KR19980035052U - Wafer cassette duplicate transfer prevention device - Google Patents
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Abstract
본 고안은 웨이퍼 카세트의 중복이송 방지장치에 관한 것으로, 종래에는 카세트 전송기를 이용하여 카세트를 카세트단에 이송시킬 때 카세트단에 카세트가 잘못 놓여졌거나 검지센서가 불량하여 검지를 못했을 경우에는 장비에 에러(error)가 발생하게 되며 작업자는 장비를 초기화시키고 다시 작업을 하게 되는데, 장비내에서는 지금까지의 작업을 초기화하여 다시 작업을 하므로 잘못 이송된카세트단에 다시 카세트를 이송하게 되므로 카세트가 충돌하여 이미 이송된 카세트가 떨어져 카세트에 있던 25개의 웨이퍼가 깨지게 되는 문제가 있었다.The present invention relates to a device for preventing duplicate transfer of a wafer cassette. In the related art, when a cassette is transferred to a cassette stage by using a cassette transferer, an error occurs in the equipment when the cassette is incorrectly placed on the cassette stage or the detection sensor is not detected. An error occurs and the operator initializes the equipment and works again.In the equipment, the previous work is initialized and reworked, so the cassette is transferred to the wrongly transferred cassette end. There was a problem that 25 wafers in the cassette were broken because the transferred cassette fell.
이에 본 고안은 카세트단에 설치된 두개의 카세트 검지센서의 신호를 받아 각각 구동되는 제 1, 제 2릴레이와, 상기 제 1, 제 2릴레이의 출력신호를 논리조합하여 출력하는 배타적 오아게이트(EXOR)와 상기 배타적 오아게이트(EXOR)의 출력신호에 의해 구동되는 포토센서와, 상기 포토센서의 구동여부에 의해 카세트 전송기의 카세트 검지센서를 제어하는 제 3릴레이로 구성되는 웨이퍼 카세트의 중복이송 방지장치를 제공함으로써, 카세트를 중복하여 카세트단에 이송하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.Therefore, the present invention is based on a signal of two cassette detection sensors installed in the cassette stage, and the first and second relays, respectively, and an exclusive ogate for logically combining the output signals of the first and second relays (EXOR). And a photosensor driven by an output signal of the exclusive OR gate, and a third relay configured to control a cassette detection sensor of a cassette transmitter by driving the photosensor. By providing, the cassette can be prevented from being duplicated and transferred to the cassette stage.
Description
본 고안은 반도체 제조 장치 중 수직 반응로 장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼 카세트를 중복하여 카세트단에 이송하는 것을 방지하도록 한 웨이퍼 카세트의 중복이송 방지장치에 관한 것이다.The present invention relates to a vertical reactor apparatus of a semiconductor manufacturing apparatus, and more particularly, to a duplicate transfer prevention apparatus of a wafer cassette to prevent the transfer of the wafer cassette to the cassette stage.
종래 수직 반응로 장비는 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 카세트(3)을 보관하는 카세트단(1)과, 카세트(3)를 카세트단(1)에 이송시키는 카세트 전송기(4)와, 이 카세트 전송기(4)의 카세트(3) 유무를 검지하는 2개의 카세트 검지센서(5)와, 카세트단(1)의 카세트 유무를 검지하는 1개의 카세트 검지센서(2)로 구성되는 것으로, 이와같은 종래의 기술에 대해 설명하면 다음과 같다.Conventional vertical reactor equipment includes a cassette stage 1 for storing the cassette 3, a cassette transmitter 4 for transferring the cassette 3 to the cassette stage 1, as shown in FIGS. And two cassette detection sensors (5) for detecting the presence or absence of the cassette (3) of the cassette transmitter (4) and one cassette detection sensor (2) for detecting the presence or absence of the cassette at the cassette stage (1). Such a conventional technology will be described as follows.
먼저, 작업자가 카세트(3)를 카세트 전송기(4)에 올려 놓으면 이는 검지센서(5)가 검지되고 카세트 전송기(4)는 카세트(3)를 카세트단(1)으로 이송하게 된다.First, when the operator puts the cassette 3 on the cassette transmitter 4, the detection sensor 5 is detected and the cassette transmitter 4 transfers the cassette 3 to the cassette stage 1.
이때, 카세트단(1)의 바닥에 설치되어 있는 1개의 카세트 검지센서(2)를 통해 카세트(3)의 이송여부 및 카세트(3)의 유무를 확인할 수 있다.At this time, it is possible to check whether the cassette 3 is transferred and whether the cassette 3 is present through one cassette detection sensor 2 installed at the bottom of the cassette stage 1.
그러나, 카세트 전송기(4)에서 카세트단(1)으로 카세트(3)를 이송하였으나 카세트단(1)에 카세트(3)가 잘못 놓여졌거나 검지센서(2)가 불량하여 검지를 못했을 경우에는 장비에 에러(error)가 발생하게 되며, 작업자는 장비를 초기화시키고 다시 작업을 하게 된다.However, when the cassette 3 has been transferred from the cassette transmitter 4 to the cassette stage 1, but the cassette 3 is incorrectly placed on the cassette stage 1 or the detection sensor 2 is defective, An error will occur and the operator will initialize the machine and work again.
이때, 장비내에서는 지금까지의 작업을 초기화하여 다시 작업을 하므로 잘못 이송된 카세트단(1)에 다시 카세트(3)를 이송하게 되므로 카세트(3)가 충돌하여 이미 이송된 카세트가 떨어져 카세트(3)에 있던 25개의 웨이퍼가 깨지게 되는 문제를 유발시킨다.At this time, in the equipment, the work so far is initialized and reworked so that the cassette 3 is transferred back to the incorrectly transferred cassette stage 1, so that the cassette 3 collides and the already transferred cassette is dropped and the cassette 3 This causes the 25 wafers in) to break.
본 고안은 상기와 같은 종래의 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 카세트단에 카세트 검지센서를 두개 설치하여 이중으로 검지하도록 함으로써 안정적으로 카세트를 이송하고 에러가 발생하여 장비를 초기화할 경우에도 카세트 전송기를 구동하지 않게 하여 카세트의 중복이송을 방지할 수 있도록 한 웨이퍼 카세트의 중복이송 방지장치를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention was devised to solve the conventional problems as described above, and the cassette transmitter is installed even if the cassette is stably transferred and errors are initialized by installing two cassette detection sensors in the cassette stage to detect the double. It is an object of the present invention to provide an apparatus for preventing duplicate transfer of a wafer cassette to prevent the transfer of the cassette.
도 1은 종래 수직 반응로 장비로서,1 is a conventional vertical reactor equipment,
(a)는 카세트단의 구성도이고,(a) is a block diagram of a cassette stage,
(b)는 (a)에 있어서 카세트 단 하부의 카세트 검지센서를 나타낸 도.(b) is a diagram showing a cassette detection sensor at the bottom of the cassette in (a).
(c)는 카세트를 이송하는 전송기 및 카세트 검지센서를 나타낸 도.(c) is a diagram showing a transmitter and a cassette detection sensor for transferring a cassette.
도 2는 본 고안 웨이퍼 카세트의 중복이송 방지장치의 구성도.Figure 2 is a block diagram of the overlap transfer prevention apparatus of the subject innovation wafer cassette.
도 3은 카세트단에서의 카세트 검지센서를 나타낸 도.3 is a diagram illustrating a cassette detection sensor in a cassette stage.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
10:제 1릴레이11:카세트단10: first relay 11: cassette end
11,21:카세트 검지센서20:제 2릴레이11, 21: cassette detection sensor 20: second relay
30:포토센서30: Photo sensor
40:제 3릴레이40: The third relay
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안 웨이퍼 카세트의 중복이송 방지장치는, 카세트단의 카세트 검지센서의 신호를 받아 구동되는 제 1, 제 2릴레이(10)(20)와, 상기 제 1, 제 2릴레이(10)(20)의 출력신호를 논리조합하여 출력하는 배타적 오아게이트(EXOR)와, 상기 배타적 오아게이트(EXOR)의 출력신호에 의해 구동되는 포토센서(30)와, 상기 포토센서(30)의 구동여부에 의해 카세트 전송기의 카세트 검지센서를 제어하는 제 3릴레이(40)로 구성된다.In order to achieve the above object, an apparatus for preventing duplicate transfer of a wafer cassette according to the present invention includes first and second relays 10 and 20 driven by a signal of a cassette detection sensor of a cassette stage, and the first and the first and second relays. Exclusive ore gate EXOR for logically combining the output signals of the two relays 10 and 20, the photosensor 30 driven by the output signal of the exclusive ore gate EXOR, and the photosensor ( 30), the third relay 40 controls the cassette detection sensor of the cassette transmitter by driving.
이와같은 본 고안의 동작 및 효과에 대해 도 2 및 도 3을 참조하여 좀 더 상세히 설명하면 다음과 같다.The operation and effects of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 2 and 3 as follows.
먼저, 카세트단(11)의 카세트 검지센서(12)에서 카세트를 인식하여 제 1릴레이(10)에 신호를 주면 제 1릴레이(10)가 동작하여 배타적 오아게이트(EXOR)에 12V를 인가하고 카세트단(11)에 새로 추가하여 설치한 카세트 검지센서(13) 또한 카세트 검지신호로서 제 2릴레이(20)를 구동하여 12V를 배타적 오아게이트(EXOR)에 인가한다.First, when the cassette detection sensor 12 of the cassette stage 11 recognizes a cassette and gives a signal to the first relay 10, the first relay 10 operates to apply 12V to the exclusive OR gate EXOR. The cassette detection sensor 13 newly added to the stage 11 also drives the second relay 20 as the cassette detection signal and applies 12V to the exclusive OOR gate.
그러면, 상기 배타적 오아게이트(EXOR)는 상기 제 1, 제 2릴레이(10)(20)의 출력신호를 조합하여 0V를 출력하고, 포토센서(30)는 구동하지 않게 되며 제 3릴레이(40)로 하여금 카세트 전송기의 검지센서를 구동하게 한다.Then, the exclusive OR gate EXOR outputs 0V by combining the output signals of the first and second relays 10 and 20, and the photo sensor 30 does not drive and the third relay 40. Causes the detection sensor of the cassette transmitter to be driven.
따라서, 카세트의 이송이 이루어진다.Thus, the transfer of the cassette is made.
즉, 카세트단(11)의 카세트 검지센서(12)(13)의 검지신호가 동일하게 12V나 0V일 경우에는 배타적 오아게이트(EXOR)의 신호가 0V가 되고 이로 인해 포토센서(30)가 동작하지 않게 되어 제 3릴레이(40)로 하여금 카세트 전송기의 검지센서를 구동하게 된다.That is, when the detection signals of the cassette detection sensors 12 and 13 of the cassette stage 11 are equal to 12V or 0V, the signal of the exclusive OR gate becomes 0V, which causes the photo sensor 30 to operate. The third relay 40 causes the detection sensor of the cassette transmitter to be driven.
또한, 카세트단(110)의 카세트 검지센서(12)(13) 중 한개 만이 검지했을 경우에는 배타적 오아게이트(EXOR)의 출력이 12V가 되고 이로 인해 포토센서(30)가 동작하여 제 3릴레이(40)의 접점을 바꾸면서 카세트 전송기의 검지센서로 하여금 검지 기능을 못하게 하며, 이로 인해 장비는 에러를발생하면서 멈추게 된다.In addition, when only one of the cassette detection sensors 12 and 13 of the cassette stage 110 is detected, the output of the exclusive ore gate EXOR is 12V, which causes the photosensor 30 to operate to generate a third relay ( Changing the contact point of 40) disables the detection sensor of the cassette transmitter, which causes the machine to stop with an error.
이렇게 장비에 에러가 발생하게 된 후 작업자가 초기화를 시키더라도 또 에러가 발생하여 카세트 전송기는 동작하지 않게 되어 카세트를 이중으로 이송하는 일은 없어지게 된다.After the error occurs in the equipment, even if the operator initializes and the error occurs, the cassette transmitter does not operate and the cassette is not transported twice.
상술한 바와 같이, 본 고안은 카세트단에 카세트 검지센서를 두개 설치하여 이중으로 검지하도록 함으로써 안정적으로 카세트를 이송하고 에러가 발생하여 장비를 초기화할 경우에도 카세트 전송기를 구동하지 않게 하여 카세트의 중복이송을 방지할 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention installs two cassette detection sensors at the cassette stage to detect the double, so that the cassette is stably transferred and the cassette is not driven even when an error occurs to initialize the equipment. There is an effect that can prevent.
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