KR19980068320A - Interlock Method of Semiconductor Equipment Using Optical Character Recognizer (OCR) - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 제조 설비에 제품이 로딩된 후 설비에 장착된 광학문자인식기를 통하여 제품 ID를 다시 한번 인식하여 호스트에 입력된 제품 ID와 비교·검색하므로써 대량으로 진행되는 제품이 잘못 로딩되는 것을 방지하기 위한 광학문자인식기(OCR)를 이용한 반도체 설비의 인터록 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따르면, 호스트에 제품에 대한 트랙 인과 레시피를 입력하는 단계와; 상기 레시피를 설비에 다운로드하는 단계와; 상기 제품을 상기 설비에 로딩하는 단계와; 상기 설비에 장착된 소정의 광학문자인식기(OCR)로 상기 제품의 ID를 인식하여 상기 호스트에 입력된 제품ID와 같은지를 판단하여 제품 ID가 같으면 공정을 진행하고, 제품 ID가 다르면 공정을 홀드하여 다시 로딩하는 단계 및 상기 제품에 대한 언로딩 및 트랙아웃처리 하는 단계를 포함하는 광학문자인식기(OCR)를 이용한 반도체 설비의 인터록 방법을 개시한다.According to the present invention, a product is loaded into a semiconductor manufacturing facility and the product ID is recognized again through an optical character recognizer mounted on the facility to prevent the product from being loaded in a large amount by comparing and searching the product ID input to the host. The present invention relates to an interlock method of a semiconductor device using an optical character recognizer (OCR), comprising: inputting a track in and recipe for a product to a host; Downloading the recipe to a facility; Loading the product into the facility; The ID of the product is recognized by a predetermined optical character recognizer (OCR) installed in the facility, and it is determined whether it is the same as the product ID input to the host. If the product ID is the same, the process proceeds. If the product ID is different, the process is held. Disclosed is an interlock method of a semiconductor device using an optical character recognizer (OCR) comprising the steps of reloading and unloading and tracking out the product.
Description
본 발명은 광학문자인식기(OCR)를 이용한 반도체 설비의 인터록 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 제조 설비에 제품이 로딩된 후 설비에 장착된 광학문자인식기를 통하여 제품 ID를 다시 한번 인식하여 호스트에 입력된 제품 ID와 비교·검색하므로써 대량으로 진행되는 제품이 잘못 로딩되는 것을 방지하기 위한 광학문자인식기(OCR)를 이용한 반도체 설비의 인터록 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an interlock method of a semiconductor device using an optical character recognizer (OCR), and more particularly, a product ID is recognized once again through an optical character recognizer mounted on the device after the product is loaded into the semiconductor manufacturing facility. The present invention relates to an interlock method of a semiconductor device using an optical character recognizer (OCR) to prevent a product from being loaded in a large quantity by comparing and searching with a product ID inputted in the.
일반적으로 모든 반도체 제조 공정 진행 시에는 라인 내의 작업자가 기본적으로 데이터를 입력해야 하는 사항이 있는데, 이것은 공정 진행이 되어질 모든 로트에 대해서 트랙 인(track in), 데이터 컬렉션(data collection) 및 트랙 아웃(track out)을 호스트(host)에 입력한다. 트랙 인은 제조, 또는 계측 공정을 시작할 때 그 공정이 시작됨을 호스트에 알리는 것이고, 데이터 컬렉션은 그 공정의 결과 데이터를 호스트에 알리는 것이고, 트랙 아웃은 그 공정이 끝났음을 호스트에 알리기 위한 작업자의 입력 행위이다.In general, during every semiconductor manufacturing process, there is a basic requirement for data to be entered by workers in the line. This means that track in, data collection, and track out (for every lot to be processed) are required. track out) into the host. Track-in is to inform the host that the process is starting when the manufacturing or metrology process begins, data collection is to inform the host of the result data of the process, and track-out is input by an operator to inform the host that the process is complete. It is an act.
도 1은 종래 기술에 의한 반도체 제조 공정을 나타낸 흐름도이다.1 is a flowchart illustrating a semiconductor manufacturing process according to the prior art.
작업자가 장비에 제품에 인풋(input)을 위해 호스트에 제품 ID 및 레시피를 입력한다.(S10)The operator inputs the product ID and recipe to the host for input to the product on the equipment (S10).
그러면 호스트는 입력받은 데이터를 설비에 다운로드하여 설비를 세팅한다.(S11)The host then downloads the input data to the facility and sets up the facility.
이어 제품이 설비에 로딩되고,(S12) 공정이 진행된다.(S13)Subsequently, the product is loaded into the facility (S12), and the process proceeds. (S13)
공정이 완료된 제품은 설비로부터 언로딩되고,(S14) 호스트에 그 제품에 대한 공정이 완료됨을 알리는 트랙 아웃이 실시되어 종료된다.(S15)The finished product is unloaded from the facility (S14), and a track out is performed to notify the host that the process for the product is completed (S15).
그러나, 이러한 종래 기술에 의하면, 호스트에서 다운로드된 제품 ID와 그에 따른 레시피(recipe)가 반도체 제조 설비에 로딩된 제품 ID가 일치하지 않을 경우 공정이 잘못 진행되어 제품 생산에 막대한 손실을 주고 있다.However, according to the related art, when the product ID downloaded from the host and the corresponding recipe are not matched with the product ID loaded into the semiconductor manufacturing equipment, the process is incorrectly performed, which causes a huge loss in product production.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 설비에 제품이 로딩된 후 광학문자인식기로 제품 ID를 인식하여 호스트와 비교검색 할 수 있는 광학문자인식기를 이용한 반도체 설비의 인터록 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been proposed to solve the above problems of the prior art, an interlock method of a semiconductor facility using an optical character recognizer that can be compared with the host by recognizing the product ID with an optical character recognizer after the product is loaded in the facility The purpose is to provide.
도 1은 종래 기술에 의한 반도체 제조 공정을 나타낸 흐름도1 is a flow chart showing a semiconductor manufacturing process according to the prior art
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조 공정을 나타낸 흐름도2 is a flowchart illustrating a semiconductor manufacturing process according to an embodiment of the present invention.
상기한 본 발명에 따르면, 반도체 제조 설비에 제품이 로딩된 후 설비에 장착된 광학문자인식기를 통하여 제품 ID를 다시 한번 인식하여 호스트에 입력된 제품 ID와 비교·검색하므로써 대량으로 진행되는 제품이 잘못 로딩되는 것을 방지하기 위한 광학문자인식기(OCR)를 이용한 반도체 설비의 인터록 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따르면, 호스트에 제품에 대한 트랙인과 레시피를 입력하는 단계와; 상기 레시피를 설비에 다운로드하는 단계와; 상기 제품을 상기 설비에 로딩하는 단계와; 상기 설비에 장착된 소정의 광학문자인식기(OCR)로 상기 제품의 ID를 인식하여 상기 호스트에 입력된 제품ID와 같은지를 판단하여 제품 ID가 같으면 공정을 진행하고, 제품 ID가 다르면 공정을 홀드하여 다시 로딩하는 단계 및 상기 제품에 대한 언로딩 및 트랙아웃처리 하는 단계를 포함하는 광학문자인식기(OCR)를 이용한 반도체 설비의 인터록 방법을 개시한다.According to the present invention described above, after the product is loaded into the semiconductor manufacturing facility, the product ID is recognized again through the optical character recognizer mounted on the facility, and compared with the product ID input to the host, and the product proceeds in a large quantity. An interlock method of a semiconductor facility using an optical character recognizer (OCR) to prevent loading, comprising: inputting a track-in and recipe for a product to a host; Downloading the recipe to a facility; Loading the product into the facility; The ID of the product is recognized by a predetermined optical character recognizer (OCR) installed in the facility, and it is determined whether it is the same as the product ID input to the host. If the product ID is the same, the process proceeds. If the product ID is different, the process is held. Disclosed is an interlock method of a semiconductor device using an optical character recognizer (OCR) comprising the steps of reloading and unloading and tracking out the product.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조 공정을 나타낸 흐름도이다.2 is a flowchart illustrating a semiconductor manufacturing process according to an embodiment of the present invention.
먼저, 작업자는 호스트에 제품 예컨대, 로트에 대한 이력(제품 ID)과 그에 따른 레시피(recipe)를 입력한다.(S20)First, the operator inputs a history (product ID) and a recipe according to a product, for example, a lot, in the host (S20).
이어 호스트는 입력받은 레시피 데이터를 설비에 다운로드(download)하여 세팅한면,(S21) 제품은 설비에 로딩된다.(S22)The host then downloads and sets the input recipe data to the facility (S21), and the product is loaded onto the facility (S22).
그다음은 설비에 장착된 광학문자인식기는 로딩된 제품의 ID를 인식하여 호스트에 입력된 제품 ID와 같은지를 판단하게 된다.(S23)Next, the optical character recognizer mounted on the facility recognizes the ID of the loaded product and determines whether it is the same as the product ID input to the host.
제품 ID가 같으면 공정을 진행하고(S24) 제품 ID가 다르면 공정을 홀드하여 수정한 후 다시 로딩한다.(S25)If the product ID is the same, the process proceeds (S24). If the product ID is different, the process is held, modified and loaded again. (S25)
공정이 진행된 제품은 언로딩 및 트랙 아웃(track out)이 실시되어 종료된다.(S26) 이때 통상적으로 호스트와 장비는 온라인 상태이기 때문에 작업자 입력없이 자동으로 트랙 아웃이 실시된다.The processed product is finished by unloading and tracking out (S26). At this time, since the host and the equipment are online, the trackout is automatically performed without operator input.
이상 상술한 본 발명에 의하면, 대량으로 공정이 진행되는 반도체 제품이 설비에 로딩될 때 호스트에서 설비에 다운로드한 레시피와 일치하지 않는 제품을 광학문자인식기로 검색·색출하므로써 잘못로딩되어 발생하는 공정사고를 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention described above, when a semiconductor product undergoing a large amount of processing is loaded into a facility, a process accident caused by misloading by searching and searching for a product that does not match a recipe downloaded from the host to the facility by using an optical character recognizer. There is an effect that can be prevented in advance.
본 발명이 상기 실시예에 한정되지 않으며, 많은 변형이 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 가능함은 명백하다.The present invention is not limited to the above embodiments, and it is apparent that many modifications are possible by those skilled in the art within the technical spirit of the present invention.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970004840A KR19980068320A (en) | 1997-02-18 | 1997-02-18 | Interlock Method of Semiconductor Equipment Using Optical Character Recognizer (OCR) |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970004840A KR19980068320A (en) | 1997-02-18 | 1997-02-18 | Interlock Method of Semiconductor Equipment Using Optical Character Recognizer (OCR) |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19980068320A true KR19980068320A (en) | 1998-10-15 |
Family
ID=65984626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019970004840A KR19980068320A (en) | 1997-02-18 | 1997-02-18 | Interlock Method of Semiconductor Equipment Using Optical Character Recognizer (OCR) |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| KR (1) | KR19980068320A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100770045B1 (en) * | 2006-07-21 | 2007-10-25 | 주식회사 엠티케이 | Nonrecognition remote processing function having character recognition system for steel material |
| US7496422B2 (en) | 2005-06-03 | 2009-02-24 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method for controlling a semiconductor processing apparatus |
-
1997
- 1997-02-18 KR KR1019970004840A patent/KR19980068320A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7496422B2 (en) | 2005-06-03 | 2009-02-24 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method for controlling a semiconductor processing apparatus |
| KR100770045B1 (en) * | 2006-07-21 | 2007-10-25 | 주식회사 엠티케이 | Nonrecognition remote processing function having character recognition system for steel material |
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