KR19980034190A

KR19980034190A - Stepper Reticle Loader Carrier Unit

Info

Publication number: KR19980034190A
Application number: KR1019960052153A
Authority: KR
Inventors: 박순종; 윤종순
Original assignee: 김광호; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1996-11-05
Filing date: 1996-11-05
Publication date: 1998-08-05

Abstract

쯔메(つめ)의 높이를 레티클(Reticle)을 이송하기 용이하게 줄이고 레티클 흡착을 위한 진공상태를 체크하여 레티클을 안전하게 이송시키도록 한 스테퍼의 레티클 로더 캐리어 장치에 관한 것이다.It relates to a stepper reticle loader carrier device to reduce the height of the Tsume to easily transport the reticle and to check the vacuum state for reticle adsorption to safely transport the reticle.

본 발명은, 로더의 캐리어를 구동하도록 모터구동부에서 캐리어모터로 전력을 공급하고 상기 캐리어로 진공을 공급하여 레티클을 흡착하여 이송시키는 스테퍼의 레티클 로더 캐리어 장치에 있어서, 상기 캐리어로 진공공급을 명령하는 온오프 신호와 캐리어로 공급되는 진공을 센신하는 신호를 논리조합하여 상기 진공공급의 온오프상태와 상기 진공센싱상태가 일치하는지 판단하는 논리조합수단 및 상기 논리조합수단에서 논리조합된 결과 상기 진공공급의 온오프상태와 상기 진공센싱상태가 일치하지 않으면 상기 캐리어모터로의 전력공급을 차단하는 스위칭수단을 구비하여 이루어진다.The present invention provides a stepper reticle loader carrier apparatus for supplying electric power from a motor driving unit to a carrier motor to drive a carrier of a loader, and supplying a vacuum to the carrier to suck and transport the reticle, wherein the vacuum supply is instructed to the carrier. Logical combination means for determining whether an on-off state of the vacuum supply and the vacuum sensing state coincide by logical combination of an on-off signal and a signal sensed in the vacuum supplied to the carrier; and the result of the logical combination in the logical combination means. And switching means for interrupting power supply to the carrier motor if the on-off state of the supply and the vacuum sensing state do not coincide.

따라서, 본 발명에 의하면 캐리어로 공급되는 진공상태가 체크되어 이상이 발생한 경우 레티클 구동이 방지되고 쯔메의 높이가 줄어 레티클의 충돌위험이 없으므로 레티클의 파손 및 손상이 방지되어 제조공기가 단축되고 설비의 가동률이 극대화되는 효과가 있다.Therefore, according to the present invention, when the vacuum state supplied to the carrier is checked and an abnormality occurs, the reticle driving is prevented and the height of the tsume is reduced so that there is no risk of collision of the reticle. The utilization rate is maximized.

Description

Stepper Reticle Loader Carrier Unit

본 발명은 스테퍼의 레티클 로더 캐리어 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 쯔메(つめ)의 높이를 레티클(Reticle)을 이송하기 용이하게 줄이고 레티클 흡착을 위한 진공상태를 체크하여 레티클을 안전하게 이송시키도록 한 스테퍼의 레티클 로더 캐리어 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a stepper reticle loader carrier device, and more particularly, to reduce the height of the Tsume to easily transport the reticle, and to check the vacuum state for reticle adsorption to safely transport the reticle. A stepper reticle loader carrier apparatus.

통상적으로, 반도체장치를 제조하는 공정 중 웨이퍼 상에 소정 패턴을 노광시키기 위하여 스테퍼가 이용되고 있다.Typically, a stepper is used to expose a predetermined pattern on a wafer during the process of manufacturing a semiconductor device.

스테퍼에는 레티클을 이송하기 위한 로더(Loader)가 구성되어 있으며, 로더에는 레티클을 흡착하여 이송시키는 캐리어(Carrier)가 구비되어 있다.The stepper is configured with a loader for transferring the reticle, and the loader is provided with a carrier for absorbing and transporting the reticle.

종래의 스테퍼의 레티클 로더 캐리어 장치가 도1에 나타나 있다.A conventional stepper reticle loader carrier device is shown in FIG.

레티클 로더에는 캐리어(10)로 흡착을 위한 진공을 제공하도록 진공라인(12)이 연결되어 있으며, 진공라인(12)은 고정 홀더(14, 16)와 유동 홀더(18)를 거쳐서 캐리어(10)에 연결되어 있다. 유동홀더(18)는 메인본체(20)와 스프링(22)으로 연결되어 있다.A vacuum line 12 is connected to the reticle loader to provide a vacuum for adsorption to the carrier 10, and the vacuum line 12 passes through the fixed holders 14 and 16 and the flow holder 18 to the carrier 10. Is connected to. The flow holder 18 is connected to the main body 20 and the spring 22.

그러나, 종래의 레티클 로더 캐리어 장치는 레티클(24)을 캐리어(10)에 흡착시켜서 쯔메(26) 내로 이송시킬 때 스프링(22)이 끊어지면 진공라인(12)이 엉기면서 진공공급이 단절된다. 그러면 캐리어(10)에 흡착되어 이송되던 레티클(24)이 떨어지면서 쯔메(26)에 걸리게 된다. 그리고 레티클(24)에는 펠리클(Pellicle)(28)이 튀어나와 있기 때문에 스테이션(Station)(30)에 충돌되어 펠리클(28)이 파손된다.However, in the conventional reticle loader carrier device, when the spring 22 is disconnected when the reticle 24 is absorbed by the carrier 10 and transferred into the tsumme 26, the vacuum line 12 is entangled and the vacuum supply is cut off. Then, the reticle 24 which is sucked and transported by the carrier 10 falls and is caught by the tsume 26. In addition, since the pellicle 28 sticks out of the reticle 24, the pellicle 28 is damaged by colliding with the station 30.

전술한 상태와 같이 레티클(24)을 흡착하여 이송하는 중 진공공급이 중단되면 설비의 가동이 중단되고 에러가 발생하여야 하나, 현재 제공되는 스테퍼는 이러한 기능이 없어서 진공의 공급중단을 감지하지 못하고 있다.As described above, if the vacuum supply is stopped while the reticle 24 is absorbed and transported, the operation of the equipment should be stopped and an error should be generated. However, the presently provided stepper does not detect the interruption of the vacuum due to such a function. .

그러므로, 종래의 스테퍼는 진공의 공급중단에도 계속 동작되어서 레티클이 추락되어서 파손되거나 스테이션에 레티클이 충돌되어 펠리클이 파손되는 등의 이유로 자주 다운되어야 했으며, 제조기간이 길어지는 문제점이 있었다. 특히 레티클이 파손되어서 재제작되기 위해서는 최소한 1개월 내지 2개월이 소요되고, 펠리클이 파손될 때 이를 복구하기 위해서는 4시간 내지 5시간이 소요되었다.Therefore, the conventional stepper continued to operate even when the supply of vacuum was interrupted, and the reticle crashed frequently, or the reticle collided with the station, and the pellicle had to be broken down frequently. In particular, it took at least one to two months for the reticle to be broken and remanufactured, and four to five hours to recover when the pellicle was broken.

한편, 레티클 캐리어 내부의 쯔메는 레티클의 추락을 방지하도록 제작되어 있으나, 높이가 너무 높아서 캐리어가 스테이션으로 이동하는 중 진공의 공급이 중단되면 쯔메가 너무 높아서 걸려서 추락되어 레티클이 파손되거나 펠리클이 손상되는 문제점이 있었다.On the other hand, the Tsume inside the reticle carrier is designed to prevent the reticle from falling, but if the height is too high and the supply of vacuum is interrupted while the carrier is moving to the station, the Tsume is too high and caught and falls, causing the reticle to break or damage the pellicle. There was a problem.

본 발명의 목적은, 진공상태를 체크하여 웨이퍼를 흡착하도록 진공이 정상적으로 공급되지 않으면 설비의 가동을 중단하여 레티클의 파손을 방지하기 위한 스테퍼의 레티클 로더 캐리어 장치를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a stepper reticle loader carrier device for preventing damage to the reticle by stopping the operation of the equipment if the vacuum is not normally supplied to check the vacuum and adsorb the wafer.

도1은 종래의 스테퍼의 레티클 로더 캐리어 장치를 나타내는 도면이다.1 is a view showing a conventional stepper reticle loader carrier device.

도2는 본 발명에 따른 스테퍼의 레티클 로더 캐리어 장치의 실시예를 나타내는 회로도이다.Fig. 2 is a circuit diagram showing an embodiment of a stepper reticle loader carrier device according to the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

10 : 캐리어 12 : 진공라인10 carrier 12 vacuum line

14, 16, 18 : 홀더 20 : 메인본체14, 16, 18: holder 20: main body

22 : 스프링 24 : 레티클22: spring 24: reticle

26 : 쯔메 28 : 펠리클26: Tsume 28: pellicle

30 : 스테이션 32 : 익스클루시브 오아 게이트30: station 32: exclusive ora gate

34 : 낫게이트 36 : 릴레이34: not gate 36: relay

38 : 모터구동부 40 : 캐리어모터38: motor drive part 40: carrier motor

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 스테퍼의 레티클 로더 캐리어 장치는, 로더의 캐리어를 구동하도록 모터구동부에서 캐리어모터로 전력을 공급하고 상기 캐리어로 진공을 공급하여 레티클을 흡착하여 이송시키는 스테퍼의 레티클 로더 캐리어 장치에 있어서, 상기 캐리어로 진공공급을 명령하는 온오프 신호와 캐리어로 공급되는 진공을 센신하는 신호를 논리조합하여 상기 진공공급의 온오프상태와 상기 진공센싱상태가 일치하는지 판단하는 논리조합수단 및 상기 논리조합수단에서 논리조합된 결과 상기 진공공급의 온오프상태와 상기 진공센싱상태가 일치하지 않으면 상기 캐리어모터로의 전력공급을 차단하는 스위칭수단을 구비하여 이루어진다.Reticle loader carrier device of the stepper according to the present invention for achieving the above object, the reticle of the stepper for supplying power to the carrier motor from the motor driving unit to drive the carrier of the loader and supplying a vacuum to the carrier to absorb and transport the reticle In the loader carrier device, logic for judging whether the on-off state of the vacuum supply and the vacuum sensing state coincide by logical combination of an on-off signal for instructing the vacuum supply to the carrier and a signal for sensing the vacuum supplied to the carrier. And a switching means for interrupting power supply to the carrier motor if the on-off state of the vacuum supply and the vacuum sensing state do not coincide with the combination means and the logical combination means.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도2를 참조하면, 본 발명에 따른 실시예는 캐리어로 진공을 공급하는 명령신호인 캐리어 진공 온오프신호와 캐리어로 공급되는 진공을 체크한 진공센싱신호가 익스클루시브 오아 게이트(32)로 입력되도록 연결되어 있으며, 익스클루시브 오아 게이트(32)는 출력신호가 낫게이트(34)를 거쳐서 트랜지스터(Q1)의 베이스로 인가되도록 구성되어 있다.Referring to FIG. 2, according to the embodiment of the present invention, a carrier vacuum on / off signal, which is a command signal for supplying a vacuum to a carrier, and a vacuum sensing signal for checking a vacuum supplied to the carrier are input to the exclusive or gate 32. The exclusive OR gate 32 is configured such that an output signal is applied to the base of the transistor Q1 via the sick gate 34.

그리고, 트랜지스터(Q1)는 콜렉터측에 릴레이(36)를 통하여 정전압 Vcc이 인가되도록 구성되어 있으며, 릴레이(36)에는 역류방지용 다이오드(D1)가 연결되어 있다. 그리고, 릴레이(36)는 모터구동부(38)로부터 캐리어모터(40)로 공급되는 전력을 스위칭하도록 구성되어 있다.The transistor Q1 is configured such that a constant voltage Vcc is applied to the collector side through the relay 36, and a backflow prevention diode D1 is connected to the relay 36. The relay 36 is configured to switch the power supplied from the motor driver 38 to the carrier motor 40.

따라서, 캐리어가 이동중 흡착이 해제되면, 캐리어 진공 온오프신호는 하이로 인가되고 캐리어 진공 센싱신호는 로우로 인가된다. 그러면 익스클루시브 오아 게이트(32)의 출력은 로우레벨이고, 이는 낫게이트(34)에 의하여 반전되어 하이레벨로 트랜지스터(Q1)로 인가되며, 트랜지스터(Q1)이 도통되면 릴레이(36)가 연동되어 턴오프되므로 모터구동부(38)로부터 캐리어모터(40)로의 전력공급이 차단된다. 그러면 스테퍼의 레티클 로딩이 중단된다.Therefore, if the adsorption is released while the carrier is moving, the carrier vacuum on / off signal is applied high and the carrier vacuum sensing signal is applied low. The output of the exclusive oar gate 32 is then low level, which is inverted by the knock gate 34 and applied to the transistor Q1 at a high level, and the relay 36 is interlocked when the transistor Q1 is turned on. As it is turned off, the power supply from the motor driver 38 to the carrier motor 40 is cut off. This stops the reticle loading of the stepper.

그리고, 정상적으로 레티클 로딩이 수행되면, 캐리어 진공 온오프 신호와 캐리어 진공 센싱신호가 모두 하이레벨로 인가되므로 익스클루시브 오아 게이트(32)의 출력은 하이레벨이 되며, 낫게이트(34)를 거쳐서 트랜지스터(Q1)의 베이스로는 로우레벨의 전압이 인가되어 트랜지스터(Q1)는 도통되지 않는다. 결국 릴레이(36)가 구동되지 않으므로 모터구동부(38)로부터 캐리어모터(40)로 전력이 정상적으로 공급된다.When the reticle loading is normally performed, both the carrier vacuum on-off signal and the carrier vacuum sensing signal are applied at the high level, so that the output of the exclusive ora gate 32 is at the high level, and the transistor is passed through the sickgate 34. A low level voltage is applied to the base of Q1 so that the transistor Q1 is not conductive. As a result, since the relay 36 is not driven, power is normally supplied from the motor driver 38 to the carrier motor 40.

또한, 전원이 오프되면 캐리어 진공 온오프신호가 로우레벨이 되며, 이와 상관없이 릴레이(36)로 전원이 공급되지 않으므로 실시예는 구동이 중단된다.In addition, when the power is turned off, the carrier vacuum on-off signal is at a low level. In this embodiment, since power is not supplied to the relay 36, the driving is stopped.

그리고, 레티클이 이송될 때 걸림을 방지하기 위하여 쯔메의 높이를 줄임이 바람직하다.In addition, it is desirable to reduce the height of the Tsume to prevent jams when the reticle is transported.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the described embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical scope of the present invention, and such modifications and modifications are within the scope of the appended claims.

Claims

In the stepper reticle loader carrier device for supplying power to the carrier motor from the motor driving unit to drive the carrier of the loader, and supplying a vacuum to the carrier to suck and transport the reticle,

Logic combining means for logically combining an on-off signal for instructing the vacuum supply to the carrier and a signal for sensing the vacuum supplied to the carrier to determine whether the on-off state of the vacuum supply matches the vacuum sensing state; And

Switching means for interrupting power supply to the carrier motor if the on-off state of the vacuum supply and the vacuum sensing state do not coincide as a result of the logical combination in the logical combining means;

Stepper reticle loader carrier device characterized in that it comprises a.