KR19980076182A - Robot transporting device for semiconductor wafer loading boat - Google Patents
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Abstract
로봇 이송장치의 상측 가이드부재에 보조 고정부분을 추가하여By adding an auxiliary fixing part to the upper guide member of the robot feeder
이송장치의 취약부분이였던 아암의 헐거워짐을 방지한 반도체 웨이퍼 적재용 보트의 로봇 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a robot transfer device for a semiconductor wafer loading boat which prevents the arm from loosening, which was a weak part of the transfer device.
본 발명은 DC모터의 구동력으로 리프터 프레임에 회전가능하게 설치된 나사봉과, 보트를 파지하는 아암이 고정되고 상기 나사봉을 따라 이동하는 이송부재와, 상기 이송부재가 리프터 프레임에 고정되어 직선이동하도록 안내하는 가이드부재를 구비하는 반도체 웨이퍼 적재용 보트의 로봇 이송장치에 있어서, 상기 가이드부재의 양측에 관통구멍을 갖는 고정편을 형성하여 상기 고정편의 관통구멍을 통해 가이드부재와 리프터 프레임을 보조 고정볼트로 추가 고정함을 특징으로 한다.The present invention is a screw rod rotatably installed on the lifter frame by the driving force of the DC motor, the arm holding the boat is fixed and moves along the screw rod, and the transfer member is fixed to the lifter frame to guide the linear movement A robot transfer apparatus for a semiconductor wafer loading boat having a guide member, the fixing member having through holes on both sides of the guide member, and the guide member and the lifter frame through the through holes of the fixing piece as auxiliary fixing bolts. It is characterized by an additional fixing.
따라서 로봇 이송장치의 아암이 벌어지는 현상을 막아 웨이퍼 적재용 보트의 안전한 이송을 가능하게 하고 웨이퍼 불량을 막아 설비의 신뢰성을 향상시킴은 물론이고 또한 정밀한 아암의 움직임을 가능하게 하여 후속 공정의 안정적인 연계가 이루어지도록 하는 효과를 갖는다.Therefore, the arm of the robot transfer device can be prevented from opening to allow safe transfer of the wafer loading boat, and the defect of the wafer can be prevented to improve the reliability of the equipment as well as the precise movement of the arm. Has the effect of being made.
Description
본 발명은 반도체 웨이퍼 적재용 보트의 로봇 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 로봇 이송장치의 상측 가이드부재에 보조 고정부분을 추가하여 이송장치의 취약점이였던 아암의 헐거워짐을 방지한 반도체 웨이퍼 적재용 보트의 로봇 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a robot transporting device for a boat for loading semiconductor wafers, and more particularly, by adding an auxiliary fixing part to the upper guide member of the robot transporting device to prevent loosening of an arm, which was a weakness of the transporting device. It relates to a robotic transport device of a boat.
일반적으로 반도체공정은 정밀을 요하며 오염에 민감하므로 산업이므로 사람의 손에 의존하는 작업보다는 로봇이나 자동화설비를 이용한 작업이 주를 이루고 있다.In general, semiconductor processes require precision and are sensitive to pollution, so the industry is mainly using robots or automation equipment rather than human hands.
이러한 로봇이나 자동화설비에서 웨이퍼나 웨이퍼를 담은 캐리어 또는 보트를 다음 챔버나 다음 설비로 이동시키는 역할을 하는 것 중에 하나가 로봇 이송장치이다.In such a robot or an automated facility, one of the robot transfer devices is one of the functions of moving the wafer or the carrier or boat containing the wafer to the next chamber or the next facility.
일반적인 로봇 이송장치는 유압실린더나 DC모터를 구동원으로 하여 양쪽 아암을 열고 닫아 웨이퍼나 웨이퍼 보트를 잡거나, 웨이퍼나 웨이퍼 보트를 지정된 위치에 내려놓는다. 이러한 일련의 동작들은 미리 프로그램화 되어 있는 순서에 따라서 제어된다.A typical robot transfer device uses a hydraulic cylinder or a DC motor as a driving source to open and close both arms to hold a wafer or wafer boat, or to lower the wafer or wafer boat to a designated position. This sequence of operations is controlled in a preprogrammed order.
일반적인 반도체 웨이퍼 적재용 보트의 로봇 이송장치는 두 개의 아암과, 아암이 움직이는 방향을 유도하는 상측 및 하측의 가이드부재와, 하측 가이드부재를 관통하여 회전함으로서 아암의 움직임을 유발하는 나사봉과, 전원을 공급받아 상기 나사봉을 회전시키는 DC모터와, DC모터의 회전축과 나사봉을 연결하는 클러치와, 상기 가이드부재와 나사봉과 DC모터를 고정하고 양쪽 아암을 지탱하는 리프터 프레임과, 리프터 프레임을 상하좌우로 이동시키는 리프터 프레임 작동장치와, 상기 DC모터와 작동장치를 구동하는 동력부와, 상기 장치들의 움직임을 제어하는 제어부로 구성되어 있다.The robotic transfer device of a boat for loading a semiconductor wafer generally includes two arms, upper and lower guide members for inducing a direction in which the arm moves, screw rods for causing arm movement by rotating through the lower guide member, and a power supply. A DC motor for rotating the screw rod, a clutch connecting the rotating shaft and the screw rod of the DC motor, a lifter frame for fixing the guide member, the screw rod and the DC motor and supporting both arms, and a lifter frame And a lifter frame actuating device for moving the motor, a power unit for driving the DC motor and the actuating device, and a control unit for controlling the movement of the devices.
통상적인 반도체 웨이퍼 적재용 보트의 로봇 이송장치를 도1에 도시하였다.A robot transfer apparatus of a conventional semiconductor wafer loading boat is shown in FIG.
도1에서와 같이 일반적인 반도체 웨이퍼 적재용 보트의 로봇 이송장치는 웨이퍼 적재용 보트(26)의 외곽 양측면에 접하여 맞물릴 수 있도록 수평으로 돌출된 두 개의 아암(22)과, 아암(22)의 끝단부와 리프터 프레임(10)에 각각 연결되어 아암(22)의 좌우 수평움직임을 유도하는 요철모양의 상측 및 하측 가이드부재(20, 18) 한 쌍과, 하측 가이드부재(18)를 관통하고 회전하면서 아암(22)의 수평움직임을 유발하는 나사봉(16)과, 직류전원을 공급받아 상기 나사봉(16)을 회전시키는 DC모터(12)와, 상기 DC모터(12)와 나사봉(16)을 연결하여 DC모터(12)의 회전력을 나사봉(16)으로 전달하는 클러치(14)와, 상기 가이드부재(20, 18)와 나사봉(16)과 DC모터(12)를 고정하고 양쪽 아암(22)을 지지하는 리프터 프레임(10)과, 도시하지는 않았지만 리프터 프레임(10)에 연결되어 리프터 프레임(10)을 상하좌우로 이동시키는 작동장치와, DC모터(12)와 작동장치에 전원을 공급하는 동력부와, 상기 장치들의 움직임을 제어하는 제어부로 구성되어 있다.As shown in FIG. 1, the robot transporting apparatus of a general semiconductor wafer loading boat includes two arms 22 protruding horizontally so as to be in contact with the outer sides of the wafer loading boat 26 and the ends of the arms 22. It is connected to the part and the lifter frame 10, respectively, and penetrates and rotates through the pair of uneven upper and lower guide members 20 and 18, which induces horizontal movement of the arm 22, and the lower guide member 18. A screw rod 16 causing horizontal movement of the arm 22, a DC motor 12 for rotating the screw rod 16 by receiving a DC power supply, and the DC motor 12 and the screw rod 16 The clutch 14 for transmitting the rotational force of the DC motor 12 to the screw rod 16, and fixing the guide members 20 and 18, the screw rod 16 and the DC motor 12, and both arms. Lifter frame 10 supporting 22, not shown Although not connected to the lifter frame 10, the operating device for moving the lifter frame 10 in the up, down, left and right, the DC motor 12 and the power unit for supplying power to the operating device, the control unit for controlling the movement of the device Consists of
이러한 아암(22)의 움직임과 로봇 이송장치의 수직 및 수평운동은 미리 입력된 프로그램에 의해 제어부가 수치제어를 하게 된다.The movement of the arm 22 and the vertical and horizontal movement of the robot feeder are numerically controlled by the controller by a pre-programmed program.
로봇 이송장치의 동작을 설명하면, 제어부에서 제어되고 동력부에서 송신되는 직류전원이 순방향 및 역방향으로 DC모터(12)에 인가되면 DC모터(12)는 순방향 및 역방향으로 회전하여 DC모터(12)의 회전축과 클러치(14)로 연결되어 있는 나사봉(16)이 DC모터(12)의 회전과 동일한 방향으로 회전하게 된다. 나사봉(16)이 회전하게 되면 상대적으로 회전하지 않는 하측 가이드부재(18)는 나사봉(16)을 따라서 나사봉(16)의 축방향으로 진행하게 된다. 따라서 하측 가이드부재(18)에 연결된 아암(22)이 좌우 진행하게 되는데 이때, 아암(22)이 정밀한 수평운동을 하도록 레일 형태로 서로 요철된 한쌍의 상측 및 하측 가이드부재(20, 18)를 리프터 프레임(10)과 아암(22)의 끝단부에 각각 부착하고 서로 맞물리어 미끄러지게 함으로써 아암(22)의 운동성을 높이게 된다.Referring to the operation of the robot feeder, when the DC power controlled by the control unit and transmitted from the power unit is applied to the DC motor 12 in the forward and reverse directions, the DC motor 12 is rotated in the forward and reverse directions to the DC motor 12 The rotating shaft of the screw rod 16 is connected to the clutch 14 is rotated in the same direction as the rotation of the DC motor 12. When the screw rod 16 is rotated, the lower guide member 18, which does not rotate relatively, moves in the axial direction of the screw rod 16 along the screw rod 16. Therefore, the arm 22 connected to the lower guide member 18 moves left and right. At this time, the arm 22 lifts the pair of upper and lower guide members 20 and 18 uneven with each other in a rail form so as to perform a precise horizontal movement. By attaching to the end portions of the frame 10 and the arm 22 and sliding each other, the movement of the arm 22 is increased.
좌우 두개의 아암(22)은 서로 상대적으로 작동하며 보트를 잡을 때와 내려놓을 때 아암(22)의 동작은 서로 상반된다.The two left and right arms 22 operate relative to each other, and the operation of the arms 22 when the boat is held down and when the boat is laid down is opposite to each other.
도2는 도1의 가이드부재(20, 18)가 고정된 상태를 A-A선으로 절단하여 나타낸 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view of the guide members 20 and 18 of FIG. 1 fixed by a line A-A.
도2에서와 같이 상측 가이드부재(20)는 두 개의 관통구멍을 갖고 관통구멍을 통해 두 개의 고정볼트(24)를 삽입하여 리프터 프레임(10)에 결합되어 있다.As shown in FIG. 2, the upper guide member 20 has two through holes and is coupled to the lifter frame 10 by inserting two fixing bolts 24 through the through holes.
일반적으로, 두 개의 고정볼트로 상측 가이드부재를 리프터 프레임에 고정하는 종래의 방법은 아암의 좌우운동이나 기계진동, 충격하중, 설비의 노후로 인해 필연적으로 한쪽 고정볼트나 양쪽 고정볼트에 볼트 풀림이 일어나게 된다.In general, the conventional method of fixing the upper guide member to the lifter frame with two fixing bolts is inevitably caused by bolt loosening on one fixing bolt or both fixing bolts due to the left and right movement of the arm, mechanical vibration, impact load, and aging of the equipment. Get up.
또한, 보트 무게와 아암의 무게 그리고 이송 충격 등으로 발생하는 실제하중이 가이드의 고정볼트로 집중되므로 상측 가이드부재는 고정볼트의 마모 및 파손이 발생하는 로봇 이송장치의 취약부분으로 지적되어 왔다.In addition, since the actual loads generated by the weight of the boat, the weight of the arm and the transport impact are concentrated on the fixing bolts of the guide, the upper guide member has been pointed out as a weak part of the robot conveying device in which wear and damage of the fixing bolts occur.
이러한 이유로 상측 가이드부재의 고정볼트 풀림이 가중되면 리프터 프레임과 상측 가이드부재의 결합이 느슨해지고 헐거워져서 상측 가이드부재가 미세한 각도로 비틀지게 된다. 이 미세한 각도의 비틀어짐만으로도 막대 형상의 아암 끝단부는 심하게 벌어지게 된다. 따라서 아암이 규정된 위치를 이탈하여 좌우로 벌어지면 파지한 보트의 흔들거림을 더욱 유발하게 되고 벌어짐의 정도가 진행되어 벌어짐의 폭이 보트의 외곽 치수를 벗어나게 되면 보트 이송이 불가능해지거나 보트를 이송하는 도중에 보트가 추락하여 충격으로 보트와 보트 내부의 웨이퍼가 심한 손상을 입게 되는 경우가 빈번했다.For this reason, when the fixing bolt loosening of the upper guide member is increased, the coupling between the lifter frame and the upper guide member is loosened and loosened, so that the upper guide member is twisted at a fine angle. Only the twist of the minute angle causes the rod-shaped arm tip to be severely opened. Therefore, if the arm deviates from the prescribed position and spreads to the left and right, it causes more rocking of the gripped boat, and the swelling progresses and the width of the spreading becomes beyond the outer dimensions of the boat, making the boat impossible to transport or transporting the boat. In the meantime, the boat crashed and the shock and the wafer inside the boat were severely damaged.
또한, 아암이 규정된 위치에서 벗어나게 되면 정밀한 제어가 어려워지므로 후속 공정이 불가능하다는 문제점이 있었다.In addition, when the arm is out of the prescribed position it is difficult to precisely control, there was a problem that the subsequent process is impossible.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 로봇 이송장치의 상측 가이드부재를 고정하는 고정볼트의 헐거워짐을 방지하여 웨이퍼 보트의 추락사고를 막고 웨이퍼를 안전하게 이송할수 있는 반도체 웨이퍼 적재용 보트의 로봇 이송장치를 제공함에 있다.The present invention is to solve the conventional problems as described above, the object is to prevent the loosening of the fixing bolt for fixing the upper guide member of the robot transport apparatus to prevent the fall of the wafer boat and semiconductor wafer that can safely transport the wafer The present invention provides a robotic transport apparatus for a loading boat.
본 발명의 다른 목적은 아암이 규정된 위치에서 동작하도록 하여 정밀한 제어가 가능하고 다음 공정의 안정적인 연계를 가능하게 하는 반도체 웨이퍼 적재용 보트의 로봇 이송장치를 제공함에 있다.It is another object of the present invention to provide a robotic transfer apparatus for a boat for loading semiconductor wafers, which enables precise control of the arm by allowing the arm to operate at a prescribed position and enables stable linkage of the next process.
도1은 종래의 반도체 웨이퍼 적재용 보트의 로봇 이송장치를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a robot transport apparatus of a conventional semiconductor wafer loading boat.
도2는 도1의 가이드부재가 고정된 상태를 A-A선으로 절단하여 나타낸 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view of the guide member of FIG. 1 fixed by a line A-A. FIG.
도3는 본 발명의 실시예 1에 따른 가이드부재가 고정된 상태를 나타낸 단면도이다.Figure 3 is a sectional view showing a state in which the guide member according to the first embodiment of the present invention is fixed.
도4는 도3의 가이드부재가 분리된 상태를 나타낸 분개사시도이다.Figure 4 is a resentive perspective view showing a state in which the guide member of Figure 3 is separated.
도5는 본 발명의 실시예 2에 따른 상측 가이드부재를 나타낸 사시도이다.5 is a perspective view showing an upper guide member according to Embodiment 2 of the present invention.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of codes for main parts of drawing
10: 리프터 프레임 12: DC모터10: lifter frame 12: DC motor
14: 클러치 16: 나사봉14: clutch 16: screw rod
18: 하측 가이드부재 20, 30, 40: 상측 가이드부재18: lower guide member 20, 30, 40: upper guide member
22: 아암 24: 고정볼트22: arm 24: fixing bolt
26: 보트 30a, 40a: 고정편26: boat 30a, 40a: fixed piece
32, 42: 보조 고정볼트32, 42: auxiliary fixing bolt
상기의 목적은 DC모터의 구동력으로 리프터 프레임에 회전가능하게 설치된 나사봉과, 보트를 파지하는 아암이 고정되고 상기 나사봉을 따라 이동하는 이송부재와, 상기 이송부재가 리프터 프레임에 고정되어 직선이동하도록 안내하는 가이드부재를 구비하는 반도체 웨이퍼 적재용 보트의 로봇 이송장치에 있어서, 상기 가이드부재의 양측에 관통구멍을 갖는 고정편을 형성하여 상기 고정편의 관통구멍을 통해 가이드부재와 리프터 프레임을 보조 고정볼트로 추가 고정함을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 적재용 보트의 로봇 이송장치에 의해 달성될 수 있다.The purpose is to provide a screw rod rotatably installed on the lifter frame by the driving force of the DC motor, a transfer member for holding the boat is fixed and moves along the screw rod, and the transfer member is fixed to the lifter frame to move linearly In the robot transfer apparatus of a semiconductor wafer loading boat having a guide member for guiding, a fixing piece having a through hole is formed on both sides of the guide member, and the guide member and the lifter frame are provided with auxiliary fixing bolts through the through hole of the fixing piece. By a robotic transport of a semiconductor wafer loading boat characterized by an additional fixing.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도3은 본 발명의 실시예 1에 따른 가이드부재가 고정된 상태를 나타낸 단면도이다.3 is a cross-sectional view showing a fixed state of the guide member according to the first embodiment of the present invention.
도3을 참조하여 설명하면 나사봉(16)에 의해 관통되어 아암(22)에 고정된 하측 가이드부재(18)와 리프터 프레임(10)에 고정볼트(24)로 고정된 상측 가이드부재(30)는 서로 미끄러지도록 레일 형태의 요철모양으로 서로 맞물려 있으며 본 발명의 상측 가이드부재(30)는 양측면에 관통구멍을 가지는 고정편(30a)을 일렬로 형성하고 고정볼트(24)의 좌우로 상기 관통구멍을 통해서 보조 고정볼트(32)를 삽입하여 체결하도록 되어있다.Referring to FIG. 3, the lower guide member 18 penetrated by the screw rod 16 and fixed to the arm 22 and the upper guide member 30 fixed to the lifter frame 10 by the fixing bolt 24 are described. The upper guide member 30 of the present invention is engaged with each other in an uneven shape in the form of a rail so as to slide each other. It is intended to fasten by inserting the auxiliary fixing bolt 32 through.
따라서, 리프터 프레임(10)과 고정되어 있는 상측 가이드부재(30)의 고정볼트(24)가 기계진동이나 충격 등으로 풀리는 것을 방지하고 만약의 경우에 고정볼트(24)가 풀려서 헐거워지더라도 좌우의 보조 고정볼트(32)가 고정되어 있으므로 아암(22)의 벌어짐을 방지할 수 있다.Therefore, the fixing bolt 24 of the upper guide member 30 fixed to the lifter frame 10 is prevented from being released by mechanical vibration or impact, and in this case, even if the fixing bolt 24 is loosened and loosened, Since the auxiliary fixing bolt 32 is fixed, opening of the arm 22 can be prevented.
도4는 도3의 상측 및 하측 가이드부재(30, 18)가 각각 리프터 프레임(10)과 아암(22)으로부터 분리된 상태를 나타낸 분해사시도이다.4 is an exploded perspective view showing a state in which the upper and lower guide members 30 and 18 of FIG. 3 are separated from the lifter frame 10 and the arm 22, respectively.
도4에 나타난 바와 같이 본 발명의 상측 가이드부재(30)는 리프터 프레임(10)에 고정되도록 두 개의 고정볼트(24) 외에 네 개의 보조 고정볼트(32)가 고정편(30a)에 관통되어 체결되며 반대편의 상측 가이드부재(30)도 이와 동일하게 구성된다.As shown in FIG. 4, the upper guide member 30 of the present invention has four auxiliary fixing bolts 32 in addition to the two fixing bolts 24 so as to be fixed to the lifter frame 10 through the fixing piece 30a. And the upper guide member 30 of the opposite side is configured in the same way.
따라서, 상측 및 하측 가이드부재(30, 18)의 미끄럼위치가 견고하게 고정되어지므로 아암(22)의 정밀한 움직임이 가능해지고 빈번하게 발생되던 아암(22)의 벌어짐을 방지하여 보트(26)의 이송시에 추락으로 인한 웨이퍼 및 보트(26) 파손의 위험이 없다.Accordingly, since the sliding positions of the upper and lower guide members 30 and 18 are firmly fixed, the precise movement of the arm 22 is enabled, and the movement of the boat 26 is prevented by the spreading of the arm 22 which is frequently generated. There is no risk of wafer and boat 26 breakage due to fall.
또한, 아암의 벌어짐을 방지하고 고정볼트의 풀림현상을 해결하기 위한 상측 가이드부재의 고정편 형상은 상측 가이드부재의 양측면의 일부가 돌출된 형태도 가능하며 이러한 경우 도5의 실시예 2와 같이 보트(26)와 아암(22)의 하중과 운동방향 및 결합형태를 고려하여 상측 가이드부재(40)의 양측단의 중앙 부위가 돌출된 십자(+)형태의 고정편(40a)도 바람직하다.In addition, the fixing piece shape of the upper guide member for preventing the arm open and to solve the loosening of the fixing bolt may be a form in which a part of both sides of the upper guide member protrudes, in this case boat as shown in Example 2 of FIG. In consideration of the load, the direction of movement, and the engagement form of the 26 and the arm 22, a cross piece (+)-shaped fixing piece 40a in which the central portions of both ends of the upper guide member 40 protrude is also preferable.
더욱이 상기 십자형태의 고정편은 보조 고정볼트(42) 두 개로도 근사의 효과를 가지므로 사용하는 보조 고정볼트(42)의 수를 절감할 수 있다.Furthermore, the cross-shaped fixing piece has an approximate effect even with two auxiliary fixing bolts 42, thereby reducing the number of auxiliary fixing bolts 42 used.
또한, 고정편의 형태와 위치 또는 추가하여 사용되는 보조 고정볼트의 개수에 따라서 고정편에 의한 상측 가이드부재의 고정편 및 고정형태는 다양할 수 있으며 따라서 보트의 규모, 아암의 작동속도, 가이드부재의 재질 등을 고려하여 고정형태를 결정하는 것이 바람직하다.In addition, the fixing piece and the fixing form of the upper guide member by the fixing piece may vary depending on the shape and position of the fixing piece or the number of auxiliary fixing bolts used additionally. It is desirable to determine the fixed form in consideration of the material and the like.
이상에서와 같이 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 적재용 보트의 로봇 이송장치에 의하면 로봇 이송장치의 아암이 벌어지는 현상을 막아 웨이퍼 적재용 보트의 안전한 이송을 가능하게 하고 웨이퍼 불량을 막아 설비의 신뢰성을 향상시킴은 물론이고 또한 정밀한 아암의 움직임을 가능하게 하여 후속 공정의 안정적인 연계가 이루어지도록 하는 효과를 갖는다.As described above, according to the robot conveying apparatus of the semiconductor wafer loading boat according to the present invention, the arm of the robot conveying apparatus is prevented from opening, enabling the safe transport of the wafer loading boat and preventing wafer defects, thereby improving the reliability of the facility. Of course, it also has the effect of enabling the precise movement of the arm to ensure a stable linkage of subsequent processes.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the described embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical scope of the present invention, and such modifications and modifications are within the scope of the appended claims.
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| KR1019970012750A KR100274600B1 (en) | 1997-04-07 | 1997-04-07 | Robot transfer device of boat for loading semiconductor wafer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100274600B1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100742091B1 (en) * | 2000-04-14 | 2007-07-24 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | Improved robot for handling semiconductor wafers |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102042167B1 (en) | 2018-09-03 | 2019-11-07 | 연희화학공업 주식회사 | Lipstick container |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06156266A (en) * | 1992-11-25 | 1994-06-03 | Nakanishi Kinzoku Kogyo Kk | Conveyor carrier transporting base |
-
1997
- 1997-04-07 KR KR1019970012750A patent/KR100274600B1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100742091B1 (en) * | 2000-04-14 | 2007-07-24 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | Improved robot for handling semiconductor wafers |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100274600B1 (en) | 2001-01-15 |
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