KR19990001118A - External bonding device and control method - Google Patents

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KR19990001118A KR1019970024329A KR19970024329A KR19990001118A KR 19990001118 A KR19990001118 A KR 19990001118A KR 1019970024329 A KR1019970024329 A KR 1019970024329A KR 19970024329 A KR19970024329 A KR 19970024329A KR 19990001118 A KR19990001118 A KR 19990001118A
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황창범
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윤종용
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Abstract

본 발명은, 백업헤드와, 이방성도전막을 개재하여 그라스기판과 TAB부품을 상기 백업헤드에 대해 압착하는 가압헤드를 갖는 아우터리드본딩장치 및 그 제어방법에 관한 것으로서, 본 아우터리드본딩장치는, 백업헤드의 수압면에 길이방향을 따라 다수 매설되어 상기 가압헤드의 가압력을 검출하는 압력센서와, 상기 압력센서들로부터의 신호에 기초하여 상기 가압헤드에 의한 압착력의 균일도를 평가하는 평가수단을 포함한다. 이에 의해, 압력분포상태를 용이하고 정확하게 파악할 수 있으므로, 가압력의 균일도 조절을 신속하고 정확하게 행할 수 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an outer bonded device having a backup head and a pressurized head for pressing a glass substrate and a TAB part against the backup head via an anisotropic conductive film, and a control method thereof. A plurality of pressure sensors embedded in the hydraulic pressure surface of the head along the longitudinal direction to detect the pressing force of the pressure head, and evaluation means for evaluating the uniformity of the pressing force by the pressure head based on signals from the pressure sensors. . As a result, since the pressure distribution state can be grasped easily and accurately, it is possible to quickly and accurately adjust the uniformity of the pressing force.

Description

아우터리드본딩장치 및 그 제어방법External bonding device and control method

본 발명은 아우터리드본딩장치 및 그 제어방법에 관한 것으로서, 특히 압착력의 균일도를 용이하게 확인할 수 있도록 한 아우터리드본딩장치 및 그 제어방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an outer bonded device and a control method thereof, and more particularly, to an outer bonded device and a method of controlling the same.

아우터리드본딩장치는, LCD셀 등의 그라스기판의 측연에 TAB소자의 리드를 본딩하는 장치를 말하며, 도 1 및 도 2에 각각 측면도와 정면도로 도시된 바와 같이, 프레임(1)과, 압착유니트(2) 및 백업유니트(3)로 구성되어 있다. 압착유니트(2)는 가압실린더(4)에 의해 승강가능한 가압헤드(21)를 가지고 있고, 백업유니트(3)는 가압헤드(21)에 대응하는 백업헤드(31)를 가진다. 가압헤드(21)는 가열블럭(22)에 고정되어 가열되도록 되어 있으며, 가열블럭(22)은 지지블럭(23)에 다수의 조절스크류(24, 25)에 의해 결합되어 있다. 이방성도전막에 의해 상호 가접착된 그라스기판과 TAB소자는, 그 가접착위치가 백업헤드(31)상에 위치한 상태에서, 가열블럭(22)에 의해 가열되어 있는 가압헤드(21)가 하강하여 압착함으로써 열 및 가압력에 의해 상호 접착되게 된다. 이러한 백업헤드(31)에 대한 가압헤드(21)의 가압력은 그 전체길이에 걸쳐 균일하여야만 본딩이 유효하게 행하여질 수 있다. 그래서, 아우터리드본딩장치에서는, 가압헤드(21)와 백업헤드(31) 간의 직선도 내지는 평행도 유지가 무엇보다도 중요하다.The outer bonding device refers to a device for bonding a lead of a TAB element to a side edge of a glass substrate such as an LCD cell, and as shown in side and front views of FIGS. 1 and 2, respectively, the frame 1 and the pressing unit. (2) and backup unit (3). The pressing unit 2 has a pressurizing head 21 which can be lifted and lowered by the pressurizing cylinder 4, and the backup unit 3 has a backup head 31 corresponding to the pressurizing head 21. The pressure head 21 is fixed to the heating block 22 to be heated, and the heating block 22 is coupled to the support block 23 by a plurality of adjusting screws 24 and 25. In the glass substrate and the TAB element that are temporarily bonded to each other by the anisotropic conductive film, the pressure head 21 heated by the heating block 22 descends while the temporary bonding position is located on the backup head 31. By pressing, they are bonded to each other by heat and pressing force. The pressing force of the pressure head 21 against the backup head 31 must be uniform over its entire length so that bonding can be effectively performed. In the outer bonded device, therefore, maintaining the straightness or parallelism between the pressing head 21 and the backup head 31 is most important.

그런데, 이러한 아우터리드본딩장치에서는, 도시된 바와 같이, 가압헤드(21)에 의한 압착길이가 비교적 길기 때문에, 그 전체길이에 걸쳐 직선도와 평행도를 지속적으로 유지하여 항상 균일한 가압력을 얻기는 곤란하다. 그래서, 아우터리드본딩장치에서는, 가열블럭(22)과 지지블럭(23) 사이에 다수의 당기기조절스크류(24)와 밀기조절스크류(25)를 마련하여 두고, 수시로 가압력의 균일도를 점검하여, 이들 조절스크류(24, 25)로 가열블럭(22)과 지지블럭(23)간의 간격을 조절함으로써 가압력의 균일을 도모한다.By the way, in this outer bonded device, since the pressing length by the pressing head 21 is relatively long, as shown in the figure, it is difficult to continuously maintain the straightness and parallelism over the entire length and always obtain a uniform pressing force. . Therefore, in the outer bonded device, a plurality of pull adjusting screws 24 and a push adjusting screw 25 are provided between the heating block 22 and the supporting block 23, and the uniformity of the pressing force is often checked, and these The adjusting screws 24 and 25 adjust the distance between the heating block 22 and the support block 23 to achieve uniform pressing force.

종래의 아우터리드본딩장치에서는, 가압력의 균일도를 점검하기 위해, 가압헤드(21)와 백업헤드(31) 사이에 감압지를 개재하여 가압헤드(21)로 가압한 다음, 감압지에 나타나는 색상의 변화와 그 차이에 기초하여 가압력의 편차를 가늠한다. 그러나, 가압헤드(21)는 가열블럭(22)에 의해 가열되기 때문에, 온도 및 작업시간의 경과에 따라 가압력의 편차는 시간의 흐름에 따라 변동될 수 있다. 그래서, 여러 회에 걸쳐 감압지로 확인하고 조절스크류(24, 25)로 조절하는 작업을, 가압력의 균일도가 만족할만한 수준에 도달할 때까지 반복하여야만 한다. 게다가 조절스크류(24, 25)의 수가 많기 때문에 조절작업은 더욱 곤란하고 많은 시간을 소요한다.In the conventional outer bonded device, in order to check the uniformity of the pressing force, the pressure head 21 is pressed between the pressure head 21 and the backup head 31 via the pressure head 21, and then the change in color that appears on the pressure-sensitive paper Based on the difference, the deviation of the pressing force is estimated. However, since the pressure head 21 is heated by the heating block 22, the deviation of the pressing force may change with time as the temperature and the working time elapse. Therefore, the operation of checking the pressure-sensitive paper and adjusting the adjusting screws 24 and 25 several times must be repeated until the uniformity of the pressing force reaches a satisfactory level. In addition, the adjustment work is more difficult and time consuming because of the large number of adjustment screws (24, 25).

따라서, 본 발명의 목적은, 가압헤드에 의한 가압력의 분포를 정확히 파악할 수 있도록 하여 압력분포의 균일도조절이 신속하고 확실하게 이루어질 수 있도록 한 아우터리드본딩장치 및 그 제어방법을 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide an outer bonding device and a method of controlling the same so that the distribution of the pressing force by the pressure head can be accurately grasped so that the uniformity of the pressure distribution can be quickly and surely achieved.

도 1은 아우터리드본딩장치의 측면도,1 is a side view of the outer bonded device,

도 2는 아우터리드본딩장치의 정면도,2 is a front view of the outer bonding device;

도 3은 본 발명에 따른 아우터리드본딩장치의 백업헤드의 평면도,3 is a plan view of a backup head of the outer bonded device according to the present invention;

도 4는 도 3의 I-I선에 따른 확대단면도,4 is an enlarged cross-sectional view taken along the line I-I of FIG. 3;

도 5는 본 발명에 따른 아우터리드본딩장치의 개략적 제어블럭도이다.5 is a schematic control block diagram of the outer bonded device according to the present invention.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for main parts of the drawings

1 : 프레임2 : 압착유니트1: frame 2: crimping unit

3 : 백업유니트4 : 가압실린더3: backup unit 4: pressurized cylinder

21 : 가압헤드22 : 가열블럭21 pressure head 22 heating block

23 : 지지블럭24 : 당기기조절스크류23: support block 24: pull adjustment screw

25 : 밀기조절스크류31 : 백업헤드25: push screw 31: backup head

32 : 수압면33 : 감압부32: pressure receiving surface 33: pressure reducing unit

34 : 압전소자40 : 제어부34: piezoelectric element 40: control unit

41 : 표시부41: display unit

상기 목적은, 본 발명에 따라, 백업헤드와, 이방성도전막을 개재하여 그라스기판과 TAB부품을 상기 백업헤드에 대해 압착하는 가압헤드를 갖는 아우터리드본딩장치에 있어서, 상기 백업헤드의 수압면에 길이방향을 따라 다수 매설되어 상기 가압헤드의 가압력을 검출하는 압력센서와, 상기 압력센서들로부터의 신호에 기초하여 상기 가압헤드에 의한 압착력의 균일도를 평가하는 평가수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 아우터리드본딩장치에 의해 달성된다.An object of the present invention is an outer bonding device having a backup head and a pressure head for pressing a glass substrate and a TAB part against the backup head via an anisotropic conductive film in accordance with the present invention. A plurality of pressure sensors embedded in the direction to detect the pressing force of the pressure head, and evaluation means for evaluating the uniformity of the pressing force by the pressure head based on signals from the pressure sensors. Achieved by a bonding device.

여기서, 상기 압력센서는 압전소자로서 바람직하게 구성할 수 있으며, 상기 평가수단에 의해 평가된 압착력의 균일도를 표시하는 표시수단을 더 포함할 수 있다.Here, the pressure sensor may be preferably configured as a piezoelectric element, and may further include display means for displaying the uniformity of the pressing force evaluated by the evaluation means.

또한, 본 발명의 다른 분야에 따르면, 백업헤드와, 이방성도전막을 개재하여 그라스기판과 TAB부품을 상기 백업헤드에 대해 압착하는 가압헤드를 갖는 아우터리드본딩장치의 제어방법에 있어서, 상기 가압헤드의 길이방향을 따라 복수의 개소에서 상기 가압헤드의 가압력을 검출하는 단계와, 검출된 각 압착력신호값을 소정의 형태로 표시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 아우터리드본딩장치의 제어방법이 제공된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a control method of an outer bonding device having a backup head and a pressing head for pressing a glass substrate and a TAB part against the backup head via an anisotropic conductive film. There is provided a control method of an outer bonding device, comprising detecting a pressing force of the pressing head at a plurality of locations along a longitudinal direction, and displaying each detected pressing force signal value in a predetermined form. .

이하에서 첨부도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 아우터리드본딩장치의 기본적 구성은 종래의 아우터리드본딩장치와 동일하다. 종래 기술과 관련하여 설명한 도 1 및 도 2를 참조하면, 본 아우터리드본딩장치는, 이미 설명한 바와 같이, 프레임(1)에 설치되는 압착유니트(2) 및 백업유니트(3)로 구성되어 있다.The basic configuration of the outer bonded device according to the present invention is the same as the conventional outer bonded device. 1 and 2 described in connection with the prior art, the outer bonded device is constituted by a crimping unit 2 and a backup unit 3 provided in the frame 1 as described above.

압착유니트(2)는, 긴 띠상의 가압헤드(21)와, 가압헤드(21)와 일체로 결합되어 도시 않은 가열수단에 의해 가열되는 가열블럭(22), 및 가열블럭(22)과 다수의 조절스크류(24, 25)에 의해 결합된 지지블럭(23)으로 이루어져 있다. 지지블럭(23)은 가압실린더(4)에 연결되어 그에 의해 승강가능하며, 그래서 지지블럭(23)의 승강시 가열블럭(22)에 의해 가열된 가압헤드(21)는 승강운동한다. 지지블럭(23)과 가열블럭(22) 사이에는 다수의 조절스크류(24, 25)가 마련되어 있다. 이들 조절스크류(24, 25)는 당기기조절스크류(24) 및 밀기조절스크류(25)로 이루어져, 이들의 조작에 의해 지지블럭(23)과 가열블럭(22)간의 간격이 조절되며, 그에 따라 가압헤드(21)의 직선도를 조절할 수 있다.The crimping unit 2 includes a long band-shaped press head 21, a heating block 22 which is integrally coupled with the press head 21 and heated by heating means (not shown), and a plurality of heating blocks 22. It consists of a support block 23 coupled by the adjusting screw (24, 25). The support block 23 is connected to the pressure cylinder 4 and can be lifted by it, so that the pressure head 21 heated by the heating block 22 moves up and down when the support block 23 is elevated. A plurality of adjusting screws 24 and 25 are provided between the support block 23 and the heating block 22. These adjustment screws 24 and 25 are composed of a pull adjustment screw 24 and a push adjustment screw 25, the interval between the support block 23 and the heating block 22 is adjusted by their operation, and accordingly pressurized The straightness of the head 21 can be adjusted.

백업유니트(3)는 가압헤드(21)에 대응하는 백업헤드(31)를 가진다. 백업헤드(31)는 가압헤드(21)의 가압면에 일치하는 수압면을 가지고 대면하여 배치되어 있다. 이방성도전막에 의해 상호 가접착된 그라스기판과 TAB소자는, 그 가접착위치가 백업헤드(31)의 수압면상에 위치한 상태에서, 가열블럭(22)에 의해 가열되어 있는 가압헤드(21)가 하강하여 압착함으로써 열 및 가압력에 의해 상호 접착되게 된다.The backup unit 3 has a backup head 31 corresponding to the pressure head 21. The backup head 31 is disposed to face each other with a hydraulic pressure surface corresponding to the pressure surface of the pressure head 21. The glass substrate and the TAB element that are temporarily bonded to each other by the anisotropic conductive film are each pressurized head 21 heated by the heating block 22 while the temporary bonding position is located on the hydraulic pressure surface of the backup head 31. By lowering and compressing, they are bonded to each other by heat and pressing force.

가압헤드(21)와 백업헤드(31) 사이에는, 공급드럼(5)으로부터 풀려 나와 권취드럼(6)에 감기는 보호시이트(7)가 개재되어 있다. 이 보호시이트(7)는 가압헤드(21)가 그라스기판에 대해 TAB소자를 가압할 때 TAB소자를 보호하여 소자의 표면이 손상되는 것을 방지하는 역할을 한다.Between the pressurizing head 21 and the backup head 31, a protective sheet 7 is released from the supply drum 5 and wound around the winding drum 6. The protective sheet 7 serves to protect the TAB element when the pressing head 21 presses the TAB element against the glass substrate, thereby preventing the surface of the element from being damaged.

도 3은 백업헤드(31)의 평면도이다. 백업헤드(31)는 가압헤드(21)의 가압면에 대응하는 긴 띠상의 수압면(32)을 가지고 있고, 이 수압면(32)에는 그 길이방향의 따라 다수의 감압부(33)가 선형적으로 배열되어 있다.3 is a plan view of the backup head 31. The backup head 31 has a long band-shaped pressure receiving surface 32 corresponding to the pressing surface of the pressing head 21, and the pressure receiving surface 32 has a plurality of pressure-reducing parts 33 along the lengthwise direction thereof. It is arranged as an enemy.

도 4는 도 3의 I-I선에 따른 확대단면도로서, 감압부(33)의 영역을 구체적으로 나타낸 것이다. 감압부(33)의 하부에는 압전소자(34)가 배치되어 있다. 압전소자(34)는 백업헤드(31)에 형성된 수용홈내에 수용되어 있으며, 그 상부는 감압부(33)에 접촉하여 있다. 압전소자(34)에서 발생되는 전기적 신호는 도선(35)을 통하여 도시않은 제어부로 제공된다. 여기서, 압전소자(34)는 스트레인게이지타입 등의 다른 압력센서로 대체될 수 있음은 물론이다.FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view taken along the line I-I of FIG. 3, and specifically illustrates a region of the pressure reducing unit 33. The piezoelectric element 34 is disposed under the pressure reduction unit 33. The piezoelectric element 34 is accommodated in the receiving groove formed in the backup head 31, and the upper part thereof is in contact with the decompression unit 33. The electrical signal generated by the piezoelectric element 34 is provided to the controller (not shown) via the conductive wire 35. Here, the piezoelectric element 34 may be replaced with another pressure sensor such as strain gauge type.

도 5는 본 발명에 따른 아우터리드본딩장치의 개략적 제어블럭도이다. 각 압전소자(34)로부터 발생한 전기적 압력신호는 제어부(40)에 전달되며, 제어부(40)는 그 압력신호들을 적절한 형태로 표시부(41)에서 표시되도록 한다.5 is a schematic control block diagram of the outer bonded device according to the present invention. The electrical pressure signal generated from each piezoelectric element 34 is transmitted to the control unit 40, and the control unit 40 causes the pressure signals to be displayed on the display unit 41 in an appropriate form.

이러한 구성에 의해, 가압헤드(21)가 백업헤드(31)를 향해 하강하여 백업헤드(31)의 수압면(32)을 가압하면, 그 가압력은 감압부(33)를 통해 압전소자(34)에 전달된다. 압전소자(34)는 가하여진 압력을 전기적 신호로 변환하여 도선(35)을 통해 제어부(40)에 제공한다. 제어부(40)는 백업헤드(31)상의 각 위치로부터 제공된 압력신호에 기초하여, 압력분포상태를 평가할 수 있다. 그 평가된 결과는 표시부(41)를 통해 표시되어 작업자가 인지하게 된다. 표시부(41)에 의한 표시형태는 다양하게 선택될 수 있다. 예를 들어, 모니터를 통해 압력분포를 도식적으로 표현할 수 있으며, 혹은 각 위치간의 불균일도를 시각적으로 인식하도록 하여 조절하여야 할 위치를 알 수 있게 할 수 있다. 혹은 각 위치에 대응하여 가압력의 부족 또는 과잉의 여부만을 알 수 있도록 발광소자를 이용하여 인지시킬 수도 있다.By this structure, when the pressure head 21 descends toward the backup head 31 and presses the hydraulic pressure surface 32 of the backup head 31, the pressing force is the piezoelectric element 34 through the pressure reduction part 33. Is passed on. The piezoelectric element 34 converts the applied pressure into an electrical signal and provides it to the controller 40 through the conductive wire 35. The controller 40 may evaluate the pressure distribution state based on the pressure signal provided from each position on the backup head 31. The evaluated result is displayed through the display unit 41 to be recognized by the operator. The display form by the display unit 41 may be variously selected. For example, a pressure distribution can be represented graphically on a monitor, or a non-uniformity between each position can be visually recognized to indicate the position to be adjusted. Alternatively, the light emitting device may be used to recognize whether the pressing force is insufficient or excessive corresponding to each position.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 작업자는 압전소자등 압력센서로부터의 전기적 검출신호에 기초하여 압력분포상태를 용이하고 정확하게 파악할 수 있으므로, 가압력의 균일도 조절을 신속하고 정확하게 행할 수 있는 아우터리드본딩장치 및 그 제어방법이 제공된다.As described above, according to the present invention, the operator can easily and accurately grasp the pressure distribution state on the basis of the electrical detection signal from the pressure sensor such as a piezoelectric element, so that the outer bond that can adjust the uniformity of the pressing force quickly and accurately An apparatus and a control method thereof are provided.

Claims (5)

백업헤드와, 이방성도전막을 개재하여 그라스기판과 TAB부품을 상기 백업헤드에 대해 압착하는 가압헤드를 갖는 아우터리드본딩장치에 있어서,An outer bonded device having a backup head and a pressure head for pressing a glass substrate and a TAB component against the backup head via an anisotropic conductive film. 상기 백업헤드의 수압면에 길이방향을 따라 다수 매설되어 상기 가압헤드의 가압력을 검출하는 압력센서와,A pressure sensor which is embedded in the hydraulic pressure surface of the backup head along a longitudinal direction to detect the pressing force of the pressure head; 상기 압력센서들로부터의 신호에 기초하여 상기 가압헤드에 의한 압착력의 균일도를 평가하는 평가수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 아우터리드본딩장치.And evaluation means for evaluating the uniformity of the pressing force by the pressure head based on the signals from the pressure sensors. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 압력센서는 압전소자인 것을 특징으로 하는 아우터리드본딩장치.And the pressure sensor is a piezoelectric element. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 평가수단에 의해 평가된 압착력의 균일도를 표시하는 표시수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 아우터리드본딩장치.The outer bonding device, characterized in that it further comprises a display means for displaying the uniformity of the pressing force evaluated by the evaluation means. 백업헤드와, 이방성도전막을 개재하여 그라스기판과 TAB부품을 상기 백업헤드에 대해 압착하는 가압헤드를 갖는 아우터리드본딩장치의 제어방법에 있어서,A control method of an outer bonded device having a backup head and a pressing head for pressing a glass substrate and a TAB component against the backup head via an anisotropic conductive film, 상기 가압헤드의 길이방향을 따라 복수의 개소에서 상기 가압헤드의 가압력을 검출하는 단계와,Detecting the pressing force of the pressing head at a plurality of locations along the longitudinal direction of the pressing head; 검출된 각 압착력신호값을 소정의 형태로 표시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 아우터리드본딩장치의 제어방법.And displaying the detected pressing force signal values in a predetermined form. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 압착력신호값들 사이의 불균일도를 확인하는 단계를 더 포함하며, 상기 표시단계에서는 상기 불균일도를 표시하는 것을 특징으로 하는 아우터리드본딩장치의 제어방법.And checking the nonuniformity between the pressing force signal values, wherein the non-uniformity is displayed in the display step.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8810270B2 (en) 2009-06-03 2014-08-19 Semics Inc. Wafer probe station capable of actively controlling tilt of chuck and controlling method thereof

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