KR19990029705A - Solder ball placement and laser reflow system for ball grid array packaging of IC chips - Google Patents

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KR19990029705A KR1019980037472A KR19980037472A KR19990029705A KR 19990029705 A KR19990029705 A KR 19990029705A KR 1019980037472 A KR1019980037472 A KR 1019980037472A KR 19980037472 A KR19980037472 A KR 19980037472A KR 19990029705 A KR19990029705 A KR 19990029705A
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운 쉥 카이
테이 호크 로
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탄 펭 후이
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  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

템플레이트 배열을 위한 수단, 납땜 볼 배치를 위한 수단 그리고 레이저 헤드로 구성된 BGA 포장상에서 납땜 볼 배치를 위한 시스템 하나의 템플레이트가 사전에 적용된 흐름을 갖는 기판표면상에 위치하는 연결 패드와 정렬된다. 상기 정렬된 템플레이트는 상기 작은 볼 배치 수단에 의해 패드상으로 볼의 정확한 안내를 허용한다. 하나의 볼이 상기 템플레이트내 각각의 구멍내로 떨어져 한 흐름층을 포함하는 패드상에 배치된다. 다음에 상기 패드상에 위치하는 납땜볼이 레이저 헤드를 통해 레이저에 노출되며 납땜볼들이 기판 패드상에 신속하게 용융되도록 한다. 다음에 상기 용융된 볼들이 신속하게 냉각된다. 템플레이트를 갖는 이같은 레이저 재흐름 방법은 BGA 장치의 포장에 포함되는 부피가 큰 장치인 재흐름 오븐의 사용을 제거하며, 볼 배치의 정확도를 증가시키고 볼브리징의 문제를 제거한다.One template for solder ball placement on a BGA package consisting of means for template arrangement, means for solder ball placement and a laser head is aligned with a connection pad located on a substrate surface with a pre-applied flow. The aligned template allows accurate guidance of the ball onto the pad by the small ball placement means. One ball is placed on a pad comprising a flow layer that falls into each hole in the template. The solder balls located on the pad are then exposed to the laser through the laser head and allow the solder balls to quickly melt on the substrate pad. The molten balls are then cooled quickly. This laser reflow method with a template eliminates the use of a reflow oven, which is a bulky device included in the packaging of the BGA device, increases the accuracy of ball placement and eliminates the problem of ball bridging.

Description

IC 칩의 볼 그리드 배열 포장을 위한 납땜 볼 배치 및 레이저 재흐름 시스템Solder ball placement and laser reflow system for ball grid array packaging of IC chips

본 발명은 IC 소자와 인쇄회로판 사이의 전기 연결시 납땜 사용에 대한 것이다. 특히, 본 발명은 생산 공정시 볼 그리드 배열(ball grid array)(BGA) 장치의 재흐름을 위해 레이저 기술을 사용함에 대한 것이다.The present invention is directed to the use of solder in the electrical connection between IC devices and printed circuit boards. In particular, the present invention relates to the use of laser technology for the reflow of ball grid array (BGA) devices in a production process.

집적 회로(IC) 소자의 볼 그리드 배열(BGA) 포장은 IC 소자 생산시 날로 그 중요성을 더하고 있다. BGA 포장시, IC 칩은 통상 패드가 있는 구리 기판상에 장착되며, 상기 기판상에서 흐름이 적용되고 다음에 납땜 볼의 위치정함이 발생된다. 다음에 상기 납땜 볼은 재흐름 오븐내에서 상기 패드위에 납땜된다.Ball grid array (BGA) packaging of integrated circuit (IC) devices is becoming increasingly important in IC device production. In BGA packaging, IC chips are typically mounted on a padded copper substrate, where a flow is applied on the substrate followed by positioning of the solder balls. The solder ball is then soldered onto the pad in a reflow oven.

납땜 볼 배치의 종래의 방법은 납땜 볼을 픽-엎하기 위해 적절한 흡입 구멍 배열을 갖는 진공 흡입 헤드를 사용하는 것이다. 적절한 배열로 상기 헤드로 흡입된 볼들은 사전엔 적용된 흐름을 갖는 한 기판로 내려놓인다. 이같은 BGA 어셈블리가 다음에 재흐름 오븐으로 전달되어 상기 납땜 볼을 납땜하도록 한다.A conventional method of solder ball placement is to use a vacuum suction head with an appropriate suction hole arrangement to pick-up the solder ball. The balls sucked into the head in the proper arrangement are laid down on one substrate with a pre-applied flow. This BGA assembly is then passed to the reflow oven to solder the solder ball.

IC 칩 생산에서의 현재의 경향은 칩에 더욱더 많은 IC를 집적하는 것이다. IC의 밀도가 높을수록, 같은 칩 크기상에서 요구되는 상호연결의 수는 더욱더 많아진다. 따라서, 높은 밀도의 패드와 납땜볼에서 BGA 패키지에 대한 수효가 있어왔다. 이같은 높은 밀도의 BGA 포장에서, 칩마다의 상호연결 패드의 수는 같은 표면적을 갖는 칩의 경우 400개 이하의 패드를 갖는 낮은 밀도의 BGA 패키지와 비교해 1,000-2,000개의 높은 수치를 기록한다. 칩마다 400패드이상인 높은 밀도의 패키지의 경우, 피치(pitch)(납땜볼사이의 거리)와 납땜볼 크기는 따라서 줄어들어야 한다. 가령, 패드 직경이 25mil이고 피치가 50mil인 칩의 경우 400 패드 이하의 낮은 밀도 BGA 구성은 30mil 직경의 납땜 볼을 사용한다. 가령 패드직경이 10mil이고 피치가 20mil인 패드를 갖는 높은 밀도 BGA 구성의 경우에는 12mil 직경의 납땜 볼이 대신에 사용되어야 한다.The current trend in IC chip production is to integrate more and more ICs on the chip. The higher the density of the IC, the greater the number of interconnections required on the same chip size. Thus, there have been a number of BGA packages in high density pads and solder balls. In such a high density BGA package, the number of interconnect pads per chip is 1,000-2,000 higher compared to low density BGA packages with up to 400 pads for chips with the same surface area. For high density packages with more than 400 pads per chip, the pitch (the distance between the solder balls) and the solder ball size should be reduced accordingly. For example, a chip with a pad diameter of 25 mils and a pitch of 50 mils, a low density BGA configuration of 400 pads or less, uses a 30 mil diameter solder ball. For example, for a high density BGA configuration with pads with 10 mil pad diameter and 20 mil pitch, a 12 mil diameter solder ball should be used instead.

이같이 줄어든 피치와 볼 크기는 납땜 처리의 경우에 문제를 일으킨다. 납땜볼의 크기가 작고 경량이기 때문에 불과 1분 정도의 공기 난류 또는 상기 기판의 미세한 휨은 상기 볼 위치를 이동시키도록 한다. 높은 밀도 배열에서 요구되는 상기 피치 때문에, 브리징(bridging)을 일으키는데, 이는 재흐름 오븐에서의 납땜 처리중에 한 연결을 형성시키기 위해 두 납땜 볼의 혼합이 된다. 일단 브리징이 일어나게 되면, 전체 패키지는 거절되어야 한다. 결과적으로, 진공 흡입 헤드를 사용하여 볼의 위치를 정하는 종래의 방법은 상기 브리징 때문에 높은 거절율을 일으키게 한다. 두 번째 문제는 볼의 배치 장소로부터 재흐름 오븐으로 포장을 이전하는데서 일어난다. 납땜 볼의 위치가 정확하게 정해진다 해도, 상기 포장을 재흐름 오븐으로 전달하기 위해 필요한 이동은 상기 볼들이 이동하게 할 것이다.This reduced pitch and ball size are problematic for soldering. Since the solder ball is small and lightweight, air turbulence or minute warpage of the substrate for only one minute causes the ball to shift. Because of the pitch required in high density arrangements, bridging occurs, which results in the mixing of two solder balls to form one connection during the soldering process in the reflow oven. Once bridging occurs, the entire package must be rejected. As a result, the conventional method of positioning the ball using a vacuum suction head causes a high rejection rate due to the bridging. The second problem arises from the transfer of packaging from the ball placement location to the reflow oven. Even if the solder balls are positioned correctly, the movement required to deliver the package to the reflow oven will cause the balls to move.

상기 설명된 문제이외에도, 볼 위치이동과 재흐름의 다양한 단계를 위한 장치는 크기가 크고 값이 비싸다. 따라서 상기 처리에 포함되는 장치의 크기와 가격을 최소로 하면서 상기 납땜볼의 이동과 브리징을 막도록 한 볼의 배치에 대한 개념을 디자인하므로써 상기 포장처리를 개선시킬 필요가 있다.In addition to the problems described above, the devices for the various stages of ball displacement and reflow are large in size and expensive. Therefore, there is a need to improve the packaging process by designing a concept of ball placement to prevent movement and bridging of the solder balls while minimizing the size and cost of the devices involved in the process.

본 발명의 목적은 BGA 장치의 포장시에 납땜 볼 배치의 정확한 방법을 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide an accurate method of solder ball placement in the packaging of a BGA device.

본 발명의 또다른 목적은 BGA 어셈블리 라인에서의 재흐름 처리에서 납땜 볼 브리징의 발생을 줄이고자 하는 것이다.It is another object of the present invention to reduce the occurrence of solder ball bridging in reflow treatment in BGA assembly lines.

본 발명의 또다른 목적은 BGA 장치상의 납땜볼 납땜시에 재흐름 오븐의 필요를 제거하는 것이다.Another object of the present invention is to eliminate the need for a reflow oven when soldering solder balls on a BGA device.

도 1 은 본 발명에 따른 템플레이트에 의해 안내되는 볼 배치 단계에 대한 개략적 설명도.1 is a schematic illustration of a ball placement step guided by a template according to the present invention;

도 2 는 본 발명에 따른 레이저 재흐름 단계에 대한 개략적 설명도.Figure 2 is a schematic illustration of the laser reflow step in accordance with the present invention.

도 3 은 납땜 볼의 레이저 재흐름을 위해 레이저헤드의 위치를 정함을 도시하기 위한 개략적 설명도.3 is a schematic illustration to show positioning of the laser head for laser reflow of solder balls;

도 4 는 본 발명에 따른 레이저 재흐름 처리에 포함된 단계를 설명하기 위한 흐름도.4 is a flow chart for explaining the steps involved in the laser reflow process according to the present invention;

* 부호 설명* Code Description

20 ... 기판 22 ... 템플레이트(templete)20 ... substrate 22 ... template

24 ... 볼 흡입 헤드 27 ... 공동24 ... ball suction head 27 ... joint

28 ... 납땜 볼 29 ... 템플레이트28 ... solder ball 29 ... template

30 ... 레이저 헤드 32 ... 흐름층30 ... laser head 32 ... flow layer

34 ... 하우징 36 ... 광섬유34 ... housing 36 ... optical fiber

42 ... 볼 흡입헤드42 ... ball suction head

본 발명은 템플레이트 배열을 위한 수단, 납땜 볼 배치를 위한 수단 그리고 레이저 헤드로 구성된 BGA 포장 기판의 패드상에서 납땜 볼 배치를 위한 시스템을 제공하는 것이다. 하나의 템플레이트가 사전에 적용된 흐름을 갖는 기판 표면상에 위치하는 연결 패드와 정렬된다. 상기 정렬된 템플레이트는 상기 작은 볼 배치 수단에 의해 패드상으로 볼의 정확한 안내를 허용한다. 하나의 볼이 상기 템플레이트내 각각의 구멍내로 떨어져 한 흐름층을 포함하는 패드상에 배치된다. 다음에 상기 패드상에 위치하는 납땜볼이 레이저 헤드를 통해 레이저에 노출되며 납땜볼들이 기판 패드상에 신속하게 용융되도록 한다. 다음에 상기 용융된 볼들이 신속하게 냉각된다. 템플레이트를 갖는 이같은 레이저 재흐름 방법은 BGA 장치의 포장에 포함되는 부피가 큰 장치인 재흐름 오븐의 사용을 제거하며, 볼 배치의 정확도를 증가시키고 볼 브리징의 문제를 제거한다.The present invention provides a system for solder ball placement on a pad of a BGA package substrate consisting of means for template arrangement, means for solder ball placement and a laser head. One template is aligned with a connection pad located on the substrate surface with a pre-applied flow. The aligned template allows accurate guidance of the ball onto the pad by the small ball placement means. One ball is placed on a pad comprising a flow layer that falls into each hole in the template. The solder balls located on the pad are then exposed to the laser through the laser head and allow the solder balls to quickly melt on the substrate pad. The molten balls are then cooled quickly. This laser reflow method with template eliminates the use of a reflow oven, a bulky device included in the packaging of the BGA device, increases the accuracy of ball placement and eliminates the problem of ball bridging.

도 1 은 본 발명에 따른 볼 배치 처리의 개략적 설명을 도시한 것이다. 흐름이 종래의 방법에 따라 기판(20)으로 적용된 후, 고밀도 배열의 템플레이트(22)가 상기 기판위에 놓여진다. 납땜 볼을 갖는 볼 흡입 헤드(24)가 안내장치로서 상기 템플레이트를 사용하여 상기 기판위에 정렬이 된다. 볼 흡입 헤드내의 상기 배열이 상기 템플레이트 배열에 따라 정렬되는때 상기 볼 흡입 헤드에서의 진공이 릴리이스되며, 상기 납땜 볼이 흐름으로 상기 기판위로 떨어진다. 상기 볼 흡입 헤드는 BGA 포장에서 통상 사용되는 종래의 것이며 상기 템플레이트 배열은 밀도가 높은 장치에 적합하도록 된다. 상기의 템플레이트는 필요한 밀도를 갖는 메쉬 사이즈(mesh size)를 갖는 와이어 메쉬일 수 있다. 상기 템플레이트는 스텐레스 스틸 또는 알루미늄과 같은 내열성 물질로 만들어질 수 있다. 이때의 바람직한 내열성 물질 재료로는 스텐레스 스틸이 바람직하다. 상기 메쉬 와이어는 두께가 충분히 두꺼워서 납땜 볼이 상기 와이어를 지나 구르는 것을 막을 수 있다. 가령, 12mil의 직경을 갖는 납땜 볼의 경우, 도 3 의 도면부호 (26)으로 표시된 바와 같이 메쉬 와이어의 두께는 약 12mil 이어서 상기 볼이 공동(cavity)(27)으로부터 벗어나 구르는 것을 막도록 한다. 또한, 상기 공동의 표면적은 상기 볼 흡입 헤드에 의한 배치를 용이하게 하고 볼이 상기 와이어 메쉬에 용이하게 부착되는 것을 막도록 하기 위해 납땜볼의 직경보다 다소 큰 것이 바람직하다. 상기의 바람직한 면적은 상기 납땜 볼 단면적보다 15-35%가 크다.1 shows a schematic description of a ball arrangement process according to the present invention. After the flow is applied to the substrate 20 according to a conventional method, a template 22 of high density arrangement is placed on the substrate. A ball suction head 24 with solder balls is aligned on the substrate using the template as a guide. When the arrangement in the ball suction head is aligned with the template arrangement, the vacuum at the ball suction head is released and the solder ball flows onto the substrate. The ball suction head is a conventional one commonly used in BGA packaging and the template arrangement is adapted for high density devices. The template may be a wire mesh having a mesh size having a required density. The template may be made of a heat resistant material such as stainless steel or aluminum. As the preferred heat resistant material material at this time, stainless steel is preferable. The mesh wire is thick enough to prevent solder balls from rolling past the wire. For example, for a solder ball having a diameter of 12 mils, the thickness of the mesh wire is about 12 mils, as indicated by reference numeral 26 in FIG. 3, to prevent the ball from rolling away from the cavity 27. In addition, the surface area of the cavity is preferably somewhat larger than the diameter of the solder ball to facilitate placement by the ball suction head and to prevent the ball from easily attaching to the wire mesh. The preferred area is 15-35% larger than the solder ball cross-sectional area.

도 2 는 납땜 볼을 태그하기 위해 매트릭스 레이저 헤드가 어떻게 사용되는가를 설명한다. 상기의 볼 흡입 헤드는 볼의 배치이후에 상기 기판으로부터 멀리 떨어지도록 이동되며, 레이저 헤드(30)가 템플레이트와 납땜볼위에 올려놓이게 되며 레이저 비임하에서 신속하게 용융되어 금속간의 결합을 형성하도록 한다. 일단 레이저 비임이 꺼지면 상기 용융된 납땜 볼은 높은 냉각 속도로 신속하게 냉각된다. 상기 레이저 헤드는 상기 볼 배열과 동일한 배열내에 배치된 일련의 광섬유로 구성된 자이로스코프 헤드 또는 매트릭스 타입 헤드인 것이 바람직하다. 네오디뮴:이트륨-알루미늄-가닛(Nd:YAG) 레이저와 같은 레이저가 상기의 레이저 재흐름 작업에 적당하다.2 illustrates how a matrix laser head is used to tag solder balls. The ball suction head is moved away from the substrate after placement of the ball and the laser head 30 is placed on the template and solder ball and quickly melted under the laser beam to form a bond between the metals. Once the laser beam is off, the molten solder ball cools rapidly at high cooling rates. The laser head is preferably a gyroscope head or matrix type head composed of a series of optical fibers arranged in the same arrangement as the ball arrangement. Lasers such as neodymium: yttrium-aluminum-garnet (Nd: YAG) lasers are suitable for such laser reflow operations.

상기 레이저 재흐름은 실온조건에서 수행되거나, 니트로겐 환경에서 수행될 수 있다.The laser reflow may be performed at room temperature or in a nitrogen environment.

상기의 노출시간 및 세기는 각기 다른 납땜볼에 따라 다르며, 통상의 실험으로 결정될 수 있다.The exposure time and intensity are different for different solder balls, and can be determined by conventional experiments.

도 3 은 흐름 층(32)위의 템플레이트(29) 공동(27)내에 위치하는 납땜볼(28)을 갖는 레이저 헤드의 광섬유 정렬을 도시한 것이다. 상기의 광섬유는 상기 패드의 위치와 납땜 볼의 위치를 매치시키기 위해 상기 광섬유(36)의 위치를 고정시키는 한 하우징(34)내에 수용된다. 템플레이트에 대한 상기 와이어 매치는 상기 납땜 볼 직경과 대략 같은 높이(26)를 갖는다.3 shows the optical fiber alignment of the laser head with solder balls 28 located in the template 29 cavity 27 over the flow layer 32. The optical fiber is accommodated in the housing 34 as long as the position of the optical fiber 36 is fixed to match the position of the pad and the position of the solder ball. The wire match to the template has a height 26 approximately equal to the solder ball diameter.

도 4 는 본 발명에 따른 공정을 도시하는 흐름도이다. 흐름의 적용(40)후에, 상기 템플레이트가 상기 기판에 정렬되며 그뒤에 볼 흡입헤드(42)로 볼 배치가 있게 된다. 단계(42)이후에, 상기의 볼들이 제위치에 놓여짐을 보장하도록 육안 검사(44)가 적절히 수행되며 그뒤에 레이저 태그(46)가 실행된다. 단계(42-46)는 일단 상기 볼들이 상기 기판위에 올려놓이게 되면 볼로의 어떠한 방해도 최소화하도록 패키지가 고정된 상태로 수행되는 것이 바람직하다.4 is a flow chart illustrating a process according to the present invention. After application of the flow 40, the template is aligned with the substrate followed by a ball placement with the ball suction head 42. After step 42, a visual inspection 44 is appropriately performed to ensure that the balls are in place, followed by a laser tag 46. Steps 42-46 are preferably performed with the package fixed to minimize any disturbance to the ball once the balls are placed on the substrate.

상기 마지막 단계(48)는 상기 볼들의 납땜을 위해 상기 재흐름 오븐으로 패키지를 전달시키는 것이다. 레이저 납땜이후에, 납땜된 볼들의 표면처리를 하기 위해 짧은 시간동안 재흐름 오븐 또는 고온 플레이트(48)에서 가열될 수 있다. 육안 검사단계는 가령 CCD(축전기 충전장치) 카메라와 같은 카메라를 사용하여 수행되는 것이 바람직하다.The final step 48 is to deliver a package to the reflow oven for soldering the balls. After laser soldering, it can be heated in a reflow oven or hot plate 48 for a short time to surface the soldered balls. The visual inspection step is preferably carried out using a camera such as a CCD (capacitor charger) camera.

본 발명은 고밀도 BGA 장치 포장에서 상승적으로 상회하는 결과를 가져다주기 위한 두 분리된 기술의 조합을 사용한다. 이같은 첫 번째 기술은 종래의 볼 흡입 헤드로부터 볼을 릴리이스하고 배치시키기 위해 한 템플레이트의 사용을 포함한다. 일단 상기 볼들이 상기 기판위에서 템플레이트내에 적절히 배치되기만 하면 두 번째 기술인 레이저 재흐름 작업이 사용되며, 이같은 작업은 납땜 볼의 용융 및 효과적인 납땜을 발생시킨다. 다음에 상기 템플레이트가 제거되고 상기 장치가 직접 클린너로 이동되어 흐름 잔류물을 제공하도록 하며 부피가 큰 재흐름 오븐의 사용을 제거하고, 또한 포장처리를 완성시키기 위해 필요한 시간을 줄이도록 한다.The present invention uses a combination of two separate techniques to yield synergistically higher results in high density BGA device packaging. This first technique involves the use of a template to release and position the ball from a conventional ball suction head. Once the balls are properly positioned in the template on the substrate, a second technique, laser reflow operation, is used, which produces melting of the solder balls and effective soldering. The template is then removed and the apparatus is moved directly to the cleaner to provide flow residues, eliminating the use of bulky reflow ovens and also reducing the time needed to complete the packaging process.

Claims (7)

템플레이트(template) 정렬을 위한 수단,Means for template alignment, 패드(pad) 배열에 매칭되는 공동의 배열을 갖는 템플레이트,A template having an array of cavities that match the pad array, 납땜볼 배치를 위한 수단, 그리고Means for placing solder balls, and 적어도 하나의 레이저 비임이 상기 납땜 볼로 향하도록 적용된 레이저 헤드를 갖는 레이저 모듈을 포함하는 패드를 포함하며,A pad comprising a laser module having a laser head adapted to direct at least one laser beam to the solder ball, 사전-적용된 흐름을 갖는 상기 패드 배열에 상기 템플레이트의 공동을 정렬시키고,Align the cavities of the template to the pad array with pre-applied flow, 상기 납땜 볼의 배열이 상기 패드의 배열에 정렬되도록 한 가이드로서 상기 템플레이트를 사용하여 납땜 볼 배치를 위한 수단을 상기 기판에 정렬시키며,Using the template as a guide to align the array of solder balls with the array of pads, aligning means for solder ball placement to the substrate, 상기 정렬된 납땜 볼을 사전-적용된 흐름으로 상기 패드위로 릴리이스하여 한 납땜볼이 상기 템플레이트의 각 공동내에 위치하도록 하고,Release the aligned solder balls onto the pad in a pre-applied flow such that one solder ball is located in each cavity of the template, 상기 레이저 헤드를 상기 기판에 정렬시키며, 그리고Align the laser head to the substrate, and 상기 납땜 볼이 상기 패드상에서 다소 용융되고 납땜되는 연속적 단계를 포함하는 한 패드 배열을 갖는 기판으로 IC 칩의 볼 그리드 배열 포장을 위한 납땜 볼 배치 및 레이저 재흐름 시스템.A solder ball placement and laser reflow system for packaging a ball grid array of IC chips into a substrate having a pad array comprising a continuous step in which the solder balls are melted and soldered somewhat on the pads. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 시스템이 카메라를 더욱더 포함하고,The system further comprises a camera, 상기 카메라에 의한 육안 검사의 추가 단계가 납땜 볼 배치이후에 수행됨을 특징으로 하는 납땜 볼 배치 및 레이저 재흐름 시스템.A solder ball placement and laser reflow system, wherein a further step of visual inspection by the camera is performed after solder ball placement. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 레이저 헤드가 매트릭스 레이저 헤드임을 특징으로 하는 납땜 볼 배치 및 레이저 재흐름 시스템.A solder ball placement and laser reflow system, wherein said laser head is a matrix laser head. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 레이저 헤드가 Nd:YAG 레이저 비임을 전달시킴을 특징으로 하는 납땜 볼 배치 및 레이저 재흐름 시스템.And the laser head delivers an Nd: YAG laser beam. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 레이저 납땜단계가 니트로겐 환경하에서 수행됨을 특징으로 하는 납땜 볼 배치 및 레이저 재흐름 시스템.Wherein the laser soldering step is performed under a nitrogen environment. 전술한 항중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of the preceding claims, 상기 납땜 볼의 가열 표면처리 추가단계가 상기 레이저 납땜 단계 이후 재흐름 오븐 또는 가열 플레이트로 수행됨을 특징으로 하는 납땜 볼 배치 및 레이저 재흐름 시스템.Soldering ball placement and laser reflow system, characterized in that the additional heating surface treatment of the soldering ball is performed with a reflow oven or heating plate after the laser soldering step. 템플레이트 정렬을 위한 수단,Means for template alignment, 납땜 볼 배치를 위한 수단, 그리고Means for placing solder balls, and 상기 납땜 볼로 레이저 비임을 보내도록된 레이저 헤드를 포함하는 상호연결을 위해 패드 배열을 갖는 기판으로 IC 칩의 볼 그리드 배열 포장의 납땜 볼 배치 및 레이저 재흐름을 위한 장치.Apparatus for solder ball placement and laser reflow of a ball grid array package of an IC chip to a substrate having a pad array for interconnection comprising a laser head adapted to direct a laser beam to the solder ball.
KR1019980037472A 1997-09-26 1998-09-11 Solder ball placement and laser reflow system for ball grid array packaging of IC chips KR19990029705A (en)

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