차적으로 회전하도록 하면서 수지태블릿(40)이 내부에 없는 인서트(62)에만 수지태블릿(40)을 공급할 수 있도록 하고,Immediately below the end of the downward conveying portion 54 of the conveying means 51 is inserted by the motor 63 in the cylindrical tablet storage means 61 formed with a plurality of inserts 62 circumferentially. ) So that the resin tablet 40 can be supplied only to the insert 62 having no resin tablet 40 therein while rotating them sequentially.
상기 인서트(62)의 상단부(64)에는 센서(65)를 설치하여 인서트(62)의 내부에 수지태블릿(40)이 있는 가의 여부를 인식하여 상기 이송수단(51)을 통해 이송되는 수지태블릿(40)의 재공급이 가능하도록 하고,A resin tablet is installed on the upper end portion 64 of the insert 62 to recognize whether the resin tablet 40 is present inside the insert 62, and is transferred through the transfer means 51. Enable resupply of 40),
상기 인서트(62)들의 하단 받침판(66)의 일부에는 슬라이드편(67)을 형성하여 실린더(68)에 의해 당겨진 상태에서는 원형공(67a)과 인서트(62)가 접하면서 수지태블릿(40)의 하향이송이 가능하도록 하고,A portion of the lower support plate 66 of the inserts 62 forms a slide piece 67 in the state of being pulled by the cylinder 68 and the circular hole 67a and the insert 62 are in contact with each other to form the resin tablet 40. To allow downward feed,
상기 슬라이드편(67)의 하단에 위치하며 원형공(67a)을 통한 수지태블릿(40)이 하향이동하는 제 2 가이더(69)의 하단에는 소정의 각만큼 회전하면서 수지태블릿(40)을 잡아주어 하향이동을 저지하는 파지클램프(70)를 설치하며 그 하단에는 상기 파지클램프(70)에 파지된 상태에서 해제된 수지태블릿(40)을 하향으로 이동시키기 위한 인출작동봉(71)을 형성하여 일반적인 평면상의 팰렛 카세트에 하나씩의 수지태블릿(40)을 원활히 공급하도록 한 것이다.Located on the lower end of the slide piece 67, the resin tablet 40 through the circular hole (67a) to hold the resin tablet 40 while rotating by a predetermined angle to the lower end of the second guider (69) A gripping clamp 70 is installed to prevent downward movement, and at the bottom thereof, a pull-out operation rod 71 is formed to move downward the resin tablet 40 released in the state held by the gripping clamp 70. One resin tablet 40 is smoothly supplied to the pallet pallet on a plane.
이와 같이 구성한 본 발명의 반도체장치의 수지밀봉용 수지태블릿 공급장치는 외부로 부터 하나씩의 수지태블릿(40)을 일정한 속도로 태블릿 공급수단(41)의 공급부(42)의 일측 공급구로 공급하면 공급부(42)의 내부에서 스토퍼(43)에 의해 더 이상 진행을 못하여 멈추게 되고, 이때 정렬가이더(44)를 작동시키면서 경사면에 의해 수지태블릿(40)이 정확한 위치에서 안정된 수직의 상태가 되도록 하여 상향으로 이동할 때 충돌에 의해 파손되는 것을 방지하도록 한다.The resin tablet supplying device for resin sealing of the semiconductor device of the present invention configured as described above supplies one resin tablet 40 from the outside to a supply port 42 of the supply part 42 of the tablet supply means 41 at a constant speed. The stopper 43 stops progressing further by the stopper 43, and at this time, the resin tablet 40 is moved vertically by the inclined surface while operating the alignment guider 44 to be in a stable vertical state at the correct position. It is to be prevented from being broken by collision.
상기 수지태블릿(40)이 수직의 상태로 정렬되면 하단으로 부터 작동봉(45)이 상승되면서 수지태블릿(40)을 상향으로 밀어주어 수지태블릿(40)이 두 복귀스프링(47)에 의한 탄성력을 각각 받는 두 작동편(46)을 축(48)을 중심으로 회전시키면서 그 벌려진 공간으로 상승하도록 한다.When the resin tablet 40 is aligned in a vertical state, the operating rod 45 is raised from the lower side and the resin tablet 40 is pushed upward so that the resin tablet 40 has elastic force by the two return springs 47. Each receiving piece 46 rotates about its axis 48 while rising to its open space.
상기의 수지태블릿(40)이 상승된 후 두 작동편(46)이 복귀스프링(47)에 의한 복원력으로 원상태로 환원되고 작동봉(45)도 하향으로 하강하면 수지태블릿(40)이 제 1 가이더(49)의 내부에서 두 작동편(46)위에 얹혀져 하나씩 이송하면서 안정된 수직의 이송이 이루어져 파손되지 않는다.After the resin tablet 40 is raised, the two working pieces 46 are restored to their original state by the restoring force by the return spring 47, and the working rod 45 is also lowered, and the resin tablet 40 is first guided. It is placed on the two working pieces 46 in the interior of the 49 and is transported one by one, and stable vertical conveyance is made and is not broken.
상기 제 1 가이더(49)의 내부를 통하여 상승되는 수지태블릿(40)은 조인트(50)를 통하여 결합된 이송수단(51)의 상향이송부(52)와 만곡이송부(53) 및 하향이송부(54)를 통해 점진적으로 이송된 후 끝단의 스토퍼(55)에 의해 이송이 제어되어 안정되고 원활한 이송의 제어가 가능하도록 한다.The resin tablet 40 which is lifted up through the inside of the first guider 49 is an upward conveying part 52, a curved conveying part 53, and a downward conveying part of the conveying means 51 coupled through the joint 50. The feed is controlled by the stopper 55 at the end after being gradually transferred through the 54 to allow stable and smooth control of the feed.
상기 이송수단(51)의 하향이송부(54)에서 스토퍼(55)가 작동하지 않는 상태에서는 수지태블릿(40)의 하향이송이 이루어지지 않는다.In the state in which the stopper 55 does not operate in the downward conveying unit 54 of the conveying means 51, the resin tablet 40 is not conveyed downward.
그 상태에서 원주상으로 다수의 인서트(62)를 형성한 원통형상의 태블릿 저장수단(61)에서는 모터(63)를 통해 인서트(62)들이 순차적으로 회전하도록 하면서 상단부(64)에 설치한 센서(65)를 통하여 인서트(62)의 내부에 수지태블릿(40)이 있는 가의 여부를 인식하여 수지태블릿(40)이 내부에 없는 인서트(62)가 하향이송부(54)의 하단에 위치하게 되면 스토퍼(55)를 작동시켜 수지태블릿(40)을 하나의 인서트(62)에 5∼6개의 수지태블릿(40)을 순차적으로 공급한다.In the cylindrical tablet storage means 61 in which a plurality of inserts 62 are formed circumferentially in this state, the sensor 65 installed on the upper end 64 while allowing the inserts 62 to rotate sequentially through the motor 63. Recognizing whether or not the resin tablet 40 is inside the insert 62 through the) and when the insert 62 having no resin tablet 40 therein is located at the bottom of the downward transfer portion 54, the stopper ( 55) is operated to supply the resin tablet 40 to one insert 62, 5-6 resin tablets 40 in sequence.
수지태블릿(40)이 5∼6개씩 충진되는 인서트(62)는 모터(63)에 의해 순차적으로 회전하는 중에 하단 받침판(66)의 일부에 형성한 슬라이드편(67)과 접하는 상태가 된다.The inserts 62 filled with 5 to 6 resin tablets 40 are in contact with the slide pieces 67 formed on a part of the lower support plate 66 while being sequentially rotated by the motor 63.
인서트(62)와 슬라이드편(67)이 접하는 상태에서 실린더(68)를 작동시키면 슬라이드편(67)이 당겨지면서 슬라이드편(67)의 원형공(67a)과 인서트(62)가 접하면서 수지태블릿(40)하향이동하게 되고, 이때에는 슬라이드편(67)의 작동을 제어하면서 5∼6개의 수지태블릿(40)을 동시에 이송하거나 하나씩의 수지태블릿(40)을 이송한다.When the cylinder 68 is operated while the insert 62 is in contact with the slide piece 67, the slide piece 67 is pulled and the circular hole 67a of the slide piece 67 and the insert 62 are in contact with the resin tablet. (40) It moves downward, and at this time, 5-6 resin tablets 40 are simultaneously conveyed or one resin tablet 40 is conveyed, controlling the operation | movement of the slide piece 67. FIG.
그러므로 상기 슬라이드편(67)의 하단에 위치하는 제 2 가이더(69)에서는 다수의 수지태블릿(40)이 공급되고 평면상의 팰렛 카세트에 하나씩의 수지태블릿(40)을 공급해야할 경우에는 파지클램프(70)를 작동시켜 소정의 각만큼 회전하면서 수지태블릿(40)을 잡아준 상태에서 그 하단에 설치된 인출작동봉(71)을 작동시키면 파지클램프(70)에 파지되지 않은 수지태블릿(40)이 하향으로 이동한다.Therefore, a plurality of resin tablets 40 are supplied from the second guider 69 positioned at the lower end of the slide piece 67, and the grip clamp 70 is required to supply one resin tablet 40 to the flat pallet cassette. By operating the take-out operation rod 71 installed at the bottom of the state while holding the resin tablet 40 while rotating by a predetermined angle to operate the resin tablet 40 that is not held in the holding clamp 70 is moved downward do.
그 상태에서 인출작동봉(71)의 작동을 정지시키면서 원상태로 복원시킨 후 파지 클램프(70)의 작동을 정지시키면 파지클램프(70)에 파지되었던 수지태블릿(40)이 하향으로 이동하여 인출작동봉(71)에 얹혀지는 초기의 상태와 같이 되므로 상기의 동작을 반복하면 된다.In this state, after restoring the holding clamp 70 by stopping the operation of the extracting operation rod 71 and stopping the operation of the holding clamp 70, the resin tablet 40 held by the holding clamp 70 is moved downwards. Since it becomes like the initial state mounted on (71), what is necessary is just to repeat said operation.
도 5 및 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 구성을 도시한 것으로서,5 and 6 illustrate a configuration according to another embodiment of the present invention,
상기의 이송수단(51)으로 부터 수지태블릿(40)을 공급받는 태블릿저장수단(61)에는 원주상으로 다수의 인서트(62)를 형성하여 모터(63)에 의해 순차적으로 회전하도록 하면서 수지태블릿(40)이 내부에 없는 인서트(62)에만 수지태블릿(40)을 공급받을 수 있도록 하고,In the tablet storage means 61 supplied with the resin tablet 40 from the transfer means 51, a plurality of inserts 62 are formed circumferentially and rotated sequentially by the motor 63. The resin tablet 40 can be supplied only to the insert 62 which is not inside the 40,
상기 인서트(62)의 상단부(64)에 설치된 센서(65)를 통하여 내부에 수지태블릿(40)이 있는 경우에만 하단 받침판(66)의 일부에 형성한 슬라이드편(67)과 접하는 위치에 이동하였을 때 실린더(68)에 의해 슬라이드편(67)이 당겨지면 원형공(67a)을 거쳐 5∼6개의 수지태블릿(40)이 제 2 가이더(69)로 한번에 하향이동하도록 하고,The sensor 65 installed in the upper end 64 of the insert 62 may move to a position in contact with the slide piece 67 formed on a part of the lower support plate 66 only when the resin tablet 40 is present therein. When the slide piece 67 is pulled by the cylinder 68, the five to six resin tablets 40 move downward at a time to the second guider 69 through the circular hole 67a.
상기의 제 2 가이더(69)를 통해 한번에 하향이동하는 5∼6개의 수지태블릿(40)이 동시에 수집되는 수납홈(74)이 나란히 다수 형성된 수직형 팰렛 카세트(73)의 하단에는 넓은 작동공간(75)을 형성하여 레버(77)에 의해 축(78)을 중심으로 회전하는 작동간(76)을 내장시켜 상부 돌기(79)에 의하여는 수지태블릿(40)을 파지하도록 하면서 하단의 연장부(80)에 의하여는 파지된 수지태블릿(40)을 외부로 토출시키도록 한다.A wide working space is provided at the bottom of the vertical pallet cassette 73 in which a plurality of receiving grooves 74 in which 5 to 6 resin tablets 40 moving downward at a time are simultaneously collected through the second guider 69 are formed side by side. 75 is formed to incorporate the operation 76 which rotates about the axis 78 by the lever 77, and the upper projection 79 grips the resin tablet 40 by the upper protrusion 79, 80) to discharge the gripped resin tablet 40 to the outside.
따라서 본 발명의 반도체장치의 수지밀봉용 수지태블릿 공급장치에 의하여서는 수지태블릿이 태블릿 공급수단의 공급부로 공급되면 정렬가이더로 정렬시킨 후 작동봉으로 상승시켜 두 복귀스프링에 의해 탄성지지된 두 작동편을 밀면서 상승되도록 하고, 제 1 가이더를 통하여 상승되는 수지태블릿은 조인트를 통해 이송수단의 상향이송부와 만곡이송부 및 하향이송부로 이송된 후 스토퍼에 의해 제어되도록 하고, 상기의 하향이송부의 끝단과 접하는 아래에 다수의 인서트가 위치하는 원통형의 태블릿 저장수단에서 인서트들을 회전시키면서 수지태블릿을 공급받은 후 하단의 슬라이드편이 실린더에 의해 당겨지면 원형공을 통하여 하향이송하도록 하고, 상기 슬라이드편의 하단에 위치하며 원형공을 통한 수지태블릿이 하향이동하는 제 2 가이더의 하단에는 수지태블릿을 잡아주어 하향이동을 저지하는 파지클램프를 설치하면서 그 하단에는 수지태블릿을 하향으로 이동시키기 위한 인출작동봉을 형성하여 팰렛 카세트에 하나씩의 수지태블릿을 원활히 공급하도록 한 것이다.Therefore, in the resin sealing resin tablet supply device of the semiconductor device of the present invention, when the resin tablet is supplied to the supply portion of the tablet supply means, the two guide pieces are elastically supported by the two return springs by aligning them with the alignment guider and then raising them by the working rods. The resin tablet which is raised by pushing the, and the resin tablet which is lifted up through the first guider is controlled by the stopper after being transferred to the upward conveying part, the curved conveying part and the downward conveying part of the conveying means through the joint, and the downward conveying part After receiving the resin tablet while rotating the inserts in a cylindrical tablet storage means in which a plurality of inserts are placed under the end, the lower slide piece is pulled down by a cylinder, and then moved downward through a circular hole. 2nd guider where the resin tablet moves downward through the circular hole At the bottom it will be formed by the take-off operating rod for moving the bottom of the resin tablet and install the gripping clamps for blocking the downward movement given to hold the resin tablet downwardly so as to smoothly supply the one of the resin pellets in a tablet cassette.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980023690A KR20000002781A (en) | 1998-06-23 | 1998-06-23 | Resin tablet feeding device for sealing up resin in semiconductor apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980023690A KR20000002781A (en) | 1998-06-23 | 1998-06-23 | Resin tablet feeding device for sealing up resin in semiconductor apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20000002781A true KR20000002781A (en) | 2000-01-15 |
Family
ID=19540486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019980023690A KR20000002781A (en) | 1998-06-23 | 1998-06-23 | Resin tablet feeding device for sealing up resin in semiconductor apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20000002781A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6967668B2 (en) | 2001-12-04 | 2005-11-22 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Monitor having an improved combining structure of a main body and a base member thereof |
-
1998
- 1998-06-23 KR KR1019980023690A patent/KR20000002781A/en active IP Right Grant
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6967668B2 (en) | 2001-12-04 | 2005-11-22 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Monitor having an improved combining structure of a main body and a base member thereof |
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