KR19990069985A

KR19990069985A - Filter section with valves for removing bubbles

Info

Publication number: KR19990069985A
Application number: KR1019980004584A
Authority: KR
Inventors: 서주원
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1998-02-16
Filing date: 1998-02-16
Publication date: 1999-09-06

Abstract

본 발명은 반도체 제조장비의 필터부에 관한 것으로, 화학용액을 여과시키는 필터와, 필터의 하부에 연결된 화학용액 주입관과, 필터의 상부에 연결된 화학용액 배출관과, 필터의 상부에 연결된 기포 배출관과, 기포 배출관의 소정영역에 개재된 제1 밸브와, 제1 밸브의 개폐를 제어하는 제2 밸브와, 제2 밸브의 개폐를 제어하는 전기적인 신호를 발생시키는 펄스신호 발생기를 포함한다.The present invention relates to a filter unit of a semiconductor manufacturing equipment, comprising: a filter for filtering a chemical solution; a chemical solution inlet tube connected to a lower part of the filter; a chemical solution discharge tube connected to an upper part of the filter; And a first valve interposed in a predetermined region of the bubble discharge pipe, a second valve for controlling opening and closing of the first valve, and a pulse signal generator for generating an electrical signal for controlling opening and closing of the second valve.

Description

Filter section with valves for removing bubbles

본 발명은 반도체소자를 제조하는 데 사용되는 장비에 관한 것으로, 특히 화학용액을 여과시킬 때 발생하는 기포를 제거하는 기능을 갖는 필터부에 관한 것이다.The present invention relates to a device used to manufacture a semiconductor device, and more particularly, to a filter unit having a function of removing bubbles generated when filtering a chemical solution.

반도체소자를 제조하기 위해서는 여러 가지의 화학용액이 사용된다. 이러한 화학용액은 반도체기판 표면이 불순물에 의해 오염되는 현상을 방지하기 위하여 필터에 의해 여과되어진다. 이때, 필터 내에 기포가 발생할 수 있으며, 이러한 기포는 필터의 여과기능을 저하시킨다. 따라서, 필터 내에 존재하는 기포는 반드시 제거되어야 한다.Various chemical solutions are used to manufacture semiconductor devices. Such chemical solution is filtered by a filter to prevent the surface of the semiconductor substrate from being contaminated by impurities. At this time, bubbles may occur in the filter, and these bubbles lower the filtration function of the filter. Therefore, bubbles present in the filter must be removed.

도 1은 종래기술에 따른 필터부를 설명하기 위한 개략도이다.1 is a schematic view for explaining a filter unit according to the prior art.

도 1을 참조하면, 종래의 필터부는 화학용액 내의 불순물을 여과시키는 필터(F)와, 상기 필터(F)에 여과되지 않은 화학용액(C1)을 주입시키기 위한 화학용액 주입관(I)과, 상기 필터(F)로부터 여과된 화학용액(C2)을 배출시키기 위한 화학용액 배출관(O)과, 상기 화학용액 배출관(O) 근처의 필터(F) 벽으로부터 연통된 기포배출관(VL)과, 상기 기포 배출관(VL)의 소정영역에 개재된 수동밸브(V)를 포함한다. 여기서, 상기 화학용액 주입관(I)은 필터(F)의 하부에 연결되고, 상기 화학용액 배출관(O)은 필터(F)의 상부에 연결된다. 이때, 필터(F) 내부에서 발생되는 기포는 필터(F)의 상부로 이동하여 모이게 된다. 따라서, 기포(B)를 배출시키기 위한 기포 배출관(VL)은 필터(F)의 상부, 즉 화학용액 배출관(O)의 주변에 설치된다. 그리고, 필터(F)의 상부에 운집된 기포는 작업자에 의해 수동밸브(V)가 오픈될 때 기포 배출관(VL)을 통하여 배출된다.Referring to FIG. 1, a conventional filter unit includes a filter F for filtering impurities in a chemical solution, a chemical solution injection tube I for injecting an unfiltered chemical solution C1 into the filter F, A chemical solution discharge pipe (O) for discharging the filtered chemical solution (C2) from the filter (F), a bubble discharge pipe (VL) communicating from a wall of the filter (F) near the chemical solution discharge pipe (O), and And a manual valve V interposed in a predetermined region of the bubble discharge pipe VL. Here, the chemical solution injection pipe (I) is connected to the lower portion of the filter (F), the chemical solution discharge pipe (O) is connected to the upper portion of the filter (F). At this time, the bubbles generated inside the filter F are collected by moving to the upper portion of the filter F. Therefore, the bubble discharge pipe VL for discharging the bubble B is installed in the upper part of the filter F, that is, around the chemical solution discharge pipe O. In addition, the bubbles collected on the upper portion of the filter F are discharged through the bubble discharge pipe VL when the manual valve V is opened by the operator.

상술한 바와 같이 종래의 필터부는 작업자가 인위적으로 수동밸브를 조작함으로써 필터(F) 내부에 형성된 기포가 배출된다. 따라서, 반도체소자를 제조하는 데 있어서 번거로움이 따를 뿐만 아니라 효율적으로 기포를 제거하기가 어려운 문제점이 있다.As described above, in the conventional filter unit, bubbles formed in the filter F are discharged by the operator artificially operating the manual valve. Therefore, there is a problem in that it is difficult to remove bubbles efficiently as well as it is troublesome in manufacturing a semiconductor device.

본 발명의 목적은 기포를 효율적으로 제거함은 물론 작업자의 번거로움을 피할 수 있는 필터부를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a filter unit which can efficiently remove bubbles and avoid troublesome workers.

도 1은 종래기술에 따른 필터부의 개략도이다.1 is a schematic view of a filter unit according to the prior art.

도 2는 본 발명에 따른 필터부의 개략도이다.2 is a schematic view of a filter unit according to the present invention.

도 3은 도 2에 보여진 제1 및 제2 밸브의 동작을 설명하기 위한 타이밍 다이아그램이다.FIG. 3 is a timing diagram for describing the operation of the first and second valves shown in FIG. 2.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 화학용액을 여과시키는 필터와, 상기 필터의 하부에 연결된 화학용액 주입관과, 상기 필터의 상부에 연결된 화학용액 배출관과, 상기 필터의 상부에 연결된 기포 배출관과, 상기 기포 배출관의 소정영역에 개재된 제1 밸브와, 상기 제1 밸브의 개폐를 제어하는 제2 밸브와, 상기 제2 밸브의 개폐를 제어하는 전기적인 신호를 발생시키는 펄스신호 발생기를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a filter for filtering a chemical solution, a chemical solution inlet pipe connected to a lower part of the filter, a chemical solution discharge pipe connected to an upper part of the filter, a bubble discharge pipe connected to an upper part of the filter, It includes a first valve interposed in a predetermined region of the bubble discharge pipe, a second valve for controlling the opening and closing of the first valve, and a pulse signal generator for generating an electrical signal for controlling the opening and closing of the second valve. It features.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 필터부는 필터(F)와, 상기 필터(F)의 하부에 연결되어 상기 필터(F)에 여과되지 않은 화학용액(C1)을 주입시키기 위한 화학용액 주입관(I)과, 상기 필터(F)의 상부에 연결되어 필터(F)로부터 여과된 화학용액(C2)을 배출시키기 위한 화학용액 배출관(O)과, 상기 화학용액 배출관(O) 근처인 필터(F)의 상부에 연결되어 기포(B)를 배출시키는 통로를 제공하는 기포 배출관(VL)과, 상기 기포 배출관(VL)의 소정영역에 개재된 제1 밸브(V1)와, 상기 제1 밸브(V1)와 연결되고 제1 밸브(V1)의 개폐를 제어하기 위한 공기(A)가 흐르는 통로인 공기관(AL)과, 상기 공기관(AL)의 소정영역에 개재되어 공기(A)의 흐름을 제어하는 제2 밸브(V2)를 포함한다. 여기서, 상기 제2 밸브(V2)의 개폐는 펄스신호 발생기(G)로부터 출력되는 전기적인 신호(S)에 의해 제어된다. 상기 제1 밸브(V1)는 에어 밸브인 것이 바람직하고, 상기 제2 밸브(V2)는 솔레노이드 밸브인 것이 바람직하다.Referring to FIG. 2, the filter unit according to the present invention is connected to a filter F and a lower portion of the filter F, and a chemical solution inlet tube for injecting an unfiltered chemical solution C1 into the filter F. (I), a chemical solution discharge pipe (O) connected to the upper portion of the filter (F) to discharge the filtered chemical solution (C2) from the filter (F), and a filter near the chemical solution discharge pipe (O) ( A bubble discharge pipe VL connected to an upper portion of the F) and providing a passage for discharging the bubble B, a first valve V1 interposed in a predetermined region of the bubble discharge pipe VL, and the first valve ( The air pipe AL, which is a passage connected to V1 and through which air A flows for controlling opening and closing of the first valve V1, is interposed in a predetermined region of the air pipe AL to control the flow of air A. It includes a second valve (V2). The opening and closing of the second valve V2 is controlled by the electrical signal S output from the pulse signal generator G. Preferably, the first valve V1 is an air valve, and the second valve V2 is preferably a solenoid valve.

도 3은 도 2의 제2 밸브(V2)를 제어하는 전기적인 신호(S) 및 제1 밸브(V1)의 개폐를 설명하기 위한 타이밍 다이아그램이다.3 is a timing diagram for explaining the opening and closing of the electrical signal S and the first valve V1 controlling the second valve V2 of FIG. 2.

도 3을 참조하면, 제2 밸브(V2)를 제어하는 전기적인 신호(S)는 일정한 주기(T)를 가지며, 제2 밸브(V2)를 온(on) 시키는 펄스신호 형태이다. 펄스신호는 제2 밸브(V2)를 오픈시키기 위한 전압(Von)의 크기를 갖고 전압(Von)은 소정의 시간(t_ON)동안 지속된다. 그리고, 제2 밸브(V2)가 닫히도록 하기 위하여 펄스신호가 발생되지 않는 시간(t_OFF) 동안 전기적인 신호(S)는 일정전압(Voff), 바람직하게는 접지전압을 유지한다. 이때, 제1 밸브(V1)는 제2 밸브(V2)의 개폐에따라 제어된다. 다시 말해서, 제2 밸브(V2)에 전기적인 신호(S)의 펄스신호가 가해지는 동안 도 2의 공기관(AL)을 통하여 제1 밸브(V1)에 공기가 가해진다. 이에 따라, 제1 밸브(V1) 역시 오픈되어 필터(F)의 상부에 운집된 기포(B)는 기포배출관(VL)을 통하여 배출된다. 여기서, 상기 전기적인 신호(S)의 펄스 폭(t_ON) 및 주기(T)는 필터(F)에 주입되는 화학용액의 종류에 따라 결정하는 것이 바람직하다.Referring to FIG. 3, the electrical signal S for controlling the second valve V2 has a constant period T and is in the form of a pulse signal for turning on the second valve V2. The pulse signal has a magnitude of the voltage Von for opening the second valve V2 and the voltage Von is maintained for a predetermined time t _ON . In order to close the second valve V2, the electrical signal S maintains a constant voltage Voff, preferably a ground voltage during the time t _OFF in which the pulse signal is not generated. At this time, the first valve V1 is controlled according to opening and closing of the second valve V2. In other words, air is applied to the first valve V1 through the air pipe AL of FIG. 2 while the pulse signal of the electrical signal S is applied to the second valve V2. Accordingly, the first valve V1 is also opened so that the bubble B collected on the upper portion of the filter F is discharged through the bubble discharge pipe VL. Here, the pulse width t _ON and the period T of the electrical signal S may be determined according to the type of chemical solution injected into the filter F.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 당업자의 수준에서 그 변형 및 개량이 가능하다.The present invention is not limited to the above embodiments, and modifications and improvements are possible at the level of those skilled in the art.

상기한 바와 같이 본 발명에 따르면, 필터 내에서 발생된 기포를 주기적으로 배출시킬 수 있음은 물론, 작업자가 직접 밸브를 제어하는 번거로움을 피할 수 있다. 결과적으로, 필터의 효율 및 기포제거능력을 극대화시킬 수 있다.According to the present invention as described above, it is possible to periodically discharge the bubbles generated in the filter, as well as to avoid the trouble of the operator directly controlling the valve. As a result, the efficiency of the filter and the ability to remove bubbles can be maximized.

Claims

A filter for filtering the chemical solution;

A chemical solution inlet tube connected to the bottom of the filter;

A chemical solution discharge pipe connected to an upper portion of the filter;

A bubble discharge pipe connected to an upper portion of the filter;

A first valve interposed in a predetermined region of the bubble discharge pipe;

A second valve controlling opening and closing of the first valve; And

And a pulse signal generator for generating an electrical signal for controlling the opening and closing of the second valve.

The filter unit of claim 1, wherein the first valve is an air valve.

The filter unit of claim 1, wherein the second valve is a solenoid valve.