KR20200001095U - Chemical membrane filtering device - Google Patents

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Abstract

본 고안에 따른 화학막 여과장치는 제1 입력단 및 제1 출력단를 구비하되 상기 제1 입력단으로 미리 설정된 용량의 화학 액체를 입력하여 내부에 저장하는 적어도 하나의 용기; 상기 제1 출력단에 연결되는 제2 입력단, 폐기 액체 출력단 및 정화 액체 출력단을 구비하고, 내부에 적어도 하나의 여과막이 구비되고, 상기 화학 액체가 상기 제2 입력을 거쳐서 내부에 진입하고 상기 여과막의 여과를 거친 후 상기 정화 액체 출력단으로 출력되는 적어도 하나의 여과부; 및 일단이 순수 공급원에 연결되고 타단은 상기 여과부에 연통되는 적어도 하나의 튜브 몸체를 구비하며, 상기 순수 공급원으로부터 순수를 여과부에 입력하여 상기 여과막을 세척하며 상기 폐기 액체 출력단으로 배출하는 세척부;를 포함한다.The chemical membrane filtration device according to the present invention includes at least one container having a first input terminal and a first output terminal, and inputting and storing a chemical liquid having a preset capacity to the first input terminal therein; It has a second input terminal connected to the first output terminal, a waste liquid output terminal and a purification liquid output terminal, and at least one filtration membrane is provided inside, and the chemical liquid enters the interior through the second input and filters the filtration membrane. After passing through at least one filtering unit that is output to the purification liquid output stage; And at least one tube body having one end connected to a pure water supply source and the other end communicating with the filtration part, the cleaning part that inputs pure water from the pure water supply to the filter part to wash the filter membrane and discharges it to the waste liquid output end. ;.

Description

화학막 여과장치{CHEMICAL MEMBRANE FILTERING DEVICE}CHEMICAL MEMBRANE FILTERING DEVICE

본 고안은 여과장치에 관한 것으로서, 특히 화학 액체를 전문적으로 여과하며 여과장치 중의 여과막을 자동 세척하는 기능을 구비한 여과장치에 관한 것이다.The present invention relates to a filtration device, and more particularly, to a filtration device having a function of professionally filtering chemical liquids and automatically cleaning the filtration membrane in the filtration device.

액체를 여과하든 기체를 여과하든 종래의 여과장치는 일정한 기간 동안 사용한 후 내부의 여재에는 여과 후 잔류된 오물이 넘치기 때문에 여재는 대부분 폐기형으로 설계한다. Whether filtering liquids or gases, conventional filtration devices are designed as waste because most of the residual filter material after filtering is overflowing in the filter medium after using it for a certain period of time.

그러나, 산업용으로 사용하는 사용자에게 있어 여재의 사용이 빈번하고 여재의 가격이 높기 때문에, 폐기형 설계는 산업용으로 사용하는 사용자에게 비용 측면에서 매우 큰 부담이 된다. 그리고, 상대적으로 친환경적이지 않기 때문에 종래의 여과장치는 여전히 개선될 필요가 있다.However, since the use of the filter media is frequent and the price of the filter media is high for the industrial user, the waste-type design is very expensive in terms of cost to the user for the industrial use. And, since it is not relatively environmentally friendly, the conventional filtration device still needs to be improved.

본 고안은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 고안에 따른 화학막 여과장치는 제1 입력단 및 제1 출력단를 구비하되 상기 제1 입력단으로 미리 설정된 용량의 화학 액체를 입력하여 내부에 저장하는 적어도 하나의 용기; 상기 제1 출력단에 연결되는 제2 입력단, 폐기 액체 출력단 및 정화 액체 출력단을 구비하고, 내부에 적어도 하나의 여과막이 구비되며, 상기 화학 액체가 상기 제2 입력을 거쳐 내부에 진입하고 상기 여과막의 여과를 거친 후 상기 정화 액체 출력단으로 출력되는 적어도 하나의 여과부; 및 일단이 순수 공급원에 연결되고 타단은 상기 여과부에 연통되는 적어도 하나의 튜브 몸체를 구비하며, 상기 순수 공급원으로부터 순수를 여과부에 입력하여 상기 여과막을 세척하며 상기 폐기 액체 출력단으로 배출하는 세척부;를 포함한다.The present invention is to solve the above-mentioned problem, the chemical membrane filtration apparatus according to the present invention is provided with a first input terminal and a first output terminal, but at least one of which stores a chemical liquid having a preset capacity as the first input terminal and stores the inside. Courage; It has a second input terminal connected to the first output terminal, a waste liquid output terminal and a purified liquid output terminal, and is provided with at least one filter membrane therein, the chemical liquid entering the interior through the second input and filtering the filter membrane After passing through at least one filtering unit that is output to the purification liquid output stage; And at least one tube body having one end connected to a pure water supply source and the other end communicating with the filtration part, the cleaning part that inputs pure water from the pure water supply to the filter part to wash the filter membrane and discharges it to the waste liquid output end. ;.

본 고안의 장점은 다음과 같다. 화학막 여과장치는 파라미터 설정(시간, 압력차)을 한 후 여과 모드 및 세척 모드를 자동으로 작동할 수 있어 여과막의 수명을 연장시키고 비용을 저감하며, 여과와 세척 양자를 하나로 통합하기 때문에 세척 모드에서도 산업용으로 사용하는 사용자는 작동을 중단할 필요가 없어 사용 시 매우 편리하다.The advantages of the present invention are as follows. The filtration mode and the washing mode can be operated automatically after the parameter setting (time, pressure difference) of the chemical membrane filtration device, which extends the life of the filtration membrane, reduces costs, and integrates both filtration and washing into a washing mode. Even for industrial use, it is very convenient to use as there is no need to stop the operation.

도 1은 본 고안의 평면 설명도이다.
도 2는 본 고안의 컴퓨터 연결 라인 블록도이다.
1 is a plan view of the present invention.
2 is a block diagram of a computer connection line of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 고안에 따른 화학막 여과장치(1)는 적어도 하나의 용기(10), 적어도 하나의 여과부(20) 및 하나의 세척부(30)를 포함하며, 아래에서 각 구성요소를 각각 설명한다.Referring to Figure 1, the chemical membrane filtration device 1 according to the present invention includes at least one container 10, at least one filter unit 20 and one washing unit 30, each configuration below Each element is explained.

상기 용기(10)는 제1 입력단(11) 및 제1 출력단(12)을 구비하고, 상기 제1 입력단(11)은 미리 설정된 용량의 화학 액체(미도시)를 입력 공급하여 상기 용기(10)에 저장하며, 제1 입력단(11)과 상기 제1 출력단(12)에는 각각 제1 펌프(111) 및 제2 펌프(121)가 구비된다.The container 10 includes a first input terminal 11 and a first output terminal 12, and the first input terminal 11 inputs and supplies a chemical liquid (not shown) having a preset capacity to the container 10 The first pump 111 and the second pump 121 are provided at the first input terminal 11 and the first output terminal 12, respectively.

상기 용기(10) 상에는 상부 액면 센서(13) 및 하부 액면 센서(14)가 간격을 두며 구비되고, 상기 상부 액면 센서(13) 및 상기 하부 액면 센서(14)는 상기 제1 펌프(111)와 전기적으로 연결되며, 상기 용기(10) 중의 화학 액체의 액면이 상기 하부 액면 센서(14)보다 낮거나 같을 때 상기 제1 펌프(111)를 작동시켜 상기 화학 액체를 입력하고 상기 화학 액체의 액면이 상기 상부 액면 센서(13)보다 높거나 같을 때 상기 제1 펌프(111)를 중단시킨다.On the container 10, an upper liquid level sensor 13 and a lower liquid level sensor 14 are provided at intervals, and the upper liquid level sensor 13 and the lower liquid level sensor 14 are provided with the first pump 111. Electrically connected, when the liquid level of the chemical liquid in the container 10 is lower than or equal to the lower liquid level sensor 14, the first pump 111 is operated to input the chemical liquid and the liquid level of the chemical liquid is The first pump 111 is stopped when it is higher than or equal to the upper liquid level sensor 13.

상기 용기(10)의 상단부에는 기체 유입단(15) 및 기체 배출단(16)이 구비되고 상기 기체 유입단(15)에는 기체원(미도시)이 연결되어 기체(미도시)를 상기 용기(10)에 입력하여 상기 화학 액체를 안정화시킴으로써 상기 용기(10) 내부가 정압(positive pressure)을 유지하게 하며, 상기 기체 배출단(16)에는 체크 밸브(161)(상기 체크 밸브(161)는 단일 방향으로 외부로 배기함)가 구비됨으로써 용기(10) 내의 액면이 변할 때 체크 밸브(161)에 의해 배기될 수 있게 한다.A gas inlet end 15 and a gas outlet end 16 are provided at an upper end of the container 10, and a gas source (not shown) is connected to the gas inlet end 15 to supply gas (not shown) to the container ( 10) to stabilize the chemical liquid by inputting the inside of the container 10 to maintain a positive pressure (positive pressure), and the gas outlet 16 has a check valve 161 (the check valve 161 is a single It is provided to be exhausted outward in the direction) so that when the liquid level in the container 10 changes, it can be exhausted by the check valve 161.

여과부(20)에는 제2 입력단(21), 정화 액체 출력단(22) 및 폐기 액체 출력단(23)이 구비되고, 상기 제2 입력단(21)은 상기 제1 출력단(12)에 연결되고, 상기 여과부(20) 내부에는 적어도 하나의 여과막(미도시)이 구비되고, 상기 화학 액체는 상기 제2 입력단(21)으로 상기 여과부(20) 내에 진입하며, 화학 액체는 상기 여과막을 거쳐 상기 정화 액체 출력단(22) 및 폐기 액체 출력단(23)으로 출력된다.The filter unit 20 is provided with a second input terminal 21, a purified liquid output terminal 22 and a waste liquid output terminal 23, the second input terminal 21 is connected to the first output terminal 12, the At least one filter membrane (not shown) is provided inside the filter unit 20, the chemical liquid enters the filter unit 20 through the second input terminal 21, and the chemical liquid passes through the filter membrane to purify It is output to the liquid output stage 22 and the waste liquid output stage 23.

화학 액체에 오물이나 이물질이 함유되기에 화학 액체가 여과막을 통과할 때 유체흐름의 특성에 의해 화학 액체가 용이하게 통과할 수 있는 여과막 부위로 우선 통과하기에 잔류되는 오물이나 이물질이 비교적 많으며, 이러한 화학 액체는 더 이상 사용할 수 없기 때문에 폐기 액체 출력단(23)으로 출력되며, 오물이나 이물질이 비교적 적은 화학 액체는 정화 액체 출력단(22)으로 출력된다.Since the chemical liquid contains dirt or foreign matter, when the chemical liquid passes through the filtration membrane, due to the characteristics of the fluid flow, there are relatively many dirt or foreign substances remaining in the first pass through the filtration membrane region through which the chemical liquid can easily pass. Since the chemical liquid can no longer be used, it is output to the waste liquid output terminal 23, and the chemical liquid having relatively little dirt or foreign substances is output to the purification liquid output terminal 22.

상기 제2 펌프(121)는 상기 제1 출력단(12)과 상기 여과부(20) 사이에 설치되며, 상기 제2 펌프(121)로 상기 화학 액체를 상기 여과부(20) 내에 펌핑한다.The second pump 121 is installed between the first output terminal 12 and the filtration unit 20, and pumps the chemical liquid into the filtration unit 20 with the second pump 121.

도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 여과부(20)의 정화 액체 출력단(22)과 상기 폐기 액체 출력단(23)에는 각각 제1 밸브 몸체(221) 및 제2 밸브 몸체(231)가 구비되고 상기 제1 밸브 몸체(221)와 상기 제2 밸브 몸체(231)는 컴퓨터(40)에 전기적으로 연결되며, 상기 컴퓨터(40)에는 터치형 인터페이스부(미도시)가 구비되어 상기 터치형 인터페이스를 통해 상기 제1 밸브 몸체(221)의 개폐 시기 및 상기 제2 밸브 몸체(231)의 개도 크기를 설정하고 백분율로 표시하며(예를 들어, 제2 밸브 몸체(231)를 완전히 열리게 설정하면 100%를 표시함), 제2 밸브 몸체(231)의 개도가 크면 출력되는 유량이 크고 이와 반대로 개도가 작으면 출력되는 유량이 작다.1 and 2, a first valve body 221 and a second valve body 231 are provided at the purification liquid output end 22 and the waste liquid output end 23 of the filtration unit 20, respectively. The first valve body 221 and the second valve body 231 are electrically connected to the computer 40, and the computer 40 is provided with a touch-type interface unit (not shown) to provide the touch-type interface. Through the opening and closing timing of the first valve body 221 and the opening degree of the second valve body 231 is set and displayed as a percentage (for example, if the second valve body 231 is completely opened, 100% ), The output flow rate is large when the opening degree of the second valve body 231 is large, and the output flow rate is small when the opening degree is small.

상기 여과부(20)에는 상기 컴퓨터(40)에 전기적으로 연결되는 압력 센서(24)가 구비되어 상기 여과부(20) 내부의 압력을 감지하고 적어도 하나의 압력 정보(241)를 상기 컴퓨터(40)에 전송하며, 상기 컴퓨터의 터치형 인터페이스부에 의해 적어도 하나의 압력값(미도시)이나 적어도 하나의 폐기 액체 유량값(미도시)을 설정하며, 상기 컴퓨터(40)는 상기 압력 정보(241)와 상기 압력값을 비교하여 압력 정보(241)가 압력값보다 클 경우 화학 액체가 여과막을 통과하기 어렵기 때문에 컴퓨터(40)는 제2 펌프(121)의 전력을 높이도록 제어함으로써 화학 액체가 여과막을 통과하도록 구동한다. The filtration unit 20 is provided with a pressure sensor 24 that is electrically connected to the computer 40 to sense the pressure inside the filtration unit 20 and to receive at least one pressure information 241 from the computer 40. ), And sets at least one pressure value (not shown) or at least one waste liquid flow rate value (not shown) by the touch-type interface unit of the computer, and the computer 40 sets the pressure information 241 ) And the pressure value to compare the pressure information (241) is greater than the pressure value, because the chemical liquid is difficult to pass through the filtration membrane, the computer (40) controls the chemical liquid by increasing the power of the second pump (121). It is driven to pass through the filtration membrane.

상기 제2 밸브 몸체(231)를 통해 출력되는 화학 액체가 상기 폐기 액체 유량값보다 클 경우, 상기 컴퓨터(40)가 상기 제2 밸브 몸체(231)의 개도를 낮추도록 제어한다.When the chemical liquid output through the second valve body 231 is greater than the waste liquid flow rate, the computer 40 controls the opening of the second valve body 231 to be lowered.

폐기 액체 유량값은 폐기 액체 출력단으로부터 출력되는 화학 액체를 가리키며, 실제적으로는 비용을 고려해야 하기 때문에 너무 많은 폐기 액체를 배출하면(즉 폐기 액체 유량값이 높으면) 공장은 비용 부담이 커지게 되기 때문에 사용자는 필요에 따라 폐기 액체 유량값을 설정할 수 있다. 폐기 액체 유량값이 비교적 높을 경우 컴퓨터(40)로 제2 밸브 몸체(231)의 개도를 제어하며, 개도가 작으면 폐기 액체 유량값도 작다.The waste liquid flow rate value refers to the chemical liquid output from the waste liquid output stage, and the actual cost must be considered, so if too much waste liquid is discharged (i.e., the waste liquid flow rate is high), the plant becomes expensive, and the user Can set the waste liquid flow rate value as needed. When the waste liquid flow rate is relatively high, the opening degree of the second valve body 231 is controlled by the computer 40, and when the opening liquid flow rate is small, the waste liquid flow rate value is also small.

제2 밸브 몸체(231)의 개도 크기는 여과부(20) 내부의 압력 크기와 반비례 한다. 다시 말해, 제2 밸브 몸체(231)의 개도가 클 경우, 여과부(20) 내부의 압력이 작고 화학 액체는 여과막을 용이하게 신속히 통과할 수 있다.The opening degree of the second valve body 231 is inversely proportional to the pressure inside the filtering unit 20. In other words, when the opening degree of the second valve body 231 is large, the pressure inside the filter unit 20 is small and the chemical liquid can easily pass through the filter membrane quickly.

세척부(30)는 적어도 하나의 튜브 몸체(31)를 포함하고 상기 튜브 몸체(31)의 일단은 순수 공급원(미도시)에 연결되며, 상기 튜브 몸체(31)에는 컴퓨터(40)와 전기적으로 연결되는 제3 펌프(311) 및 컴퓨터(40)와 전기적으로 연결되는 제3 밸브 몸체(312)가 구비되고, 제3 펌프(311)를 이용해서 순수 공급원으로부터 물을 흡입하고 컴퓨터(40)로 제3 밸브 몸체(312)의 개폐를 제어하며, 상기 튜브 몸체(31)의 타단은 상기 여과부(20)에 연통되고 상기 순수 공급원으로부터 순수를 여과부(20)에 대량으로 입력하여 상기 여과막을 세척하며 상기 폐기 액체 출력단(23)으로 배출한다. The washing unit 30 includes at least one tube body 31 and one end of the tube body 31 is connected to a pure water source (not shown), and the tube body 31 is electrically connected to the computer 40. A third pump body 311 that is connected and a third valve body 312 that is electrically connected to the computer 40 are provided, and the third pump 311 is used to suck water from a pure source and to the computer 40 Controlling the opening and closing of the third valve body 312, the other end of the tube body 31 communicates with the filtration unit 20 and inputs a large amount of pure water from the pure water supply source to the filtration unit 20 to open the filtration membrane. It is washed and discharged to the waste liquid output terminal (23).

상기 압력 정보(241)가 상기 압력값보다 클 경우 여과부(20)의 여과막이 이미 막혔다는 것을 의미한다. 화학 액체가 여과막을 통과하는 속도가 낮아져서 여과부(20)의 내부압력이 높아지기 때문에 반드시 여과막을 세척해야 한다.When the pressure information 241 is larger than the pressure value, it means that the filtration membrane of the filtration unit 20 is already blocked. Since the speed at which the chemical liquid passes through the filtration membrane is lowered and the internal pressure of the filtration unit 20 is increased, the filtration membrane must be washed.

컴퓨터(40)에 의해 상기 제1 밸브 몸체(221)를 닫고 상기 제2 밸브 몸체(231)를 열며 제3 펌프(311) 및 제3 밸브 몸체(312)를 작동시켜 순수를 여과부(20)에 대량으로 입력하여(대량의 순수는 적어도 상기 화학 액체의 1배이다) 상기 여과막을 세척하며 상기 폐기 액체 출력단(23)으로 상기 여과막을 세척한 폐기 액체를 배출한다.The first valve body 221 is closed by the computer 40, the second valve body 231 is opened, and the third pump 311 and the third valve body 312 are operated to filter pure water. In a large amount (in a large amount of pure water is at least 1 times the chemical liquid), the filter membrane is washed, and the waste liquid that is washed with the filter membrane is discharged to the waste liquid output terminal 23.

컴퓨터(40)의 터치형 인터페이스부는 세척 시간값(미도시)를 설정하도록 제공되고 상기 세척 시간값은 1분 이상이며, 이로써 사용자가 순수로 상기 여과막을 세척하는 시간 길이를 자체로 설정할 수 있게 한다.The touch-type interface unit of the computer 40 is provided to set a washing time value (not shown), and the washing time value is 1 minute or more, thereby allowing a user to set the length of time for washing the filter membrane with pure water. .

이외에, 컴퓨터(40)의 터치형 인터페이스부는 상기 여과부(20) 및 세척부(30)의 작동 시간 주기를 설정할 수 있다. 예를 들어, 사용자는 여과부(20)가 1시간 동안 작동한 후 여과를 중단하는 동시에 세척부(30)를 작동시켜 여과막을 세척하도록 할 수 있고, 여과막을 세척하는 시간은 설정된 세척 시간값에 따라 결정된다. 사용자는 또한 필요에 따라 압력 조건, 시간 조건 또는 유량 조건으로 화학 액체의 여과를 작동하는 시기 또는 여과막의 세척을 작동하는 시기를 설정할 수 있으며, 압력 정보(241)가 압력값보다 크다는 조건에서 세척부(30)를 작동하는 것에 한정되지 않는다.In addition, the touch-type interface unit of the computer 40 may set an operation time period of the filtration unit 20 and the washing unit 30. For example, the user can stop the filtration after the filter unit 20 is operated for 1 hour, and at the same time operate the washing unit 30 to wash the filter membrane, and the time for washing the filter membrane is set to the set washing time value. It depends. The user can also set the timing of operating the filtration of the chemical liquid or the washing of the filtration membrane under pressure conditions, time conditions or flow conditions, if necessary, and the washing unit under the condition that the pressure information 241 is greater than the pressure value. It is not limited to operating 30.

1: 화학막 여과장치 10: 용기
11: 제1 입력단 111: 제1 펌프
12: 제1 출력단 121: 제2 펌프
13: 상부 액면 센서 14: 하부 액면 센서
15: 기체 유입단 16: 기체 배출단
161: 체크 밸브 20: 여과부
21: 제2 입력단 22: 정화 액체 출력단
221: 제1 밸브 몸체 23: 폐기 액체 출력단
231: 제2 밸브 몸체 24: 압력 센서
241: 압력 정보 30: 세척부
31: 튜브 몸체 311: 제3 펌프
312: 제3 밸브 몸체 40: 컴퓨터
1: Chemical membrane filtration device 10: Container
11: first input 111: first pump
12: first output stage 121: second pump
13: upper liquid level sensor 14: lower liquid level sensor
15: gas inlet end 16: gas outlet
161: check valve 20: filter
21: second input stage 22: purification liquid output stage
221: first valve body 23: waste liquid output stage
231: second valve body 24: pressure sensor
241: pressure information 30: cleaning unit
31: tube body 311: third pump
312: third valve body 40: computer

Claims (5)

화학막 여과장치에 있어서,
제1 입력단 및 제1 출력단를 구비하되, 상기 제1 입력단으로 미리 설정된 용량의 화학 액체를 입력하여 내부에 저장하는 적어도 하나의 용기;
상기 제1 출력단에 연결되는 제2 입력단, 폐기 액체 출력단 및 정화 액체 출력단을 구비하며, 내부에 적어도 하나의 여과막이 구비되는 적어도 하나의 여과부; 및
일단이 순수 공급원에 연결되고 타단은 상기 여과부에 연통되는 적어도 하나의 튜브 몸체를 구비하는 세척부;를
포함하는 것을 특징으로 하는 화학막 여과장치.
In the chemical membrane filtration device,
At least one container having a first input terminal and a first output terminal, and inputting and storing a chemical liquid having a preset capacity to the first input terminal therein;
At least one filter unit having a second input terminal connected to the first output terminal, a waste liquid output terminal and a purified liquid output terminal, and having at least one filter membrane therein; And
A washing unit having at least one tube body which is connected to a pure water supply source and the other end communicating with the filtering unit;
Chemical membrane filtration device comprising a.
제1항에 있어서,
상기 용기의 제1 입력단과 상기 제1 출력단에는 각각 제1 펌프 및 제2 펌프가 구비되고, 상기 제1 펌프와 상기 제2 펌프는 컴퓨터에 전기적으로 연결되고, 상기 컴퓨터에는 터치형 인터페이스부가 구비되고, 상기 용기에는 상부 액면 센서 및 하부 액면 센서가 간격을 두고 구비되고, 상기 상부 액면 센서 및 상기 하부 액면 센서는 상기 제1 펌프와 전기적으로 연결되고, 상기 여과부의 폐기 액체 출력단과 상기 정화 액체 출력단에는 각각 제1 밸브 몸체 및 제2 밸브 몸체가 구비되며, 상기 제1 밸브 몸체와 상기 제2 밸브 몸체는 상기 컴퓨터에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 화학막 여과장치.
According to claim 1,
A first pump and a second pump are respectively provided at the first input terminal and the first output terminal of the container, and the first pump and the second pump are electrically connected to a computer, and the computer is provided with a touch-type interface unit. , The container is provided with an upper liquid level sensor and a lower liquid level sensor at intervals, the upper liquid level sensor and the lower liquid level sensor are electrically connected to the first pump, and the waste liquid output terminal and the purified liquid output terminal of the filtration unit are Each of which is provided with a first valve body and a second valve body, the first valve body and the second valve body is a chemical membrane filtration device, characterized in that electrically connected to the computer.
제2항에 있어서,
상기 용기에는 기체 유입단 및 기체 배출단이 구비되고, 상기 기체 유입단에는 기체원이 연결되며, 상기 기체 배출단에는 체크 밸브가 구비되는 것을 특징으로 하는 화학막 여과장치.
According to claim 2,
The container is provided with a gas inlet and a gas outlet, a gas source is connected to the gas inlet, a chemical membrane filtration device characterized in that the gas outlet is provided with a check valve.
제2항에 있어서,
상기 여과부에는 상기 컴퓨터와 전기적으로 연결되는 압력 센서가 구비되는 것을 특징으로 하는 화학막 여과장치.
According to claim 2,
Chemical filter device, characterized in that the filter is provided with a pressure sensor that is electrically connected to the computer.
제2항에 있어서,
상기 컴퓨터의 터치형 인터페이스부는 세척 시간값을 설정하도록 제공되는 것을 특징으로 하는 화학막 여과장치.
According to claim 2,
A chemical membrane filtering device, characterized in that the touch-type interface unit of the computer is provided to set a washing time value.
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JP2009131811A (en) * 2007-11-30 2009-06-18 Horiba Ltd Filtration method and filtration apparatus
KR20160049398A (en) * 2014-10-27 2016-05-09 박현석 Filtering appratus

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