KR19990029775U - Heater block used in wire bonding of integrated circuit chips - Google Patents

Heater block used in wire bonding of integrated circuit chips Download PDF

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KR19990029775U
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황희선
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김영환
현대전자산업 주식회사
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Abstract

본 고안은 표면상에 집적 회로 칩을 클램핑하여 집적 회로 칩의 와이어 본딩을 실시하기 위한 히터 블록에 관한 것이다. 상기 집적 회로 칩의 후면 가장자리 부분에 일치하도록, 상기 히터 블록의 표면상에는 홈이 형성되어 있다. 그리고, 상기 홈은 상기 집적 회로 칩 사이즈의 80%와 120% 사이의 구간에 해당하는 폭을 가진다.The present invention relates to a heater block for clamping an integrated circuit chip on a surface to perform wire bonding of the integrated circuit chip. Grooves are formed on the surface of the heater block to coincide with the rear edge portion of the integrated circuit chip. The groove has a width corresponding to a section between 80% and 120% of the integrated circuit chip size.

Description

집적 회로 칩의 와이어 본딩에서 사용되는 히터 블록Heater block used in wire bonding of integrated circuit chips

본 고안은 집적 회로 칩의 패키징 분야에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 집적 회로 칩의 패키징시 집적 회로 칩을 리이드와 같은 다른 부품과 전기적으로 연결하기 위한 와이어 본딩에서 사용되는 히터 블록에 관한 것이다.The present invention relates to the field of packaging of integrated circuit chips, and more particularly, to a heater block used in wire bonding for electrically connecting an integrated circuit chip with another component such as a lead during packaging of the integrated circuit chip.

일반적으로, 집적 회로 칩은 전자기기에 실장하기 위하여 패키징된다. 예를들어, LOC(lead on chip) 타입 패키지의 경우, 소잉(sawing)되고 리드 프레임상에 다이 어테치된 집적 회로 칩은 리이드와의 전기적 연결을 위하여 와이어 본딩 장치(wire bonder)의 히터 블록(heater block)상에 로우딩된다. 이와같은 로우딩은 와이어 본딩 장치에서의 히터 블록이 상승하고 윈도우 클램퍼(window clamper)가 하강함과 동시에 히터 블록의 진공홀을 통해 진공이 작용하여 리드 프레임이 히터 블록상에 클램핑된다. 그러나, 이와같은 클램핑시, 리드 프레임에 어테치된 집적 회로 칩은 표면이 평탄하고 금속 성분으로 이루어진 히터 블록의 표면과 직접적으로 충돌한다. 따라서, 집적 회로 칩의 가장 취약한 부위인 후면 가장자리 부분에 충돌 쇼크(collision shock)가 전달되어, 히터 블록상에 집적 회로 칩이 클램핑된 상태를 보여주는 도면인 도 1에서 a로서 도시된 바와같이 칩 크랙(chip crack)이나 칩 아웃(chip out) 현상이 발생하여 생산성의 저하가 초래될 수 있다. 도 1에서, 도면 부호1은 집적 회로 칩, 2는 히터 블록, 그리고 3은 진공 홀을 나타낸다.In general, integrated circuit chips are packaged for mounting in electronics. For example, in the case of a lead on chip (LOC) type package, the integrated circuit chip sawed and die-attached on the lead frame may be a heater block of a wire bonder for electrical connection with the lead. heater block). Such a loading is performed by raising the heater block in the wire bonding device and lowering the window clamper, and simultaneously applying a vacuum through the vacuum hole of the heater block to clamp the lead frame onto the heater block. However, in such a clamping, the integrated circuit chip attached to the lead frame has a flat surface and directly collides with the surface of the heater block made of a metal component. Therefore, a collision shock is transmitted to the rear edge portion, which is the most vulnerable portion of the integrated circuit chip, so that the chip crack is shown as a in FIG. 1 which is a view showing a state in which the integrated circuit chip is clamped on the heater block. (Chip crack) or chip out may occur and result in a decrease in productivity. In Fig. 1, reference numeral 1 denotes an integrated circuit chip, 2 denotes a heater block, and 3 denotes a vacuum hole.

따라서, 상기의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 고안은 히터 블록에 대한 집적 회로 칩의 클램핑시 집적 회로 칩의 후면 가장자리 부분에서 칩 크랙또는 칩 아웃 현상의 발생을 방지하는데 목적이 있다.Therefore, the present invention devised to solve the above problems is to prevent the occurrence of chip crack or chip out phenomenon at the rear edge portion of the integrated circuit chip when the integrated circuit chip clamping to the heater block.

도 1은 종래 기술에 따라 히터 블록상에 집적 회로 칩이 클램핑된 상태를 보여주는 도면.1 is a view showing a state in which an integrated circuit chip is clamped on a heater block according to the related art.

도 2는 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 집적 회로 칩의 와이어 본딩을 위한 히터 블록의 평면도.2 is a plan view of a heater block for wire bonding of an integrated circuit chip according to a preferred embodiment of the present invention.

도 3은 도 2에 따른 히터 블록에 집적 회로 칩이 클램핑된 상태를 보여주는 단면도.3 is a cross-sectional view illustrating a state in which an integrated circuit chip is clamped to the heater block according to FIG. 2.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

10: 히터 블록 12: 진공홀10: heater block 12: vacuum hole

14: 홈 20: 집적 회로 칩14: groove 20: integrated circuit chip

상기한 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 본 고안은 표면상에 집적 회로 칩을 클램핑하여 집적 회로 칩의 와이어 본딩을 실시하기 위한 히터 블록으로서, 상기 집적 회로 칩의 후면 가장자리 부분에 일치하도록, 상기 히터 블록의 표면상에 홈을 형성한 것을 특징으로 하는 히터 블록을 제공한다.In order to achieve the above object of the present invention, the present invention is a heater block for performing wire bonding of an integrated circuit chip by clamping the integrated circuit chip on the surface, so as to coincide with the rear edge portion of the integrated circuit chip, Provided is a heater block, wherein a groove is formed on the surface of the heater block.

본 고안에 의하면, 집적 회로 칩이 클램핑되는 히터 블록의 표면상에 홈을 형성하여 집적 회로 칩의 클램핑시 칩의 후면 가장자리가 상기 히터 블록의 표면과 직접 접촉함이 없이 상기 홈에 위치하도록 함으로써, 집적 회로 칩의 후면 가장자리 부분에서 칩 크랙또는 칩 아웃의 현상의 발생을 방지할 수 있다.According to the present invention, by forming a groove on the surface of the heater block to which the integrated circuit chip is clamped so that the rear edge of the chip is located in the groove without directly contacting the surface of the heater block when clamping the integrated circuit chip, The occurrence of chip crack or chip out at the rear edge portion of the integrated circuit chip can be prevented.

(실시예)(Example)

이하 첨부한 도면에 의거하여 본 고안의 바람직한 실시예를 자세히 설명하도록 한다. 도면에서, 도 2는 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 집적 회로 칩의 와이어 본딩을 위한 히터 블록의 폄면도이고, 도 3은 도 2에 따른 히터 블록에 집적 회로 칩이 클램핑된 상태를 보여주는 단면도이다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. 2 is a rear view of a heater block for wire bonding of an integrated circuit chip according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a state in which an integrated circuit chip is clamped to the heater block according to FIG. 2. .

도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 히터 블록(10)은 집적 회로 칩의 정렬을 위하여 집적 회로 칩의 후면에 진공을 작용시키기 위한 진공홀(12)을 구비한다. 진공 홀(12)의 주변에서 집적 회로 칩(10)의 표면상에는 대략 사변형의 홈(14)이 형성되어있다.이와같이 형성되는 홈(14)은 패키지타입과 디바이스에 따라서 클램핑될 집적 회로 칩의 사이즈가 다양하기 때문에 일반적인 칩 사이즈의 80%와 120%사이의 구간에 해당하는 폭을 가지는 것이 바람직하다. 즉, 홈(14)은 도 2에서 도시한 바와같이 일반적인 칩 사이즈의 120%에 해당하는 L 영역과 80%에 해당하는 S 영역사이의 G 영역에서 형성된다.Referring to FIG. 2, the heater block 10 according to the present exemplary embodiment includes a vacuum hole 12 for applying a vacuum to the rear surface of the integrated circuit chip to align the integrated circuit chip. An approximately quadrilateral groove 14 is formed on the surface of the integrated circuit chip 10 around the vacuum hole 12. The groove 14 thus formed is the size of the integrated circuit chip to be clamped according to the package type and the device. Since the width varies, it is preferable to have a width corresponding to a section between 80% and 120% of the general chip size. That is, the groove 14 is formed in the G region between the L region corresponding to 120% of the general chip size and the S region corresponding to 80%, as shown in FIG.

이와같은 구성을 갖는 히터 블록의 작용을 도 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Referring to Figure 3 the operation of the heater block having such a configuration as follows.

집적 회로 칩(20)을 히터 블록(10)상에 클램핑하고자 하는 경우에는 히터 블록(10)이 좌표상의 y축 방향으로 상승하면서 히터 블록(10)의 진공 홀(12)을 통해 -y축 방향으로 진공이 작용하여 히터 블록(10)의 표면상에 집적 회로 칩(10)이 정렬된다. 이때, -y축 방향으로 작용하는 진공에 의해 칩(20)이 히터 블록(10)의 표면과 접촉할 때 칩(20)의 후면에 높은 클램핑력(clamping force)이 전달된다. 그러나, 히터 블록(10)의 표면상에는 홈(14)이 형성되어 있기 때문에 칩(20)의 후면 가장자리는 히터 블록(10)의 표면과 직접 접촉하지 않는다. 따라서, 칩(20)의 후면 가장자리에는 클램핑력이 직접적으로 전달되지 않기 때문에 칩 크랙또는 칩 아웃 현상의 발생을 방지할 수 있다.In the case where the integrated circuit chip 20 is to be clamped on the heater block 10, the heater block 10 rises in the y-axis direction of the coordinates and passes through the vacuum hole 12 of the heater block 10 in the -y-axis direction. Vacuum acts on the integrated circuit chip 10 on the surface of the heater block 10. At this time, a high clamping force is transmitted to the rear surface of the chip 20 when the chip 20 contacts the surface of the heater block 10 by the vacuum acting in the −y axis direction. However, since the groove 14 is formed on the surface of the heater block 10, the rear edge of the chip 20 does not directly contact the surface of the heater block 10. Therefore, since the clamping force is not directly transmitted to the rear edge of the chip 20, it is possible to prevent the occurrence of chip crack or chip out phenomenon.

이상에서 설명한 바와같이, 본 고안에 의하면 집적 회로 칩의 후면 가장자리에 일치하게 히터 블록의 표면상에 홈을 형성함으로써 히터 블록에 대한 집적 회로 칩의 클램핑시 집적 회로 칩의 칩 크랙 또는 칩 아웃 현상의 발생을 방지할 수 있다. 따라서, 본 고안은 생산성 향상에 크게 기여할 수 있는 유용한 고안이다.As described above, according to the present invention, by forming grooves on the surface of the heater block to coincide with the rear edge of the integrated circuit chip, the chip crack or chip out phenomenon of the integrated circuit chip during clamping of the integrated circuit chip with respect to the heater block. It can prevent occurrence. Therefore, the present invention is a useful design that can greatly contribute to productivity improvement.

이상에서 본 고안은 그의 바람직한 실시예를 기준으로 설명하고 도시하였지만 당업자는 본 고안의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 상기 실시예에 대한 다양한 변경 및 수정이 가능함을 명백히 알 수 있다.Although the present invention has been described and illustrated with reference to the preferred embodiments thereof, those skilled in the art can clearly see that various changes and modifications to the above embodiments can be made without departing from the gist of the present invention.

Claims (2)

표면상에 집적 회로 칩을 클램핑하여 집적 회로 칩의 와이어 본딩을 실시하기 위한 히터 블록으로서, 상기 집적 회로 칩의 후면 가장자리 부분에 일치하도록, 상기 히터 블록의 표면상에 홈을 형성한 것을 특징으로 하는 히터 블록.A heater block for clamping an integrated circuit chip on a surface to perform wire bonding of the integrated circuit chip, wherein grooves are formed on the surface of the heater block to coincide with a rear edge portion of the integrated circuit chip. Heater block. 제 1 항에 있어서, 상기 홈은 상기 집적 회로 칩 사이즈의 80%와 120%사이의 구간에 해당하는 폭을 가지는 것을 특징으로하는 히터 블록.The heater block of claim 1, wherein the groove has a width corresponding to a section between 80% and 120% of the integrated circuit chip size.
KR2019970042442U 1997-12-29 1997-12-29 Heater block used in wire bonding of integrated circuit chips KR19990029775U (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100345680B1 (en) * 1999-10-20 2002-07-27 주식회사 하이닉스반도체 Apparatus for fixing a lead on chip package in wire bonder
KR100546280B1 (en) * 1999-01-05 2006-01-26 삼성전자주식회사 Heater block for long loop wire bonding

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KR100546280B1 (en) * 1999-01-05 2006-01-26 삼성전자주식회사 Heater block for long loop wire bonding
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