KR19980031798A - Planar drive type liquid crystal display device and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 평면 구동 방식(IPS mode : in-plane switching mode)의 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 하나의 투명한 절연 기판 위에 화소를 개구부로 하는 블랙 매트릭스를 형성하고 게이트선과 데이터선을 형성하여 박막 트랜지스터를 형성한다. 따라서 본 발명에 따른 평면 구동 방식의 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에서는 블랙 매트릭스를 게이트선과 데이터선의 하부에 형성함으로써 블랙 매트릭스를 이용하여 백 라이트의 빛을 차단하여 광유도 전류의 발생을 차단할 수 있으며 게이트선, 데이터선 및 블랙 매트릭스를 동일한 기판에 형성하여 화소의 개구율을 향상시키는 효과가 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a liquid crystal display device having an in-plane switching mode (IPS mode) and a method for manufacturing the same. A black matrix having pixels as openings is formed on one transparent insulating substrate, and a gate line and a data line are formed to form a thin film transistor. Therefore, in the planar driving liquid crystal display and the manufacturing method thereof, the black matrix is formed under the gate line and the data line to block the light of the backlight using the black matrix, thereby preventing the generation of photo-induced current. The line, the data line and the black matrix are formed on the same substrate to improve the aperture ratio of the pixel.

Description

평면 구동 방식의 액정 표시 장치 및 그 제조 방법Planar drive type liquid crystal display device and manufacturing method thereof

본 발명은 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 평면 구동 방식(IPS mode : in-plane switching mode)의 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a liquid crystal display device having an in-plane switching mode (IPS mode) and a method for manufacturing the same.

액정 표시 장치는 최근 들어 가장 각광을 받고 있는 평판 표시 장치 중 하나로서 액정 물질의 전기 광학적(electro-optical) 효과를 이용한 표시 장치이며, 그 구동 방식은 크게 단순 행렬형(simple matrix type)과 능동 행렬형(active matrix type)으로 나누어진다.The liquid crystal display is one of the most popular flat panel displays in recent years, and is a display device using an electro-optical effect of a liquid crystal material, and its driving method is largely a simple matrix type and an active matrix. It is divided into active matrix types.

능동 행렬형 액정 표시 장치는 행렬의 형태로 배열된 각 화소에 비선형 특성을 가진 스위칭(switching) 소자를 부가하여 각 화소의 동작을 제어하는 것이다. 스위칭 소자로는 3단자형인 박막 트랜지스터(TFT : thin film transistor)가 일반적으로 사용되며, 2단자형인 MIM(metal insulator metal) 따위의 박막 다이오드(TFD : thin film diode)가 사용되기도 한다.In an active matrix liquid crystal display, an operation of each pixel is controlled by adding a switching element having a nonlinear characteristic to each pixel arranged in a matrix form. As a switching device, a three-terminal thin film transistor (TFT) is generally used, and a two-terminal thin film diode (TFD) such as a metal insulator metal (MIM) is also used.

특히 현재 가장 활발하게 연구가 진행되고 있는 박막 트랜지스터 액정 표시 장치는 화소 전극(pixel electrode)이 형성되어 있는 한 기판과 공통 전극(common electrode)이 형성되어 있는 다른 기판, 그리고 그 사이에 삽입되어 있는 액정 물질로 이루어져 있다. 이러한 액정 표시 장치에서 액정 분자들을 구동하기 위해서는 화소 전극과 공통 전극에 각각 전압을 인가하는 방식을 취하는 것이 일반적이다. 그리고 이 경우 액정 분자들이 한 기판에서부터 다른 기판에 이르기까지 90°비틀리게 배열되어 있는 비틀린 네마틱 방식(TN: twisted-nematic)이 주로 이용된다.In particular, the thin-film transistor liquid crystal display device which is currently being actively researched has a substrate in which a pixel electrode is formed, another substrate in which a common electrode is formed, and a liquid crystal interposed therebetween. It is made of matter. In order to drive liquid crystal molecules in such a liquid crystal display device, a method of applying a voltage to the pixel electrode and the common electrode is generally taken. In this case, a twisted-nematic (TN) method is mainly used in which liquid crystal molecules are twisted 90 ° from one substrate to another.

그러나 이러한 액정 표시 장치, 특히 비틀린 네마틱 방식의 액정 물질을 이용하는 액정 표시 장치는 대비(contrast)가 보는 각도에 의존한다. 특히 이러한 대비의 각도 의존성은 상하 방향으로 매우 심하다.However, such a liquid crystal display device, particularly a liquid crystal display device using a twisted nematic liquid crystal material, depends on the angle viewed by contrast. In particular, the angle dependence of the contrast is very severe in the vertical direction.

뿐만 아니라 화소 전극과 공통 전극을 서로 다른 기판에 형성하여야 하며, 공통 전극에 전압을 인가하기 위하여 두 기판을 단락시켜야 하기 때문에 공정 수가 많다는 문제점이 있다.In addition, the pixel electrode and the common electrode must be formed on different substrates, and the two substrates must be shorted in order to apply a voltage to the common electrode.

이러한 문제들을 해결하기 위한 방법으로 평면 구동 방식을 이용한 액정 표시 장치가 제안되고 있다.As a method for solving these problems, a liquid crystal display using a planar driving method has been proposed.

평면 구동 방식은 한 기판에 화소 전극 및 공통 전극을 모두 형성하여 액정 표시 장치를 구동하는 방식으로서, 두 기판 사이의 전위차를 이용하는 일반적인 방식과는 달리, 한 기판 내에서 전위차를 주어 액정 분자의 반응을 일으키는 것이다.The planar driving method is a method of driving a liquid crystal display by forming both a pixel electrode and a common electrode on a substrate. Unlike a general method using a potential difference between two substrates, a planar driving method provides a potential difference within a substrate to react with liquid crystal molecules. To cause.

그러면, 첨부한 도면을 참고로 하여 종래의 평면 구동 방식의 액정 표시 장치에 대하여 상세히 설명한다.Next, the liquid crystal display of the conventional planar driving method will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도1은 종래의 기술에 따른 평면 구동 방식의 액정 표시 장치의 구조를 도시한 평면도이고, 도2 (가) 및 (나)는 도1에서 평면 구동 방식의 액정 표시 장치의 구조를 도시한 단면도이다.1 is a plan view showing the structure of a planar driving type liquid crystal display device according to the related art, and FIGS. 2A and 2B are cross-sectional views illustrating the structure of the planar driving type liquid crystal display device shown in FIG. 1. .

제1도에 도시한 바와 같이, 종래의 평면 구동 방식의 액정 표시 장치의 한 기판(도시하지 않음)에는 게이트선(3)이 가로로 형성되어 있고 이와 직교하는 데이터선(5)이 세로로 형성되어 있다. 또 게이트선(3)과 평행한 부분과 데이터선(5)과 평행한 부분으로 이루어진 직사각 모양의 공통 전극선(7)이 화소를 단위로 형성되어 있다. 여기서, 게이트선(3)과 데이터선(5)의 교차점 부근에는 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되어 있는데, 박막 트랜지스터(TFT)의 게이트 전극(표시하지 않음)은 게이트선(3)의 일부이고, 데이터 전극(4)은 데이터선(5)의 일부이다. 한편, 박막 트랜지스터(TFT)의 소스 전극(6)은 데이터선(5)과 동일한 물질로 형성되어 있으며 연장되어 화소 전극(6, 8)을 이룬다. 화소 전극(6, 8)은 데이터선(5)에 평행한 두 세로부(8)와 게이트선(3)과 평행한 두 가로부(6)로 이루어져 있으며, 두 가로부(6)는 게이트선(3)과 평행한 공통 전극선(7)의 일부와 중첩되어 있고 두 세로부(8)는 각각 공통 전극선(7)의 분지(71) 양쪽에 형성되어 있으며 두 가로부(6)를 연결하고 있다. 화소 전극(6, 8)의 세로부(8)는 공통 전극선(7) 및 공통 전극선(7)의 분지(71)가 이루는 직사각 모양의 중앙을 가로지른다.As shown in FIG. 1, a gate line 3 is formed horizontally on one substrate (not shown) of a conventional flat drive type liquid crystal display, and a data line 5 perpendicular to the substrate is formed vertically. It is. Further, a rectangular common electrode line 7 composed of a portion parallel to the gate line 3 and a portion parallel to the data line 5 is formed in units of pixels. Here, the thin film transistor TFT is formed near the intersection point of the gate line 3 and the data line 5, and the gate electrode (not shown) of the thin film transistor TFT is a part of the gate line 3, The data electrode 4 is part of the data line 5. On the other hand, the source electrode 6 of the thin film transistor TFT is formed of the same material as the data line 5 and extends to form the pixel electrodes 6 and 8. The pixel electrodes 6 and 8 are composed of two vertical portions 8 parallel to the data lines 5 and two horizontal portions 6 parallel to the gate lines 3, and the two horizontal portions 6 are gate lines. It overlaps with a part of the common electrode line 7 parallel to (3), and the two vertical parts 8 are formed in both branches 71 of the common electrode line 7, respectively, and connect the two horizontal parts 6. . The vertical portions 8 of the pixel electrodes 6 and 8 cross the center of the rectangular shape formed by the common electrode line 7 and the branch 71 of the common electrode line 7.

그리고 다른 기판(도시하지 않음)에는 화소를 단위를 분리하고 가로 방향과 세로 방향으로 교차하면서 블랙 매트릭스(9)가 형성되어 있다. 여기서, 블랙매트릭스(9)의 일부는 게이트선(3)과 평행한 공통 전극선(7)의 일부 및 데이터선(5)을 가리고 있으며 나머지 일부는 데이터선(5)과 평행한 공통 전극선(7)의 일부, 소스 전극(6, 8)의 가로부(6), 게이트선(3) 및 박막 트랜지스터(TFT)를 가리고 있다.On the other substrate (not shown), the black matrix 9 is formed while the pixels are separated from each other and intersected in the horizontal direction and the vertical direction. Here, a part of the black matrix 9 covers a part of the common electrode line 7 parallel to the gate line 3 and the data line 5, and a part of the black matrix 9 is parallel to the data line 5. A portion of the portion, the horizontal portion 6 of the source electrodes 6 and 8, the gate line 3 and the thin film transistor TFT are covered.

도2 (가)는 도1의 A부분을 도시한 단면도로서, 한 기판(1) 위에 공통 전극선(7)이 화소를 단위로 가장자리에 형성되어 있고 중앙에 그 분지(71)가 형성되어 있다. 한 기판(1) 위에는 공통 전극선(7) 및 그 분지(71)를 덮는 절연막(11)이 형성되어 있고, 그 상부에는 데이터선(5)과 소스 전극의 세로부(8)가 형성되어 있다(형성된 부분은 도1 참조). 그리고 한 기판을 덮는 보호막(13)이 형성되어 있다.FIG. 2A is a cross-sectional view of part A of FIG. 1, in which a common electrode line 7 is formed at the edge of a pixel unit on one substrate 1, and a branch 71 is formed at the center thereof. The insulating film 11 covering the common electrode line 7 and the branch 71 is formed on one board | substrate 1, and the data line 5 and the vertical part 8 of the source electrode are formed in the upper part ( Formed part, see FIG. 1). And the protective film 13 which covers one board | substrate is formed.

다른 기판(2)에는 블랙매트릭스(9)가 형성되어 있다. 블랙매트릭스(9)는 한 기판(1)에 형성되어 있는 공통 전극선(7)과 데이터선(5)에 대응하는 부분에 형성되어 있다.On the other substrate 2, a black matrix 9 is formed. The black matrix 9 is formed in a portion corresponding to the common electrode line 7 and the data line 5 formed on one substrate 1.

도2 (나)는 도1의 B부분을 도시한 단면도로서, 한 기판(1) 위에 게이트선(3)의 일부인 게이트 전극(31)과 게이트선(3)과 평행하게 형성되어 있는 공통 전극선(7)의 일부가 두 부분으로 형성되어 있다. 기판(1) 위에는 게이트 전극(31) 및 공통 전극선(7)을 덮는 절연막(11)이 형성되어 있고 게이트 전극(31)에 대응하는 절연막(11) 상부에는 비정질 실리콘으로 이루어진 활성층(10)이 형성되어 있다. 활성층(10) 상부에는 데이터선(5)과 연결되어 있는 데이터 전극(4)과 소스 전극의 가로부(6)가 형성되어 있다. 여기서 소스 전극의 가로부(6)는 앞에서 설명한 바와 같이, 절연막(11)의 일부를 덮으면서 게이트선(3)과 평행한 공통 전극선(7)의 일부와 중첩되어 있으며 기판(1) 위에는 보호막(13)이 형성되어 있다.FIG. 2B is a cross-sectional view of part B of FIG. 1, and a common electrode line formed on one substrate 1 in parallel with the gate electrode 31 and the gate line 3, which are part of the gate line 3. Part of 7) is formed in two parts. An insulating film 11 covering the gate electrode 31 and the common electrode line 7 is formed on the substrate 1, and an active layer 10 made of amorphous silicon is formed on the insulating film 11 corresponding to the gate electrode 31. It is. The data electrode 4 and the horizontal portion 6 of the source electrode connected to the data line 5 are formed on the active layer 10. As described above, the horizontal part 6 of the source electrode overlaps a part of the common electrode line 7 parallel to the gate line 3 while covering a part of the insulating film 11 and on the substrate 1 a protective film ( 13) is formed.

다른 기판(2)에는 블랙 매트릭스(9)가 형성되어 있다. 블랙 매트릭스(9)는 한 기판(1)에 형성되어 있는 박막 트랜지스터(TFT)와 소스 전극의 가로부(6)에 대응하는 부분에 형성되어 있다.On the other substrate 2, a black matrix 9 is formed. The black matrix 9 is formed in a portion corresponding to the horizontal portion 6 of the thin film transistor TFT and the source electrode formed on one substrate 1.

이러한 평면 구동 방식의 액정 표시 장치에서는, 공통 전극선(7) 및 그 분지(71)와 화소 전극(6, 8)의 전위 차, 특히 세로 방향의 공통 전극선(7) 및 그 분지(71)와 이에 평행한 화소 전극(8)을 이용하여 액정 분자의 방향을 변화시키고 이에 따라 나타나는 빛의 투과율 변화를 이용하여 표시 동작을 한다.In such a flat drive type liquid crystal display, the potential difference between the common electrode line 7 and its branches 71 and the pixel electrodes 6 and 8, in particular the common electrode line 7 and its branches 71 in the longitudinal direction, and The parallel pixel electrode 8 is used to change the direction of the liquid crystal molecules and to perform the display operation by using the change in the transmittance of light.

이러한 평면 구동 방식의 액정 표시 장치를 이용하여 시야각 특성을 측정한 결과 종래의 액정 표시 장치에 비하여 우수한 것으로 나타나고 있다.As a result of measuring the viewing angle characteristic using the planar driving liquid crystal display device, it is shown to be superior to the conventional liquid crystal display device.

그러나, 이 종래의 평면 구동 방식 액정 표시 장치에서는 기판과 평행한 전기장을 형성하기 위하여 공통 전극선(7)과 그 분지(71)가 만드는 표시 면적(하나의 화소)의 중앙부에 전극용 배선들이 형성되어 있어 개구율(aperture ratio)이 떨어지기 때문에 요구되는 밝기 효율을 높이기 위해서 백 라이트의 밝기를 증가시켜야 한다. 이에 따라 광 유도 전류가 증가하는 문제점을 가지고 있다.However, in this conventional planar drive type liquid crystal display, electrode wirings are formed in the center of the display area (one pixel) made by the common electrode line 7 and its branch 71 to form an electric field parallel to the substrate. As the aperture ratio drops, the brightness of the backlight must be increased to increase the required brightness efficiency. Accordingly, there is a problem in that the light induction current increases.

본 발명의 과제는 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 평면 구동 방식의 장점인 광시야각 특성을 확보하면서도 개구율이 향상되고 광 누설 전류가 차단되는 평면 구동 방식 액정 표시 장치를 제시하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above problems, and to provide a planar driving type liquid crystal display device having an improved aperture ratio and blocking light leakage current while securing a wide viewing angle characteristic, which is an advantage of the planar driving method.

도1은 종래의 기술에 따른 평면 구동 방식의 액정 표시 장치의 구조를 도시한 평면도이고,1 is a plan view illustrating a structure of a liquid crystal display device of a planar driving method according to the related art.

도2 (가) 및 (나)는 도1에서 평면 구동 방식의 액정 표시 장치의 구조를 도시한 단면도이고,2 (a) and (b) are sectional views showing the structure of the liquid crystal display device of the planar driving method in FIG.

도3은 본 발명의 실시예에 따른 평면 구동 방식의 액정 표시 장치의 구조를 도시한 평면도이고,3 is a plan view showing the structure of a liquid crystal display of a planar driving method according to an embodiment of the present invention;

도4 (가) 및 (나)는 본 발명의 제1 실시예에 따른 평면 구동 방식의 액정 표시 장치의 구조를 도시한 단면도이고,4 (a) and (b) are sectional views showing the structure of a flat panel liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention;

도5 (가) 및 (나)는 본 발명의 제2 실시예에 따른 평면 구동 방식의 액정 표시 장치의 구조를 도시한 단면도이고,5 (a) and (b) are sectional views showing the structure of a liquid crystal display device of a planar driving method according to a second embodiment of the present invention;

도6 (가) 내지 (마)는 본 발명의 실시예에 따른 평면 구동 방식의 액정 표시 장치의 제조 방법을 그 공정 순서에 따라 도시한 단면도이고,6A to 6E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a flat panel liquid crystal display according to an embodiment of the present invention according to a process sequence thereof.

도7 (가) 및 (마)는 본 발명에 실시예에 따른 평면 구동 방식의 액정 표시 장치의 제조 방법을 그 공정 순서에 따라 도시한 단면도이다.7 (a) and (e) are cross-sectional views showing the manufacturing method of the liquid crystal display device of the planar driving method according to the embodiment of the present invention in the order of their processes.

이러한 과제를 해결하기 위한 평면 구동 방식의 액정 표시 장치는 하나의 투명한 절연 기판 위에 서로 교차하여 화소를 정의하는 게이트선과 데이터선이 형성되어 있다.In the planar drive type liquid crystal display device for solving this problem, a gate line and a data line defining pixels are formed to cross each other on a transparent insulating substrate.

또한 이러한 기판의 화소 내에 다수의 공통 전극이 형성되어 있으며 공통 전극과 평행하게 화소 전극이 공통 전극과 평행하게 형성되어 있다.In addition, a plurality of common electrodes are formed in the pixel of the substrate, and the pixel electrode is formed parallel to the common electrode in parallel with the common electrode.

그리고 상기 화소를 제외한 부분에 불랙 매트릭스가 형성되어 있다.A black matrix is formed at portions except the pixel.

여기서, 기판 위에는 블랙 매트릭스가 형성되어 있으며 블랙 매트릭스는 서로 교차하는 게이트선과 데이터선, 공통 전극 및 화소 전극의 일부와 중첩되어 있다.Here, a black matrix is formed on the substrate, and the black matrix overlaps a portion of the gate line, the data line, the common electrode, and the pixel electrode which cross each other.

이러한 본 발명에 따른 평면 구동 방식 액정 표시 장치의 제조 방법은 투명한 절연 기판 위에 화소를 개구부로 하는 블랙 매트릭스를 형성하고 블랙 매트릭스를 덮는 절연막을 형성하고 절연막 상부에 게이트선을 형성함과 동시에 화소의 내부에 세로 방향으로 공통 전극을 형성한다. 다음 기판 상부에 게이트선, 공통 전극을 덮는 게이트 절연막을 형성하고 비정질 실리콘층을 증착하여 활성 영역을 패터닝한다. 이어 기판 상부에 게이트선과 교차하는 데이터선을 형성함과 동시에 공통 전극과 평행한 화소 전극을 형성한다. 마지막으로 기판을 덮는 보호막을 형성한다.In the method of manufacturing a flat panel type liquid crystal display device according to the present invention, a black matrix having pixels as openings is formed on a transparent insulating substrate, an insulating film covering the black matrix is formed, a gate line is formed on the insulating film, and the inside of the pixel is formed. The common electrode is formed in the vertical direction. Next, a gate insulating film covering the gate line and the common electrode is formed on the substrate, and an active silicon is patterned by depositing an amorphous silicon layer. Subsequently, a data line crossing the gate line is formed on the substrate, and a pixel electrode parallel to the common electrode is formed. Finally, a protective film covering the substrate is formed.

여기서 블랙 매트릭스는 게이트선, 데이터선, 공통 전극 및 소스 전극의 일부와 중첩되어 있다.Here, the black matrix overlaps part of the gate line, the data line, the common electrode, and the source electrode.

또한, 이러한 본 발명에 따른 다른 평면 구동 방식 액정 표시 장치의 제조 방법은 블랙 매트릭스를 보호막을 형성한 이후에 형성할 수도 있다.In addition, the manufacturing method of the other flat driving type liquid crystal display device according to the present invention may be formed after forming the protective layer.

이와 같이 본 발명에 따른 평면 구동 방식의 액정 표시 장치의 제조 방법은 블랙 매트릭스를 화소 전극, 공통 전극, 데이터선 및 게이트선과 동일한 기판에 형성하므로 제조시 정렬이 용이하여 화소를 보다 넓게 형성할 수 있으며 게이트선, 데이터선 및 공통 전극선의 하부에서 입사되는 백 라이트의 빛은 블랙 매트릭스에 의해 차단된다.As described above, in the method of manufacturing the flat panel liquid crystal display device according to the present invention, since the black matrix is formed on the same substrate as the pixel electrode, the common electrode, the data line, and the gate line, the pixel can be formed more easily because the alignment is easy during manufacturing. Light of the backlight incident from the lower portion of the gate line, the data line, and the common electrode line is blocked by the black matrix.

그러면 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명에 따른 평면 구동 방식 액정 표시 장치의 실시예를 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 기술을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명한다.Next, embodiments of the planar drive type liquid crystal display according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art to which the present invention pertains can easily practice the present invention.

도3은 본 발명의 실시예에 따른 평면 구동 방식의 액정 표시 장치의 구조를 도시한 평면도이다.3 is a plan view illustrating a structure of a liquid crystal display of a planar driving method according to an exemplary embodiment of the present invention.

도3에서 보는 바와 같이, 본 발명에 따른 평면 구동 방식 액정 표시 장치는 종래의 평면 구동 방식의 액정 표시 장치와 유사하지만 종래에는 블랙 매트릭스(9)가 다른 기판(2)에 형성되어 있고, 본 발명의 블랙 매트릭스(90)는 게이트선(30) 및 데이터선(50)이 형성되어 기판과 동일한 기판(10) 위에 형성되어 있다. 그리고 한 기판(10)에 형성되어 있는 블랙 매트릭스(50)의 폭은 종래의 다른 기판(2)에 형성되어 있는 블랙 매트릭스(9)의 폭 보다 좁게 형성되어 있다. 이러한 이유는 형성되어 있는 데이터선(50), 게이트선(30), 공통 전극선(70) 및 소스 전극의 가로부(60)와 블랙 매트릭스(90)가 동일한 한 기판(10)에 형성되어 있으므로 제조시 발생되는 정렬에 대한 오차를 줄일 수 있기 때문이다.As shown in Fig. 3, the planar drive type liquid crystal display device according to the present invention is similar to the conventional planar drive type liquid crystal display device, but conventionally, a black matrix 9 is formed on another substrate 2, and the present invention The black matrix 90 is formed on the same substrate 10 as the gate line 30 and the data line 50. The width of the black matrix 50 formed on one substrate 10 is smaller than the width of the black matrix 9 formed on another conventional substrate 2. This is because the data line 50, the gate line 30, the common electrode line 70, and the horizontal portion 60 and the black matrix 90 of the source electrode are formed on the same substrate 10. This is because the error of alignment occurring at the time can be reduced.

도4 (가) 및 (나)는 본 발명의 제1 실시예에 따른 평면 구동 방식의 액정 표시 장치의 구조를 도시한 단면도이다.4 (a) and (b) are cross-sectional views illustrating the structure of a flat panel liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.

도4 (가)는 도3의 C 부분을 도시한 것으로서, 한 기판(10) 위에 화소를 단위로 경계하는 부분에 블랙 매트릭스(90)가 형성되어 있고, 블랙 매트릭스를 덮는 절연막(120)이 형성되어 있다. 절연막(120) 상부에는 공통 전극선(70)이 화소를 단위로 가장자리에 형성되어 있고 중앙에 그 분지(710)가 형성되어 있으며 공통 전극선(70)의 일부는 기판(10) 위에 형성되어 있는 블랙 매트릭스(90)와 일부 중첩되어 있다. 한 기판(10) 위에는 공통 전극선(70) 및 그 분지(710)를 덮는 게이트 절연막(110)이 형성되어 있고, 그 상부에는 데이터선(50)과 소스 전극(60, 80)의 세로부(80)가 형성되어 있다. 여기서, 데이터선(50)은 블랙 매트릭스(90)와 중첩되는 부분에 형성되어 있으며 소스 전극의 가로부(80)는 공통 전극선(70)과 그 분지(710) 사이에 형성되어 있다. 그리고 한 기판(10)을 덮는 보호막(130)이 형성되어 있다.FIG. 4A illustrates a portion C of FIG. 3, wherein a black matrix 90 is formed on a portion of the substrate 10 that borders pixels, and an insulating film 120 covering the black matrix is formed. It is. A black matrix in which a common electrode line 70 is formed at an edge of a pixel unit, a branch 710 is formed in the center, and a part of the common electrode line 70 is formed on the substrate 10 on the insulating layer 120. Some overlap with 90. A gate insulating layer 110 covering the common electrode line 70 and the branch 710 is formed on one substrate 10, and the vertical portion 80 of the data line 50 and the source electrodes 60 and 80 is formed thereon. ) Is formed. The data line 50 is formed at a portion overlapping the black matrix 90, and the horizontal portion 80 of the source electrode is formed between the common electrode line 70 and the branch 710. A protective film 130 is formed to cover one substrate 10.

다른 기판(20)에는 컬러 필터(도시하지 않음)가 형성되어 있다.The other substrate 20 is provided with a color filter (not shown).

도4 (나)는 도3의 D 부분을 도시한 단면도로서, 한 기판(10) 하나의 화소를 단위로 하여 블랙 매트릭스(90)가 형성되어 있고 블랙 매트릭스(90)를 덮는 절연막(120)이 형성되어 있다. 절연막(120) 상부에는 게이트선(30)(도3 참조)의 일부인 게이트 전극(310)과 게이트선(30)과 평행하게 형성되어 있는 공통 전극선(70)의 일부가 두 부분으로 형성되어 있다. 기판(10) 위에는 게이트 전극(310) 및 공통 전극선(70)을 덮는 게이트 절연막(110)이 형성되어 있고 게이트 전극(310)에 대응하는 절연막(110) 상부에는 비정질 실리콘으로 이루어진 활성층(100)이 형성되어 있다. 활성층(100) 상부에는 데이터선(50)(도3 참조)과 연결되어 있는 데이터 전극(40)과 소스 전극의 가로부(60)가 형성되어 있다. 여기서 소스 전극의 가로부(60)는 앞에서 설명한 바와 같이, 게이트 절연막(110)의 일부를 덮으면서 게이트선(30)과 평행한 공통 전극선(70)의 일부와 중첩되어 있으며 기판(10) 위에는 보호막(130)이 형성되어 있다.FIG. 4B is a cross-sectional view of part D of FIG. 3, in which a black matrix 90 is formed by one pixel of one substrate 10 and an insulating film 120 covering the black matrix 90 is formed. Formed. The gate electrode 310, which is a part of the gate line 30 (see FIG. 3), and a part of the common electrode line 70 formed in parallel with the gate line 30 are formed in two portions on the insulating layer 120. A gate insulating layer 110 covering the gate electrode 310 and the common electrode line 70 is formed on the substrate 10, and an active layer 100 made of amorphous silicon is formed on the insulating layer 110 corresponding to the gate electrode 310. Formed. The data electrode 40 and the horizontal portion 60 of the source electrode connected to the data line 50 (see FIG. 3) are formed on the active layer 100. As described above, the horizontal portion 60 of the source electrode overlaps a portion of the common electrode line 70 parallel to the gate line 30 while covering a portion of the gate insulating layer 110, and a passivation layer on the substrate 10. 130 is formed.

여기서 서로 중첩되는 소스 전극의 가로(6)와 공통 전극선(70)의 일부 사이에서는 유지 용량이 형성된다.Here, the storage capacitor is formed between the horizontal 6 of the source electrode overlapping each other and a part of the common electrode line 70.

다른 기판(20)에는 컬러 필터(도시하지 않음)가 형성되어 있다.The other substrate 20 is provided with a color filter (not shown).

도5 (가) 및 (나)는 본 발명의 제2 실시예에 따른 평면 구동 방식의 액정 표시 장치의 구조를 도시한 단면도이다.5 (a) and (b) are cross-sectional views illustrating the structure of a flat panel liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention.

도5 (가) 및 (나)는 제2 실시예에 대한 단면도로서, 블랙 매트릭스(90)가 보호막(130) 상부에 형성되어 있으며 절연막(120)이 형성되어 있지 않은 상태이다. 도5 (가)에서 블랙 매트릭스(90)는 데이터선(50) 및 공통 전극선(70)의 일부와 중첩되어 있고, 도5 (나)에서 블랙 매트릭스(90)는 공통 전극선(70)의 일부, 소스 전극의 가로부(60), 게이트 전극(310) 및 드레인 전극(40)과 중첩되어 있다.5A and 5B are cross-sectional views of the second embodiment, in which a black matrix 90 is formed on the passivation layer 130 and the insulating layer 120 is not formed. In FIG. 5A, the black matrix 90 overlaps a part of the data line 50 and the common electrode line 70. In FIG. 5B, the black matrix 90 is a part of the common electrode line 70. The horizontal portion 60, the gate electrode 310, and the drain electrode 40 of the source electrode overlap each other.

이러한 본 발명의 실시예에 따른 평면 구동 방식의 액정 표시 장치의 제조 방법은 다음과 같이 이루어진다.The manufacturing method of the liquid crystal display of the planar driving method according to the exemplary embodiment of the present invention is performed as follows.

도6 (가) 내지 (마)는 본 발명의 실시예에 따른 평면 구동 방식의 액정 표시 장치의 제조 방법을 그 공정 순서에 따라 도시한 단면도로서 도 3에서 C 부분을 도시한 것이고, 도7 (가) 및 (마)는 본 발명에 실시예에 따른 평면 구동 방식의 액정 표시 장치의 제조 방법을 그 공정 순서에 따라 도시한 단면도로서 도 3에서 D 부분을 도시한 것이다.6A to 6E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a flat panel liquid crystal display device according to an exemplary embodiment of the present invention, in accordance with a process sequence, and part C of FIG. 3 is illustrated in FIG. (A) and (e) are sectional views showing the manufacturing method of the planar driving method of the liquid crystal display device according to the embodiment of the present invention in the order of the process.

도6 및 7 (가)에서 보는 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 평면 구동 방식의 액정 표시 장치의 제조 방법은 투명한 절연 기판(10) 위에 화소를 단위로 개구부를 갖는 블랙 매트릭스(90)는 형성한다.As shown in FIGS. 6 and 7 (a), in the method of manufacturing the planar driving liquid crystal display according to the exemplary embodiment of the present invention, the black matrix 90 having openings in units of pixels on the transparent insulating substrate 10 may be formed. Form.

다음 기판(10) 상부에 블랙 매트릭스(90)를 덮는 절연막(120)을 형성하고 금속막을 증착하고 블랙 매트릭스(90)와 중첩되는 부분과 화소의 중앙을 분할하는 부분만을 남기도록 패터닝하여 게이트선(30)(도시하지 않음)과 연결되어 있는 게이트 전극(310), 공통 전극선(70) 및 공통 전극선(70)의 분지(710)를 형성한다[도 6 및 7 (나) 참조].Next, an insulating film 120 covering the black matrix 90 is formed on the substrate 10, the metal film is deposited, and patterned so as to leave only a portion overlapping the black matrix 90 and a portion dividing the center of the pixel. A branch 710 of the gate electrode 310, the common electrode line 70, and the common electrode line 70 connected to 30 (not shown) is formed (see FIGS. 6 and 7 (b)).

이어 기판(10) 상부에 질화막, 비정질 실리콘층 및 고농도로 도핑되어 있는 비정질 실리콘층을 차례로 증착한 다음, 게이트 전극(310)과 대응하는 부분에만 비정질 실리콘층 및 고농도로 도핑되어 있는 비정질 실리콘층을 남기도록 패터닝하여 게이트 절연막(110) 및 활성층(100)을 형성한다[도6 및 7 (다) 참조].Subsequently, a nitride film, an amorphous silicon layer, and a heavily doped amorphous silicon layer are sequentially deposited on the substrate 10, and then the amorphous silicon layer and the heavily doped amorphous silicon layer are formed only at the portion corresponding to the gate electrode 310. Patterned so as to leave, the gate insulating film 110 and the active layer 100 are formed (see Figs. 6 and 7 (C)).

여기서 게이트 절연막(110)은 양극 산화를 통하여 양극 산화막으로 형성할 수도 있으며 단일막이 아닌 다층막을 층착하여 형성할 수도 있다.The gate insulating layer 110 may be formed as an anodic oxide film through anodization, or may be formed by laminating a multilayer film instead of a single film.

도 6 및 7 (라)에서 보는 바와 같이, 기판(10) 상부에 금속막을 중착한 다음 게이트선(30)과 교차하며 블랙 매트릭스(90)와 중첩되는 부분, 공통 전극선(70)의 분지(710)에 의해 분할된 부분을 다시 분할하는 부분 및 공통 전극선(70)과 중첩되는 부분만을 남기도록 패터닝하여 데이터선(50)(도시하지 않음), 데이터 전극(40), 소스 전극의 가로부(60) 및 세로부(80)를 형성한다.As shown in FIGS. 6 and 7 (d), a metal film is deposited on the substrate 10 and then intersects with the gate line 30 and overlaps the black matrix 90, and the branch 710 of the common electrode line 70. Pattern to re-divide the portion divided by < RTI ID = 0.0 >) and < / RTI > ) And the vertical portion 80.

마지막으로, 기판(10) 상부에 보호막(130)을 형성한다[도 6 및 7 (마) 참조].Finally, the protective film 130 is formed on the substrate 10 (see FIGS. 6 and 7 (e)).

또한 본 발명의 제2 실시예에 따른 평면 구동 방식의 액정 표시 장치의 제조 방법에서는 블랙 매트릭스(90)를 보호막(130)을 형성한 다음에 형성할 수도 있다.In addition, in the method of manufacturing the planar driving liquid crystal display according to the second exemplary embodiment, the black matrix 90 may be formed after the protective film 130 is formed.

따라서 본 발명에 따른 평면 구동 방식의 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에서는 블랙 매트릭스를 게이트선과 데이터선의 하부에 형성함으로써 블랙 매트릭스를 이용하여 백 라이트의 빛을 차단하여 광유도 전류의 발생을 차단할 수 있으며 게이트선, 데이터선 및 블랙 매트릭스를 동일한 기판에 형성하여 화소의 개구율을 향상시키는 효과가 있다.Therefore, in the planar driving liquid crystal display and the manufacturing method thereof, the black matrix is formed under the gate line and the data line to block the light of the backlight using the black matrix, thereby preventing the generation of photo-induced current. The line, the data line and the black matrix are formed on the same substrate to improve the aperture ratio of the pixel.

Claims (13)

투명한 절연 기판 위에 서로 교차하여 화소를 정의하는 게이트선과 데이터선,A gate line and a data line intersecting each other on a transparent insulating substrate to define a pixel, 상기 화소 내에 배열되어 있는 다수의 공통 전극,A plurality of common electrodes arranged in the pixel, 상기 화소 내에 상기 공통 전극과 평행하게 형성되어 있는 화소 전극,A pixel electrode formed in the pixel in parallel with the common electrode; 상기 화소를 제외한 부분에 형성되어 있는 불랙 매트릭스를 포함하고 있는 평면 구동 방식의 액정 표시 장치.And a black matrix formed in a portion excluding the pixel. 청구항 1에서, 상기 게이트선과 상기 데이터선이 교차하는 부분에 박막 트랜지스터가 형성되어 있는 평면 구동 방식의 액정 표시 장치.The liquid crystal display of claim 1, wherein a thin film transistor is formed at a portion where the gate line and the data line cross each other. 청구항 2에서, 상기 블랙 매트릭스는 상기 박막 트랜지스터 하부에 형성되어 있는 평면 구동 방식의 액정 표시 장치.The liquid crystal display of claim 2, wherein the black matrix is formed under the thin film transistor. 청구항 2에서, 상기 블랙 매트릭스는 상기 박막 트랜지스터 상부에 형성되어 있는 평면 구동 방식의 액정 표시 장치.The liquid crystal display of claim 2, wherein the black matrix is formed on the thin film transistor. 청구항 1에서, 상기 블랙 매트릭스는 Cr, Mo, Ti, Ta, Al 또는 상기 Cr, Mo, Ti, Ta 및 Al의 합금으로 이루어진 평면 구동 방식의 액정 표시 장치.The liquid crystal display of claim 1, wherein the black matrix is made of Cr, Mo, Ti, Ta, Al, or an alloy of Cr, Mo, Ti, Ta, and Al. 청구항 1에서, 상기 블랙 매트릭스는 유기막으로 형성되어 있는 평면 구동 방식의 액정 표시 장치.The liquid crystal display of claim 1, wherein the black matrix is formed of an organic layer. 청구항 1에서, 상기 박막 트랜지스터는 상기 블랙 매트릭스 상부에 형성되어 있는 평면 구동 방식의 액정 표시 장치.The liquid crystal display of claim 1, wherein the thin film transistor is formed on the black matrix. 청구항 1에서, 상기 공통 전극을 연결하는 공통 전극선과 상기 화소 전극을 연결하는 화소 전극의 일부가 중첩되어 유지 용량이 형성되는 부분이 둘 이상인 평면 구동 방식의 액정 표시 장치.The liquid crystal display of claim 1, wherein two or more portions of the common electrode line connecting the common electrode and a portion of the pixel electrode connecting the pixel electrode overlap to form a storage capacitor. 청구항 1에서, 상기 블랙 매트릭스는 상기 게이트선, 데이터선, 공통 전극 및 소스 전극의 일부와 중첩되어 있는 평면 구동 방식의 액정 표시 장치.The liquid crystal display of claim 1, wherein the black matrix overlaps a portion of the gate line, the data line, the common electrode, and the source electrode. 투명한 절연 기판 위에 화소를 개구부로 하는 블랙 매트릭스를 형성하는 단계,Forming a black matrix having openings as pixels on the transparent insulating substrate, 상기 블랙 매트릭스를 덮는 절연막을 형성하는 단계,Forming an insulating film covering the black matrix, 상기 절연막 상부에 게이트선을 형성함과 동시에 화소의 내부에 공통전극을 형성하는 단계,Forming a common electrode inside the pixel while forming a gate line on the insulating layer; 상기 기판 상부에 상기 게이트선, 공통 전극을 덮는 게이트 절연막을 형성하고 비정질 실리콘층을 증착하고 패터닝하여 활성 영역을 형성하는 단계,Forming a gate insulating layer covering the gate line and the common electrode on the substrate and depositing and patterning an amorphous silicon layer to form an active region; 상기 기판 상부에 게이트선과 교차하는 데이터선을 형성함과 동시에 공통 전극과 평행한 화소 전극을 형성하는 단계,Forming a pixel electrode parallel to the common electrode while forming a data line crossing the gate line on the substrate; 상기 기판을 덮는 보호막을 형성하는 단계를 포함하는 평면 구동 방식의 액정 표시 장치의 제조 방법.Forming a passivation layer covering the substrate; 투명한 절연 기판 위에 게이트선을 형성함과 동시에 공통 전극을 형성하는 단계,Forming a common electrode at the same time as forming a gate line on the transparent insulating substrate, 상기 기판 상부에 상기 게이트선, 공통 전극을 덮는 게이트 절연막을 형성하는 단계,Forming a gate insulating layer on the substrate to cover the gate line and the common electrode; 상기 게이트 절연막 상부에 비정질 실리콘층을 증착하여 활성 영역을 형성하는 단계,Depositing an amorphous silicon layer on the gate insulating layer to form an active region; 상기 기판 상부에 상기 게이트선과 교차하여 화소를 졍의하는 데이터선을 형성함과 동시에 상기 공통 전극과 평행하게 화소 전극을 형성하는 단계,Forming a pixel electrode in parallel with the common electrode while forming a data line intersecting the gate line to cover the pixel on the substrate; 상기 기판을 덮는 보호막을 형성하는 단계,Forming a protective film covering the substrate; 상기 기판 위에 상기 화소를 개구부로 하는 블랙 매트릭스를 형성하는 단계를 포함하는 평면 구동 방식의 액정 표시 장치의 제조 방법.And forming a black matrix having the pixel as an opening on the substrate. 청구항 11에서, 상기 게이트 절연막은 다층으로 형성하는 평면 구동 방식의 액정 표시 장치의 제조 방법.The method of claim 11, wherein the gate insulating layer is formed in a multilayer. 청구항 11에서, 상기 게이트 절연막은 양극 산화로 형성하는 평면 구동 방식의 액정 표시 장치의 제조 방법.The method of claim 11, wherein the gate insulating layer is formed by anodization.
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