KR19980020955A - Vacuum pump - Google Patents
Vacuum pump Download PDFInfo
- Publication number
- KR19980020955A KR19980020955A KR1019960039669A KR19960039669A KR19980020955A KR 19980020955 A KR19980020955 A KR 19980020955A KR 1019960039669 A KR1019960039669 A KR 1019960039669A KR 19960039669 A KR19960039669 A KR 19960039669A KR 19980020955 A KR19980020955 A KR 19980020955A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- pump
- filter
- vacuum
- attached
- pipe
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/4412—Details relating to the exhausts, e.g. pumps, filters, scrubbers, particle traps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
본 발명은 진공 펌프에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 수명을 향상시키기 위한 진공 펌프와 연결되어 있는 배관에 피터가 장착되어 있는 진공 펌프에 관한 것이다. 체밍버와 회전 날개를 이용하여 공기를 배기시켜 진공압을 발생시키는 펌프 사이에 진공 배관의 일측단이 체임버와 연결되어 있고 타측단이 펌프와 연결되어 있고 펌프와 연결되어 있으며 공기가 배출되는 배기관이 부착기되어 있고 진공 배관과 배기관에 각각 부착되어 있으며 진공 배간과 배기관의 내부에 이동하는 입자 또는 오염 물질을 필터링하는 필터체가 부착되어 있다. 따라서, 본 발명에 따른 진공 펌프는 체임버와 로터리 펌프 사이 진공 배관에 부착가되어 있는 필터에 의해 진공 가동시 체임버에서 로터리 펌프로 흐르는 입자나 오염 물질을 필터링하여 펌프의 날개 및 벽면과 이 물질의 충돌을 방지함으로써 펌프의 수명 연장할 수 있고 배기관에 부착되어 있는 필터로 펌프 가동 중단시 펌프쪽으로 역류되는 오염 물질과 입자들을 필터링하여 펌프의 성능을 극대화할 수 있는 효과가 있다.The present invention relates to a vacuum pump, and more particularly, to a vacuum pump in which Peter is mounted on a pipe connected to a vacuum pump for improving the service life. One end of the vacuum pipe is connected to the chamber, the other end is connected to the pump, connected to the pump, and the exhaust pipe is discharged between the pump that generates the vacuum pressure by exhausting air by using the chamfer and the rotary vane. Attached to the vacuum pipe and exhaust pipe, respectively, attached to the filter and filter body for filtering particles or contaminants moving inside the vacuum exhaust pipe and exhaust pipe. Accordingly, the vacuum pump according to the present invention filters particles or contaminants flowing from the chamber to the rotary pump during vacuum operation by a filter attached to the vacuum pipe between the chamber and the rotary pump to prevent collision of the material with the vane and the wall of the pump. This can extend the life of the pump and filter the contaminants and particles that flow back to the pump when the pump is stopped. The filter is attached to the exhaust pipe to maximize the performance of the pump.
Description
제 1도는 종래 기술에 따른 진공 펌프의 구성을 도시한 배치도이고,1 is a layout showing the configuration of a vacuum pump according to the prior art,
제 2도는 본 발명의 실시예에 따른 진공 펌프의 구성을 도시한 배치도이고,2 is a layout showing the configuration of a vacuum pump according to an embodiment of the present invention,
제 3도는 제 2도에서 A부분을 도시한 단면도이다.3 is a cross-sectional view showing a portion A in FIG.
본 발명은 진공 펌프에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 수명을 향상시키기 위해 진공 펌프와 연결되어 있는 배관에 필터가 장착되어 잇는 진공 펌프에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum pump, and more particularly, to a vacuum pump in which a filter is mounted on a pipe connected to the vacuum pump to improve the service life.
일반적으로 진공이 필요한 공정에서 진공을 사용하는 장비에 있어서 필수적으로 사용하는 것은 진공 펌프이다. 이러한 진공 펌프는 체임버(chamber)의 용량 및 기능에 따라서 용도별로 나누어져 있으며 저진공(대기업 ∼ 10-3torr)에서는 일반적으로 로터리 펌프(rotary pump)를 사용하고 있다.In general, a vacuum pump is essential for equipment using a vacuum in a process requiring a vacuum. These vacuum pumps are divided according to the use according to the capacity and function of the chamber (chamber), and low vacuum (large company-10 -3 torr) generally uses a rotary pump.
로터리 펌프는 하나 또는 두 개의 회전자(rotor)를 회전시켜 액체를 밀어내는 형식의 펌프이다. 구조가 간단하고 취급이 용이한 장점을 가지고 있다.Rotary pumps are pumps that push liquid by rotating one or two rotors. It has the advantages of simple structure and easy handling.
그러면, 첨부한 도면을 참고로 하여 종래의 진공 펌프에 대하여 더욱 상세하게 설명한다.Then, with reference to the accompanying drawings will be described in more detail with respect to the conventional vacuum pump.
제 1도는 종래 기술에 따른 진공 펌프의 구성을 도시한 배치도이다.1 is a layout view showing the configuration of a vacuum pump according to the prior art.
제 1도에 도시한 바와 같이, 종래의 전공 펌프는 체임버(1)에 체임버(1)의 내부를 진공으로 만들기 위해 진공 배관(2)의 일측단이 연결되어 있으며 진공 배관(2)의 타측단은 로터리 펌프(3)와 연결되어 있다. 체임버(1)와 로터리 펌프(3)사이에는 진공 배관(2)의 충격을 방지하기 위해 플렉시블 호스(flexible hose)(4)가 설치되어 있으며 진공 배관(2)의 도증에 배관압을 증가시키기 위해 부스터 펌프(booster pump)(5)가 연결되어 있다. 그리고 로터리 펌프(3)에는 체임버(1)로부터 배출되는 공기를 배출시키기 위해 배기관(6)이 연결되어 있다.As shown in FIG. 1, the conventional electric pump has one end of the vacuum pipe 2 connected to the chamber 1 to vacuum the inside of the chamber 1, and the other end of the vacuum pipe 2 is connected. Is connected to the rotary pump (3). A flexible hose 4 is installed between the chamber 1 and the rotary pump 3 to prevent the impact of the vacuum pipe 2 and to increase the pipe pressure in the vacuum pipe 2. A booster pump 5 is connected. In addition, an exhaust pipe 6 is connected to the rotary pump 3 to discharge air discharged from the chamber 1.
이러한 종래의 진공 펌프에서는 로터리 펌프와 공기의 흐름에 역류가 발생하지 않도록 부스터 펌프를 가동시키면 진공 배관을 통하여 공기가 배기관을 통하여 배출되면 체임버 내부에 진공이 된다. 이때, 펌프 내부에서 발생하는 오리(oil)도 함께 배출된다.In such a conventional vacuum pump, when the booster pump is operated so that a reverse flow does not occur in the flow of the rotary pump and the air, when the air is discharged through the exhaust pipe through the vacuum pipe, the inside of the chamber becomes a vacuum. At this time, the oil (oil) generated in the pump is also discharged together.
그러나, 이러한 종래의 진공 펌프는 체임버 측으로부터 발생되는 입자나 기타 오염 물질들이 펌핑(pumping)시에 진공 배관을 따라서 부스터 펌프나 로터리 펌프에 흡입되므로 펌프 내부에 설치되어 있는 회전 날개와 펌프의 벽면과 부딪쳐서 펌프의 벽면을 마모시키고, 펌프를 가동시키다가 중단하는 경우에는 배기 측으로 배출되던 입자나 오염 물질 등이 다시 역류하여 펌프 내부로 다시 흡입되어 다시 펌프를 가동하는 경우에 입자나 오염 물질 등 때문에 펌프의 성능을 저하시키는 문제점을 가지고 있다.However, such a conventional vacuum pump is sucked into the booster pump or the rotary pump along the vacuum pipe at the time of pumping particles or other contaminants generated from the chamber side, so that the rotary vane and the wall of the pump installed inside the pump When it hits, the wall of the pump is worn out and the pump is stopped while the pump is running, the particles or contaminants discharged to the exhaust side flow back to the pump and are sucked back into the pump. It has a problem of degrading performance.
본 발명의 목적은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 입자나 오염 물질 등을 필터링하여 로터리 펌프나 부스터 펌프의 내부에 입자나 오염 흡입을 방지하여 펌프 내부의 회전 날개 또는 벽면에 충격을 방지하고 펌프 가동 중단 시에도 필터링하여 입자나 오염 물질의 역류를 방지하는 데에 있다.An object of the present invention is to solve this problem, by filtering the particles or contaminants to prevent the intake of particles or contamination inside the rotary pump or booster pump to prevent impact on the rotary blades or walls inside the pump and pump operation Filtering even during interruption is to prevent backflow of particles or contaminants.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 진공 펌프용 필터부는,Vacuum pump filter unit according to the present invention for achieving this object,
내부를 관통하는 통로가 형성되어 있는 몸체,A body having a passage therein,
상기 통로 쪽으로 상기 몸체에 부착되어 있으며 제1 방향의 흐름을 필터링하는 제1 필터,A first filter attached to the body toward the passage and filtering the flow in the first direction,
상기 통로 쪽으로 상기 몸체에 부착되어 있으며 상기 제1 방향의 역 흐름을 필터링하는 제2 필터를 포함하고 있다.And a second filter attached to the body toward the passage and filtering the reverse flow in the first direction.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 진공 펌프는,Vacuum pump according to the present invention for achieving this object,
체임버,Chamber,
회전 날개를 이용하여 공기를 배기시켜 진공압을 발생시키는 펌프,A pump that exhausts air by using a rotary vane to generate a vacuum pressure,
일측단은 상기 체임버와 연결되어 있으며 타측단은 상기 펌프와 연결되어 있으며 상기 진공압을 상기 체임버로 전달하는 진공 배관,One end is connected to the chamber and the other end is connected to the pump and the vacuum pipe to transfer the vacuum pressure to the chamber,
상기 펌프와 연결되어 있으며 상기 공기가 배출되는 배기관,An exhaust pipe connected with the pump and through which the air is discharged;
상기 진공 배관과 배기간에 각각 부착되어 있으며 상기 진공 배관과 배기관의 내부에 이동하는 입자 또는 오염 물질을 필터링하는 필터체를 포함하고 있다.It is attached to each of the vacuum pipe and the exhaust period and includes a filter body for filtering particles or contaminants moving inside the vacuum pipe and the exhaust pipe.
본 발명에 따른 이러한 진공 펌프에서는 체임버와 로터리 펌프 사이 진공 배관에 부착되어 있는 필터에 의해 진공 가동시 체임버에서 로터리 펌프로 흐르는 입자나 오염 물질이 필터링되고, 진공 배관에 부착되어 있는 필터와 반대방향으로 배기관에 부착되어 있는 필터에 의해 펌프의 날개와 펌프 내부에서 마찰에 의해 자연적으로 발생하는 입자와 체임버로부터 흡입되었던 이 물질이 배출되고 펌프 가동 중단시 펌프쪽으로 역류되는 배기되던 오염 물질과 입자들은 필터링된다. 여기서 펌프에서 발생하는 미세한 오일은 펌프 가동시 이 물질과 함께 배출된다.In the vacuum pump according to the present invention, particles or contaminants flowing from the chamber to the rotary pump during the vacuum operation are filtered by a filter attached to the vacuum pipe between the chamber and the rotary pump, and in the opposite direction to the filter attached to the vacuum pipe. A filter attached to the exhaust pipe discharges the particles that were naturally aspirated by the friction of the pump blades and inside the pump and the chamber, and the exhausted contaminants and particles that flow back to the pump when the pump is stopped are filtered out. . The fine oil from the pump is discharged with this material when the pump is running.
그러면, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명에 따른 진공 펌프의 한 실시예를 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명한다.Then, an embodiment of a vacuum pump according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention.
제2도는 본 발명의 실시예에 다른 진공 펌프의 구성을 도시한 배치도이고, 제3도는 제2도에서 A 부분을 도시한 단면도이다.FIG. 2 is a layout view showing the construction of a vacuum pump according to the embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a sectional view showing a portion A in FIG.
제2도에 도시한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 전공 펌프는 체임버(10)에 체임버(10)의 내부에 채워져 있는 공기 또는 유체를 흡입하기 위한 진공 배관(20)의 일측단이 연결되어 있으며 진공 배관(20)의 타측단은 회전 날개가 가동되어 흡입력을 발생케하는 로터리 펌프(30)과 연결되어 있다. 로터리 펌프(30)에 근접한 진공 배관(20)에는 로터리 펌프(30)에서 흡입력 발생시에 유발되는 진동을 흡수하기 위해 플렉시블 호스(40)가 설치되어 있고, 플랙시블 호스(40)와 로터리 펌프(30) 사이 진공 배관(20)에는 진공 배관(20) 전체에 미치는 흡입력을 보충하여 송수압을 증가시키기 위해 부스터 펌프(50)가 연결되어 있다. 그리고 로터리 펌프(30)와 플랙시블 호스(40) 사이 진공 배관(20)에는 체임버(10)로부터 배출되는 공기 또는 유체의 흡입에 따라 체임버(10)로부터 배출되는 입자나 이 물질을 필터링하기 위해 필터체(70)가 장착되어 있다. 그리고 체임버(10)로부터 로터리 펌프(30)에 흡입되어 있는 공기나 유체를 배출하기 위해 로터리 펌프(50)에 배기관(60)이 연결되어 있다. 배출 중단시에 체임버(10)로부터 흡입되었거나 또는 펌프(40. 50)에서 자연적으로 발생하는 이 물질이 로터리 펌프(3)로 역류되는 것을 방지하기 위해 배기관(60) 필터체(70)가 부착되어 있다. 여기서 배기관(60)에 부착되어 있는 필터(70)는 진공 배관(20)에 부착되어 있는 필터(70)와 내부 구조는 동일하며 방향은 반대로 부착되어 있다.As shown in FIG. 2, the electric pump according to the exemplary embodiment of the present invention has one side end of a vacuum pipe 20 for sucking air or fluid filled in the chamber 10 to the chamber 10. And the other end of the vacuum pipe 20 is connected to the rotary pump 30, the rotary blade is driven to generate a suction force. In the vacuum pipe 20 adjacent to the rotary pump 30, a flexible hose 40 is installed to absorb the vibration caused when the suction force is generated in the rotary pump 30, and the flexible hose 40 and the rotary pump 30 are provided. The booster pump 50 is connected to the vacuum pipe 20 to increase the water pressure by supplementing the suction force on the entire vacuum pipe 20. In addition, the vacuum pipe 20 between the rotary pump 30 and the flexible hose 40 includes a filter for filtering particles or foreign substances discharged from the chamber 10 according to suction of air or fluid discharged from the chamber 10. Sieve 70 is attached. In addition, an exhaust pipe 60 is connected to the rotary pump 50 to discharge air or fluid sucked into the rotary pump 30 from the chamber 10. Exhaust duct 60 filter element 70 is attached to prevent backwashing from chamber 10 or naturally occurring in pump 40. 50 backflow to rotary pump 3 at the end of discharge. have. Here, the filter 70 attached to the exhaust pipe 60 has the same internal structure as that of the filter 70 attached to the vacuum pipe 20 and is attached in the opposite direction.
제3도는 제2도에서 배기관(60)에 부착되어 있는 필터체(70)의 구조를 나타낸 것으로서, 몸체(71)의 중앙에 공기 또는 유체가 흐르는 통로(72)가 형성되어 있고, 상부와 하부에 볼륨을 갖는 돌출부로 형성되어 있으며 제2도의 진공 배관(20) 또는 배기관(60)과 접합 시에 공기 또는 유체가 세는 것을 방지하기 위해 링을 삽입될 수 있는 홈이 형성되어 있는 접합부(73)가 형성되어 있다. 몸체(71)의 통로(72) 쪽에 고정용 와셔(74)에 의해 다수의 필터(75) 고정되어 있다. 여기서 다수의 필터(75)중에서 일부는 위 방향으로 굴곡되어 아래 방향의 흐름에 따라 필터링이 가능하도록 부착되어 있고 나머지 일부는 위 방향으로 굴곡되어 있는 필터(75)보다 크며 아래 방향으로 굴곡되어 위 방향의 흐름에 따라 필터링이 가능하도록 되어 있다.FIG. 3 shows the structure of the filter body 70 attached to the exhaust pipe 60 in FIG. 2, in which air or fluid passages 72 are formed in the center of the body 71. A joint 73 formed with a protrusion having a volume in the groove and having a groove into which a ring can be inserted to prevent air or fluid from counting when joining the vacuum pipe 20 or the exhaust pipe 60 of FIG. Is formed. A plurality of filters 75 are fixed to the passage 72 side of the body 71 by fixing washers 74. Here, some of the plurality of filters (75) are bent in the upward direction and attached to enable filtering according to the flow in the downward direction, and others are larger than the filter (75) that is bent in the upward direction and bent in the downward direction. Filtering is possible according to the flow of.
이러한 진공 배관(20)에 부착되는 필터체(70)는 배기관(60)에 부착되는 필터체(70)와 동일하며 필터링하는 방향이 서로 반대 방향이므로 반대 형태를 가지고 있으며 필터(75)의 재질은 스테인너스로 제작하는 것이 적당하다.The filter body 70 attached to the vacuum pipe 20 has the same shape as the filter body 70 attached to the exhaust pipe 60 and has a reverse shape since the filtering directions are opposite to each other, and the material of the filter 75 is It is suitable to make it stained.
따라서, 본 발명에 따른 진공 펌프는 체임버와 로터리 펌프 사이 진공 배관에 부착되어 있는 필터에 의해 진공 배관에 부착되어 있는 필터에 의해 진공 가동시 체임버에서 로터리 펌프로 흐르는 입자나 오염 물질을 필터링하여 펌프의 날개 및 벽면과 이 물질의 충돌을 방지함으로써 펌프의 수명 연장할 수 있고 배기관에 부착되어 있는 필터로 펌프 가동 중당시 펌프쪽으로 역류되는 오염 물질과 입자들을 필터링하여 펌프의 성능을 극대화할 수 있는 효과가 있다.Accordingly, the vacuum pump according to the present invention filters the particles or contaminants flowing from the chamber to the rotary pump during the vacuum operation by the filter attached to the vacuum pipe by the filter attached to the vacuum pipe between the chamber and the rotary pump. By preventing the collision of the material with the wing and the wall, it is possible to extend the service life of the pump, and the filter attached to the exhaust pipe can filter the contaminants and particles flowing back to the pump when the pump is running to maximize the performance of the pump. have.
Claims (11)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960039669A KR100233148B1 (en) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | A vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960039669A KR100233148B1 (en) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | A vacuum pump |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19980020955A true KR19980020955A (en) | 1998-06-25 |
| KR100233148B1 KR100233148B1 (en) | 1999-12-01 |
Family
ID=19473598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960039669A KR100233148B1 (en) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | A vacuum pump |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100233148B1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6852959B1 (en) | 1999-12-09 | 2005-02-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Driving circuit of DC microwave oven and method of controlling the same |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101395372B1 (en) | 2011-12-07 | 2014-05-15 | 주식회사 엘지실트론 | Exhausting apparatus for single crystal grower |
-
1996
- 1996-09-13 KR KR1019960039669A patent/KR100233148B1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6852959B1 (en) | 1999-12-09 | 2005-02-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Driving circuit of DC microwave oven and method of controlling the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100233148B1 (en) | 1999-12-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2002501800A (en) | Quiet vacuum cleaner using a vacuum pump with a lobed chamber | |
| KR20010094295A (en) | Air flow system of vacuum cleaner | |
| JP2011190812A (en) | Powerful suction blower | |
| KR100233148B1 (en) | A vacuum pump | |
| AU2007203697A1 (en) | Two stage conical liquid ring pump having removable manifold, shims and first and second stage head o-ring receiving boss | |
| JP2978339B2 (en) | Vacuum pump | |
| US20050053496A1 (en) | Pulp pump | |
| KR0129269B1 (en) | Fluid structure of wesco pump | |
| KR100205687B1 (en) | The exhaust structure of the vacuum cleaner | |
| KR100236012B1 (en) | Device for decreasing the noise of vacuum cleaner | |
| KR100556441B1 (en) | Multi cyclone dust collector | |
| KR19990033888A (en) | Sound absorption room of vacuum cleaner | |
| CN217029221U (en) | Oil-free air compressor's leak protection gas sealing device | |
| KR0119597Y1 (en) | Suction brush of a vacuum cleaner | |
| KR100231436B1 (en) | MCS(Muffler Chamber System) of Vacuum Cleaner | |
| KR200155734Y1 (en) | Assebling construction of pump impeller | |
| SU1710846A1 (en) | Monoblock pumping unit | |
| KR100441092B1 (en) | The centrifugal blower for a cleaner | |
| KR200203022Y1 (en) | Pump | |
| KR950004663Y1 (en) | Vacuum cleaner of cyclone system | |
| KR100400566B1 (en) | Ejector for vacuum cleaner | |
| KR20020071623A (en) | cyclone dust collector | |
| KR20040050618A (en) | Vacuum cleaner | |
| KR200148360Y1 (en) | Motor case of vacuum cleaner | |
| KR200416847Y1 (en) | A screw pump |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20070827 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |