KR19980056122A - Memory Cell Arrays in Semiconductor Memory Devices - Google Patents

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김금룡
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김광호
삼성전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 반도체 메모리 장치의 메모리 셀 어레이에 관한 것으로, 정상 메모리 셀들과, 상기 정상 메모리 셀들에 인접한 곳에 배치되어 상기 정상 메모리 셀들중 일부 메모리 셀이 불량일 경우 상기 불량인 메모리 셀을 대체하기 위한 리던던시 메모리 셀들 및 상기 정상 메모리 셀들과 상기 리던던시 메모리 셀들 사이에 배치되어 상기 정상 메모리 셀들과 상기 리던던시 메모리 셀들 사이에 브리지가 발생하는 것을 방지하는 복수개의 더미 메모리 셀들을 구비함으로써 반도체 메모리 장치의 메모리 셀 어레이의 정상 메모리 셀과 리던던시 메모리 셀 사이에 브리지가 발생하는 것이 방지되어 테스트에서 양품으로 판명나지만 실제는 불량인 반도체 메모리 장치를 방지할 수 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a memory cell array of a semiconductor memory device, wherein redundancy for replacing a defective memory cell when the memory cells are disposed adjacent to the memory cells and when some of the memory cells are defective are defective. And a plurality of dummy memory cells disposed between the normal memory cells and the redundancy memory cells to prevent a bridge from occurring between the normal memory cells and the redundancy memory cells. Bridges between normal memory cells and redundant memory cells are prevented from occurring, which prevents semiconductor memory devices that are found to be good in test but are actually defective.

Description

반도체 메모리 장치의 메모리 셀 어레이.Memory cell array of semiconductor memory device.

본 발명은 반도체 메모리 장치의 메모리 셀 어레이에 관한 것으로서, 특히 메모리 셀간의 브리지가 발생했음에도 불구하고 메모리 셀 테스트시 양품으로 판명나는 것을 방지하기 위한 반도체 메모리 장치의 메모리 셀 어레이에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a memory cell array of a semiconductor memory device, and more particularly to a memory cell array of a semiconductor memory device for preventing a memory cell test from becoming a good product even when a bridge between memory cells occurs.

고집적 메모리에서는 반도체 칩의 크기가 증가되고 메모리 셀의 크기가 줄어들기 때문에 메모리 셀과 메모리 셀 사이에 브리지(bridge)가 발생해서 메모리 셀의 불량을 유발한다. 그러므로 반도체 칩의 생산 수율을 상승시키기 위하여 메모리 셀 어레이에 정상 메모리 셀과 리던던시(redundancy) 메모리 셀을 배치해서 구성한다. 메모리 셀 어레이의 정상 메모리 셀과 리던던시 메모리 셀의 양,불량을 각각 테스트헤서 반도체 칩의 양질과 수리가능 여부를 판단해서 반도체 칩의 사용 여부를 결정하게 된다. 상기 반도체 칩의 테스트시 정상 메모리 셀을 테스트하는 것은 정상 메모리 셀의 양,불량을 판단하고 만약 불량된 메모리 셀이 발견될 경우 리던던시 메모리 셀로 대체하게 되는데 이 경우 리던던시 메모리 셀을 테스트하지 않으면 불량된 리던던시 메모리 셀을 가지고 수리할 우려가 있으므로 별도의 리던던시 메모레 셀 테스트를 통해서 불량 메모리 셀을 제거한 후에 양질로 판명된 리던던시 메모리 셀을 가지고 불량된 정상 메모리 셀을 대체하게 된다. 그러나 고집적 메모리 셀 어레이에서는 메모리 셀 어레이의 크기가 적기 때문에 메모리 셀과 메모리 셀간의 브리지가 자주 발생하게 된다. 정상 메모리 셀과 정상 메모리 셀간의 브리지 발생시 정상 메모리 셀 테스트로 불량 메모리 셀이 검출되고, 리던던시 메모리 셀과 리던던시 메모리 셀간의 브리지 발생시 리던던시 메모리 셀 테스트로 불량 리던던시 메모리 셀이 검출된다. 그러나 정상 메모리 셀과 리던던시 셀의 브리지 발생시 각각의 셀 테스트로 검출되지 않으므로 양품으로 검출된 리던던시 셀을 가지고 불량된 정상 셀을 수리했을 때 그 반도체 칩은 불량으로 처리되야한다. 이 경우 반도체 칩의 숫자가 아주 많은 경우는 불량으로 처리해도 별 문제가 없지만 고집적 메모리에서는 반도체 칩의 수가 극히 적으므로 이런 경우의 발생시는 치명적인 수율의 감소의 요인이 된다.In the highly integrated memory, since the size of the semiconductor chip is increased and the size of the memory cell is reduced, a bridge is generated between the memory cell and the memory cell, causing the memory cell to be defective. Therefore, in order to increase the production yield of semiconductor chips, normal memory cells and redundancy memory cells are arranged in the memory cell array. The quality and repairability of the semiconductor chip are determined by testing the quantity and defect of the normal memory cell and the redundant memory cell of the memory cell array, respectively, to determine whether to use the semiconductor chip. Testing the normal memory cell during the test of the semiconductor chip determines the quantity and defect of the normal memory cell, and if a defective memory cell is found, replaces it with a redundant memory cell. In this case, if the redundant memory cell is not tested, the defective redundancy is tested. Since there is a risk of repairing the memory cell, a separate redundancy memory cell test removes the bad memory cell, and then replaces the defective normal memory cell with a good quality redundancy memory cell. However, in the highly integrated memory cell array, since the memory cell array is small in size, bridges between the memory cells and the memory cells frequently occur. When a bridge occurs between a normal memory cell and a normal memory cell, a bad memory cell is detected by a normal memory cell test, and when a bridge occurs between a redundancy memory cell and a redundant memory cell, a bad redundancy memory cell is detected by a redundancy memory cell test. However, when the bridge between the normal memory cell and the redundancy cell is not detected by each cell test, the semiconductor chip should be treated as defective when the defective normal cell is repaired with the redundant cells detected as good. In this case, if the number of semiconductor chips is very large, there is no problem even if it is treated as defective, but in the high density memory, the number of semiconductor chips is extremely small, which causes a fatal decrease in yield in such a case.

도 1은 종래의 반도체 메모리 장치의 메모리 셀 어레이의 배치도이다. 메모리 셀 어레이(10)의 좌우단에 리던던시 메모리 셀 블록들(13,15)이 배치되어있고 상기 리던던시 메모리 셀 블록들(13,15) 사이에 정상 메모리 셀 블록(11)이 배치되어있다.1 is a layout view of a memory cell array of a conventional semiconductor memory device. Redundancy memory cell blocks 13 and 15 are disposed at left and right ends of the memory cell array 10, and a normal memory cell block 11 is disposed between the redundancy memory cell blocks 13 and 15.

도 2는 상기 도 1에 도시된 메모리 셀 어레이(10)에 브리지가 발생한 경우를 도시한 도면이다. 도 2에서 정상 메모리 셀 블록(11)의 비트라인(bit line)(23)과 리던던시 메모리 셀(15)의 비트라인(21) 사이에 브리지(25)가 형성되어있다. 이와 같이 정상 메모리 셀 블록(11)의 비트라인(23)과 리던던시 메모리 셀 블록(15)의 비트라인(21) 사이에 브리지(25)가 형성되어있어도 상기 메모리 셀 어레이(10)가 테스트시 상기 메모리 셀 어레이(10)를 구비한 반도체 메모리 장치는 양품으로 판명된다. 하지만 실제로 사용될 경우는 상기 메모리 셀 어레이(10)를 구비한 반도체 메모리 장치는 불량이 된다.FIG. 2 is a diagram illustrating a case where a bridge occurs in the memory cell array 10 shown in FIG. 1. In FIG. 2, a bridge 25 is formed between the bit line 23 of the normal memory cell block 11 and the bit line 21 of the redundancy memory cell 15. As such, even when a bridge 25 is formed between the bit line 23 of the normal memory cell block 11 and the bit line 21 of the redundancy memory cell block 15, the memory cell array 10 may perform the test when the bridge 25 is formed. The semiconductor memory device having the memory cell array 10 turns out to be good. However, when actually used, the semiconductor memory device including the memory cell array 10 is defective.

상술한 바와 같이 본 발명이 이루고자하는 기술적 과제는 메모리 셀들간에 브리지가 발생했음에도 불구하고 테스트시 양품으로 판명되는 것을 방지하기 위한 반도체 메모리 장치를 제공하는데 있다.As described above, an object of the present invention is to provide a semiconductor memory device for preventing a test from being proved good even though a bridge occurs between memory cells.

도 1은 종래의 반도체 메모리 장치의 메모리 셀 어레이의 배치도.1 is a layout view of a memory cell array of a conventional semiconductor memory device.

도 2는 상기 도 1에 도시된 메모리 셀 어레이에 브리지가 발생한 경우를 도시한 도면.FIG. 2 is a diagram illustrating a case where a bridge occurs in the memory cell array illustrated in FIG. 1.

도 3은 본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 메모리 셀 어레이의 배치도.3 is a layout view of a memory cell array of a semiconductor memory device according to the present invention;

도 4는 상기 도 3에 도시된 메모리 셀 어레이에 브리지가 발생하더라도 불량이 되지않는 경우를 설명하기 위하여 도시한 도면.FIG. 4 is a diagram illustrating a case in which a failure does not occur even when a bridge occurs in the memory cell array illustrated in FIG. 3.

상기 과제를 이루기 위하여 본 발명은,The present invention to achieve the above object,

정상 메모리 셀들과, 상기 정상 메모리 셀들에 인접한 곳에 배치되어 상기 정상 메모리 셀들중 일부 메모리 셀이 불량일 경우 상기 불량인 메모리 셀을 대체하기 위한 리던던시 메모리 셀들 및 상기 정상 메모리 셀들과 상기 리던던시 메모리 셀들 사이에 배치되어 상기 정상 메모리 셀들과 상기 리던던시 메모리 셀들 사이에 브리지가 발생하는 것을 방지하는 복수개의 더미 메모리 셀들을 구비하는 반도체 메모리 장치의 메모리 셀 어레이를 제공한다.Redundant memory cells and redundancy memory cells disposed adjacent to the normal memory cells to replace the defective memory cell when some of the normal memory cells are defective and between the normal memory cells and the redundant memory cells A memory cell array of a semiconductor memory device having a plurality of dummy memory cells arranged to prevent a bridge from occurring between the normal memory cells and the redundancy memory cells is provided.

상기 본 발명에 의하여 반도체 메모리 장치의 메모리 셀 어레이의 정상 메모리 셀과 리던던시 메모리 셀 사이에 브리지가 발생하는 것이 방지되어 테스트에서 양품으로 판명나지만 실제는 불량인 반도체 메모리 장치를 방지할 수 있다.According to the present invention, a bridge is prevented from occurring between a normal memory cell and a redundant memory cell of a memory cell array of the semiconductor memory device, thereby preventing a semiconductor memory device that is proved to be good in a test but is actually defective.

이하, 실시예를 통하여 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail through examples.

도 3은 본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 메모리 셀 어레이의 배치도이다. 상기 도 1에 도시된 메모리 셀 어레이(30)의 구조는 정상 메모리 셀 블록(31)과, 상기 정상 메모리 셀 블록(31)에 인접한 곳에 배치되어 상기 정상 메모리 셀 블록(31)중 일부 메모리 셀이 불량일 경우 상기 불량인 메모리 셀을 대체하기 위한 리던던시 메모리 셀들이 배치되어있는 리던던시 메모리 셀 블록들(33,35) 및 상기 정상 메모리 셀 블록(31)과 상기 리던던시 메모리 셀 블록들(33,35) 사이에 배치되어 상기 정상 메모리 셀 블록(31)과 상기 리던던시 메모리 셀 블록들(33,35) 사이에 배치된 더미 메모리 셀 블록(37,39)들로 구성되어있다.3 is a layout view of a memory cell array of a semiconductor memory device according to the present invention. The structure of the memory cell array 30 shown in FIG. 1 is disposed near the normal memory cell block 31 and the normal memory cell block 31 so that some of the memory cells of the normal memory cell block 31 are disposed. Redundancy memory cell blocks 33 and 35 and redundancy memory cell blocks 31 and redundancy memory cell blocks 33 and 35 in which redundancy memory cells are disposed to replace the defective memory cell in the case of failure The dummy memory cell blocks 37 and 39 are disposed between the normal memory cell block 31 and the redundancy memory cell blocks 33 and 35.

도 4는 상기 도 3에 도시된 메모리 셀 어레이(30)에 브리지가 발생하더라도 불량이 되지않는 경우를 설명하기 위하여 도시한 도면이다. 상기 도 4에 도시된 바와 같이 상기 정상 메모리 셀 블록(31)과 상기 리던던시 메모리 셀 블록(33,35)들간에는 절대로 브리지가 발생될 수가 없다. 대신 상기 정상 메모리 셀 블록(31)의 비트라인(45)과 더미 메모리 셀 블록(39)의 비트라인(43) 사이 또는 상기 더미 메모리 셀 블록(39)의 비트라인(43)과 상기 리던던시 메모리 셀 블록(35)의 비트라인(41) 사이에 브리지(47)가 발생하게 되더라도 이것은 실제 사용하는데 있어서 아무런 영향을 주지않는다. 왜냐하면 상기 더미 메모리 셀 블록들(37,39)은 전혀 사용되지않기 때문이다.FIG. 4 is a diagram illustrating a case in which a failure does not occur even when a bridge occurs in the memory cell array 30 illustrated in FIG. 3. As shown in FIG. 4, a bridge may never be generated between the normal memory cell block 31 and the redundancy memory cell blocks 33 and 35. Instead, between the bit line 45 of the normal memory cell block 31 and the bit line 43 of the dummy memory cell block 39 or the bit line 43 of the dummy memory cell block 39 and the redundancy memory cell. Even if a bridge 47 occurs between the bit lines 41 of the block 35, this has no effect on actual use. This is because the dummy memory cell blocks 37 and 39 are not used at all.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 많은 변형이 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 가능함은 명백하다.The present invention is not limited to the above embodiments, and it is apparent that many modifications are possible by those skilled in the art within the technical spirit of the present invention.

상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 반도체 메모리 장치의 메모리 셀 어레이의 정상 메모리 셀과 리던던시 메모리 셀 사이에 브리지가 발생하는 것이 방지되어 테스트에서 양품으로 판명나지만 실제는 불량인 반도체 메모리 장치를 방지할 수 있다.As described above, according to the present invention, a bridge is prevented from occurring between a normal memory cell and a redundancy memory cell of the memory cell array of the semiconductor memory device, thereby preventing a semiconductor memory device that proves to be good in a test but is actually defective. have.

Claims (1)

정상 메모리 셀들;Normal memory cells; 상기 정상 메모리 셀들에 인접한 곳에 배치되어 상기 정상 메모리 셀들중 일부 메모리 셀이 불량일 경우 상기 불량인 메모리 셀을 대체하기 위한 리던던시 메모리 셀들; 및Redundancy memory cells disposed adjacent to the normal memory cells to replace the defective memory cell when some of the normal memory cells are defective; And 상기 정상 메모리 셀들과 상기 리던던시 메모리 셀들 사이에 배치되어 상기 정상 메모리 셀들과 상기 리던던시 메모리 셀들 사이에 브리지가 발생하는 것을 방지하는 복수개의 더미 메모리 셀들을 구비하는 것을 특징으로하는 반도체 메모리 장치의 메모리 셀 어레이.And a plurality of dummy memory cells disposed between the normal memory cells and the redundancy memory cells to prevent a bridge from occurring between the normal memory cells and the redundancy memory cells. .
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