KR19990019646A - High vacuum sealing method for field emission display panel - Google Patents
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Abstract
본 발명은 전계방출표시소자의 배기 세관이 없는 패널을 만들므로 두께를 최소화할 수 있으며, 고진공 챔버내에서 진공을 시키므로 패널의 오염을 최적화할 수 있는 전계방출표시소자 패널의 고진공 실링 방법에 관한 것으로, 진공 챔버(2)내에서 챔버 배기구(2)를 통하여 진공시키면서 실링 페이스트를 갖는 상부 기판(6)과 배기 구멍(16)이 형성된 하부 기판(8)을 부착시키는 단계와, 상기 진공 챔버(2)내에 설치된 상하이동이 가능한 실린더(14)에 보조 기판(12)상에 게터(4)를 올려 놓은 후, 하부 기판(8)의 배기 구멍(16)으로 상승시키는 단계와, 하부 기판(6)의 배기 구멍(16)에 보조 기판(10)의 실링 페이스트를 부착시킨 후 게터(4)를 활성화시켜 진공시키는 단계로 고진공을 얻도록 구성된 특징이 있다.The present invention relates to a high vacuum sealing method of a field emission display device panel that can minimize the thickness of the field emission display device because it is made without the exhaust capillary, and can optimize the contamination of the panel by vacuuming in the high vacuum chamber. Attaching an upper substrate 6 having a sealing paste and a lower substrate 8 having an exhaust hole 16 therein while vacuuming through the chamber exhaust port 2 in the vacuum chamber 2, and the vacuum chamber 2. ), The getter 4 is placed on the auxiliary substrate 12 in the movable cylinder 14 installed in the upper and lower cylinders, and then raised to the exhaust hole 16 of the lower substrate 8, and the lower substrate 6 After attaching the sealing paste of the auxiliary substrate 10 to the exhaust hole 16, the getter 4 is activated and vacuumed.
Description
본 발명은 전계방출표시소자 패널의 고진공 실링방법에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 전계방출표시소자의 배기 세관이 없는 패널을 제작하므로 두께를 최소화할 수 있으며, 고진공 챔버내에서 진공을 시키므로 패널의 오염을 최적화할 수 있는 전계방출표시소자 패널의 고진공 실링방법에 관한 것이다.The present invention relates to a high vacuum sealing method of a field emission display device panel, and more particularly, to manufacture a panel without exhaust capillary of the field emission display device panel, thereby minimizing thickness and vacuuming in a high vacuum chamber. The present invention relates to a high vacuum sealing method for a field emission display device panel which can optimize contamination.
최근에는 초고집적 반도체 제조기술과 초고진공 기술이 급속히 발달함에 따라 새로운 형태인 마이크론 크기의 삼극진공관 소자의 연구가 활기를 띠고 있으며,이러한 소자를 디스플레이에 응용하여 CRT 와 LCD 의 장점만을 가진 새로운 평판 디스플레이를 개발하는데 주목하고 있다.Recently, with the rapid development of ultra-high-density semiconductor manufacturing technology and ultra-high vacuum technology, research on new micron-sized tripolar vacuum tube devices has been vigorous, and new flat panel displays having only the advantages of CRT and LCD by applying these devices to displays Pay attention to develop.
전계방출표시소자는 평판디스플레이의 일종으로서, 전자를 방출하는 팁형 또는 웨지(Wedge)형의 캐소우드와 형광체가 도포된 애노우드를 구성하고, 다수의 마이크로 팁으로부터 전자방출을 유도하여, 발생된 전자를 투명전도막이 형성된 애노우드의 형광체에 충돌시키므로써, 형광체가 자극을 받아 형광체의 최외각 전자들이 여기되고, 천이되는 과정에서 발생된 빛을 이용하여 원하는 화상표시를 나타내도록 구성하고 있다.The field emission display device is a type of flat panel display, comprising a tip- or wedge-type cathode that emits electrons and an anode coated with a phosphor, and inducing electron emission from a plurality of micro tips, thereby generating electrons. By colliding with the phosphor of the anode where the transparent conductive film is formed, the phosphor is stimulated to excite the outermost electrons of the phosphor, and is configured to display a desired image display using light generated in the process of transition.
따라서, 상기와 같은 형광체를 발광시키기 위해서는 전계방출표시소자의 에미터팁에서 방출된 냉전자가 전면기판에 형성된 형광체로 날아가는 동안 이물질에 의한 산란이 없어야 높은 선명도를 가질 수 있으며, 소자의 긴 수명을 유지할 수 있어 전계방출표시소자의 진공 접합기술에 대해 많은 연구가 진행되어 오고 있다.Therefore, in order to emit light as described above, while the cold electrons emitted from the emitter tip of the field emission display device fly to the phosphor formed on the front substrate, there is no scattering caused by foreign matters, so that high brightness can be maintained and the long life of the device can be maintained. Therefore, many researches have been conducted on the vacuum bonding technology of the field emission display device.
일반적으로 전계방출표시소자용 배기 및 실링기술은 세관을 이용하여 세관부분을 가열하여 융착시키는 방법을 사용하거나 패널에 형성되어 있는 진공배기구를 이용하여 배기하고 이를 밀봉재(실링페이스트)등으로 밀봉하는 두가지 방법이 있다.In general, the emission and sealing technology for the field emission display device uses a method of heating and fusing the tubular part by using a custom pipe or exhausting it by using a vacuum vent formed in a panel and sealing it with a sealing material (sealing paste). There is a way.
상기 종래의 기술은 배기구 없이 진공 챔버내에서 상하 기판을 직접 결합하여 실링하거나 배기구가 있는 패널을 외부에서 어셈블리한 후 진공 챔버내로 위치시키고, 배기 공정을 수행하는 두가지의 방법이 시행되고는 있으나, 첫 번째 방법은 상하 기판의 실링시 실링 페이스트에서 다량의 가스가 발생하여 패널 내부로 들어가는 문제가 있으며, 두 번째의 방법은 이미 외부에서 패널 어셈블리 작업중 패널이 대기 또는 다른 환경에 의해 오염될 수 있는 것이다.The prior art has two methods of directly sealing the upper and lower substrates in the vacuum chamber without the exhaust port, or assembling the panel having the exhaust port from the outside, and then placing it in the vacuum chamber and performing the exhaust process. The first method has a problem in that a large amount of gas is generated in the sealing paste during sealing of the upper and lower substrates and enters the inside of the panel. The second method is that the panel may be contaminated by the atmosphere or other environment during the panel assembly work from the outside.
따라서 상기의 두가지 방법이 안고 있는 많은 양의 아웃개싱(Out Gas)을 현저하게 줄여야 하는 것이 전계방출표시소자의 진공 배기 및 실링 기술의 목표이다.Therefore, it is a goal of the vacuum exhaust and sealing technology of the field emission display device to significantly reduce the large amount of outgassed by the above two methods.
따라서 본 발명에서는 상기와 같은 종래의 문제점을 감안하여 창안된 것으로, 본 발명의 목적은 챔버내에서 패널을 실링 및 진공 배기하여 애노드 기판과 캐소드 기판의 오염을 방지할 수 있는 전계방출표시소자 패널의 고진공 실링방법을 제공함에 있다.Therefore, the present invention was devised in view of the above-described conventional problems, and an object of the present invention is to provide a field emission display device panel capable of preventing contamination of an anode substrate and a cathode substrate by sealing and vacuum evacuating the panel in a chamber. It is to provide a high vacuum sealing method.
도 1 은 본 발명의 방법으로 전계방출표시소자의 패널을 진공과 실링을 하는 것을 나타내는 도면이고,1 is a view showing the vacuum and sealing of the panel of the field emission display device by the method of the present invention,
도 2 는 본 발명 전계방출표시소자의 패널 평면을 나타내는 도면이다.2 is a view showing a panel plane of the field emission display device of the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings
2: 진공 챔버 4: 게터2: vacuum chamber 4: getter
6: 상부 기판 8: 하부 기판6: upper substrate 8: lower substrate
10: 실링 페이스트 12: 보조 기판10: sealing paste 12: auxiliary substrate
14: 실린더 16: 배기 구멍14: cylinder 16: exhaust hole
16: 배기구멍 22: 챔버 배기구16: exhaust hole 22: chamber exhaust port
상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 전계방출표시소자의 패널 실링 진공방법은 진공 챔버내에서 챔버 배기구를 통하여 진공시키면서 실링 페이스트를 갖는 상부 기판과 배기 구멍이 형성된 하부 기판을 부착시키는 단계과, 진공 챔버내에 설치된 상하이동이 가능한 실린더에 보조 기판상에 게터를 올려 놓은 후, 하부 기판의 배기 구멍으로 상승시키는 단계와, 하부 기판의 배기 구멍에 보조 기판의 실링 페이스트를 부착시킨 후 게터를 활성화시켜 진공시키는 단계로 고진공을 얻도록 구성된 특징이 있다.The panel sealing vacuum method of the field emission display device for achieving the object of the present invention as described above is a step of attaching the upper substrate having a sealing paste and the lower substrate formed with the exhaust hole while vacuuming through the chamber exhaust port in the vacuum chamber; The getter is placed on the auxiliary substrate in a movable cylinder installed in the chamber, and then the getter is raised to the exhaust hole of the lower substrate, the sealing paste of the auxiliary substrate is attached to the exhaust hole of the lower substrate, and the getter is activated and vacuumed. There is a feature configured to achieve high vacuum in stages.
상기와 같이 구성된 본 발명의 전계방출표시소자 패널의 고진공 실링방법을 첨부된 도면을 참조하여 아래와 같이 상세하게 설명하면 다음과 같다.Referring to the accompanying drawings, the high vacuum sealing method of the field emission display device panel of the present invention configured as described above in detail as follows.
도 1 은 본 발명의 방법으로 전계방출표시소자의 패널을 진공과 실링을 하는 것을 나타내는 도면이고, 도 2 는 본 발명 전계방출표시소자의 패널 평면을 나타내는 도면이다.1 is a view showing the vacuum and sealing of the panel of the field emission display device by the method of the present invention, Figure 2 is a view showing a panel plane of the field emission display device of the present invention.
전계방출표시소자의 패널을 구성하는 것으로 패널 내부의 고진공을 유지하기 위하여 진공시에 진공도를 높이기 위하여 패널의 부착 공정을 진공 챔버(2)내에서 작업한다.The panel attaching process is performed in the vacuum chamber 2 to increase the degree of vacuum during vacuum in order to maintain the high vacuum inside the panel by constituting the panel of the field emission display device.
상기 진공 챔버(2)내에서는 진공 챔버(2)에 형성되어 있는 챔버 배기구(2)를 통하여 발생되는 가스를 배기시키며 진공시키도록 구성하고 있다.The vacuum chamber 2 is configured to evacuate the gas generated through the chamber exhaust port 2 formed in the vacuum chamber 2.
상기와 같이 구성된 진공 챔버(2)의 내에서 패널을 이루는 구성 요소인 상부 기판(6)과, 상기 상부 기판(6)에 실링 페이스트(10)를 형성하여 배기 구멍(16)이 형성된 하부 기판(8)을 부착시키면, 상기 패널은 진공 챔버(2) 내에서 부착되었기 때문에 진공도가 높으며, 실링 페이스트(10)의 부착시나 패널의 각부분에서 발생되는 아웃개싱은 하부 기판(8)의 배기 구멍(16)을 통하여 충분히 제거된다.An upper substrate 6 that forms a panel in the vacuum chamber 2 configured as described above, and a lower substrate in which an exhaust hole 16 is formed by forming a sealing paste 10 in the upper substrate 6 ( 8), the panel has a high degree of vacuum since the panel is attached in the vacuum chamber 2, and the outgassing occurring at the time of attachment of the sealing paste 10 or at each part of the panel is carried out through the exhaust hole ( 16) are sufficiently removed.
계속되는 공정으로 그 다음 단계로는 진공 챔버(2)내에 설치한 상하이동이 가능한 실린더(14)를 이용하여 실린더(14)의 상부측의 놓여진 실링 페이스트를 갖는 보조 기판(12)상에 게터(4)를 올려 놓은 후, 실린더(14)를 하부 기판(8)의 배기 구멍(16)으로 상승시켜 밀착하여 부착시킨다.In a subsequent process, the next step is the getter 4 on the auxiliary substrate 12 having the sealing paste placed on the upper side of the cylinder 14 by using the movable cylinder 14 installed in the vacuum chamber 2. After mounting, the cylinder 14 is raised to the exhaust hole 16 of the lower substrate 8 and adhered in close contact.
그다음 단계로는 하부 기판(6)의 배기 구멍(16)에 보조 기판(10)의 실링 페이스트를 완전하게 부착시킨 후에 게터(4)를 활성화시켜 진공시키게 되면 패널의 내부는 고진공을 얻을 수 있어 전자의 방출시 방출 특성을 높일 수 있다.The next step is to completely attach the sealing paste of the auxiliary substrate 10 to the exhaust hole 16 of the lower substrate 6, and then activate and vacuum the getter 4 to obtain a high vacuum inside the panel. The release characteristics of the can be enhanced.
따라서 상기와 같은 방법으로 본 발명의 전계방출표시소자의 패널을 진공시키면 패널을 구성하고 있는 상부 기판과 하부 기판의 오염을 방지할 수 있어 사용할 때 보다 선명도가 뛰어날 뿐만 아니라, 또한 제품의 생산시 불량품을 줄일 수 있는 효과가 있다.Therefore, if the panel of the field emission display device of the present invention is vacuumed as described above, contamination of the upper substrate and the lower substrate constituting the panel can be prevented, so that it is not only more clear when used, but also defective in the production of the product. There is an effect to reduce.
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| KR100450025B1 (en) * | 2002-01-18 | 2004-09-24 | 일진나노텍 주식회사 | Triode-flat type field emission lamp and its fabrication method by using carbon nano tube |
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| KR0163985B1 (en) * | 1994-12-30 | 1998-12-01 | 김준성 | Vacuum sealing method of field emission display |
-
1997
- 1997-08-29 KR KR1019970043041A patent/KR100283685B1/en not_active IP Right Cessation
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| KR100450025B1 (en) * | 2002-01-18 | 2004-09-24 | 일진나노텍 주식회사 | Triode-flat type field emission lamp and its fabrication method by using carbon nano tube |
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