KR19980020173A - 반도체 웨이퍼 자동 이송 장치의 물체 감지 시스템 및 감지 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 자동 이송 장치의 물체 감지 시스템에 관한 것으로 로봇 등의 자동 이송 장치가 동작을 진행하는 도중에 작업자 등의 물체가 감지되는 경우 자동적으로 정지하도록 하는 시스템 및 방법을 제공하는데 목적이 있다.

이를 위해 자동 이송 장치의 몸체의 외부에 적어도 하나 이상 설치한 센서와, 상기 센서로부터의 물체 감지 신호를 입력받아 증폭시키는 증폭기와, 상기 증포기로부터 증폭된 감지 신호를 입력받아 상기 몸체내의 구동부를 제어하는 중앙 처리 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이에 따라 이송 경로상에 있는 작업자 등의 물체를 감지하는 경우 자동적으로 이송 장치를 정지시킴으로써 작업자의 안전사고를 방지할 수 있으며, 웨이퍼를 떨어뜨려 생기는 파손이나 흔들림으로 인한 공정상의 패턴 불량을 방지할 수 있다.

Description

반도체 웨이퍼 자동 이송 장치의 물체 감지 시스템 및 감지 방법

본 발명은 자동 이송 장치의 물체 감지 시스템에 관한 것으로서 더욱 상세하게는 웨이퍼의 이송을 담당하는 로봇 등의 자동 이송 장치에 센서를 부착하여 이동 경로에 사람이나 그 밖의 장애물이 있는지 여부를 감지함으로써 사고를 방지할 수 있도록 한 반도체 웨이퍼 자동 이송 장치의 물체 감지 시스템에 관한 것이다.

일반적으로 고직접화하는 반도체 제조 과정은 패턴이 점점 더 미세화하고 세정공정에 요구되는 수준도 더욱 더 높아지고 있다. 이런 고도화된 수준에 부응하기 위하여 웨이퍼의 확산전 세정, 실리콘 산화막, 질화막 에칭, 레지스트 스트립 등의 처리를 고품질화할 수 있는 웨트-스테이션(wet-station) 장치 또는 세정장치가 사용된다.

이러한 웨트-스테이션 장치와 세정장치에서는 웨이퍼를 이송하는데 있어 수작업으로 처리하기 어렵기 때문에 주로 로봇 등의 자동 이송 장치가 이용되고 있다.

이와 같이 로봇 등의 자동 이송 장치가 이용되고 있는 경우에 있어, 이송 장치의 동작 상태를 파악하기 위해 작업자가 이송 장치의 내부를 체크할 때, 통상적으로 이송 장치에 신체를 기대거나 직접 올라서는 경우가 많다.

이때, 로봇 등의 자동 이송 장치는 제어부에 의해 입력된 루틴을 따라 자동적으로 동작하기 때문에 작업자 등의 물체의 유무에 관계없이 진행한다. 따라서 작업자 등의 물체가 로봇과 충돌하거나 로봇과 다른 설비 사이에 끼이게 되어 안전사고가 발생하는 문제점이 있었다.

또한 이와 같은 사고가 발생하는 경우 로봇이 이송중인 웨이퍼를 떨어뜨려 파손이 생길 수 있으며 흔들림으로 인한 공정상의 패턴을 불량으로 만들 수 있으므로 생산성이 저하되고 신뢰성이 저하되는 문제점을 발생하였다.

본 발명의 목적은 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로 로봇 등의 자동 이송 장치가 동작을 진행하는 도중에 작업자 등의 물체가 감지되는 경우 자동적으로 정지하도록 하는 시스템 및 방법을 제공하는데 있다.

도 1은 본 발명에 의한 반도체 웨이퍼 이송장치의 물체 감지 시스템을 나타낸

구성도.

도 2는 본 발명에 반도체 웨이퍼 이송장치의 물체 감지 방법을 나타내는 플로우

챠트.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 몸체 2, 3 : 센서

4 : 증폭기 5 : 아암

6 : 가이드 레일7 : 중앙 처리 장치

8 : 디스플레이장치

이를 위해 본 발명은 자동 이송 장치의 몸체의 외부에 적어도 하나 이상 설치한 센서와, 상기 센서로부터의 물체 감지 신호를 입력받아 증폭시키는 증폭기와, 상기 증포기로부터 증폭된 감지 신호를 입력받아 상기 몸체내의 구동부를 제어하는 중앙 처리 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명에 의한 자동 이송 장치의 개략적인 사시도이다. 도시된 바와 같이 로봇 등의 자동 이송 장치(10)는 한 쌍의 아암(5)을 갖고 있으며 입력된 루틴을 수행하기 위해 이송 장치 내부에 설치된 구동부(미도시)에 의해 가이드 레일(6)을 따라 왕복 운동한다. 이송 장치의 몸체(1) 외부에는 센서(2, 3)가 각각 반대 방향의 물체를 감지할 수 있도록 서로 몸체(1)의 양 측면에 설치되어 있다.

또한 센서(2, 3)는 증폭기(4)에 연결되어 센서(2, 3)에서 감지된 신호는 증폭기(4)에서 증폭된다. 증폭기(4)는 다시 중앙 처리 장치(CPU; 7)에 연결되고 디스플레이장치(8)가 상기 중앙 처리 장치(7)에 연결된다. 따라서 증폭기(4)에서 증폭된 신호는 중앙 처리 장치(7)로 보내져서 이송 장치내의 구동부를 제어함과 동시에 물체를 감지하였다는 메세지를 디스플레이장치(8)에 표시한다.

이와 같은 본 발명의 시스템의 동작 방법을 도 2를 참조하여 설명한다.

전원부에서 자동 이송 스위치를 선택하면 이송 방향에 수직으로 늘어진 한쌍의 아암(5)은 작업이 끝난 웨이퍼를 집어 상승시킨 후 이송할 준비를 하고, 이송 장치내의 구동부가 구동되면서 다음의 처리조로 이송된다.

이와 같이 이송하는 도중에 이송 장치의 몸체(1) 외부에 설치된 센서(2, 3)에 의해 물체가 감지되면(단계 1), 감지된 신호는 증폭기(4)로 전달된다(단계 2). 이어서 증폭된 신호는 중앙 처리 장치(7)로 전달되고(단계 3), 중앙 처리 장치에서는 전달된 신호에 따라 이송 장치내의 구동부에 피드백 신호를 전달하여 구동부를 정지시킨다(단계 4). 또한 선택적으로 LCD 등의 디스플레이장치(8)에 물체가 감지되었다는 메시지를 표시할 수 있다(단계 5).

상기한 바와 같이 본 발명은 자동 이송 장치에 있어서, 이송 도중에 이송 경로상에 있는 작업자 등의 물체를 감지하는 경우 자동적으로 이송 장치를 정지시킴으로써 작업자의 안전사고를 방지할 수 있으며, 웨이퍼를 떨어뜨려 생기는 파손이나 흔들림으로 인한 공정상의 패턴 불량을 방지할 수 있다.

Claims (3)

1. 자동 이송 장치의 몸체의 외부에 적어도 하나 이상 설치한 센서와, 상기 센서로부터의 물체 감지 신호를 입력받아 증폭시키는 증폭기와, 상기 증포기로부터 증폭된 감지 신호를 입력받아 상기 몸체내의 구동부를 제어하는 중앙 처리 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 자동 이송 장치의 물체 감지 시스템.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 중앙 처리 장치에 의해 제어되고 상기 물체가 감지되었다는 메시지를 표시하는 디스플레이장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 자동 이송 장치의 물체 감지 시스템.
3. 자동 이송 장치의 몸체의 외부에 적어도 하나 이상 설치한 센서에 의해 이동 경로상의 물체를 감지하는 단계와, 상기 감지 신호를 증폭기에 전달하여 증폭하는 단계와, 상기 증폭된 감지 신호를 중앙 처리 장치에 전달하는 단계와, 상기 증폭 감지 신호에 따라 상기 중앙 처리 장치가 상기 이송 장치의 구동을 정지시키는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 자동 이송 장치의 물체 감지 방법.