KR19990042151A - 크린 와이퍼 - Google Patents

Abstract

반도체 제조 공정에서 화학 약품 등을 제거하기 위하여 크린 와이퍼를 사용할 때 제거하고자 하는 약품의 종류를 작업자가 용이하게 알 수 있도록 하기 위한 크린 와이퍼는 크린 와이퍼의 일부분에 화학 약품의 수소 이온 농도를 측정할 수 있는 검출부를 설치한다. 즉, 화학 약품을 제거하기 위한 크린 와이퍼(clean wiper)의 일부에 화학 약품의 수소 이온 농도를 측정하기 위한 적어도 하나의 검출부를 설치하는 것이다.

Description

크린 와이퍼(CLEAN WIPER)

본 발명은 크린 와이퍼(clean wiper)에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 반도체 제조 공정에서 이물질을 제거하기 위하여 사용되는 크린 와이퍼에 관한 것이다.

반도체 제조 공정은 공정의 특성상 많은 양의 화학 약품을 사용하고, 여러 종류의 화학 약품을 사용하게 된다. 따라서, 반도체 제조 공정에서 사용된 화학 약품을 안전하고 효율적으로 제거하기 위한 다양한 방법이 사용되고 있다. 그 중에서 반도체 제조 공정에 사용되는 크린 와이퍼(clean wiper)는 반도체 제조 공정에서 사용되는 많은 약품을 닦아 내기 위하여 사용되는 것이다.

이때, 반도체 제조 공정에서 사용되는 약품 중에는 강산성인 불산(hydrofluoric acid) 등과 같이 무색 무취이며, 인체에 해로운 많은 약품들이 있다.

그러나, 작업자가 공정 진행시 약품을 닦을 때 상기 약품은 물과 같이 인체에 해로운 약품과 구별할 수 없는 문제점이 있다. 따라서, 작업자는 크린 와이퍼를 사용하여 약품을 제거할 때 특별한 보호구를 착용하지 않고 작업을 하게 되는 경우가 종종 발생하게 된다. 이와 같은 문제점으로 인하여 약품을 크린 와이퍼를 처리하는 중에 인체에 유해한 약품을 일반적인 약품과 같이 작업하므로써 안전 사고의 위험을 내재하게 된다.

또한, 사용한 크린 와이퍼의 폐기시 약품의 성분별로 분리하여 폐기하는 것을 원칙으로 하고 있으나, 크린 와이퍼를 사용할 때 작업자는 약품의 성분을 정확하게 알 수 없으므로, 약품 별로 분리하여 폐기하는 것이 용이하지 않다. 따라서, 산성의 약품과 알칼리성의 약품에 사용한 크린 와이퍼가 같이 수거되므로써 문제가 발생되며, 폐기시 일반 폐기물과 같이 폐기되는 경우가 종종 발생하게 된다.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 반도체 제조 공정에서 크린 와이퍼를 사용하여 화학 약품을 제거할 때 작업자가 크린 와이퍼를 사용하면서 크린 와이퍼로 제거하고자 하는 약품의 종류를 용이하게 판단할 수 있는 새로운 형태의 크린 와이퍼를 제공하는데 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 크린 와이퍼를 도시한 정면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 크린 와이퍼

12 : 검출부

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 화학 약품을 제거하기 위한 크린 와이퍼(clean wiper)는 상기 크린 와이퍼의 일부에 화학 약품의 수소 이온 농도를 측정하기 위한 적어도 하나의 검출부를 포함한다.

이와 같은 본 발명에서 상기 검출부는 상기 크린 와이퍼의 한 모서리에 형성된다. 상기 검출부는 수소 이온 농도를 측정하기 위한 시약이 도포된다.

본 발명은 반도체 제조 공정에서 화학 약품 등을 제거하기 위하여 크린 와이퍼를 사용할 때 제거하고자 하는 약품의 종류를 작업자가 용이하게 알 수 있도록 하기 위한 것이다.

이때, 화학 약품의 종류를 관리하기 위하여 사용되는 것 중의 하나가 수소 이온 농도(potential of hydrogen)이다. 일반적으로 수소 이온 농도가 7일 때를 기준으로 산성과 알칼리성을 분류하게 된다. 따라서, 본 발명은 작업자가 크린 와이퍼로 소정 약품을 제거할 때 그 약품의 수소 이온 농도가 어느 정도되는 지를 알 수 있도록 한다.

한편, 작업자가 크린 와이퍼를 사용할 때 제거하고자 하는 약품이 어떤 종류인가를 바로 알 수 있도록 해야 한다. 따라서, 본 발명은 도 1에서 도시한 바와 같이, 크린 와이퍼(10)의 일부분에 화학 약품의 수소 이온 농도를 측정할 수 있는 검출부(12)를 설치한다. 즉, 화학 약품을 제거하기 위한 크린 와이퍼(clean wiper)에 의 일부에 화학 약품의 수소 이온 농도를 측정하기 위한 적어도 하나의 검출부를 설치하는 것이다.

이때, 상기 검출부(12)는 상기 크린 와이퍼(10)의 한 모서리에 형성시켜서 작업자가 용이하게 확인할 수 있도록 한다. 그리고, 상기 검출부(12)는 수소 이온 농도를 측정하기 위한 시약을 도포하여 사용할 수 있다.

이와 같이 수소 이온 농도를 검출하기 위한 검출부(12)가 설치된 크린 와이퍼를 사용하면, 작업자는 작업중에 제거하고자 하는 약품의 종류를 바로 파악할 수 있다. 따라서, 유해한 약품에 대한 대비를 하고 작업을 진행할 수 있으며, 사용된 크린 와이퍼를 폐기시 화학 약품의 종류별로 분리하여 수거할 수 있다.

한편, 본 발명의 실시예에 따른 크린 와이퍼를 수소 이온 농도를 측정하기 위한 검출부가 없는 크린 와이퍼의 중간 중간에 끼워서 사용한다면 그 사용 효과를 더욱 증대시킬 수 있을 것이다.

이와 같은 본 발명을 적용하면 반도체 제조 공정에서 크린 와이퍼를 이용하여 화학 약품을 제거할 때 작업자가 용이하게 화학 약품의 종류를 알 수 있다. 따라서, 인체에 해로운 약품을 바로 인지할 수 있으므로, 인체에 해로운 약품에 대한 안전 사고를 미연에 방지할 수 있다. 그리고, 작업자가 크린 와이퍼를 사용하여 약품을 제거한 후, 약품의 종류를 알 수 있으므로 크린 와이퍼를 폐기시 그 종류 별로 분리하여 폐기하는 것이 용이하다.

Claims (3)

1. 화학 약품을 제거하기 위한 크린 와이퍼(clean wiper)에 있어서,

   상기 크린 와이퍼의 일부에 화학 약품의 수소 이온 농도를 측정하기 위한 적어도 하나의 검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 크린 와이퍼.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 검출부는 상기 크린 와이퍼의 한 모서리에 형성되는 것을 특징으로 하는 크린 와이퍼.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 검출부는 수소 이온 농도를 측정하기 위한 시약이 도포된 것을 특징으로 하는 크린 와이퍼.