KR19990038483A - Dust discrimination apparatus and method for inspecting image device - Google Patents
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Abstract
본 발명은 화상디바이스의 검사시 결함과 먼지의 형태적인 차이를 이용하여 먼지와 결함을 구별 함으로써 화상디바이스 검사에 정확성을 가하도록 한 화상디바이스 검사를 위한 먼지 구별 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 이러한 본 발명은 후면광을 이용해 검출된 결함 후보점에 해당되는 영상을 구멍의 형태로써 구분할 수 있을 정도로 확대하고, 그 확대된 영상을 배경부, 구멍부, 먼지부의 3단계로 3치화시킨 후, 3치화된 영상의 구멍을 형태처리하여 구멍 주변부의 볼록 여부를 분석하여 먼지 여부를 판정하고, 상기 3치화된 영상으로부터 배경부와 구멍부에 해당하지 않는 먼지부 영역의 면적을 계산하여 먼지 여부를 판정하는 밝기분석과정으로 먼지 여부를 결정 함으로써 먼지와 결함을 정확하게 구분하게 되는 것이다.The present invention relates to a dust discriminating apparatus and method for inspecting an image device for correcting an image device inspection by distinguishing dust and defects by using a morphological difference between defects and dust when inspecting an image device. According to the present invention, an image corresponding to a defect candidate point detected using a back light is enlarged to be distinguished in the form of a hole, and the enlarged image is digitized in three steps in a background part, a hole part, and a dust part, and then digitized. Forming a hole of the image to analyze the convexity of the periphery of the hole to determine whether the dust, and from the digitized image to calculate the area of the dust region that does not correspond to the background portion and the hole portion to determine whether the dust The brightness analysis process determines whether there is dust, so that dust and defects can be distinguished accurately.
Description
본 발명은 규칙적 미세 패턴을 갖는 플랫 판넬 디스플레이 디바이스(이하, 화상디바이스), 예를 들면 섀도우-마스크의 경우, 섀도우-마스크의 구멍을 검사하는 경우 먼지와 결함을 구별토록 한 먼지 구별 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a flat panel display device having a regular fine pattern (hereinafter referred to as an image device), for example, a shadow discriminating apparatus for distinguishing dust from defects when inspecting a hole of a shadow mask. .
일반적으로, 섀도우-마스크(Shadow-Mask)는 백만개가 넘는 구멍들이 규칙적인 패턴을 이루며 구멍되어 있다.In general, the shadow-mask has more than one million holes formed in a regular pattern.
이들 구멍들은 균일한 크기를 가져야 한다.These holes should have a uniform size.
만약, 임의의 구멍이 주변의 구멍들보다 크기가 일정량 이상 크거나 작으면 불량으로 분류된다.If any hole is larger or smaller in size than the surrounding holes, it is classified as defective.
이를 검사하기 위해 종래에는 후면광(Backlight)을 이용한다.To check this, conventionally, a backlight is used.
즉, 구멍의 크기가 주변 구멍들보다 크면 후면광 조명을 사용했을 때 주변보다 밝게 나타나고, 구멍의 크기가 주변 구멍들보다 작으면 상대적으로 어둡게 나타난다.That is, when the size of the hole is larger than the surrounding holes, the light appears brighter than the surroundings when the backlight is used, and when the size of the hole is smaller than the surrounding holes, it appears relatively dark.
따라서 포토센서나 카메라등을 이용하여 주변보다 밝거나 어두운 부분을 찾으면 섀도우-마스크의 결함을 검출할 수 있다.Therefore, if a bright or dark area is found using a photosensor or a camera, the shadow-mask defect can be detected.
그런데, 상기와 같이 후면광을 이용하여 주변보다 밝거나 어두운 부분을 검출하는 종래의 섀도우-마스크 검사 방법은, 섀도우-마스크 상에 먼지가 존재하면 주변보다 어둡게 나타나 결함으로 오인되는 문제점을 발생 하였다.However, the conventional shadow-mask inspection method that detects brighter or darker portions than the surroundings by using the back light as described above, when dust is present on the shadow-mask, appears darker than the surroundings and is mistaken as a defect.
만약, 섀도우-마스크 구멍중 임의의 구멍에 먼지가 존재하는 경우 먼지는 다음 공정에서 제거가 가능 한데도 불구하고 섀도우-마스크가 불량으로 판정된다.If dust is present in any of the shadow-mask holes, the shadow-mask is determined to be defective even though the dust can be removed in the next process.
이에 본 발명은 상기와 같은 종래 화상디바이스 검사시 발생하는 제반 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서,Accordingly, the present invention has been proposed to solve various problems that occur when the conventional image device inspection as described above,
본 발명은 화상디바이스의 검사시 결함과 먼지의 형태적인 차이를 이용하여 먼지와 결함을 구별 함으로써 화상디바이스 검사에 정확성을 기하도록 한 화상디바이스 검사를 위한 먼지 구별 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a dust discriminating device for inspecting an image device, in which an image device is inspected for accuracy by distinguishing dust and defects by using a morphological difference between defects and dust when inspecting an image device.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 장치는, 후면광을 이용해 검출된 결함 후보점에 해당되는 영상을 구멍의 형태로써 구분할 수 있을 정도로 확대하는 확대 광학계와; 상기 확대 광학계에서 확대된 영상을 입력받는 영상 입력수단과; 상기 영상 입력수단에서 얻어지는 영상을 배경부, 구멍부, 먼지부의 3단계로 3치화시키는 영상 3치화수단과; 상기 영상 3치화수단에서 얻어지는 영상의 구멍을 형태처리하여 구멍 주변부의 볼록 여부를 분석하는 형태분석수단과; 상기 영상 3치화수단에서 얻어지는 영상으로부터 배경부와 구멍부에 해당하지 않는 먼지부 영역의 면적을 계산하여 먼지 여부를 판정하는 밝기분석수단과; 상기 형태분석수단 및 밝기분석수단에서 각각 얻어지는 결과치로 먼지 또는 결함을 판정하는 종합판단수단으로 이루어진다.The apparatus of the present invention for achieving the above object, and the magnification optical system for enlarging the image corresponding to the defect candidate point detected using the back light to the extent that can be distinguished in the form of a hole; Image input means for receiving an image enlarged by the magnification optical system; Image digitization means for digitizing the image obtained by the image input means in three stages of a background portion, a hole portion, and a dust portion; Shape analysis means for analyzing the convexity of the periphery of the hole by shaping the hole of the image obtained by the image digitizing means; Brightness analysis means for determining whether there is dust by calculating an area of a dust portion region not corresponding to a background portion and a hole portion from an image obtained by the image digitizing means; Comprising: a comprehensive determination means for determining dust or defects as a result obtained by the shape analysis means and the brightness analysis means, respectively.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 방법은, 후면광을 이용해 검출된 결함 후보점에 해당되는 영상을 구멍의 형태로써 구분할 수 있을 정도로 확대한 영상을 입력받는 영상 입력과정과; 상기 입력 영상을 배경부, 구멍부, 먼지부의 3단계로 3치화시키는 영상 3치화과정과; 상기 3치화된 영상의 구멍을 형태처리하여 구멍 주변부의 볼록 여부를 분석하는 형태분석과정과; 상기 3치화된 영상으로부터 배경부와 구멍부에 해당하지 않는 먼지부 영역의 면적을 계산하여 먼지 여부를 판정하는 밝기분석과정과; 상기 형태분석과정 및 밝기분석과정에서 각각 얻어지는 결과치로 먼지 또는 결함을 판정하는 종합판단과정으로 이루어진다.According to an aspect of the present invention, there is provided an image input process of receiving an enlarged image such that an image corresponding to a defect candidate point detected using a back light can be distinguished in the form of a hole; An image digitization process of digitizing the input image in three stages of a background portion, a hole portion, and a dust portion; A shape analysis process of analyzing the convexity of the periphery of the hole by processing the hole of the digitized image; A brightness analysis process of determining whether dust is present by calculating an area of a dust region not corresponding to a background portion and a hole portion from the digitized image; Comprising the results obtained in the shape analysis process and the brightness analysis process consists of a comprehensive determination process for determining dust or defects.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 의거 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention will be described in detail.
도 1은 본 발명에 의한 섀도우-마스크 검사를 위한 먼지 구별 장치 블록 구성도,1 is a block diagram of a dust discriminating device for shadow-mask inspection according to the present invention;
도 2는 본 발명에서 결함과 먼지의 구별을 위한 영상도로써,2 is an image diagram for distinguishing a defect and dust in the present invention,
(a)는 섀도우-마스크 결함시 영상도,(a) is an image diagram when a shadow-mask defect,
(b), (c)는 구멍의 주변부가 전체적으로 볼록하지 않은 먼지의 영상도,(b), (c) is an image of dust whose periphery of the hole is not entirely convex,
(d), (e)는 밝기가 배경부와 구멍부에 해당하지 않는 먼지의 영상도,(d), (e) shows the image of dust whose brightness does not correspond to the background part and the hole part,
도 3은 본 발명에서 밝기 분석에 의한 먼지의 구별 방법을 보인 영상의 일예도로써,3 is an example of an image showing a method of distinguishing dust by brightness analysis according to the present invention.
(a)는 원래 영상을 나타내고,(a) represents the original image,
(b)는 배경부에 해당하는 부분과 해당하지 않는 부분과의 분리 영상도이고,(b) is a separated image diagram of a part corresponding to a background part and a part not corresponding to the background part,
(c)는 구멍부에 해당하는 부분과 해당하지 않는 부분과의 분리영상도이다.(c) is a separated image diagram of a portion corresponding to a hole and a portion not applicable.
도 4는 본 발명에서 형태 분석에 의한 먼지 구별 방법을 보인 영상의 일예도로써,4 is an example of an image showing a method of distinguishing dust by morphology analysis in the present invention.
(a)는 기본 형태 요소를 나타낸 영상이고,(a) is an image showing the basic shape elements,
(b)는 형태분석 처리 과정을 보인 영상이고,(b) is an image showing a morphological analysis process,
(c)는 형태분석후 먼지부로 검출된 영역의 영상도이다.(c) is an image diagram of the area detected by the dust part after shape analysis.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>
10 : 확대 광학계 20 : 영상 입력부10: magnification optical system 20: image input unit
30 : 영상 3차화부 40 : 형태 분석부30: image tertiary part 40: shape analysis unit
50 : 밝기 분석부 60 : 종합 판단부50: brightness analysis unit 60: comprehensive determination unit
첨부한 도면 도 1은 본 발명에 의한 화상디바이스 검사를 위한 먼지 구별장치 블록 구성도이다.1 is a block diagram of a dust discriminating apparatus for inspecting an image device according to the present invention.
여기서 참조번호 10은 후면광을 이용해 검출된 결함 후보점에 해당되는 영상을 구멍의 형태로써 구분할 수 있을 정도로 확대하는 확대 광학계이고, 참조번호 20은 상기 확대 광학계(10)에서 확대된 영상을 입력받는 영상 입력부이며, 참조번호 30은 상기 영상 입력부(20)에서 얻어지는 영상을 배경부, 구멍부, 먼지부의 3단계로 3치화시키는 영상 3치화부이다.Here, reference numeral 10 denotes an enlarged optical system that enlarges the image corresponding to the defect candidate point detected using the back light to the extent of the shape of a hole, and reference numeral 20 receives an enlarged image of the enlarged optical system 10. An image input unit, and reference numeral 30 denotes an image digitization unit for digitizing the image obtained by the image input unit 20 in three stages of a background unit, a hole unit, and a dust unit.
또한, 참조번호 40은 상기 영상 3치화부(30)에서 얻어지는 영상의 구멍을 형태처리하여 구멍 주변부의 볼록 여부를 분석하는 형태분석부이고, 참조번호 50은 상기 영상 3치화부(30)에서 얻어지는 영상으로부터 배경부와 구멍부에 해당하지 않는 먼지부 영역의 면적을 계산하여 먼지 여부를 판정하는 밝기분석부이고, 참조번호 60은 상기 형태분석부(40) 및 밝기분석부(50)에서 각각 얻어지는 결과치로 먼지 여부를 판정하는 종합판단부이다.In addition, reference numeral 40 is a shape analysis unit for analyzing the convexity of the periphery of the hole by processing the shape of the image obtained from the image digitization unit 30, reference numeral 50 is obtained from the image digitization unit 30 It is a brightness analysis unit for determining whether the dust by calculating the area of the dust region that does not correspond to the background portion and the hole portion from the image, reference numeral 60 is obtained by the shape analysis unit 40 and the brightness analysis unit 50, respectively It is a comprehensive judgment part that judges whether there is dust by the result value.
이와 같이 구성된 본 발명에 의한 섀도우-마스크 검사를 위한 먼지 구별 장치의 작용을 첨부한 도면 도 2 내지 도 4에 의거 상세히 설명하면 다음과 같다.The operation of the dust discriminating apparatus for shadow-mask inspection according to the present invention configured as described above will be described in detail with reference to FIGS. 2 to 4.
먼저, 본 발명에서 섀도우-마스크의 결함과 먼지를 구분하기 위해서 이용하는 방법은 결함과 먼지의 형태적인 차이를 이용하는 것이다.First, in the present invention, the method used to distinguish the defects and dust of the shadow-mask is to use the morphological difference between the defects and the dust.
이를 위해 기존과 같은 후면광을 이용해 검출된 결합 후보점에 해당되는 영상을 확대 광학계(10)에서 구멍의 형태로써 구분할 수 있을 정도로 확대한다.To this end, the image corresponding to the coupling candidate point detected using the conventional back light is enlarged to be distinguished in the form of a hole in the magnification optical system 10.
이후 영상 입력부(20)를 통해 그 확대된 영상을 먼지와 결함을 판별하기 위한 시스템으로 입력시켜 먼지와 결함이 구분되도록 한다.Thereafter, the enlarged image is input to the system for determining dust and defects through the image input unit 20 so that dust and defects are distinguished.
일반적인 먼지와 결함의 특징을 간략히 살펴보면, 결함은 도 2의 (a)와 같이 전체적으로 볼록한 형태의 원 모양을 갖으며, 먼지는 도 2의 (b), (c)와 같이 구멍의 주변부가 일부 오목한 형태를 갖거나, (d), (e)와 같이 구멍 내부의 일부분이 구멍부나 배경부와는 다른 밝기를 갖는다.In brief, the characteristics of the dust and defects, the defect has a circular convex shape as shown in Figure 2 (a), the dust is concave around the hole as shown in (b), (c) of Figure 2 It has a shape, or a portion of the inside of the hole, such as (d), (e) has a different brightness than the hole or the background.
따라서 상기와 같은 먼지와 결함의 주된 특징을 이용하면 결함과 먼지를 구분할 수 있다.Therefore, by using the above main characteristics of dust and defects, it is possible to distinguish between defects and dust.
이를 위해 영상 3치화부(30)에서 입력 영상을 3치화시킨다.To this end, the image digitization unit 30 digitizes the input image.
즉, 입력 영상은 256단계의 밝기로 입력되는데, 이들 정보를 처리하기 위해서는 보다 적은 단계의 정보를 바꿀 필요가 있다. 따라서, 영상 3치화부(30)에서는 입력 영상을 배경부(섀도우-마스크의 철판부), 구멍(섀도우-마스크의 구멍부), 먼지부(철판부와 구멍부의 중간 밝기에 해당하는 부분)의 3단계의 정보로 바꾼다.In other words, the input image is input at 256 levels of brightness, but it is necessary to change the information of fewer levels in order to process the information. Accordingly, in the image digitization unit 30, the input image is divided into a background portion (the shadow plate mask portion), a hole (the shadow portion mask hole portion), and a dust portion (the portion corresponding to the intermediate brightness of the iron plate portion and the hole portion). Replace with the information in step 3.
상기 3단계의 정보로 변환하기 위해서는 2개의 역치값을 설정한다. 이중 작은 역치값보다 빛의 밝기가 낮은 픽셀들은 배경부에 해당하고, 큰 역치값보다 빛의 밝기가 높은 픽셀들은 구멍부에 해당한다. 물론 두 역치값의 중간값에 해당하는 픽셀들은 먼지부에 해당한다.In order to convert the information into the three levels, two threshold values are set. Pixels with a lower brightness than the small threshold value correspond to the background part, and pixels with a higher brightness than the large threshold value correspond to the hole part. Of course, the pixels corresponding to the middle of the two threshold values correspond to the dust part.
이러한 원리에 의해 입력 영상을 3치화 시키게 된다.Based on this principle, the input image is digitized.
한편, 밝기 분석부(50)는 상기 영상 3치화부(30)에서 배경 영역, 구멍 영역, 나머지 영역으로 구분된 3치화 영상을 입력 받으면, 그 3치화 영상으로부터 배경부와 구멍부에 해당하지 않는 먼지부 영역의 면적을 계산하여 면적이 일정크기(먼지 판별을 위해 실험에 의해 미리 얻어진 크기) 이상이 되면 먼지로 판정한다.On the other hand, when the brightness analyzer 50 receives the digitized image divided into the background area, the hole area, and the remaining area from the image digitizer 30, the brightness analyzer 50 does not correspond to the background part and the hole part from the digitized image. When the area of the dust area is calculated, if the area is equal to or larger than a certain size (preliminarily obtained by experiment for dust determination), it is determined as dust.
도 3의 (b)는 상기 3치화 과정에서 구한 작은 역치값보다 큰 밝기값을 갖는 픽셀들을 표시하였고, 도 3의 (c)는 상기 큰 역치값보다 큰 밝기값을 갖는 픽셀들을 표시하였다.3B illustrates pixels having a brightness value greater than the small threshold value obtained in the digitization process, and FIG. 3C illustrates pixels having a brightness value greater than the large threshold value.
여기서, (b)에서 검출된 영역에서 (c)에서 검출된 영역의 면적을 감산하면서 먼지부 영역의 면적이 된다.Here, the area of the dust area is obtained by subtracting the area of the area detected in (c) from the area detected in (b).
다음으로, 형태 분석부(40)는 상기 영상 3치화부(30)에서 얻어지는 3치화된 영상을 형태처리(morphology)하여 구멍의 주변부가 볼록한가 아닌가를 판별하여 먼지 여부를 판정한다.Next, the shape analyzer 40 morphology the digitized image obtained by the image digitizer 30 to determine whether the periphery of the hole is convex or not to determine whether it is dusty.
즉, 도 4의 (a)와 같이 내부가 꽉찬 원을 기본 형태 요소(Structuring Element)로 하여 도 4의 (b)와 같이 전체 영상을 돌아 다니며 기본 형태 요소에 해당하는 픽셀값들이 모두 배경부에 해당하면 기본 형태 요소에 해당하는 위치의 픽셀들은 모두 "1"로 채워 넣는다.That is, the entire circle as shown in (b) of FIG. 4 is used as the basic shape element (Structuring Element), as shown in (a) of FIG. 4, and all pixel values corresponding to the basic shape element are in the background part. If applicable, all pixels at the position corresponding to the basic shape element are filled with "1".
이 과정을 전 영상에 대해 처리한다.This process is processed for the whole image.
그 다음 배경에 해당하면서 동시에 "1"이 채워지지 않은 부분을 구하면 도 4의 (c)와 같이 구멍의 주변부가 블록하지 않은 영역만 남게 된다.Then, when the portion corresponding to the background and at the same time the portion that is not filled with "1" is obtained, only the region where the periphery of the hole is not blocked, as shown in FIG.
이들 영역의 면적을 구해 일정 크기(먼지 판별을 위해 실험에 의해 미리 산출된 기준 크기) 이상이 되면 먼지로 판정을 한다.If the area of these areas is found and it is larger than a certain size (the reference size calculated in advance by experiment for dust determination), it is determined as dust.
한편, 종합 판단부(60)는 상기 형태분석부(40)와 밝기분석부(50)에서 각각 얻어지는 결과치로 먼지 또는 결함을 판정하게 되는데, 여기서 형태분석부(40)와 밝기분석부(50)에 의해 먼지로 판정된 경우에는 상기 결함 후보점을 먼지로 판정을 하게 되며, 이와는 달리 상기 형태분석부(40)와 밝기분석부(50)에 의해 각각 먼지로 판정되지 않는 경우에는 상기 결함 후보점을 결함으로 판정하게 되는 것이다.Meanwhile, the comprehensive determination unit 60 determines dust or defects based on the result values obtained by the shape analysis unit 40 and the brightness analysis unit 50, where the shape analysis unit 40 and the brightness analysis unit 50 are used. If it is determined that the dust by the defect candidate point is determined as dust, otherwise the defect candidate point is not determined by the shape analysis unit 40 and the brightness analysis unit 50, respectively. Will be determined as a defect.
본 발명의 다른 실시예로써, 상기 형태분석시 기본 형태 요소를 내부가 꽉찬원으로 설정하였으나, 처리 시간 단축을 위해 내부가 꽉찬 원이 아닌 내부가 덜 찬 성긴 원을 이용할 수도 있다.In another embodiment of the present invention, the basic shape element is set to a full circle during the shape analysis, but a less full circle may be used instead of a full circle to shorten processing time.
또한, 처리 시간 단축을 위해 구멍의 크기를 먼저 구하고, 구멍의 크기가 주변 구멍들과 차이가 나는 영역에 대해서만 전술한 바와 같은 밝기분석에 의해 먼지를 판정할 수도 있다.Also, in order to shorten the processing time, the size of the hole may be obtained first, and dust may be determined by the brightness analysis as described above only in an area where the size of the hole differs from the surrounding holes.
그리고, 밝기분석과 형태 분석시 형태 영역의 면적 대신 면적을 구멍의 크기로 나눈 면적 비율을 사용할 수도 있으며, 섀도우-마스크와 비슷한 형태와 배열을 갖는 제품에 대해서도 상기 형태분석과 밝기분석을 적용하여 먼지를 구분할 수도 있다.In addition, the area ratio obtained by dividing the area by the size of the hole instead of the area of the shape area may be used for the brightness analysis and the shape analysis. For the product having the shape and arrangement similar to the shadow-mask, the shape analysis and the brightness analysis are applied to the dust. You can also distinguish.
이상에서 상술한 바와 같이 본 발명은 결함과 먼지의 형태적인 차이를 이용하여 먼지와 결함을 정확히 구분할 수 있어 먼지 때문에 양품이 불량으로 판정되는 경우를 대폭 줄일 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention can accurately distinguish the dust from the defect by using the morphological difference between the defect and the dust, thereby greatly reducing the case in which a good product is determined to be defective due to the dust.
또한, 종래에는 먼지에 의한 오판때문에 큰 결함만을 검출하였으나, 본 발명에서는 먼지와 결함을 구분함으로써 주변 구멍들과의 차이가 작게 나는 불량에 대해서도 검출이 가능한 효과가 있다.In addition, in the past, only a large defect was detected due to a misjudgment caused by dust, but according to the present invention, the defect can be detected even if the defect is small from the surrounding holes by distinguishing the dust and the defect.
본 발명은 화상디바이스의 검사시 결함과 먼지의 형태적인 차이를 이용하여 먼지와 결함을 구별 함으로써 화상디바이스 검사에 정확성을 기하도록 한 화상디바이스 검사를 위한 먼저 구별 장치 및 그 방법을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a first discriminating apparatus and method for inspecting an image device for ensuring accuracy in the inspection of the image device by distinguishing the dust from the defect by using a morphological difference between the defect and the dust in the inspection of the image device.
Claims (12)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970058230A KR100289442B1 (en) | 1997-11-05 | 1997-11-05 | Dust distinction apparatus for testing flat panel display device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970058230A KR100289442B1 (en) | 1997-11-05 | 1997-11-05 | Dust distinction apparatus for testing flat panel display device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19990038483A true KR19990038483A (en) | 1999-06-05 |
| KR100289442B1 KR100289442B1 (en) | 2001-06-01 |
Family
ID=37517707
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019970058230A KR100289442B1 (en) | 1997-11-05 | 1997-11-05 | Dust distinction apparatus for testing flat panel display device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100289442B1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112101334A (en) * | 2019-06-18 | 2020-12-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | Method and device for determining area to be cleaned and dust cleaning device |
| CN112365486A (en) * | 2020-11-20 | 2021-02-12 | 普联技术有限公司 | Dust detection method, device, medium and terminal equipment based on mobile detection |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5734742A (en) * | 1994-09-19 | 1998-03-31 | Nissan Motor Co., Ltd. | Inspection system and process |
-
1997
- 1997-11-05 KR KR1019970058230A patent/KR100289442B1/en not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100289442B1 (en) | 2001-06-01 |
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