KR19980078647A - Manufacturing method of magnetic head - Google Patents
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Abstract
본 발명은 고밀도 기록방식의 매개체에 정보를 기록/재생하기 위한 자기헤드 제조방법에 관한 것으로, 자기코어블럭과 자성금속박막 사이의 접촉영역에 산화물자성기판에서 확산되는 산소분자와 결합할 수 있는 중간막을 증착하는 단계를 포함하는 자기헤드 제조방법을 제공함으로써, 열처리시 산화물자성재질인 자기코어블럭에서 확산되는 산소분자가 중간막의 재질과 결합하여 자기코어블럭과 동일한 재질의 산화물자성물질을 형성하므로 산화물자성기판위에 자성금속박막이 직접 존재하는 효과를 가져오게되어 의사 갭(pseudo-gap) 현상이 발생되는 것을 방지할 수 있는 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing a magnetic head for recording / reproducing information to / from an intermediate medium of a high density recording system, The oxygen molecules diffused in the magnetic core block, which is an oxide magnetic material, are combined with the material of the intermediate film to form an oxide magnetic material having the same material as that of the magnetic core block during the heat treatment, It is possible to prevent the occurrence of pseudo-gap phenomenon because the magnetic metal thin film directly exists on the magnetic substrate.
Description
본 발명은 고밀도 기록방식의 매개체에 정보를 기록/재생하기 위한 자기헤드 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 자기코어블럭과 자성금속박막 사이의 접촉영역에 자기코어블럭에서 확산되는 산소분자와 결합할 수 있는 매우 얇은 초박막의 중간막(Intermediate Layer)을 형성한 자기헤드 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a magnetic head manufacturing method for recording / reproducing information to / from an intermediate medium of a high density recording system, and more particularly to a magnetic head manufacturing method for recording / To a method of manufacturing a magnetic head having a very thin ultra thin intermediate layer (Intermediate Layer).
최근에 각종 정보기록 분야에서 정보를 기록하는 매개체는 장시간 사용을 위해 고밀도 기록방식이 채택되고 있으며, 이를 위해서는 자기기록매체의 보자력(Hc)을 높게하는 것이 유리한 것으로 알려져 있다.Recently, a medium for recording information in various information recording fields has been adopted for high-density recording for a long time, and it is known that it is advantageous to increase the coercive force (H c ) of the magnetic recording medium.
이에 따라 매개체의 보자력이 1200∼1500 Oe인 페라이트계 테이프가 사용되고 있으며, 자기헤드 또한 매개체의 보자력 증가에 대응할 수 있도록 고포화자속밀도의 금속자성재료, 예를 들면 센더스트 등을 사용한 자기헤드가 개발되어 있다.Accordingly, and the coercive force of the medium 1200~1500 O e of ferritic tape is used, the magnetic head the magnetic head and also to cope with increasing the coercive force of the medium, for the metal magnetic material, examples of the saturated magnetic flux density with such sendust Has been developed.
특히, 고투자율의 페라이트가 메인 코어로 이용되고 센더스트 박막은 페라이트 코어의 갭 양면에 증착된 MIG헤드(Matal-In-Gap Head)가 공개되어 있다.In particular, a high-permeability ferrite is used as a main core, and a sendust thin film is disclosed as a Matal-In-Gap head deposited on both sides of a gap of a ferrite core.
종래의 MIG헤드 제조방법의 일예를 제조공정순에 따라 도면을 참조해서 설명하면 다음과 같다.An example of a conventional MIG head manufacturing method will be described with reference to the drawings in the order of manufacturing steps as follows.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 페라이트로 이루어진 산화물자성기판(1) 위에 다수의 평행홈(2)을 기판의 전체폭에 걸쳐 형성하며, 최종생성물에 코일(9)을 감을 수 있도록 상기 평행홈(2)과 직교하는 방향으로 권선홈(3)을 절삭가공한다.As shown in FIGS. 1 and 2, a plurality of parallel grooves 2 are formed on an oxide magnetic substrate 1 made of ferrite over the entire width of the substrate, and the coil 9 is wound on the end product And the winding groove 3 is cut in a direction orthogonal to the parallel groove 2.
이어서, 상기 기판(1) 전면에 자성금속박막(4), 예를 들면 센더스트(Fe-Al-Si)합금 또는 비정질합금을 진공박막형성기술을 이용해서 증착한다.Next, a magnetic metal thin film 4, for example, a Fe-Al-Si alloy or an amorphous alloy is deposited on the entire surface of the substrate 1 using a vacuum thin film forming technique.
이어서, 상기 자성금속박막(4) 위에 자기갭(5)을 형성하기 위해 산화실리콘(SiO2) 등의 비자성재료(6)를 증착시킨 후, 기판(1)의 전면을 평면으로 연삭하여 우수한 평활도를 나타내는 표면을 형성한다.Subsequently, a non-magnetic material 6 such as silicon oxide (SiO 2 ) is deposited to form a magnetic gap 5 on the magnetic metal thin film 4, and then the entire surface of the substrate 1 is ground flat Thereby forming a smooth surface.
계속해서, 상기 기판(1) 전면에 갭 스페이서를 형성하기 위해 글래스(8)를 몰딩시킨 후 상기 평행홈(2)을 제외한 나머지 부분의 글래스를 제거한다.Subsequently, the glass 8 is molded to form a gap spacer on the entire surface of the substrate 1, and then the remaining glass except for the parallel grooves 2 is removed.
이와같이 제조된 1 쌍의 자기코어블럭(10)(12)을 맞대어 평행홈(2) 및 권선홈(3)이 서로 일치하도록 정렬시킨 후 그 양측면에 소정의 압력을 부여하면서 열처리하여 상기 글래스(8)가 용착되어 1 쌍의 자기코어블럭(10)(12)이 상호 접합되도록 한다.The pair of magnetic core blocks 10 and 12 manufactured as described above are aligned so that the parallel grooves 2 and the winding grooves 3 align with each other and are heat treated while applying a predetermined pressure to both sides thereof, Are welded so that a pair of magnetic core blocks 10 and 12 are bonded to each other.
이어서, 상기 자기기록매체가 접촉하는 표면을 원통형상으로 정밀하게 연마하여 트랙면(14)을 형성한 후, 아지머스(Azimuth)각을 고려하여 경사진 방향으로 절단한다.Then, the surface to be contacted by the magnetic recording medium is precisely polished into a cylindrical shape to form a track surface 14, and then cut in an oblique direction in consideration of an azimuth angle.
최종공정으로, 상기 권선홈(3)에 도전성을 갖는 코일(9)을 권취시켜 다수의 자기헤드가 완성된다.In the final step, a coil 9 having conductivity is wound around the winding groove 3 to complete a plurality of magnetic heads.
그런데 이와같은 종래의 MIG헤드는 자기코어블럭(10)(12)과 자성금속박막(4) 사이의 접촉영역에서 원하지 않는 의사 갭(pseudo-gap)이 형성됨으로 인해 자속이 누설되어 원하지 않는 정보를 읽어들이거나 재생하게 되어 리플(Ripple)을 발생시키는 문제가 있다.However, since the conventional MIG head has an undesired pseudo-gap in the contact area between the magnetic core block 10 and the magnetic metal thin film 4, There is a problem that ripple occurs due to reading or reproducing.
즉, 전술한 종래의 실시예에서 의사 갭은 열처리 과정에서 자기코어블럭(10)(12)의 재질인 페라이트중의 산소분자(O2)가 확산되어 자성금속박막의 재질인 센더스트(Fe-Al-Si)중의 규소(Si), 알루미늄(Al) 원자와 결합하게 되며, 이는 SiO2재질의 자기갭과 동일한 SiO2갭이 형성되어 의사 갭 현상이 발생되는 것이다.That is, in the above-described conventional example, in the pseudo gap, the oxygen molecules O 2 in the ferrite, which is the material of the magnetic core blocks 10 and 12, are diffused in the heat treatment process and the magnetic material thin film Fe- Al-Si), and the combination of the silicon (Si), aluminum (Al) atoms, which is in the doctor gap phenomenon occurs, the same gap with a magnetic gap of the SiO 2 SiO 2 material is formed.
따라서, 본 발명은 이와같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 자기코어블럭과 자성금속박막 사이의 접촉영역에 자기코어블럭에서 확산되는 산소분자와 결합할 수 있는 매우 얇은 초박막의 중간막(Intermediate Layer)을 형성함으로써 의사 갭(pseudo-gap) 현상이 발생되는 것을 방지할 수 있는 자기헤드 제조방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made in order to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide an ultra-thin intermediate layer capable of bonding with oxygen molecules diffused in a magnetic core block in a contact area between a magnetic core block and a magnetic metal thin film, Which is capable of preventing a pseudo-gap phenomenon from occurring due to formation of a magnetic field.
이와같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은 고밀도 기록방식의 매개체에 정보를 기록/재생하기 위한 자기헤드 제조방법에 있어서, 산화물자성기판 위에 다수의 평행홈 및 상기 평행홈과 직교하는 방향으로 권선홈을 형성하는 단계와; 상기 기판 전면에 자성금속박막 및 비자성재료를 순차적으로 증착하는 단계와; 상기 기판 위에 상기 산화물자성기판에서 확산되는 산소분자와 결합할 수 있는 중간막을 증착하는 단계와; 상기 평행홈 부분에 글래스를 충전하는 단계와; 상기 단계를 통해 제조된 결과물 1 쌍을 맞대어 소정의 압력을 부여하면서 열처리하여 접합하는 단계와; 자기기록매체가 접촉하는 표면을 원통형상으로 연마하여 트랙면을 형성하는 단계와; 상기 평행홈을 중심으로 절단하여 도전성 코일을 감는 단계;로 이루어지는 자기헤드 제조방법을 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a magnetic head for recording / reproducing information in / from a medium of a high density recording system, comprising the steps of: forming a plurality of parallel grooves on the oxide magnetic substrate and winding grooves in a direction orthogonal to the parallel grooves ; ≪ / RTI > Sequentially depositing a magnetic metal thin film and a nonmagnetic material on the entire surface of the substrate; Depositing on the substrate an interlayer capable of binding oxygen molecules diffused in the oxide magnetic substrate; Filling the glass in the parallel groove portion; Bonding the resultant pair obtained through the step to a heat treatment while applying a predetermined pressure to the pair; Forming a track surface by polishing a surface of the magnetic recording medium in contact with the recording medium in a cylindrical shape; And winding the conductive coil around the parallel grooves by cutting the conductive grooves about the parallel grooves.
이와같은 본 발명에 따르면, 열처리시 산화물자성재질인 자기코어블럭에서 확산되는 산소분자가 중간막의 재질과 결합하여 산화물자성물질을 형성함으로써 이는 자기코어블럭과 동일한 재질이므로 산화물자성기판위에 자성금속박막이 직접 존재하는 효과를 가져오게되어 의사 갭이 나타나는 것을 방지하게 된다.According to the present invention, oxygen molecules diffused in the magnetic core block, which is an oxide magnetic material, are combined with the material of the interlayer to form an oxide magnetic material, which is the same material as the magnetic core block. Therefore, It is possible to prevent a pseudo gap from appearing because it has a direct effect.
따라서, 자기코어블럭과 자성금속박막 사이의 접촉영역에서 의사 갭(pseudo-gap)으로 인해 자속이 누설되어 원하지 않는 정보를 읽어들이거나 재생하게 되어 리플(Ripple)이 발생되는 것을 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.Therefore, it is possible to prevent unwanted information from being read or reproduced due to leakage of magnetic flux due to pseudo-gap in the contact area between the magnetic core block and the magnetic metal thin film, thereby preventing occurrence of ripples Can be obtained.
도 1은 종래의 MIG헤드를 보인 사시도,1 is a perspective view showing a conventional MIG head,
도 2는 종래의 MIG헤드 제조방법을 보인 공정도,2 is a process diagram showing a conventional MIG head manufacturing method,
도 3은 본 발명에 따른 MIG헤드를 보인 사시도,3 is a perspective view showing the MIG head according to the present invention,
도 4는 본 발명에 따른 MIG헤드 제조방법을 보인 공정도.4 is a process chart showing a method of manufacturing an MIG head according to the present invention.
도면의 주요부분에 대한 부호 설명DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG.
20 ; 산화물자성기판 22 ; 평행홈20; An oxide magnetic substrate 22; Parallel groove
24 ; 권선홈 26 ; 자성박막24; Winding groove 26; Magnetic thin film
28 ; 비자성박막 30 ; 중간막28; Non-magnetic thin film 30; Interlayer
32 ; 글래스 34 ; 트랙면32; Glass 34; Track face
36 ; 코일 38 ; 자기코어블럭36; Coil 38; Magnetic core block
이하 본 발명의 구성 및 작용효과를 첨부도면과 함께 상세히 설명하면 다음과 같다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 3는 본 발명에 따른 MIG헤드를 도시한 사시도이며, 도 4는 본 발명에 따른 MIG헤드 제조공정을 도시한 것이다.FIG. 3 is a perspective view illustrating an MIG head according to the present invention, and FIG. 4 illustrates a MIG head manufacturing process according to the present invention.
도 3 에 도시된 바와 같이, Mn-Zn 페라이트 또는 Ni-Zn 페라이트 등의 강자성산화물로 이루어지는 한쌍의 자기코어블럭(38)의 접촉면에 형성된 평행홈(22)에 순차적으로 중간막(30)과 자성금속박막(24)이 고주파 전원 스퍼터링에 의해 증착되어 구성된다.As shown in FIG. 3, the interlayer 30 and the magnetic metal layer 30 are sequentially formed on the parallel grooves 22 formed on the contact surfaces of the pair of magnetic core blocks 38 made of ferromagnetic oxides such as Mn-Zn ferrite or Ni-Zn ferrite. A thin film 24 is deposited by high frequency power source sputtering.
상기 중간막(30)은 자기코어블럭(38)의 재질이 Mn-Zn 페라이트인 경우에는 Mn-Zn-Fe 재질로 이루어지며, 자기코어블럭(38)의 재질이 Ni-Zn 페라이트인 경우에는 Ni-Zn-Fe 재질로 이루어진다.The intermediate layer 30 is made of Mn-Zn-Fe when the material of the magnetic core block 38 is Mn-Zn ferrite. When the material of the magnetic core block 38 is Ni-Zn ferrite, the Ni- Zn-Fe material.
이때 Mn-Zn-Fe 또는 Ni-Zn-Fe 재질의 중간막(30)의 성분비는 자기코어블럭(38)의 Mn-Zn 페라이트 또는 Ni-Zn 페라이트에서 열처리시 확산되는 산소원자의 양과 동일하게 이루어진다.The composition ratio of the Mn-Zn-Fe or Ni-Zn-Fe intermediate layer 30 is equal to the amount of oxygen atoms diffused in the Mn-Zn ferrite or Ni-Zn ferrite of the magnetic core block 38 during heat treatment.
또한, 비자성재료인 산화 실리콘(SiO2)은 비자성박막(28)을 형성하여 갭 스페이스로 이용되고, 약 550℃ 온도에서 진행되는 열처리를 통해 글래스(32)를 용착함으로써 자기코어블럭(38)을 상호 접합시켜 구성된다.In addition, non-magnetic material is a silicon oxide (SiO 2) is used as the gap space to form a non-magnetic thin film 28, and by welding the glass 32 through the heat treatment is conducted at about 550 ℃ temperature magnetic core blocks (38 ) To each other.
본 발명의 실시예에 따른 제조방법을 설명하면 다음과 같다.A manufacturing method according to an embodiment of the present invention will now be described.
도 4 에 도시된 바와 같이, 먼저 Mn-Zn 페라이트 또는 Ni-Zn 페라이트 등의 강자성산화물로 이루어지는 산화물자성기판(20)을 준비하여, 상기 기판(20) 위에 다수의 평행홈(22)을 기판(20)의 전체폭에 걸쳐 소정간격으로 배열하여 형성하고, 상기 평행홈(22)과 직교하는 방향으로는 권선홈(24)을 절삭가공하여 형성한다.4, first, an oxide magnetic substrate 20 made of a ferromagnetic oxide such as Mn-Zn ferrite or Ni-Zn ferrite is prepared, and a plurality of parallel grooves 22 are formed on the substrate 20 20, and winding grooves 24 are formed in the direction orthogonal to the parallel grooves 22 by cutting.
이어서, 상기 기판(20) 전면에 자기코어블럭(38)의 재질이 Mn-Zn 페라이트인 경우에는 Mn-Zn-Fe 재질로 이루어지며, 자기코어블럭(38)의 재질이 Ni-Zn 페라이트인 경우에는 Ni-Zn-Fe 재질로 이루어진 매우 얇은 초박막의 중간막(30)을 고주파 전원의 스퍼터링 증착공정을 통해 증착한다.When the material of the magnetic core block 38 is made of Mn-Zn-Fe material in the case where the material of the magnetic core block 38 is Ni-Zn ferrite on the entire surface of the substrate 20, A very thin ultra thin intermediate film 30 made of Ni-Zn-Fe material is deposited by a sputtering deposition process of a high frequency power source.
즉, 상기 중간막(30)은 산소분자를 함유하지 않는 재질로써 산화되는 경우 자기코어블럭(38)의 재질과 동일한 재질을 갖도록 선택된다.That is, the intermediate layer 30 is selected so as to have the same material as the material of the magnetic core block 38 when oxidized by a material containing no oxygen molecules.
한편, 상기 중간막(30)의 성분비는 열처리시 자기코어블럭(38)에서 확산되는 산소원자와 충분히 결합될 있는 성분비를 갖도록 하는 것이 바람직하다.Meanwhile, it is preferable that the composition ratio of the intermediate membrane (30) has a component ratio that is sufficiently combined with oxygen atoms diffused in the magnetic core block (38) during heat treatment.
이어서, 상기 중간막(30) 전면에 센더스트(Fe-Al-Si)합금 등의 자성금속박막(26)을 증착한 다음 상기 자성금속박막(26) 위에 산화실리콘(SiO2) 등의 비자성박막(28)을 증착한다.Next, a magnetic metal thin film 26 such as a Fe-Al-Si alloy is deposited on the entire surface of the intermediate film 30, and then a non-magnetic thin film such as silicon oxide (SiO 2 ) (28).
계속해서, 상기 기판(20) 전면에 글래스(32)를 몰딩시킨 후 상기 평행홈(22)을 제외한 나머지 부분의 글래스(32)를 제거한 후, 이와같이 제조된 1 쌍의 자기코어블럭(38)을 맞대어 정렬시킨 후 그 양측면에 소정의 압력을 부여하면서 열처리하여 상기 글래스(32)가 용착되어 1 쌍의 자기코어블럭(38)으로 접합한다.Subsequently, the glass 32 is molded on the entire surface of the substrate 20, and the glass 32 except for the parallel grooves 22 is removed. Thereafter, a pair of the magnetic core blocks 38, And the glass 32 is welded and joined together with a pair of magnetic core blocks 38. The glass core 32 is bonded to the pair of magnetic core blocks 38 by heat treatment while applying a predetermined pressure to both sides thereof.
이때, 전술한 바와 같이, 열처리에 진행중에 페라이트 재질의 자기코어블럭(38)에서는 산소분자가 확산을 일으키게 되는데 예를 들어, 자기코어블럭(38)의 재질이 Mn-Zn 페라이트인 경우 중간막(30)은 Mn-Zn-Fe 재질로 이루어져 있으므로, 상기 산소분자는 중간막(30)의 Mn, Zn, Fe와 결합하여 MnO, ZnO, FeO, Fe2O3를 형성하게 된다.As described above, oxygen molecules are diffused in the magnetic core block 38 made of ferrite material during the heat treatment. For example, when the material of the magnetic core block 38 is Mn-Zn ferrite, the interlayer 30 Is composed of Mn-Zn-Fe material, the oxygen molecules are combined with Mn, Zn and Fe of the interlayer 30 to form MnO, ZnO, FeO and Fe 2 O 3 .
이와같이, 페라이트에서 확산된 산소분자와 반응을 일으켜 생성되는 물질은 자기코어블럭(38)의 재질과 동일한 물질이므로 결과적으로 페라이트 위에 자성금속박막(26)이 존재하는 효과를 가져와 의사 갭이 나타나지 않게 됨을 알 수 있다.As described above, since the material generated by reaction with the oxygen molecules diffused in the ferrite is the same material as the material of the magnetic core block 38, the magnetic metal thin film 26 is present on the ferrite and the pseudo gap does not appear Able to know.
한편, 계속되는 공정으로서, 종래와 마찬가지로, 상기 자기기록매체가 접촉하는 표면, 즉 1 쌍의 자기코어블럭(38)의 상단면을 원통형상으로 정밀하게 연마하여 트랙면(34)을 형성한 후, 아지머스(Azimuth)각을 고려하여 경사진 방향으로 절단하여 다수개의 자기헤드를 제조한 다음, 각 자기헤드의 권선홈(24)에 도전성을 갖는 코일(36)을 권취시켜 제조공정을 완료한다.On the other hand, as a subsequent step, similarly to the conventional method, the surface on which the magnetic recording medium comes into contact, that is, the top surface of the pair of magnetic core blocks 38 is precisely polished into a cylindrical shape to form the track surface 34, A plurality of magnetic heads are fabricated by cutting in an oblique direction in consideration of an azimuth angle and then a coil 36 having conductivity is wound around the winding groove 24 of each magnetic head to complete the manufacturing process.
이상, 상기 내용은 바람직한 일 실시예를 단지 예시한 것으로 본 발명의 당업자는 본 발명의 요지를 변경시킴이 없이 본 발명에 대한 수정 및 변경을 가할 수 있음을 인지해야 한다.It is to be understood that the foregoing is merely illustrative of preferred embodiments, and that those skilled in the art can make modifications and variations of the present invention without departing from the gist of the present invention.
따라서 본 발명에 따르면, 산화물자성재질인 자기코어블럭과 자성박막재질 사이의 접촉영역에 중간막을 개재함으로써 열처리시 확산되는 산소분자가 중간막의 재질과 결합하여 자기코어블럭과 동일한 재질의 산화물자성물질을 생성함으로써 의사 갭이 나타나는 것을 방지할 수 있게 되어 정보의 기록/재생시 리플(Ripple)이 발생되는 것을 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.Therefore, according to the present invention, oxygen molecules diffused in the heat treatment are combined with the material of the intermediate layer by interposing the intermediate layer in the contact region between the magnetic core block, which is an oxide magnetic material, and the magnetic thin film material, It is possible to prevent a pseudo gap from appearing, and it is possible to prevent ripple from occurring during recording / reproduction of information.
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