KR19980030096A - 자석플랜저 밸브 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조장비의 진공/가스 시스템에서 사용할 수 있는 자석플랜저 밸브에 관한 것으로서, 종래 기술에 의한 밸브는 압축공기가 누출되는 것을 방지하기 위한 벨로우즈가 설치되어 있어 상기 밸브를 장기적으로 사용하게 되면 그 벨로우즈가 손상되게 되어 상기 밸브로 제어하는 가스의 흐름을 제어할 수 없게 됨과 아울러 그 가스가 누출되게 되어 반도체 공정이상과 더불어 안전상에 문제를 초래하게 되었다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은 아래 도면에 도시된 바와 같이, 실린더부(24)와 가스과 유입될 수 있는 유입구(25)와 그 유입구(25)를 통하여 유입된 가스가 토출될 수 있도록 토출구(23)가 형성되어 있는 본체(22)와, 상기 본체(22)의 실린더부(24)에 설치되어 외부에서 가하는 자력에 의하여 상기 토출구(23)를 개폐할 수 있는 자석플랜저(28)와, 상기 실린더부(24)에 설치되어 있는 자석플랜저(28)에 자력을 가하여 그 자석플랜저(28)를 제어할 수 있는 플랜저제어수단을 구비하여 구성된 자석플랜저 밸브(21)로서, 상기 밸브(21)를 장기적으로 사용하게 되어도 손상되지 않아 그 밸브(21)를 제어하는 고압가스의 누출을 방지하게 되고, 또 상기 유입구(25)를 통하여 유입된 가스의 누출도 방지하게 되어 반도체 공정이상을 방지하게 됨과 아울러 안전도를 향상할 수 있게 되는 효과가 있다.

Description

자석플랜저 밸브

본 발명은 반도체 제조장비의 진공/가스 시스템에서 사용할 수 있는 자석플랜저 밸브에 관한 것으로, 특히 토출구를 개폐하는 밸브플레이트를 자석플랜저와 연결형성하여 밀폐된 공간상에서 상기 밸브플레이트가 외부에서 작용하는 자력에 의하여 작동할 수 있도록 하여 가스의 누출을 방지할 수 있도록 한 자석플랜저 밸브에 관한 것이다.

종래 기술에 의한 반도체 제조장비의 진공/가스 시스템에 사용하느 밸브(1)는 상기 도 1에 도시된 바와 같이 소정 형상을 갖는 본체(2)가 형성되어 있고, 그 본체(2)의 저부에는 가스가 토출되는 토출구(3)가 형성되어 있으며, 그 토출구(3)의 상부에는 상기 토출구(3)를 개폐하는 밸브플레이트(4a)와 일체된 플랜저샤프트(4)를 설치할 수 있는 공간부(5)가 형성되어 있다.

상기 공간부(5)가 형성된 본체(2)의 일측에는 가스가 유입되는 유입구(6)가 형성되어 있고, 상기 본체(2)의 상부에는 체결고정부재인 수개의 보울트(7)로 고정된 실린더부(8)가 설치되어 있으며, 상기 본체와 실린더부(8)의 사이에는 상기 플랜저샤프트(4)가 설치되어 있으며, 상기 본체와 실린더부(8)의 사이에는 상기 플랜저샤프트(4)가 삽입설치될 수 있는 삽입공(9a)이 형성된 스톱퍼(9)가 설치되어 있고, 상기 플랜저샤프트(4)의 단부에는 상기 실린더부(8)에서 왕복구동한 수 있는 플랜저(10)가 형성되어 있다.

그리고, 상기 플랜저(10)가 설치된 실린더부(8)에는 압축가스를 공급할 수 있는 공급관(11)이 설치되고, 그 공급관(11)을 통하여 공급된 압축가스를 배출할 수 있는 배출관(12)이 설치되어 있으며, 또 상기 밸브플레이트(4a)와 일체된 플랜저샤프트(4)에는 상기 실린더부(8)에 공급된 압축가스가 배출될 때 상기 토출구(3)를 상기 밸브플레이트(4a)가 밀폐할 수 있도록 탄성부재인 압축형 코일스프링(13)이 설치되어 있다.

상기 압축형 코일스프링(13)이 설치된 플랜저샤프트(4)에는 상기 압축가스가 상기 본체(2)의 외부로 누출되는 것을 방지할 수 있는 벨로우즈(14)가 설치되어 있다.

도면상의 미설명 부호 15a와 15b는 오링이다.

상기와 같이 구성된 밸브(1)는 먼저, 상기 압축형 코일스프링(13)의 탄성에 의하여 상기 토출구(3)가 밀폐된 상태에서 상기 실린더부(8)에 압축가스 공급관(11)을 통하여 압축가스를 공급하게 되면 그 실린더부(8)의 플랜저(10)가 상승하게 됨과 더불어 그 플랜저(10)와 일체로 형성된 플랜저샤프트(4) 그리고 밸브플레이트(4a)가 상승하게 되어 상기 토출구(3)는 열리게 된다.

상기 토출구(3)가 열리게 되므로써, 상기 본체(2)의 측부에 형성된 유입구(6)를 통하여 유입되는 가스는 그 토출구(3)로 토출되게 된다.

상기의 상태에서 실린더부(8)의 공급관(11)을 통하여 공급되는 압축가스를 차단하게 되면, 상기 압축형 코일스프링(13)의 탄성에 의하여 상기 플랜저샤프트(4)가 하방향으로 내려옴과 아울러 그 플랜저샤프트(4)에 일체로 형성되어 있는 밸브플레이트(4a)가 상기 토출구(3)를 밀폐하게 되어 상기 유입구(6)로 유입된 가스가 차단되게 되는 것이다.

그러나, 상기와 같이 구성된 밸브는 압축공기가 누출되는 것을 방지하기 위한 벨로우즈가 설치되어 있어 상기 밸브를 장기적으로 사용하게 되면 그 벨로우즈가 손상되게 되어 상기 밸브로 제어하는 가스의 흐름을 제어할 수 없게 됨과 아울러 그 가스가 누출되게 되어 상기 반도체 공정이상과 더불어 안전상에 문제를 초래하게 되었다.

따라서, 본 발명의 목적은 상기의 문제점을 해결하여 반도체 공정상에 사용하는 진공/가스 시스템의 안전한 가스흐름제어와 더불어 반도체 공정이상을 방지하고, 또 안전성을 향상할 수 있도록 한 자석플랜저 밸브를 제공함에 있다.

도 1은 종래 기술에 진공/가스 시스템에 사용하는 밸브의 구조를 보인 종단 단면도.

도 2는 본 발명에 의한 자석플랜저 밸브의 구조를 보인 종단 단면도.

도 3은 본 발명에 의한 자석플랜저 밸브의 자석의 구조를 보인 평면도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

21 : 자석플랜저 밸브, 22 : 본체, 23 : 토출구, 24 : 실린더부, 25 : 유입구, 26 : 밸브플레이트, 27 : 플랜저샤프트, 28 : 자석플랜저, 29 : 공간부, 30 : 자석, 31 : 스톱퍼, 32 : 코일스프링, 33 : 공급관, 34 : 배출관

상기의 본 발명의 목적은 실린더부와 가스가 유입될 수 있는 유입구와 그 유입구를 통하여 유입된 가스가 토출될 수 있도록 토출구가 형성되어 있는 본체와, 상기 본체의 실린더부에 설치되어 외부에서 가하는 자력에 의하여 상기 토출구를 개폐할 수 있는 자석플랜저와, 상기 실린더부에 설치되어 있는 자석플랜저에 자력을 가하여 그 자석플랜저를 제어할 수 있는 플랜저제어수단을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 자석플랜저 밸브에 의하여 달성된다.

다음은, 본 발명에 의한 자석플랜저 밸브의 일실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세하게 설명한다.

도 2는 본 발명에 의한 자석플랜저 밸브의 구조를 보인 종단단면도이고, 도 3은 본 발명에 의한 자석플랜저 밸브의 자석의 구조를 보인 평면도이다.

상기 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 자석플랜저 밸브(21)는 소정 형상의 본체(22)가 형성되어 있고, 그 본체(22)의 저부에는 가스가 토출될 수 있는 토출구(23)가 형성되어 있으며, 그 토출구(23)가 형성된 상기 본체(22)의 상부에는 소정의 용적을 갖는 실린더부(24)가 형성되어 있고, 상기 실린더부(24)가 형성된 본체(22)의 일측에는 가스가 유입될 수 있는 유입구(25)가 형성되어 있다.

또, 상기 실린더부(24)에는 상기 토출구(23)를 개폐할 수 있는 밸브플레이트(26)와 일체로 형성되어 상기 실린더부(24)에서 상하로 왕복구동할 수 있는 플랜저샤프트(27)와 그 플랜저샤프트(27)와 일체된 자석프랜저(28)가 설치되어 있다.

그리고, 상기 실린더부(24)의 외주변에는 소정의 용적을 갖는 링상의 공간부(29)가 형성되어 있고, 그 공간부에는 링상의 자석(30)이 설치되어 있으며, 또 상기 공간부(29)에는 상기 자석(30)의 위치를 규제할 수 있는 스톱퍼(31)가 설치되어 있다. 상기 공간부(29)에는 상기 자석의 위치를 탄력적으로 변화시킬 수 있도록 탄성부재인 압축형 코일스프링(32)이 설치되어 있고, 그 공간부(29)의 일측에는 고압가스를 공급할 수 있는 고압가스 공급관(33)과, 그 공급관으로 공급된 고압가스를 배출할 수 있는 배출관(34)이 설치되어 있다.

그리고 또, 상기 실린더부에 설치된 자석플랜저와 상기 공간부에 설치된 링상의 자석은 상기 도 3에 도시된 바와 같이 작용하는 자력에 의하여 서로 움직일 수 있도록 상기 자석플랜저의 N극은 상기 링상의 자석의 S극과 대응되고, 상기 자석플랜저의 S극은 링상의 자석의 N극과 대응되게 설치되어 있다.

도면상의 미설명 부호 35a, 35b, 35c는 밀폐도를 높이기 위한 오링이다.

상기와 같이 구성된 자석플랜저 밸브(21)는 먼저, 상기 공간부(29)에 설치된 고압가스 공급관(33)이 차단되고 상기 배출관(34)이 개방되게 되면, 상기 링상의 자석(30)은 탄성부재인 상기 압축형 코일스프링(32)의 탄성에 의하여 상기 스톱퍼(31)에 위치하게 되고, 그 스톱퍼(31)에 위치하는 상기 자석(30)의 자력에 의하여 상기 실린더부(24)에 설치된 자석플랜저(28)도 그 자석(30)의 위치와 같은 위치의 실린더부(24)에 위치하게 되어 상기 자석플랜저(28)와 일체로 형성된 플랜저샤프트(27) 그리고 밸브플레이트(26)가 하방향으로 밀착되게 됨과 아울러 상기 토출구(23)를 밀폐하게 되어 상기 유입구 (25)를 통하여 유입된 가스가 차단되게 된다.

상기의 상태에서 상기 공간부(29)에 설치된 배출관(34)을 차단하고 상기 고압가스 공급관(33)을 통하여 고압가스를 공급하게 되면, 그 공간부(29)에 설치된 상기 링상의 자석(30)이 상승하게 되고, 상기 자석(30)의 상승으로 상기 실린더부(24)에 설치된 자석플랜저(28)가 상승하게 되어 그 자석플랜저(28)와 일체로 형성된 플랜저샤프트(27) 그리고 밸브플레이트(26)가 상승하게 됨과 아울러 상기 토출구(23)가 열리게 되어 상기 유입구(25)로 유입된 가스가 토출되게 되는 것이다.

상기와 같이, 토출구를 개폐하는 밸브플레이트와 일체된 자석플랜저를 밀폐된 실린더부에 설치하여 상기 공간부에 설치된 링상의 자석으로 제어하므로써, 밸브를 장기적으로 사용하게 되어도 손상되지 않아 그 밸브를 제어하는 고압가스의 누출을 방지하게 되고, 또 상기 유입구를 통하여 유입된 가스의 누출도 방지하게 되어 반도체 공정이상을 방지하게 됨과 아울러 안전도를 향상할 수 있게 되는 효과가 있다.

Claims (5)

1. 실린더부와 가스가 유입될 수 있는 유입구와 그 유입구를 통하여 가스가 토출될 수 있도록 토출구가 형성되어 있는 본체와, 상기 본체의 실린더부에 설치되어 외부에서 가하는 자력에 의하여 상기 토출구를 개폐할 수 있는 자석플랜저와, 상기 실린더부에 설치되어 있는 자석플랜저에 자력을 가하여 그 자석플랜저를 제어할 수 있는 플랜저제어수단을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 자석플랜저 밸브.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 자석플랜저는 상기 플랜저제어수단에서 가하여지는 자력에 의하여 상기 실린더부에서 움직일 수 있도록 형성되어 있는 자석과, 그 자석의 저부에 연결된 플랜저샤프트와, 상기 토출구를 개폐하는 밸브플레이트가 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 자석플랜저 밸브.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 플랜저제어수단은 상기 실린더부의 외주변의 본체에 형성된 링상의 공간부와, 그 공간부에 설치되어 상기 실린더부에 설치된 자석플랜저에 자력을 가할 수 있는 링상의 자석과, 상기 자석의 위치를 탄력적으로 변화시킬 수 있는 탄성수단과, 상기 공간부에 고압가스를 공급할 수 있는 가스공급관과, 그 가스공급관을 통하여 공급된 가스를 배출시킬 수 있는 가스배출관을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 자석플랜저 밸브.
4. 제 3 항에 있어서, 상기 탄성수단은 압축형 코일스프링인 것을 특징으로 하는 자석플랜저 밸브.
5. 제 3 항에 있어서, 상기 공간부에는 상기 링상의 자석의 위치를 규제할 수 있는 스톱퍼가 설치된 것을 특징으로 하는 자석플랜저 밸브.