KR19990075530A - 반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병 및이를 이용한 샘플포집장치 - Google Patents

반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병 및이를 이용한 샘플포집장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병 및 이를 이용한 샘플포집장치에 관한 것이다.
본 발명에 의한 반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병은 샘플이 수용될 수 있으며 측면에는 샘플유입관이 형성되며 상부가 개방된 몸체, 상기 몸체의 개방된 상부를 밀봉하는 뚜껑 및 상기 뚜껑의 상부에 형성되며 상하로 움직일 수 있으며 일측에 샘플배출구가 형성되어 있는 버튼을 구비하여 이루어진다.
본 발명에 의한 반도체용 화학약품 또는 탈이온수 분석을 위한 샘플포집장치는 소정의 내부 공간을 갖으며, 상부 및 하부로 분리가능한 케이스 및 상기 케이스에 내재되는 샘플포집용 병을 포함하여 이루어진다.
따라서, 밀폐된 공간에 샘플포집용 병을 설치하여 샘플을 업플로우(Upflow)방식으로 포집하므로써 샘플링시 샘플오염을 최소화하여 분석데이타의 신뢰성을 높이는 효과가 있다.

Description

반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병 및 이를 이용한 샘플포집장치
본 발명은 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병 및 이를 이용한 샘플포집장치에 관한 것이다.
반도체소자 제조공정에는 탈이온수(Deionized water)를 포함하여 다수의 화학약품들이 사용되고 있다. 따라서 상기 반도체소자의 고집적화에 따라 상기 탈이온수 또는 화학약품의 순도는 대단히 중요하다.
즉, 상기 반도체소자를 제조하는 데 사용되는 공정용 웨이퍼와 직접적으로 접촉하는 상기 탈이온수 및 화학약품의 순도는 상기 반도체소자의 불량발생의 원인이며, 생산수율과 밀접한 관계가 있다.
상기 불량발생의 분석은 상기 탈이온수 및 화학약품의 분석을 통하여 상기 반도체소자의 불량원인이 되는 제조공정의 공정조건들 및 공정결과들을 간접적으로 확인하는 방법이 사용되고 있다.
그러므로 상기 탈이온수 및 화학약품의 순도는 정기적으로 분석하여야 하며, 또한 상기 탈이온수 및 화학약품의 공급장치의 문제발생 후 복구처리를 한 후 상기 공급장치의 능력을 테스트하여야 한다.
분석장비의 효율적인 활용과 데이터의 신뢰성을 확보하기 위하여는 상기 샘플의 샘플링방법에 대한 신뢰성이 확보되어야 한다.
특히, 상기 탈이온수와 같은 ppb 또는 ppt 수준의 분석이 요구되는 현 추세를 고려할 때 샘플링시 외부 영향을 고려하지 않는 상태에서의 샘플분석은 의미가 없다.
종래의 탈이온수 분석용 샘플을 준비함에 있어서, 소정의 컵(Cup)을 사용하여 공기에 노출된 상태에서 정류기로부터 탈이온수의 샘플을 직접 포집하였다. 상기 샘플의 포집방법은 공기에 노출된 상태에서 샘플링하기 때문에 외부의 오염을 막을 수 없고 상부가 개방된 컵을 사용하는 다운플로우(Down Flow) 방식이기 때문에 상기 컵 바닥에 가까울 수 록 순도가 낮을 수 있다. 또한 샘플링은 데이타의 신뢰성을 높이기 위하여 연속하여 샘플링을 3회 실시한다. 상기 연속하여 샘플링시 처음 포집한 컵의 순도보다 다음의 컵의 순도가 서로 동일하지 않을 수 있다. 이는 샘플링 순서에 의한 시간경과에 따라 상기 컵내의 상기 탈이온수의 순도가 달라지기 때문이다.
이와같이 샘플포집시 외부의 영향 및 정확히 동일한 샘플포집이 어려워 분석결과의 해석이 난해하고 신뢰성이 떨어지는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은, 분석할 화학약품 및 탈이온수의 샘플링시 외부공기의 영향과 샘플링 시간지연에 따른 순도변화를 최소화하여 분석 데이타의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병 및 이를 이용한 샘플포집장치를 제공하는 데 있다.
도1은 본 발명에 의한 반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병을 나타내는 도면이다.
도2는 본 발명에 의한 반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병을 이용한 샘플포집장치를 나타내는 도면이다.
※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 ; 샘플포집용 병 2 ; 몸체
4 ; 샘플유입관 5 ; 제1밸브
6 ; 버튼 7 ; 뚜껑
8 ; 샘플배출구 11 ; 박스
12 ; 케이스 20 ; 제2밸브
22 ; 유량조절계 23 ; 제1연결배관
24 ; 3상 커낵터 25 ; 제2연결배관
26 ; 하우징 27 ; 너트
28 ; 고무장갑 29 ; 받침대
30 ; 경첩 31 ; 구멍
32 ; 손잡이 34 ; 불활성가스유입관
36 ; 불활성가스배기관 38 ; 드레인관
40 ; 제3밸브
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병은 샘플이 수용될 수 있으며 측면에는 샘플유입관이 형성되며 상부가 개방된 몸체, 상기 몸체의 개방된 상부를 밀봉하는 뚜껑 및 상기 뚜껑의 상부에 형성되며 상하로 움직일 수 있으며 일측에 샘플배출구가 형성되어 있는 버튼을 구비하여 이루어진다.
상기 샘플유입관에는 밸브가 개재되며, 상기 몸체의 하부측면에 형성되는 것이 바람직하다.
상기 버튼은 상기 샘플포집용 병으로부터 상기 화학약품 및 탈이온수의 업플로우(Up-Flow)시 돌출되어 상기 샘플배출구를 통하여 상기 샘플이 배출될 수 있다.
상기 버튼은 원터치 방식으로 누르면, 상기 샘플배출구가 막혀 상기 샘플의 배출을 막을 수 있다.
상기 샘플포집용 병의 재질은 테프론(Teflon), 피피(PP) 또는 피이(PE)가 바람직하며, 용량은 300 내지 1000 ml 일 수 있다.
본 발명에 따른 반도체용 화학약품 또는 탈이온수 분석을 위한 샘플포집장치는 소정의 내부 공간을 갖으며, 상부 및 하부로 분리가능한 케이스 및 상기 케이스에 내재되며 샘플이 수용될 수 있으며 측면에는 샘플유입관이 형성되며 상부가 개방된 몸체, 상기 몸체의 개방된 부분을 밀봉하는 뚜껑 및 상기 뚜껑의 상부에 형성되며 상하로 움직일 수 있으며 일측에 샘플배출구가 형성되어 있는 버튼으로 구성되는 샘플포집용 병을 포함하여 이루어진다.
상기 샘플포집용 병은 탈착이 자유롭도록 일측과 상부가 개방된 하우징(Housing) 내에 존재할 수 있다.
상기 하우징 내에는 상기 분석용 샘플병의 받침대가 존재하며, 상기 받침대는 상기 분석용 샘플병으로 부터 업플로우된 화학약품 또는 탈이온수가 상기 하우징의 바닥에 모이도록 다수의 구멍이 형성되어 있으며 깔대기 모양일 수 있다.
상기 하우징 하부에는 상기 하우징 바닥에 모인 상기 화학약품 또는 탈이온수의 드레인을 위한 밸브가 개재된 드레인관이 상기 케이스 하부를 관통하여 형성될 수 있다.
상기 케이스의 상부 및 하부는 다수의 경첩으로 연결되어 있어 개폐가 용이하고, 상기 상부의 일측에는 손잡이 및 상기 케이스를 열지않고 내부의 작업이 가능하도록 고무장갑을 부착할 수 있다.
상기 케이스에는 내부공간 오염 방지용 불활성가스 주입구와 배출구가 형성되어 있으며, 상기 오염 방지용 불활성가스는 질소가스일 수 있다.
상기 샘플포집용 병은 샘플포집의 신뢰성을 확보하기 위하여 3개가 병렬로 연결되며, 상기 샘플포집용 병은 3상 커넥터(Connector)로 병렬연결될 수 있다.
상기 커넥터는 상기 케이스와 연결되어 소정의 공간을 이루는 박스 내에 존재할 수 있다.
상기 3상 커넥터 앞단에는 유량조절계가 부착되며, 상기 유량조절계는 플로어미터(Flowermeter) 또는 엠에프시(MFC)일 수 있으며, 상기 박스의 일측에 부착될 수 있다.
상기 유량조절계 앞단에는 ON/OFF 밸브가 더 부착될 수 있다.
이하, 본 발명의 구체적인 일 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도1은 본 발명에 의한 반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병을 나타내는 도면이다.
도1에서 보는 바와 같이 샘플포집용 병(1)은 샘플이 수용될 수 있으며, 하부의 측면에는 제1밸브(5)가 개재된 볼트형태의 샘플유입관(4)이 형성되는 상부가 개방된 몸체(2), 상기 몸체(2)의 개방된 부분을 밀봉하는 뚜껑(7) 및 상기 뚜껑(7)의 상부에 형성되며 상하로 움직일 수 있으며, 측면에 샘플배출구(8)가 형성되어 있는 원통 형태의 버튼(6)으로 이루어진다.
상기 버튼(6)은 상기 샘플유입관(4)으로부터 샘플이 유입되어 상기 몸체(2)로부터 상기 화학약품 및 탈이온수의 업플로우(Up-Flow)시 돌출되어 상기 샘플배출구(8)를 통하여 상기 샘플이 배출된다. 또한 상기 버튼(6)은 원터치 방식으로 누르면 상기 샘플의 배출을 막는다. 상기 병의 재질은 테프론(Teflon)으로 만들 수 있으며 피피(PP) 또는 피이(PE)를 사용할 수도 있다.
도2는 본 발명에 의한 반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병을 이용한 샘플포집장치를 나타내는 도면이다.
도2에서 보는 바와 같이 샘플포집장치는 소정의 내부 공간을 갖으며, 상부 및 하부로 분리가능한 케이스(12) 및 상기 케이스(12)와 연결되어 형성되어 있는 상부가 개방된 박스(11)부분으로 나누어진다.
상기 케이스(12)내에는 샘플이 수용될 수 있으며, 하부의 측면에는 제1밸브(5)가 개재된 볼트형태의 샘플유입관(4)이 형성된 상부가 개방된 몸체(2), 상기 몸체의 개방된 부분을 밀봉하는 뚜껑(7) 및 상기 뚜껑(7)의 상부에 형성되며 상하로 움직일 수 있으며, 측면에 샘플배출구(8)가 형성되어 있는 원통형태의 버튼(6)으로 이루어지는 샘플포집용 병(1)이 내재한다.
상기 샘플포집용 병(1)은 탈착이 자유롭도록 일측과 상부가 개방된 하우징(Housing)(26)에 위치하며, 상기 하우징(26) 내에는 상기 샘플포집용 병(1)의 받침대(29)가 존재한다. 상기 받침대(29)는 상기 샘플포집용 병(1)으로 부터 업플로우된 화학약품 또는 탈이온수가 상기 하우징(26)의 바닥에 모이도록 다수의 구멍(31)이 형성되어 있는 깔대기 모양이다.
상기 하우징(26) 하부에는 상기 하우징 바닥에 모인 상기 화학약품 또는 탈이온수의 드레인을 위한 제3밸브(40)가 개재된 드레인관(38)이 상기 케이스(12) 하부를 관통하여 형성된다.
상기 케이스(12)의 상부 및 하부는 다수의 경첩(30)으로 연결되어 있어 개폐가 용이하고, 상기 상부의 일측에는 손잡이(32) 및 상기 케이스(12)의 상부를 열지않고 내부의 작업이 가능하도록 고무장갑(28)이 부착되어 있다. 상기 샘플포집용 병(1)에 샘플이 수용되어 업플로우되면, 상기 고무장갑(28)을 이용하여 상기 샘플포집용 병(1) 상부의 상기 버튼(6)을 눌러 최대한 상기 샘플포집용 병(1) 내부로 외부공기가 유입되는 것을 막는다.
상기 케이스(12)에는 내부공간 오염 방지용 불활성가스 주입구(34)와 배출구(36)가 형성되어 있다. 상기 불활성가스는 질소가스를 사용한다.
즉, 상기 불활성가스는 상기 케이스(12) 내부로 유입되어 압력을 형성하여 외부공기 및 불순물들이 상기 케이스(12)로 유입되어 샘플링시 샘플이 오염되는 것을 막는다.
상기 샘플포집용 병(1)은 샘플포집의 신뢰성을 확보하기 위하여 3개가 병렬로 연결된다. 상기 샘플포집용 병(1)은 상기 샘플유입관(4)들이 3상 커넥터(Connector)(24)로 병렬연결된다. 상기 샘플유입관(4)은 소정의 제2연결배관(25)과 너트(27)가 사용되어 상기 3상 커넥터(24)에 연결된다.
상기 샘플포집용 병(1)의 병렬연결은 동시에 동일한 샘플을 샘플링할 수 있는 장점이 있다.
상기 3상 커넥터(24)는 상기 케이스(12)와 연결되어 소정의 공간을 이루며 상부가 개방된 박스(11)내에 위치한다. 상기 박스(11)는 상기 3상 커넥터(24)와 상기 제2연결배관(25)을 외부로부터 보호하는 역할을 한다.
상기 3상 커넥터(24) 앞단에는 유량조절계(22)가 부착되어 있다. 상기 3상 커넥터(24)와 유량조절계(22)는 제1연결배관(23)으로 연결된다. 상기 유량조절계(22)는 엠에프시(MFC)일 수 있다. 상기 유량조절계(22)는 분석해야할 화학약품 및 탈이온수의 플로우량을 조절한다. 보통 탈이온수 분석시 정류기로부터 정상적인 상기 탈이온수가 형성되기 까지 2시간 정도 소요되기 때문에 상기 정류기의 필터를 교체한 후, 상기 탈이온수를 분석하기 위하여 상기 유량조절계(22)의 플로우량을 조절하여 샘플링시간을 설정함으로써 상기 탈이온수의 제조의 조건변동요인을 총괄적으로 반영할 수 있게한다.
상기 유량조절계(22) 앞단에는 밸브(20)가 형성되어 있어 상기 샘플포집용 병(1)에 샘플이 샘플링된 후 닫아 더 이상 유량이 플로우 되지 않도록 한다.
따라서, 본 발명에 의하면 상술한 바와 같이 밀폐된 공간에 샘플포집용 병을 설치하여 업플로우방식으로 샘플을 포집하므로써 샘플링시 샘플오염을 최소화하여 분석데이타의 신뢰성을 높이는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (19)

  1. 반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병에 있어서,
    샘플이 수용될 수 있으며 측면에는 샘플유입관이 형성되며 상부가 개방된 몸체;
    상기 몸체의 개방된 상부를 밀봉하는 뚜껑; 및
    상기 뚜껑의 상부에 형성되며 상하로 움직일 수 있으며 일측에 샘플배출구가 형성되어 있는 버튼;
    을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 샘플포집용 병의 용량은 300 내지 1000 ml 인 것을 특징으로 하는 상기 반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 샘플유입관에는 밸브가 개재되며, 상기 몸체 하부측면에 형성되는 것을 특징으로 하는 상기 반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 버튼은 상기 샘플포집용 병으로부터 상기 화학약품 및 탈이온수의 업플로우(Up-Flow)시 돌출되어 상기 샘플배출구를 통하여 상기 샘플이 배출되는 것을 특징으로 하는 상기 반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 버튼은 원터치(One-Touch) 방식으로 누르면, 상기 샘플배출구가 막혀 상기 샘플의 배출을 막는 것을 특징으로 하는 상기 반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 샘플포집용 병의 재질은 테프론(Teflon), 피피(PP : Poly Propylene) 또는 피이(PE : Poly Ethylene)인 것을 특징으로 하는 상기 반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병.
  7. 반도체용 화학약품 또는 탈이온수 분석을 위한 샘플포집장치에 있어서,
    소정의 내부 공간을 갖으며, 상부 및 하부로 분리가능한 케이스; 및
    상기 케이스에 내재되며 샘플이 수용될 수 있으며 측면에는 샘플유입관이 형성되며 상부가 개방된 몸체, 상기 몸체의 개방된 상부를 밀봉하는 뚜껑 및 상기 뚜껑의 상부에 형성되며 상하로 움직일 수 있으며 일측에 샘플배출구가 형성되어 있는 버튼으로 구성되는 샘플포집용 병;
    을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체용 화학약품 또는 탈이온수 분석을 위한 샘플포집장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 샘플포집용 병은 탈착이 자유롭도록 일측이 개방되고 상부가 개방된 하우징(Housing) 내에 존재하는 것을 특징으로 하는 상기 반도체용 화학약품 또는 탈이온수 분석을 위한 샘플포집장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 하우징 내에는 상기 샘플포집용 병의 받침대가 존재하는 것을 특징으로 하는 상기 반도체용 화학약품 또는 탈이온수 분석을 위한 샘플포집장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 받침대는 상기 샘플포집용 병으로 부터 업플로우된 화학약품 또는 탈이온수가 상기 하우징의 바닥에 모이도록 상부가 다수의 구멍이 형성되어 있으며 깔대기 모양인 것을 특징으로 하는 상기 반도체용 화학약품 또는 탈이온수 분석을 위한 샘플포집장치.
  11. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 하우징 하부에는 상기 하우징 바닥에 모인 상기 화학약품 또는 탈이온수의 드레인을 위한 밸브가 개재된 드레인관이 상기 케이스 하부를 관통하여 형성되는 것을 특징으로 하는 상기 반도체용 화학약품 또는 탈이온수 분석을 위한 샘플포집장치.
  12. 제 7 항에 있어서,
    상기 케이스의 상부 및 하부는 다수의 경첩으로 연결되어 있어 개폐가 용이하고, 상기 상부의 일측에는 손잡이 및 상기 케이스를 열지않고 내부의 작업이 가능하도록 고무장갑을 부착한 것을 특징으로 하는 상기 반도체용 화학약품 또는 탈이온수 분석을 위한 샘플포집장치.
  13. 제 7 항에 있어서,
    상기 케이스에는 내부공간 오염 방지용 불활성가스 주입구와 배출구가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 상기 반도체용 화학약품 또는 탈이온수 분석을 위한 샘플포집장치.
  14. 제 7 항에 있어서,
    상기 샘플포집용 병은 샘플포집의 신뢰성을 확보하기 위하여 3개가 병렬로 연결되는 것을 특징으로 하는 상기 반도체용 화학약품 또는 탈이온수 분석을 위한 샘플포집장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 샘플포집용 병은 3상 커넥터(Connector)로 병렬연결되는 것을 특징으로 하는 상기 반도체용 화학약품 또는 탈이온수 분석을 위한 샘플포집장치.
  16. 제 7 항 또는 제 15 항에 있어서,
    상기 커넥터는 상기 케이스와 연결되어 소정의 공간을 이루는 박스내에 존재하는 것을 특징으로 하는 상기 반도체용 화학약품 또는 탈이온수 분석을 위한 샘플포집장치.
  17. 제 15 항에 있어서,
    상기 3상 커넥터 앞단에는 유량조절계가 부착되는 것을 특징으로 하는 상기 반도체용 화학약품 또는 탈이온수 분석을 위한 샘플포집장치.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 유량조절계는 플로어미터(Flowermeter) 또는 엠에프시(MFC)인 것을 특징으로 하는 상기 반도체용 화학약품 또는 탈이온수 분석을 위한 샘플포집장치.
  19. 제 17 항에 있어서,
    상기 유량조절계 앞단에는 ON/OFF 밸브가 더 부착되는 것을 특징으로 하는 상기 반도체용 화학약품 또는 탈이온수 분석을 위한 샘플포집장치.
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