KR19980069638A - 반도체장치 제조설비 로드록의 구성부 커버용 판넬 - Google Patents

Abstract

반도체장치 제조설비의 전면에 설치되는 로드록의 구성부를 커버하는 반도체장치 제조설비 로드록의 구성부 커버용 판넬 관한 것이다.

본 발명은 단위 공정을 수행하는 반도체장치 제조설비의 전면 부위에 위치되어 웨이퍼의 로딩 및 언로딩 등의 동작을 수행하는 로드록의 구성부를 커버하는 반도체장치 제조설비 로드록의 구성부 커버용 판넬 있어서, 상기 로드록의 구성부 부위만을 선택적으로 개방하도록 형성됨을 특징으로 한다.

따라서, 본 발명에 의하면 반도체장치 제조설비 로드록의 구성부 부위만을 개방 가능하게 판넬 형성 설치함으로써 로드록의 구성부 내에 설치되는 각종 장치의 고장 등의 문제가 발생될 경우 판넬의 분해 조립이 용이하여 분해 조립시 일인 작업이 가능한 효과가 있다.

Description

반도체장치 제조설비 로드록의 구성부 커버용 판넬

본 발명은 반도체장치 제조설비 로드록의 구성부 커버용 판넬에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체장치 제조설비의 전면에 설치되는 로드록의 구성부를 커버하는 반도체장치 제조설비 로드록의 구성부 커버용 판넬 관한 것이다.

통상적으로 웨이퍼는 사진, 확산, 식각, 화학기상증착 및 금속배선 등의 공정이 반복 수행됨에 따라 반도체장치로 제작되고, 이렇게 반도체장치로 제작되기까지 웨이퍼는 요구되는 제조설비로 이송되어 각 공정에 따른 작업을 수행하게 된다.

이러한 웨이퍼는 통상 이송하기 용이하도록 형성된 캐리어에 복수개 담겨져 작업자 또는 다른 이송수단에 의해 소정 위치로 옮겨지게 되고, 이어 다른 이송장치에 의해 캐리어에서 제조설비 내부로 이송되어 공정을 수행하기 용이한 형태로 놓이게 된다.

이때 다수개의 웨이퍼를 담은 캐리어는 통상 반도체장치 제조설비의 전면에 형성된 스테이지 상에 위치되고, 이어 스테이지 하측 부위에 각종 장치로 이루어진 로드록의 구성부는 스테이지 상에 위치된 웨이퍼를 이송수단을 통해 소정 위치로 이송하도록 한다.

한편, 상술한 바와 같이 웨이퍼를 반도체장치 제조설비(10) 내부에 투입시키는 등의 역할을 수행하는 로드록의 구성부(12)는 도1에 도시된 바와 같이 반도체장치 제조설비(10)의 캐리어가 위치되는 스테이지(14) 하측 부위에 설치되며, 반도체장치 제조설비(10)의 하측 부위를 커버하는 판넬(16)에 의해 커버된다.

따라서, 로드록의 구성부(12)를 이루는 각종 장치에 이상이 발생될 경우 작업자는 반도체장치 제조설비(10)의 하측 부위에 위치된 판넬(16)을 개방하여 고장 부위를 수리하거나 부품 등을 교체하게 된다.

그러나, 상술한 바와 같이 로드록의 구성부를 커버하는 판넬을 개방하여야 할 경우 정도 이상으로 크게 형성된 판넬을 분해 조립함에 있어 일인 작업이 어렵고, 번거로운 문제가 있었다.

본 발명의 목적은, 반도체장치 제조설비 로드록의 구성부를 커버하는 판넬을 일인 작업으로도 용이하게 분해 조립할 수 있도록 하는 반도체장치 제조설비 로드록의 구성부 커버용 판넬을 제공함에 있다.

도1은 종래의 반도체장치 제조설비에 있어 로드록의 구성부를 커버하는 판넬 부위를 나타낸 정면도이다.

도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체장치 제조설비에 있어 로드록의 구성부를 커버하는 판넬 부위를 나타낸 정면도이다.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10, 20: 반도체장치 제조설비 12, 24: 로드록의 구성부

14, 22: 스테이지 16, 26: 판넬

28: 보조판넬

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 단위 공정을 수행하는 반도체장치 제조설비의 전면 부위에 위치되어 웨이퍼의 로딩 및 언로딩 등의 동작을 수행하는 로드록의 구성부를 커버하는 반도체장치 제조설비 로드록의 구성부 커버용 판넬 있어서, 상기 로드록의 구성부 부위만을 선택적으로 개방하도록 각 구성부의 커버가 분리 형성됨을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체장치 제조설비 로드록의 구성부 부위만을 커버하는 판넬을 나타낸 정면도이다.

도2를 참조하면, 반도체장치 제조설비(20)의 소정 위치에 다수개의 웨이퍼를 수용한 캐리어가 위치되도록 형성된 스테이지(22)가 형성되어 있고, 이 스테이지(22) 하측 부위에는 캐리어에 수용된 상태로 스테이지(22) 상에 위치되는 웨이퍼를 이송수단으로 하여금 반도체장치 제조설비(20) 내부로 이송하도록 하는 로드록의 구성부(24)를 이루는 각종 장치가 설치되어 있다.

한편, 이렇게 로드록의 구성부(24)를 이루는 반도체장치 제조설비(20)의 하측 부위는 상술한 로드록의 구성부(24) 부위만을 커버하는 판넬(26)과, 이 판넬(26)의 양측 부위를 커버하는 보조판넬(28)로 구성되어 선택적으로 각 부위를 개방 가능하도록 형성되어 있다.

이러한 구성에 의하면, 로드록의 구성부(24) 내에 설치되는 각종 장치의 수리가 불가피 할 경우 로드록의 구성부를 이루는 부위만을 커버하는 판넬(26)의 크기가 일인 작업으로 개방할 수 있도록 작게 형성됨에 따라 분해 조립이 용이하게 된다.

따라서, 본 발명에 의하면 반도체장치 제조설비 로드록의 구성부 부위만을 개방 가능하게 판넬 형성 설치함으로써 로드록의 구성부 내에 설치되는 각종 장치의 고장 등의 문제가 발생될 경우 판넬의 분해 조립이 용이하여 분해 조립시 일인 작업이 가능한 효과가 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (1)

1. 단위 공정을 수행하는 반도체장치 제조설비의 전면 부위에 위치되어 웨이퍼의 로딩 및 언로딩 등의 동작을 수행하는 로드록의 구성부를 커버하는 반도체장치 제조설비65 로드록의 구성부 커버용 판넬 있어서,

   상기 로드록의 구성부 부위만을 선택적으로 개방하도록 형성됨을 특징으로 하는 반도체장치 제조설비 로드록의 구성부 커버용 패널.