KR19990003601A - Environmental monitoring device by wireless communication sensor - Google Patents
Environmental monitoring device by wireless communication sensor Download PDFInfo
- Publication number
- KR19990003601A KR19990003601A KR1019970027495A KR19970027495A KR19990003601A KR 19990003601 A KR19990003601 A KR 19990003601A KR 1019970027495 A KR1019970027495 A KR 1019970027495A KR 19970027495 A KR19970027495 A KR 19970027495A KR 19990003601 A KR19990003601 A KR 19990003601A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- data
- sensor system
- fms
- sensor
- main
- Prior art date
Links
Landscapes
- Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
Abstract
본 발명은 무선통신 센서에 의한 환경 모니터링 장치에 관한 것으로서, 온도·습도·차압 등을 검출하여 데이터를 셍성하고 자신의 위치 데이터와 함께 무선으로 전송하는 이동 센서 시스템, 상기 이동 센서 시스템으로부터 전송되는 데이터를 수신하여 적절히 처리하고 디스플레이 상에 표시하는 메인 FMS, 그리고 상기 메인 FMS 및 격리되거나 밀폐된 공간에 위치하는 이동 센서 시스템 간에 데이터를 양방향으로 전송하는 무선 데이터 중계기를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an environmental monitoring apparatus using a wireless communication sensor. The present invention relates to a mobile sensor system that detects temperature, humidity, and differential pressure, generates data, and transmits the data wirelessly with its own location data. And a wireless data repeater that transmits data bidirectionally between the main FMS and the mobile FMS located in an isolated or enclosed space.
이에따라 각종 생산 현장에서 일지점에 고정되지 않고 움직이는 센서를 통하여 데이터를 수집 및 무선 전송하여 전체의 환경 정보를 파악하기 용이하도록 하는 효과가 있다.Accordingly, there is an effect that it is easy to grasp the overall environmental information by collecting and wirelessly transmitting data through a moving sensor that is not fixed at one point in various production sites.
Description
본 발명은 무선통신 센서에 의한 환경 모니터링 장치에 관한 것으로서, 상세하게는 각종 생산 현장에서 일지점에 고정되지 않고 움직이는 센서를 통하여 데이터를 수집 및 무선전송하여 전체의 환경 정보를 파악하기 용이하도록 하는 무선통신 센서에 의한 환경 모니터링 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an environmental monitoring apparatus using a wireless communication sensor, and more particularly, wirelessly collects and wirelessly transmits data through a moving sensor, which is not fixed at one point in various production sites, so as to easily grasp overall environmental information. It relates to an environmental monitoring device by a communication sensor.
일반적으로 환경 모니터링 시스템(FMS: Facility Monitoring System)은 고정된 DCP(data collection point)에 온도, 습도, 미립자, 차압 등을 감지하는 센서를 설치한 후 RS-232, 485 등의 데이터 통신 프로토콜을 이용하여 메인 콘트롤 시스템에 각 센서가 설치된 곳의 온도, 습도, 미립자, 차압 등의 데이터를 전송한다.In general, Facility Monitoring System (FMS) uses data communication protocols such as RS-232 and 485 after installing sensors to detect temperature, humidity, particulates, and differential pressure at fixed data collection points (DCPs). It transmits data such as temperature, humidity, particulates and differential pressure where each sensor is installed in the main control system.
이에따라 종래의 FMS는 생산 현장의 환경을 모니터링하기 위해서는 약 100에서 많게는 약 1000개 이상의 DCP가 필요하다. 또한 국부 환경관리와 같이 주요 모니터링 지점이 밀폐된 공간일 때 각 지역을 모니터링하기 위해서는 설비마다 각 지점에 DCP를 설치해야 하는 문제가 발생할 것이 예상된다. 즉 DCP가 증가하게 되면 DCP 센서, 복잡한 통신 연결망, 고성능 메인 FMS는 물론 이를 관리하기 위한 인력 등이 필요하게 된다.Accordingly, conventional FMS requires about 100 to as much as about 1000 or more DCPs to monitor the production site environment. In addition, it is anticipated that problems such as local environmental management will require the installation of DCP at each point in order to monitor each area when the main monitoring point is an enclosed space. Increasing DCP requires DCP sensors, complex communication networks, high-performance main FMS as well as manpower to manage them.
또한 일지점의 데이터만으로 넓은 공간의 환경 상황을 대표하는 현 시스템은 생산 현장의 전체를 정확하게 파악하고 있다고 할 수 없다. 그리고 사고 발생시 데이터가 FMS로 전달되어야만 사고 발생을 파악할 수 있다.In addition, the current system, which represents the environmental situation in a large space with only one point of data, does not provide an accurate view of the entire production site. And in case of an accident, the data must be transferred to the FMS to identify the accident.
따라서, 본 발명은 각종 생산 현장에서 일지점에 고정되지 않고 움직이는 센서를 통하여 데이터를 수집 및 무선전송하여 전체의 환경 정보를 파악하기 용이하도록 하는 무선통신 센서에 의한 환경 모니터링 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an environmental monitoring apparatus using a wireless communication sensor that makes it easy to grasp the overall environmental information by collecting and wirelessly transmitting data through a moving sensor that is not fixed at one point in various production sites. It is done.
도 1은 본 발명에 따른 무선통신 FMS의 주요부 구성을 개략적으로 나타내는 불록도이다.1 is a block diagram schematically showing the configuration of main parts of a wireless communication FMS according to the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
10: 메인 FMS10: Main FMS
20: 이동 센서 시스템20: moving sensor system
21: 자유이동 무선 데이터전송 센서 시스템21: Free Moving Wireless Data Transmission Sensor System
22: 웨이퍼 카세트 센서 시스템22: Wafer Cassette Sensor System
23: AGV 센서 시스템23: AGV sensor system
30: 무선 데이터 중계기30: wireless data repeater
이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 온도·습도·차압 등을 검출하여 데이터를 셍성하고 자신의 위치 데이터와 함께 무선으로 전송하는 이동 센서 시스템, 상기 이동 센서 시스템으로부터 전송되는 데이터를 수신하여 적절히 처리하고 디스플레이 상에 표시하는 메인 FMS, 그리고 상기 메인 FMS 및 격리되거나 밀폐된 공간에 위치하는 이동 센서 시스템 간에 데이터를 양방향으로 전송하는 무선 데이터 중계기를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 무선통신 센서에 의한 환경 모니터링 장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention detects temperature, humidity, differential pressure, and the like, generates a data, transmits it wirelessly together with its own position data, receives the data transmitted from the mobile sensor system, and processes it appropriately. An apparatus for monitoring the environment by a wireless communication sensor, comprising: a main FMS displayed on a display; and a wireless data repeater transmitting data bidirectionally between the main FMS and a mobile sensor system located in an isolated or enclosed space. To provide.
이하, 첨부된 도 1을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying Figure 1 will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.
본 발명은 종래의 FMS의 유선 데이터 통신을 개선하여 무선 데이터 전송 시스템을 이용한 FMS를 실현하는 바, 메인 FMS(10)·이동 센서 시스템(20)·무선 데이터 중계기(30) 등으로 구성되고 온도·습도·차압·미립자·유속 등을 관리해야 하는 반도체 제조현장의 경우를 예로 들어 적용한다.The present invention improves the wired data communication of the conventional FMS to realize the FMS using the wireless data transmission system, and is composed of a main FMS 10, a mobile sensor system 20, a wireless data repeater 30, and the like. The example applies to the case of a semiconductor manufacturing site where humidity, differential pressure, particulates, and flow rate must be controlled.
본 발명의 이동 센서 시스템(20)은 온도·습도·차압 등을 검출하여 데이터를 셍성하고 자신의 위치 데이터와 함께 무선으로 전송하는 것으로서, 자체에 무선통신 장치를 내장한 대화형 센서를 사용한다. 이동 센서 시스템(20)은 자유이동 무선 데이터전송 센서 시스템(21), 웨이퍼 카세트 센서 시스템(22), AGV 센서 시스템(23) 등으로 구분할 수 있다. 웨이퍼 카세트 센서 시스템(22)은 웨이퍼를 이송하는 캐리어(carrier)에 각종 센서를 설치하여 자동 반송장치의 루프를 따라 이동하면서 스토커(stocker) 및 레일(rail) 근처의 환경정보를 수집한다. AGV 센서 시스템(23)은 무인운반차(AGV, auto guided vehicle)에 각종 센서를 설치하여 그 이동 공간의 환경정보를 수집한다. 자유이동 무선 데이터전송 센서 시스템(21)은 웨이퍼 캐리어 및 AGV 처럼 일정한 궤도가 있는 곳만을 이동하지 않고 임의로 이동하거나 제어하는 대로 이동하면서 환경정보를 수집한다. 이를 위해 센서를 이동시키는 별도의 궤도를 형성하거나 작업자가 센서를 휴대하도록 하는 것도 가능하다.The mobile sensor system 20 of the present invention detects temperature, humidity, differential pressure, and the like, generates data, and wirelessly transmits the data with its own location data. The mobile sensor system 20 uses an interactive sensor incorporating a wireless communication device in itself. The mobile sensor system 20 may be classified into a free mobile wireless data transmission sensor system 21, a wafer cassette sensor system 22, an AGV sensor system 23, and the like. The wafer cassette sensor system 22 collects environmental information near the stocker and the rail while installing various sensors in a carrier for transporting the wafer and moving along the loop of the automatic conveying apparatus. The AGV sensor system 23 installs various sensors in an auto guided vehicle (AGV) to collect environmental information of the moving space. The free-moving wireless data transmission sensor system 21 collects environmental information while moving as it moves or controls arbitrarily instead of moving only a certain trajectory such as a wafer carrier and AGV. To this end, it is possible to form a separate track for moving the sensor or to allow the operator to carry the sensor.
또, 본 발명에 따른 메인 FMS는 상기 이동 센서 시스템(20)으로부터 전송되는 데이터를 수신하여 적절히 처리하고 디스플레이 상에 표시한다. 메인 FMS(10)는 각 센서의 ID, 현재 위치, 검출값을 요구하여 처리한다. 이동 센서 시스템(20)의 센서 중 이상 데이터를 검출하면 메인 FMS(10)에 우선처리를 요구하여 경보를 발생할 수도 있다.In addition, the main FMS according to the present invention receives the data transmitted from the mobile sensor system 20, processes it appropriately, and displays it on the display. The main FMS 10 requests and processes the ID, current position, and detection value of each sensor. When the abnormal data is detected among the sensors of the mobile sensor system 20, the main FMS 10 may be requested to be prioritized to generate an alarm.
또, 본 발명에 따른 무선 데이터 중계기(30)는 메인 FMS(10) 및 격리되거나 밀폐된 공간에 위치하는 이동 센서 시스템(20) 간에 데이터를 양방향으로 전송한다. 제조현장에 항온/항습조 등 별도의 설비가 있는 경우 그 내부의 환경은 무선 데이터 중계기(30)를 거쳐 전송된다. 제조현장이 분리되어 있어도 메인 FMS(10)는 무선 데이터 중계기(30)를 통하여 데이터를 요구하고 수신할 수 있다.In addition, the wireless data repeater 30 according to the present invention transmits data in both directions between the main FMS 10 and the mobile sensor system 20 located in an isolated or enclosed space. If there is a separate facility such as a constant temperature / humidity bath in the manufacturing site, the environment therein is transmitted via the wireless data repeater 30. Even if the manufacturing site is separated, the main FMS 10 may request and receive data through the wireless data repeater 30.
이상의 구성 및 작용을 지니는 본 발명의 무선통신 센서에 의한 환경 모니터링 장치는 각종 생산 현장에서 일지점에 고정되지 않고 움직이는 센서를 통하여 데이터를 수집 및 무선전송하여 전체의 환경 정보를 파악하기 용이하도록 하는 효과가 있다.Environmental monitoring device by the wireless communication sensor of the present invention having the above configuration and action is not fixed to one point in various production sites, the effect of making it easy to grasp the overall environmental information by collecting and wirelessly transmitting data through the moving sensor There is.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970027495A KR19990003601A (en) | 1997-06-26 | 1997-06-26 | Environmental monitoring device by wireless communication sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970027495A KR19990003601A (en) | 1997-06-26 | 1997-06-26 | Environmental monitoring device by wireless communication sensor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19990003601A true KR19990003601A (en) | 1999-01-15 |
Family
ID=65987014
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019970027495A KR19990003601A (en) | 1997-06-26 | 1997-06-26 | Environmental monitoring device by wireless communication sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR19990003601A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000056862A (en) * | 1999-02-26 | 2000-09-15 | 문성주 | wireless sensor for sensing temperature and humidity in building automation system |
| KR100757257B1 (en) * | 2006-04-28 | 2007-09-10 | 한국전력공사 | Measurement system of nuclear power plant and method for measuring of the same |
| KR100826993B1 (en) * | 2006-04-03 | 2008-05-07 | 연세대학교 산학협력단 | Object oriented parameter monitor system using Radio Frequency Identification/Ubiquitous Sensor Network |
-
1997
- 1997-06-26 KR KR1019970027495A patent/KR19990003601A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000056862A (en) * | 1999-02-26 | 2000-09-15 | 문성주 | wireless sensor for sensing temperature and humidity in building automation system |
| KR100826993B1 (en) * | 2006-04-03 | 2008-05-07 | 연세대학교 산학협력단 | Object oriented parameter monitor system using Radio Frequency Identification/Ubiquitous Sensor Network |
| KR100757257B1 (en) * | 2006-04-28 | 2007-09-10 | 한국전력공사 | Measurement system of nuclear power plant and method for measuring of the same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8325061B2 (en) | System and method for mobile environmental measurements and displays | |
| EP1439511B1 (en) | Method for managing sensor network system, program for managing sensor network system, record medium with recorded program for managing sensor network system, apparatus for managing sensor network system, method for managing relay network, program for managing relay net | |
| US9689882B2 (en) | Area monitoring system and corresponding method for operating the same | |
| EP0853303B1 (en) | Vehicle control method and system for use in automatic driving system | |
| US20080306678A1 (en) | Travel History Collection System And Terminal Side Device Used For It | |
| JP5279460B2 (en) | Road facility maintenance management support method and system | |
| JP4478462B2 (en) | Vacuum pump | |
| KR100988735B1 (en) | Traffic surveillance detection system | |
| KR100947174B1 (en) | System for providing realtime traffic information by using section classified measurement apparatus and the method thereof | |
| KR20170061968A (en) | Patrol system using robot | |
| KR101928781B1 (en) | System, apparatus and method for monitoring condition of underground cable | |
| JP2004133585A (en) | Operation control system for mobile object | |
| KR19990003601A (en) | Environmental monitoring device by wireless communication sensor | |
| US7515045B2 (en) | Wireless micro-electromechanical (MEMS) apparatus and method for real time characterization of motion parameters | |
| KR20180082711A (en) | Earthquake detection device of Elevator car and apparatus for processing of earthquake detection signal thereof | |
| KR101855088B1 (en) | Method and apparatus for removing gps shadow area using beacon | |
| KR20090063769A (en) | Urbantransit vehicles monitoring system and the method using sensor network | |
| JPH0776809A (en) | Monitoring system for road equipment and device | |
| KR100257904B1 (en) | System for evaluating environment of cleanroom | |
| WO2010098555A2 (en) | System and method for providing traffic information | |
| CN114905988A (en) | Abnormality determination device and abnormality determination method | |
| JP3851834B2 (en) | Train control system and information collection method | |
| JP5874014B2 (en) | Data relay system, relay reader device, relay tag device, relay device, and data relay method | |
| JPH11348785A (en) | Operation control system for electric car | |
| JP2009199314A (en) | Traveling support system, radio base station device, onboard radio equipment and traveling support method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |