KR20000000922U

KR20000000922U - Unidirectional Detect Flicker Sensor

Info

Publication number: KR20000000922U
Application number: KR2019980010524U
Authority: KR
Inventors: 박철희; 박동준
Original assignee: 김영환; 현대전자산업 주식회사
Priority date: 1998-06-18
Filing date: 1998-06-18
Publication date: 2000-01-15

Abstract

본 고안은 단방향 감지식 플릭커 센서를 개시한다. 개시된 본 고안은, 한 쌍의 브래킷(1)이 축(2)으로 연결되고, 회전 자석(3)이 축(2)에 회전가능하게 끼워진다. 회전 자석(3)의 상단에는 반송물인 유리기판(G)과 접촉되는 감지 롤러(5)가 설치되고, 하부에는 고정 자석(6)이 배치되어서, 각 자석(3,6) 사이에는 일정량의 전하가 흐르게 된다. 유리기판(G)의 반송 방향과 반대측에, 회전 자석(3)의 회전을 방지하는 판(7)이 배치되어서, 유리기판(G)의 반송시에는 회전 자석(3)의 회전을 가능하게 하지만, 유리기판(G)의 반송 방향과 반대 방향으로 반송되는 다른 반송물에 의해서는, 회전 자석(3)이 회전 방지판(7)에 걸려서 회전되지 못하게 된다.The present invention discloses a unidirectional sensing flicker sensor. In the disclosed invention, a pair of brackets 1 are connected by a shaft 2, and a rotating magnet 3 is rotatably fitted to the shaft 2. A sensing roller 5 is provided at the upper end of the rotating magnet 3 in contact with the glass substrate G, which is a conveyed object, and a fixed magnet 6 is disposed at the lower part thereof, so that a certain amount of electric charge is provided between the magnets 3 and 6. Will flow. On the side opposite to the conveyance direction of the glass substrate G, the plate 7 which prevents the rotation of the rotating magnet 3 is arrange | positioned, and at the time of conveyance of the glass substrate G, the rotation magnet 3 can be rotated. By the other conveyed material conveyed in the direction opposite to the conveyance direction of the glass substrate G, the rotating magnet 3 is caught by the anti-rotation board 7, and cannot be rotated.

Description

Unidirectional Detect Flicker Sensor

본 고안은 단방향 감지식 플릭커(flicker) 센서에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 소정의 반송물의 이동을, 이 반송물과 접촉하는 것에 의해 전하량의 변화로 감지하는 플릭커 센서가 반송물이 어느 한 방향만으로 이동하는 것을 감지토록 한 것에 관한 것이다.The present invention relates to a unidirectional-sensing flicker sensor, and more specifically, a flicker sensor that detects a movement of a predetermined conveyed object by a change in the amount of charge by contacting the conveyed object, in which the conveyed object moves only in one direction. It's about making things sense.

구체적인 하나의 예를 들어서, 액정표시소자의 식각 및 세정 공정에서, 유리기판을 반송하는 시스템에는, 유리기판의 반송을 감지하는 센서가 구비되는데, 이러한 용도로 주로 사용되는 것이 플릭커 센서이다. 즉, 플릭커 센서는 반송되는 유리기판과 접촉되면 전하량의 변화가 발생되어, 이 전하량의 변화로 유리기판의 반송을 감지하도록 되어 있다.As a specific example, in an etching and cleaning process of a liquid crystal display device, a system for conveying a glass substrate is provided with a sensor for sensing conveyance of the glass substrate, and a flicker sensor is mainly used for this purpose. That is, the flicker sensor changes the amount of charge when it comes into contact with the glass substrate to be conveyed, and detects the conveyance of the glass substrate by the change of the amount of charge.

플릭커 센서를 보다 구체적으로 설명하기 위해서, 첨부도면을 참조로 한다. 도 1은 종래 플릭커 센서의 사시도이고, 도 2는 정면도이다.To describe the flicker sensor in more detail, reference is made to the accompanying drawings. 1 is a perspective view of a conventional flicker sensor, and FIG. 2 is a front view.

도시된 바와 같이, 한 쌍의 브래킷(1)이 축(2)으로 연결되어 있고, 이 축(2)에 회전 자석(3)이 회전가능하게 끼워져 있다. 회전 자석(3)의 상단에는 핀(4)에 의해 감지 롤러(5)가 설치되어 있다. 즉, 감지 롤러(5)는 반송되는 유리기판(G)에 접촉하도록 되어 있다. 한편, 회전 자석(3)의 하부에는 고정 자석(6)이 소정 간격을 두고 배치되어 있어서, 각 자석(3,6) 사이에 일정량의 전하가 흐르도록 되어 있다.As shown, a pair of brackets 1 are connected by a shaft 2, and a rotating magnet 3 is rotatably fitted to the shaft 2. The detection roller 5 is provided by the pin 4 at the upper end of the rotating magnet 3. That is, the sensing roller 5 is in contact with the glass substrate G to be conveyed. On the other hand, the fixed magnet 6 is arrange | positioned at the lower part of the rotating magnet 3 at predetermined intervals, and the fixed amount of electric charge flows between each magnet 3,6.

상기와 같이 구성되어서, 유리기판(G)이 우측에서 좌측으로 이동하면서 감지 롤러(5)에 접촉하게 된다. 감지 롤러(5)가 좌측으로 밀리게 되므로, 회전 자석(3) 전체가 좌측으로 90。 회전하게 된다. 따라서, 회전 자석(3)과 고정 자석(6) 사이의 거리가 멀어지게 되므로써, 그 사이의 전하량이 변한다. 즉, 거리가 멀어졌으므로, 전하량이 감소된다. 이러한 전하량의 감소로, 유리기판(G)이 반송된다는 것을 감지하게 된다.As configured above, the glass substrate G is brought into contact with the sensing roller 5 while moving from right to left. Since the detection roller 5 is pushed to the left, the entire rotating magnet 3 is rotated 90 ° to the left. Therefore, the distance between the rotating magnet 3 and the stationary magnet 6 is increased so that the amount of charge therebetween changes. That is, since the distance is farther away, the amount of charge is reduced. By this reduction in the amount of charge, it is detected that the glass substrate G is conveyed.

그런데, 종래의 회전 자석(3)은 좌측뿐만 아니라 우측, 즉 양방향으로 회전이 가능하다. 이 때문에, 유리기판(G)의 반송 방향과 반대 방향으로부터 다른 반송물, 예를 들면 습식 식각 공정에 사용되는 약액이나 순수가 반송되면, 회전 자석(3)이 우측으로 회전하게 된다. 따라서, 유리기판(G)의 반송 상태가 아닌데도 불구하고, 플릭커 센서가 유리기판(G)의 반송인 것처럼 오인하여 오동작을 일으키게 되는 문제점을 갖고 있다.By the way, the conventional rotating magnet 3 is capable of rotating in both directions as well as the left. For this reason, when the other conveyed material, for example, chemical liquid or pure water used for a wet etching process, is conveyed from the direction opposite to the conveyance direction of glass substrate G, the rotating magnet 3 will rotate to the right. Therefore, despite the fact that the glass substrate G is not in the conveying state, there is a problem in that the flicker sensor is mistaken as if it is the conveying of the glass substrate G, causing a malfunction.

따라서, 본 고안은 종래의 플릭커 센서가 안고 있는 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로서, 회전 자석이 반송물의 반송 방향으로만 회전되도록 하여, 반대 방향으로부터 반송되는 반송물에 의해서는 회전되지 않도록 하므로써, 오동작이 방지되는 단방향 감지식 플릭커 센서를 제공하는데 목적이 있다.Therefore, the present invention has been devised to solve the problem of the conventional flicker sensor, so that the rotating magnet is rotated only in the conveying direction of the conveyed material, so that the malfunction is not rotated by the conveyed material conveyed from the opposite direction. It is an object to provide a unidirectional sensing flicker sensor that is prevented.

도 1 및 도 2는 종래의 플릭커 센서를 나타낸 사시도 및 정면도1 and 2 are a perspective view and a front view showing a conventional flicker sensor

도 3 및 도 4는 본 고안에 따른 단방향 감지식 플릭커 센서를 나타낸 사시도 및 정면도3 and 4 are a perspective view and a front view showing a unidirectional sensing flicker sensor according to the present invention

- 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 --Explanation of symbols for the main parts of the drawing-

1 - 브래킷 2 - 축1-bracket 2-shaft

3 - 회전 자석 4 - 핀3-rotating magnet 4-pin

5 - 감지 롤러 6 - 고정 자석5-sensing roller 6-fixed magnet

7 - 회전 방지판7-anti-rotation plate

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 고안에 따른 플릭커 센서는 다음과 같은 구성으로 이루어진다.In order to achieve the above object, the flicker sensor according to the present invention has the following configuration.

한 쌍의 브래킷이 축으로 연결되고, 이 축에 회전 자석이 회전가능하게 끼워진다. 회전 자석의 상단에 반송물에 접촉되는 감지 롤러가 설치되고, 하부에는 고정 자석이 배치되어서, 각 자석 사이에 일정량의 전하가 흐르게 된다. 반송물의 반송 방향과 반대편에, 회전 자석의 회전을 방지하는 판이 배치되어서, 반송 방향으로는 회전 자석이 회전이 가능하고, 반대 방향으로는 회전 방지판에 의해 회전 자석의 회전이 방지된다.A pair of brackets are connected to the shaft, and the rotating magnet is rotatably fitted on the shaft. A sensing roller is provided at the upper end of the rotating magnet in contact with the conveyed object, and a fixed magnet is disposed at the lower part so that a certain amount of electric charge flows between the magnets. The plate which prevents rotation of a rotating magnet is arrange | positioned on the opposite side to the conveyance direction of a conveyed object, a rotating magnet can be rotated in a conveyance direction, and rotation of a rotating magnet is prevented by a rotation prevention plate in an opposite direction.

상기된 구성을 갖는 본 고안에 의하면, 반송물의 반송 방향과 반대편에 회전 방지판이 배치되어서, 반송물의 반송 방향으로는 회전 자석의 회전이 가능하지만, 반대 방향으로는 회전 방지판에 걸려서 회전 자석은 회전될 수가 없으므로, 반대 방향으로 반송되는 반송물을 감지하여 플릭커 센서가 오동작되는 것이 방지된다.According to the present invention having the above-described configuration, the anti-rotation plate is disposed on the opposite side to the conveying direction of the conveyed material, so that the rotating magnet can be rotated in the conveying direction of the conveyed product, but the anti-rotating plate is caught by the anti-rotating plate in the opposite direction. Since it is impossible to detect the conveyed material conveyed in the opposite direction, the flicker sensor is prevented from malfunctioning.

이하 첨부한 도면에 의거하여 본 고안의 바람직한 실시예를 자세히 설명하도록 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3 및 도 4는 본 고안에 따른 단방향 감지식 플릭커 센서를 나타낸 사시도 및 정면도이다.3 and 4 are a perspective view and a front view showing a unidirectional sensing flicker sensor according to the present invention.

도시된 바와 같이, 좌우로 배치된 한 쌍의 브래킷(1)이 축(2)으로 연결된다. 회전 자석(3)이 축(2)에 회전가능하게 끼워지고, 고정 자석(6)이 회전 자석(3)의 하부에 소정 거리를 두고 이격,배치된다. 따라서, 각 자석(3,6) 사이에는 일정량의 전하가 흐르게 된다. 우측에서 좌측으로 반송되는 반송물인 유리기판(G)과 접촉되는 감지 롤러(5)가 회전 자석(3)의 상단에 핀(4)을 매개로 설치된다.As shown, a pair of brackets 1 arranged to the left and right are connected to the shaft 2. The rotating magnet 3 is rotatably fitted to the shaft 2, and the fixed magnet 6 is spaced apart and disposed at a lower distance from the lower side of the rotating magnet 3. Therefore, a certain amount of electric charge flows between the magnets 3 and 6. The detection roller 5 which contacts the glass substrate G which is conveyed goods from the right side to the left side is installed in the upper end of the rotating magnet 3 via the pin 4.

회전 방지판(7)이 회전 자석(3)의 좌측, 즉 유리기판(G)의 반송 방향과 반대측에 배치된다. 회전 방지판(7)은 축(2)의 높이보다 낮은 높이를 갖는 것으로서, 유리기판(G)의 반송 방향으로는 회전 자석(3)과 간섭되지 않지만, 반대 방향으로는 회전 자석(3)과 간섭을 일으키게 되므로써, 회전 자석(3)의 회전을 방지하게 된다. 즉, 도 3에서, 회전 자석(3)은 좌측으로는 90。 회전이 가능하지만, 우측으로는 회전 자석(3)의 하부가 회전 방지판(7)에 걸려서 회전될 수 없다.The anti-rotation plate 7 is disposed on the left side of the rotating magnet 3, that is, on the side opposite to the conveying direction of the glass substrate G. The anti-rotation plate 7 has a height lower than that of the shaft 2, and does not interfere with the rotating magnet 3 in the conveying direction of the glass substrate G, but in the opposite direction, By causing interference, the rotation of the rotating magnet 3 is prevented. That is, in FIG. 3, the rotating magnet 3 can rotate 90 ° to the left, but the lower side of the rotating magnet 3 can not be rotated by being caught by the anti-rotation plate 7 to the right.

이하, 상기와 같이 구성된 본 실시예의 동작을 상세히 설명한다.Hereinafter, the operation of this embodiment configured as described above will be described in detail.

유리기판(G)이 우측으로 좌측으로 반송되면, 감지 롤러(5)가 유리기판(G)에 접촉되어 좌측으로 밀리게 된다. 따라서, 회전 자석(3)은 좌측으로 90。 회전하게 된다. 이때는, 회전 방지판(7)의 높이가 축(2)보다 낮으므로, 회전 자석(3)이 좌측으로 회전하는데는 전혀 상관이 없다. 이렇게, 회전 자석(3)이 90。 회전되면, 고정 자석(6)과 회전 자석(3) 사이의 거리가 멀어지게 되므로, 각 자석(3,6) 사이에 흐르는 전하량이 감소된다. 이와 같은 전하량의 감소로, 유리기판(G)의 반송을 감지하게 된다.When the glass substrate G is conveyed to the left to the right, the sensing roller 5 is brought into contact with the glass substrate G and pushed to the left. Therefore, the rotating magnet 3 is rotated 90 degrees to the left. At this time, since the height of the anti-rotation plate 7 is lower than that of the shaft 2, it does not matter at all that the rotating magnet 3 rotates to the left side. In this way, when the rotating magnet 3 is rotated by 90 degrees, the distance between the fixed magnet 6 and the rotating magnet 3 becomes far, so that the amount of electric charge flowing between each of the magnets 3 and 6 is reduced. As a result of the decrease in the amount of charge, the conveyance of the glass substrate G is sensed.

반면에, 유리기판(G)의 반송 방향과 반대측으로부터 다른 반송물, 예를 들면 약액이나 순수가 흐르게 되면, 이 약액이나 순수가 감지 롤러(5)를 우측으로 밀게 된다. 따라서, 회전 자석(3)도 우측으로 회전되려고 하나, 이때는 회전 자석(3)의 하부가 회전 방지판(7)에 걸려서 회전되지 못한다. 따라서, 각 자석(3,6) 사이에 흐르는 전하량은 변함이 없으므로, 플릭커 센서의 오동작이 방지된다.On the other hand, when another conveyed object, for example, chemical liquid or pure water, flows from the side opposite to the conveying direction of the glass substrate G, the chemical liquid or pure water pushes the sensing roller 5 to the right. Therefore, the rotating magnet 3 also tries to rotate to the right, but at this time, the lower portion of the rotating magnet 3 is caught by the anti-rotation plate 7 and cannot be rotated. Therefore, the amount of charge flowing between the magnets 3 and 6 does not change, and thus malfunction of the flicker sensor is prevented.

상기된 바와 같이 본 고안에 의하면, 원하는 반송물의 반대측에 회전 자석(3)의 회전을 방지하는 판(7)이 배치되므로써, 반송물의 반송 방향에 대해 반대측으로부터 반송되는 반송물에 의해서는 회전 자석(3)의 회전이 방지된다. 따라서, 원하는 반송물이 반송되는 상태가 아닌데도, 플릭커 센서가 이를 감지하여 오동작을 일으키는 것이 방지된다.As described above, according to the present invention, since the plate 7 which prevents the rotation of the rotating magnet 3 is disposed on the opposite side of the desired conveyed object, the rotating magnet 3 is conveyed by the conveyed object conveyed from the opposite side with respect to the conveying direction of the conveyed object. ) Rotation is prevented. Therefore, even if the desired conveyed object is not in the conveyed state, the flicker sensor is prevented from detecting it and causing malfunction.

한편, 본 고안은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.On the other hand, the present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiment, any person having ordinary knowledge in the field to which the present invention belongs without departing from the gist of the present invention claimed in the claims can be variously modified. will be.

Claims

A pair of brackets; A shaft connecting the brackets; A rotating magnet rotatably fitted to the shaft; A fixed magnet disposed under the rotating magnet and having a predetermined amount of electric charge flowing therebetween; And a sensing roller provided on an upper portion of the rotating magnet to rotate the rotating magnet by being in contact with a conveyed material conveyed in either direction, thereby causing a change in the amount of charge between the magnets.

On the opposite side of the conveyed object, a rotation preventing plate is disposed to prevent the rotating magnet from being rotated by another conveyed object which is conveyed in a direction opposite to the conveying direction of the conveyed object, and the height of the anti-rotation plate is lower than the axis. Flicker sensor.