KR19990029774U

KR19990029774U - Torch Electrode for Wire Bonder

Info

Publication number: KR19990029774U
Application number: KR2019970042441U
Authority: KR
Inventors: 황희선
Original assignee: 김영환; 현대전자산업 주식회사
Priority date: 1997-12-29
Filing date: 1997-12-29
Publication date: 1999-07-26

Abstract

본 고안은 와이어 본더용 토치 전극봉으 개시한다. 개시된 본 고안의 와이어 본더용 토치 전극봉은 몸체와 상기 몸체의 일측 단부에 배치되는 선단부로 이루어진 와이어 본더용 토치 전극봉으로서, 상기 몸체는 선단부와 결합되는 부분에 홈이 구비되고, 상기 선단부는 몸체에 구비된 홈에 삽입·고정된 것을 특징으로 한다.The present invention discloses a torch electrode for a wire bonder. The torch electrode rod for the wire bonder of the present invention is a torch electrode rod for a wire bonder consisting of a body and a tip portion disposed at one end of the body, the body is provided with a groove in the portion coupled to the tip portion, the tip portion is provided in the body It is characterized in that it is inserted and fixed in the groove.

Description

Torch Electrode for Wire Bonder

본 고안은 반도체 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 와이어 본딩 공정시에 사용되는 와이어 본더용 토치 전극봉에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor device, and more particularly, to a torch electrode rod for a wire bonder used in the wire bonding step.

일반적으로, 공지된 반도체 소자의 제조 공정을 통해 얻어진 반도체 칩들은 칩 절단, 칩 부착, 와이어 본딩, 몰딩 및 트림/포밍 등 일련의 어셈블리(Assembly) 공정을 거쳐 패키지화된다.In general, semiconductor chips obtained through known semiconductor device manufacturing processes are packaged through a series of assembly processes such as chip cutting, chip attachment, wire bonding, molding, and trim / forming.

도 1 은 상기한 어셈블리 공정중에서 와이어 본딩시에 사용되는 와이어 본더(Wire Bonder)를 도시한 도면으로서, 도시된 바와 같이, 와이어 본더는 금속 와이어(1)가 삽입되어져 있는 캐피러리(Capillary : 2)와, 상기 캐피러리(2)에 부착되어 2차 본딩시에 금속 와이어(1)의 접착력을 향상시켜 주는 트랜스듀서(Transducer : 3), 및 본딩 헤드(4)에 부착되어 2차 본딩후에 캐피러리(2)의 끝 부분 밖으로 인출되어져 있는 금속 와이어(1)의 꼬리 부분에 볼을 형성하기 위한 토치 전극봉(Torch Electrode : 5)으로 이루어진다.FIG. 1 is a view illustrating a wire bonder used for wire bonding during the assembly process. As shown, the wire bonder has a capillary 2 into which a metal wire 1 is inserted. And a transducer (3) attached to the capillary (2) to improve adhesion of the metal wire (1) during secondary bonding, and a capillary attached to the bonding head (4) after secondary bonding. It consists of a torch electrode (Torch Electrode) 5 for forming balls in the tail portion of the metal wire 1 drawn out from the end of (2).

한편, 토치 전극봉(5)은 본딩 헤드(4)에 고정되는 몸체(5a)와, 상기 몸체(5a)의 끝 부분에 배치되는 선단부(5b)로 이루어지며, 이러한 몸체(5a)와 선단부(5b)는 용접되어 있고, 특히, 토치 전극봉의 선단부(5b)는 백금(Pt)으로 도금되어져 있다.Meanwhile, the torch electrode 5 includes a body 5a fixed to the bonding head 4 and a tip portion 5b disposed at an end portion of the body 5a, and the body 5a and the tip portion 5b. ) Is welded, and in particular, the tip 5b of the torch electrode is plated with platinum (Pt).

상기와 같은 와이어 본더를 이용한 와이어 본딩공정은 다음과 같다.The wire bonding process using the wire bonder as described above is as follows.

우선, 금(Au)으로된 금속 와이어가 삽입되어져 있는 캐피러리를 반도체 칩의 본딩패드 상에 위치시켜 1차 본딩을 실시한다. 이때, 금속 와이어의 꼬리 부분에는 볼(Ball)이 형성되어 있으며, 이러한 볼이 본딩 패드 상에 본딩되고, 캐피러리에 부착되어 있는 트랜스듀서는 상기 캐피러리에 진동을 인가하여 금속 와이어의 접착력을 향상시킨다.First, the primary bonding is performed by placing a capacitor into which a metal wire made of gold (Au) is inserted, on a bonding pad of a semiconductor chip. In this case, a ball is formed in the tail portion of the metal wire, and the ball is bonded on the bonding pad, and the transducer attached to the capillary applies vibration to the capillary to improve adhesion of the metal wire. Let's do it.

그런 다음, 1차 본딩이 이루어진 금속 와이어에 대하여 루핑(Looping) 공정을 실시한다. 이 공정 동안에, 캐피러리는 금속 와이어가 삽입되어져 있는 상태로 수직 상승되어 2차 본딩될 곳까지의 거리에 해당하는 금속 와이어의 높이까지 이동한다.Thereafter, a looping process is performed on the metal wire on which the primary bonding is made. During this process, the capillary rises vertically with the metal wire inserted and moves up to the height of the metal wire corresponding to the distance to the secondary bonding.

이어서, 루핑 공정이 실시된 캐피러리를 이동시켜 2차 본딩될 부분, 즉, 리드 부분에 위치시킨 후, 캐피러리와 리드간을 밀착시켜 2차 본딩을 실시한다. 이때, 상기와 마찬가지로, 캐피러리에 부착되어져 있는 트랜스듀서는 캐피러리에 소정의 진동을 인가하여 금속 와이어의 접착력을 향상시켜 준다.Subsequently, the capillary subjected to the roofing process is moved to be positioned in the portion to be secondary bonded, that is, the lead portion, and then the secondary bonding is performed by bringing the capillary into close contact with the lead. At this time, as described above, the transducer attached to the capillary improves the adhesion of the metal wire by applying a predetermined vibration to the capillary.

한편, 2차 본딩이 완료된 후에 별도의 조치없이 캐피러리를 이동시킬 경우에는, 상기 캐피러리에 삽입되어져 있는 금속 와이어가 빠질 수 있기 때문에, 통상, 2차 본딩 공정이 완료된 후에는 본딩 헤드에 부착되어져 있는 토치 전극봉에서 스파크를 발생시켜 캐피러리의 끝 부분 밖으로 인출되어져 있는 금속 와이어 부분에 볼을 형성하며, 이에 따라, 캐피러리의 이동시에 금속 와이어의 꼬리 부분에 형성된 볼로 인하여 상기 금속 와이어가 캐피러리로부터 빠지지 않게 된다.On the other hand, when the capital is moved without any further action after the secondary bonding is completed, since the metal wire inserted into the capital may come off, it is usually attached to the bonding head after the secondary bonding process is completed. Sparks are generated in the torch electrode which is present to form a ball in the metal wire portion that is drawn out of the end of the capillary, whereby the metal wire is removed from the capillary due to the ball formed in the tail portion of the metal wire when the capillary moves. It will not fall out.

그러나, 상기와 같은 와이어 본더용 토치 전극봉은 캐피러리를 교체 또는 캐피러리 내에 금속 와이어를 삽입시킬 때, 핀셋(Tweezer)에 의해 선단부, 즉, 선단부에 도금되어져 있는 백금이 손상되어 정상적인 스파크를 발생시키지 못하게 되는 문제점이 있었다.However, when the torch electrode for the wire bonder is replaced with a metal wire or the metal wire is inserted into the capillary, the platinum plated at the tip, that is, the tip, is damaged by the tweezers and thus does not generate a normal spark. There was a problem that prevented.

또한, 토치 전극봉은 몸체와 선단부가 용접되어 있기 때문에 상기와 같은 문제점이 발생된 경우에는 토치 전극봉 전체를 교체해야 하므로, 비용적인 손실이 있었다.In addition, since the torch electrode is welded to the body and the front end portion, when the above-mentioned problem occurs, the entire torch electrode needs to be replaced, resulting in costly loss.

게다가, 토치 전극봉에서 발생된 스파크에 의해 캐피러리에 삽입되어져 있는 금속 와이어의 꼬리 부분에 볼을 형성하기 위해서는 토치 전극봉의 선단부와 캐피러리간의 간격을 0.1 내지 0.15mm 정도로 유지시켜야 하는데, 토치 전극봉을 교체한 경우에는, 도 1 에 도시된 바와 같이, 스크류 A 및 B를 푼 상태에서 교체된 토치 전극봉을 움직여서 상기한 간격을 유지시켜야 하기 때문에 시간이 많이 소요됨은 물론, 이로 인하여, 장비 가동률이 저하되는 문제점이 있었다.In addition, in order to form a ball in the tail portion of the metal wire inserted into the capacitor by the spark generated from the torch electrode, the distance between the tip of the torch electrode and the capillary should be maintained at about 0.1 to 0.15 mm. In one case, as shown in FIG. 1, the above-described intervals must be maintained by moving the replaced torch electrode while the screws A and B are loosened, and as a result, the operation rate of the equipment is lowered. There was this.

따라서, 본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 토치 전극봉의 교체 작업을 용이하게 수행할 수 있는 와이어 본더용 토치 전극봉을 제공하는 데, 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, and to provide a torch electrode rod for wire bonder that can easily perform the replacement operation of the torch electrode, there is an object thereof.

도 1 은 종래의 와이어 본더를 설명하기 위한 도면.1 is a view for explaining a conventional wire bonder.

도 2 는 본 고안의 실시예에 따른 토치 전극봉의 몸체를 설명하기 위한 도면.Figure 2 is a view for explaining the body of the torch electrode according to an embodiment of the present invention.

도 3 은 본 고안의 실시예에 따른 토치 전극봉의 선단부를 설명하기 위한 도면.Figure 3 is a view for explaining the front end of the torch electrode according to an embodiment of the present invention.

(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for the main parts of the drawing)

10 : 몸체 12 : 홈10: body 12: groove

20 : 선단부20: distal end

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안의 와이어 본더용 토치 전극봉은, 몸체와 상기 몸체의 일측 단부에 배치되는 선단부로 이루어진 와이어 본더용 토치 전극봉으로서, 상기 몸체는 선단부와 결합되는 부분에 홈이 구비되고, 상기 선단부는 몸체에 구비된 홈에 삽입·고정된 것을 특징으로 한다.Torch electrode rod for wire bonder of the present invention for achieving the above object, as a torch electrode rod for a wire bonder consisting of a body and a tip portion disposed on one end of the body, the body is provided with a groove coupled to the tip portion The tip portion is characterized in that the insert is fixed to the groove provided in the body.

본 고안에 따르면, 토치 전극봉을 그의 몸체와 선단부가 일체형이 아닌 분리형으로 구비시킴으로써, 선단부의 손상시에 상기 선단부의 교체 작업을 용이하게 실시할 수 있다.According to the present invention, by providing the torch electrode rod in its body and the tip portion in a separate type rather than in one piece, it is possible to easily replace the tip portion when the tip portion is damaged.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하도록 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2 및 도 3 은 본 고안의 실시예에 따른 와이어 본더용 토치 전극봉을 설명하기 위한 도면으로서, 도 2 는 본 고안의 실시예에 따른 토치 전극봉의 몸체를 도시한 도면이고, 도 3 은 본 고안의 실시예에 따른 토치 전극봉의 선단부를 도시한 도면이다.2 and 3 are views for explaining the torch electrode for the wire bonder according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a view showing the body of the torch electrode according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is the present invention Figure is a view showing the front end portion of the torch electrode according to the embodiment.

우선, 도 2 에 도시된 바와 같이, 본 고안의 실시예에 따른 토치 전극봉의 몸체(10)는 종래와 동일 형태 및 길이로 구비되지만, 선단부와 접촉되는 단부면에는 소정 크기의 홈(12)이 구비된다. 이때, 홈(12)은 선단부가 삽입·고정될 수 있을 정도의 지름으로 구비되며, 아울러, 그 깊이는 대략 6mm 정도이다.First, as shown in Figure 2, the body 10 of the torch electrode according to the embodiment of the present invention is provided in the same shape and length as the prior art, but the groove 12 of a predetermined size in the end surface in contact with the tip portion It is provided. At this time, the groove 12 is provided with a diameter such that the tip portion can be inserted and fixed, and the depth is about 6mm.

한편, 도 3 에 도시된 바와 같이, 본 고안의 실시예에 따른 토치 전극봉의 선단부(20)는 백금이 도금되어 있는 봉 형태로 구비되며, 그 길이는 종래의 선단부가 대략 6mm 정도로 구비되는 것에 반해 대략 12mm 정도로 구비된다.On the other hand, as shown in Figure 3, the tip portion 20 of the torch electrode rod according to an embodiment of the present invention is provided in the form of a rod plated with platinum, the length of the conventional tip portion is provided with about 6mm About 12mm is provided.

따라서, 본 고안에서는 토치 전극봉을 일체형이 아닌 분리형으로 구비시키기 때문에, 캐피러리의 교체 작업 및 상기 캐피러리 내에 금속 와이어의 삽입시키는 과정에서 선단부가 손상될지라도, 선단부만을 교체하여 비용 절감의 효과를 얻을 수 있다.Therefore, in the present invention, since the torch electrode is provided as a separate type rather than an integrated type, even if the tip portion is damaged during the replacement operation of the capillary and the insertion of the metal wire into the capillary, only the tip portion is replaced to obtain a cost reduction effect. Can be.

또한, 선단부의 교체시에 토치 전극봉의 몸체에 구비된 홈에 교체된 또 다른 선단부를 삽입·고정시키게 되면, 선단부의 전체 길이중 6mm가 홈내에 삽입되고, 나머지 6mm는 몸체의 외부로 돌출되는데, 이 길이는 종래 토치 전극봉의 몸테 외부로 돌출되는 선단부의 길이와 동일한 길이가 되기 때문에 별도의 조작 없이도 선단부와 캐피러리간의 간격을 유지시킬 수 있게 된다.In addition, when the tip portion is inserted and fixed in the groove provided in the body of the torch electrode rod when the tip portion is replaced, 6mm of the entire length of the tip portion is inserted into the groove, and the remaining 6mm protrudes out of the body. Since the length is equal to the length of the tip portion protruding to the outside of the body of the conventional torch electrode rod, it is possible to maintain the gap between the tip portion and the capacitor without any additional manipulation.

이상에서와 같이, 본 고안의 와이어 본더용 토치 전극봉은 선단부와 결합되는 몸체 부분에 홈을 구비하고, 상기 홈에 선단부를 삽입·고정시킴으로써, 선단부의 손상이 발생되더라도 손쉽게 교체 작업을 수행할 수 있으며, 이에 따라, 장비 가동률을 향상시킬 수 있다.As described above, the torch electrode rod for the wire bonder of the present invention has a groove in the body portion coupled with the tip portion, and by inserting and fixing the tip portion in the groove, even if the tip portion damage occurs can be easily replaced. Therefore, the equipment operation rate can be improved.

또한, 홈의 깊이와 선단부의 길이를 적절하게 조절함으로써 선단부와 캐피러리간의 간격을 별도의 정렬 조작 없이도 손쉽게 유지시킬 수 있기 때문에, 와이어 본딩 공정을 용이하게 실시할 수 있다.In addition, by appropriately adjusting the depth of the groove and the length of the tip portion, the distance between the tip portion and the capillary can be easily maintained without a separate alignment operation, so that the wire bonding process can be easily performed.

한편, 여기에서는 본 고안의 특정 실시예에 대하여 설명하고 도시하였지만, 당업자에 의하여 이에 대한 수정과 변형을 할 수 있다. 따라서, 이하, 실용신안등록청구의 범위는 본 고안의 진정한 사상과 범위에 속하는 한 모든 수정과 변형을 포함하는 것으로 이해할 수 있다.Meanwhile, although specific embodiments of the present invention have been described and illustrated, modifications and variations can be made by those skilled in the art. Therefore, hereinafter, the scope of the utility model registration request can be understood to include all modifications and variations as long as they fall within the true spirit and scope of the present invention.

Claims

A torch electrode for a wire bonder comprising a body and a tip portion disposed at one end of the body,

The body is provided with a groove coupled to the tip portion, the tip portion of the wire bonder electrode rod for the bonder, characterized in that inserted into the groove provided in the body.