KR20000002608A - Device for preventing oil from evaporating - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 오일 증발 방지 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공 시스템 내의 오일 펌프에서 사용되는 오일이 증발하는 것을 방지하도록 된 오일 증발 방지 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an oil evaporation preventing device, and more particularly, to an oil evaporation preventing device adapted to prevent evaporation of oil used in an oil pump in a vacuum system.
일반적으로 반도체의 제조 공정에서는 제조 특성상 오염 등의 방지를 위해 진공 상태에서 공정을 처리할 수 있도록 시스템화되어 있다.In general, the manufacturing process of the semiconductor is systemized to process the process in a vacuum state in order to prevent contamination, etc. due to the manufacturing characteristics.
진공 상태에서의 처리 장치는 대부분 체임버를 만들고, 그 체임버 내를 펌핑 시스템을 이용하여 진공화하며, 이때 사용되는 펌프는 모터의 회전력과 진공도를 유지시키는 오일이 사용되는데, 펌프의 작동 중에는 오일의 온도가 상승되므로 인하여 점도가 낮아지면서 비산과 동시에 배출 호스를 통하여 증발되어 진다.Most of the processing equipment in the vacuum state makes a chamber, and the chamber is vacuumed using a pumping system, and the pump used is an oil that maintains the rotational force and the degree of vacuum of the motor. As the viscosity rises, the viscosity decreases and evaporates simultaneously with the discharge hose.
그러나, 이와 같은 진공 시스템 내의 오일은 증발에 의해 오일의 소비량이 증가될 뿐만 아니라 배출 호스를 통하여 증발된 오일은 온도의 변화에 의해 점도가 높아져서 배출 호스의 굴곡진 부분이나 경사진 부분에서 액화되어 저장되고, 이에 따라 정상적인 오일의 배출을 방해함으로써 오일을 수시로 점검하여 보충하거나 배출 호스를 정기적으로 세정하여 관리해야 하는 등의 문제점들이 내재되어 있었다.However, the oil in such a vacuum system not only increases the oil consumption by evaporation but also the oil evaporated through the discharge hose becomes more viscous due to the change of temperature, so that the oil is liquefied and stored in the curved or inclined part of the discharge hose. As a result, problems such as the need to check and replenish the oil from time to time by interfering with the normal discharge of oil or to regularly clean and manage the discharge hose were inherent.
따라서, 본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점들을 해결하기 위하여 발명된 것으로서, 본 발명의 목적은 펌프의 배출구에 오일의 온도를 저하시킬 수 있는 냉각 수단을 설치하여 오일이 증발되지 않도록 하는 오일 증발 방지 장치를 제공하는데 있다.Therefore, the present invention has been invented to solve the above-mentioned problems of the prior art, an object of the present invention is to prevent the oil evaporation to prevent the oil from evaporating by providing a cooling means that can lower the temperature of the oil in the outlet of the pump To provide a device.
도 1 은 본 발명에 의한 오일 증발 방지 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.1 is a view schematically showing an oil evaporation preventing apparatus according to the present invention.
도 2 는 본 발명에 의한 오일 증발 방지 장치의 요부 단면도이다.2 is a sectional view of principal parts of an oil vaporization preventing apparatus according to the present invention.
도 3 은 도 2 의 다른 방향에서의 단면도이다.3 is a cross-sectional view from another direction of FIG. 2.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10: 오일 펌프 14: 배출부10: oil pump 14: outlet
16: 냉각관16: cooling tube
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 오일 증발 방지 장치는, 진공을 형성하기 위한 오일 펌프를 갖는 반도체 장치에 있어서, 상기 오일 펌프에는 내부에서 증발된 오일 가스를 배출시키는 배출부가 구비되고, 상기 배출부 내에는 냉각수를 순환시키는 냉각관이 배설된 것을 특징으로 한다.The oil evaporation prevention device according to the present invention for achieving the above object, in the semiconductor device having an oil pump for forming a vacuum, the oil pump is provided with a discharge portion for discharging the oil gas evaporated therein, In the discharge portion is characterized in that the cooling tube for circulating the cooling water is disposed.
따라서, 본 발명에서는 오일 펌프에서 배출되는 오일 증기가 배출부내에 배설된 냉각관 내로 순환되는 냉각수에 의해 냉각된 후 액화되어 침적됨으로써 오일 증기의 증발을 방지하게 되고, 이에 따라 오일의 소비량이 절감됨과 동시에 사용이 매우 편리하게 되는 것이다.Therefore, in the present invention, the oil vapor discharged from the oil pump is cooled by the cooling water circulated into the cooling pipe disposed in the discharge portion, and then liquefied and deposited to prevent evaporation of the oil vapor, thereby reducing the consumption of oil. At the same time, it is very convenient to use.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 더욱 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
도 1 은 본 발명에 의한 오일 증발 방지 장치를 나타내는 개략적인 도면으로서, 도시하지 않은 진공 시스템 내에서 진공을 형성시키는 오일 펌프(10)의 일측에는 오일을 유입시키는 유입부(12)가 형성되어 있고, 그 타측에는 유입된 오일에서 발생된 가스를 배출시키는 배출부(14)가 형성되어 있다.1 is a schematic view showing an oil evaporation preventing apparatus according to the present invention, one side of the oil pump 10 for forming a vacuum in a vacuum system (not shown) is formed with an inlet 12 for introducing oil On the other side, there is formed a discharge portion 14 for discharging the gas generated from the introduced oil.
상기 배출부(14) 내에는 도 2 및 도 3 에 도시한 바와 같이 냉각수를 순환시키는 냉각관(16)이 배설되어 있다.In the discharge part 14, as shown in FIG.2 and FIG.3, the cooling pipe 16 which circulates a cooling water is arrange | positioned.
상기 냉각관(16)은 배출부(14) 내에 좁은 간격을 두고 배설되어 오일 펌프(10)로부터 유입된 오일을 냉각시켜 점도가 낮아지는 것을 방지함과 동시에 증발하는 것을 방지하게 되는 것이다.The cooling tube 16 is disposed at a narrow interval in the discharge portion 14 to cool the oil introduced from the oil pump 10 to prevent the viscosity from decreasing and at the same time to prevent evaporation.
이와 같이 구성된 본 발명에 의한 오일 증발 방지 장치는 유입부(12)를 통하여 오일 펌프(10)의 내측으로 유입된 오일에서 발생된 가스는 배출부(14)를 통하여 배기가 이루어지게 된다.In the oil evaporation prevention device according to the present invention configured as described above, the gas generated in the oil introduced into the oil pump 10 through the inlet 12 is exhausted through the outlet 14.
이때, 상기 배출부(14) 내에는 외부에서 냉각수를 공급하는 냉각관(16)이 배설됨에 따라 오일의 온도를 저온으로 냉각시키게 되고, 이에 따라 오일이 낮은 온도에서 액화되어 오임 펌프(10)내로 침적으로써 배출부(14)에 연결된 배출 호스를 통하여 오일 증기가 증발되는 것을 방지하게 되는 것이다.At this time, in the discharge portion 14, as the cooling pipe 16 for supplying the cooling water from the outside is disposed to cool the temperature of the oil to a low temperature, and thus the oil is liquefied at a low temperature into the oil pump 10 The deposition is to prevent the oil vapor from evaporating through the discharge hose connected to the discharge portion (14).
그리고, 상기 냉각관(16)으로 순환되는 냉각수의 온도에 따라 오일 증기를 저온으로 흡착하거나 내부에 형성되는 파우더를 고온에서 제거하는 것이 가능케 된다.In addition, according to the temperature of the cooling water circulated to the cooling tube 16, the oil vapor can be adsorbed at a low temperature or the powder formed therein can be removed at a high temperature.
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 오일 펌프에서 배출되는 오일 증기가 배출부내에 배설된 냉각관 내로 순환되는 냉각수에 의해 냉각된 후 액화되어 침적됨으로써 오일 증기의 증발을 방지하게 되고, 이에 따라 오일의 소비량이 절감됨과 동시에 사용이 매우 편리하게 되는 등의 효과가 있다.As described above, according to the present invention, the oil vapor discharged from the oil pump is cooled by the cooling water circulated into the cooling pipe disposed in the discharge part, and then liquefied and deposited to prevent evaporation of the oil vapor. At the same time, the consumption is reduced and the use is very convenient.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980023451A KR20000002608A (en) | 1998-06-22 | 1998-06-22 | Device for preventing oil from evaporating |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| KR1019980023451A KR20000002608A (en) | 1998-06-22 | 1998-06-22 | Device for preventing oil from evaporating |
Publications (1)
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ID=19540299
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|---|---|---|---|
| KR1019980023451A KR20000002608A (en) | 1998-06-22 | 1998-06-22 | Device for preventing oil from evaporating |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20000002608A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030047005A (en) * | 2001-12-07 | 2003-06-18 | 삼성전자주식회사 | Vacuum forming equipment for semiconductor manufacturing equipment having improved exhaust structure |
-
1998
- 1998-06-22 KR KR1019980023451A patent/KR20000002608A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030047005A (en) * | 2001-12-07 | 2003-06-18 | 삼성전자주식회사 | Vacuum forming equipment for semiconductor manufacturing equipment having improved exhaust structure |
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