KR102672718B1 - Hermetic cable harnes - Google Patents
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 32
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims abstract description 27
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims abstract description 27
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000005476 soldering Methods 0.000 claims abstract description 18
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 13
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 230000035515 penetration Effects 0.000 claims description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 5
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 13
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 229910000737 Duralumin Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 2
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 239000004848 polyfunctional curative Substances 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 238000003483 aging Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 229940079593 drug Drugs 0.000 description 1
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004811 fluoropolymer Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000003562 lightweight material Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 231100000053 low toxicity Toxicity 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B7/00—Insulated conductors or cables characterised by their form
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B7/00—Insulated conductors or cables characterised by their form
- H01B7/02—Disposition of insulation
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Abstract
본 발명은 내부 진공을 필요로 하는 진공 기기장비에 기밀 체결가능한 밀폐형 케이블 하네스(2)를 구비하되, 밀폐형 케이블 하네스(2)는, 플랜지 플레이트(10)의 삽입홈부(12)에 통체부(20)가 삽입되게 구성하고, 플랜지 플레이트(10)의 삽입홈부(12)와 통체부(20)의 충진공간부(22)를 통과하는 다수의 전선(30)들이 배열 형성되고 삽입홈부(12)와 충진공간부(22)에는 절연에폭시 충진재(40)로 충진되게 구성하며, 다수 전선(30)들은 기밀유지를 위해 절연에폭시 밀봉충진재(40)와 합접되는 전선(30) 영역의 일부에 탈피부(31)가 미리 형성되고 그 탈피부(31)에는 솔더링밀봉 시스(36)가 재킷 형성되게 구성하여서, 고진공 이상의 내부 진공을 필요로 하는 반도체장비와 같은 진공 기기장비에 장착가능하여도 고진공이 유지되게 하고 접촉불량 및 화재 우려를 최소화할 수 있고 전선교체시 유지보수를 용이케 한 것이다. The present invention provides a sealed cable harness (2) that can be hermetically fastened to vacuum equipment requiring internal vacuum, and the sealed cable harness (2) has a tubular portion (20) in the insertion groove (12) of the flange plate (10). ) is configured to be inserted, and a plurality of wires 30 passing through the insertion groove 12 of the flange plate 10 and the filling space 22 of the barrel portion 20 are arranged and formed into the insertion groove 12 and The filling space 22 is filled with an insulating epoxy filler 40, and the plurality of wires 30 have a peeling portion ( 31) is formed in advance, and the soldering sealing sheath 36 is formed as a jacket in the peeling part 31, so that the high vacuum is maintained even when it can be mounted on vacuum equipment such as semiconductor equipment that requires an internal vacuum higher than high vacuum. This minimizes the risk of poor contact and fire, and facilitates maintenance when replacing wires.
Description
본 발명은 배선기기에 관한 것으로, 특히 내부 진공을 필요로 하는 장비에 적용될 수 있으며 접촉불량 및 화재 우려를 최소화할 수 있고 전선교체시 유지보수가 용이한 밀폐형 케이블 하네스에 관한 것이다. The present invention relates to wiring devices, and in particular, to a sealed cable harness that can be applied to equipment that requires internal vacuum, can minimize the risk of poor contact and fire, and is easy to maintain when replacing wires.
일반적으로 진공상태는 진공의 압력 및 상태에 따라서 저진공, 중진공, 고진공, 초고진공으로 분류할 수 있다. 저진공은 대기압 ~ 1 Torr 정도, 중진공은 1 ~ 103 Torr 정도, 고진공은 103 ~ 107 Torr 정도, 초고진공은 107 Torr 이상이다.In general, vacuum conditions can be classified into low vacuum, medium vacuum, high vacuum, and ultra-high vacuum depending on the pressure and state of the vacuum. Low vacuum is atmospheric pressure ~ 1 Torr, medium vacuum is about 1 ~ 10 3 Torr, high vacuum is about 10 3 ~ About 10 7 Torr, ultra-high vacuum is over 10 7 Torr.
반도체 장비 등은 불순물과 평균 자유경로(Mean Free Path), 플라즈마 사용 등의 이유로 챔버 내부는 고진공이나 그 이상의 진공상태가 되어야 한다. Semiconductor equipment, etc., must have a high vacuum or higher vacuum inside the chamber due to impurities, mean free path, and use of plasma.
이렇게 챔버 내부가 진공상태를 지속 유지되어야 하는 반도체 장비와 같은 진공 기기장비는 그 내부로 전원공급이나 신호 송수신을 하기 위해선 배선 연결이 필요하다. Vacuum equipment such as semiconductor equipment, which must maintain a continuous vacuum inside the chamber, requires wiring connections to supply power or transmit and receive signals.
반도체 장비와 같은 진공 기기장비는 배선이 반드시 구비되어야 하는바 장비본체의 전기배선 내외부 관통부가 원인이 되어 챔버의 완전밀폐가 어려워질 수 있고 챔버의 진공환경을 깨뜨릴 수 있다. Vacuum equipment such as semiconductor equipment must be equipped with wiring, which can cause internal and external penetration of electrical wiring in the equipment body, making it difficult to completely seal the chamber and breaking the vacuum environment of the chamber.
반도체 장비와 같은 진공 기기장비에 진공환경을 유지하며 배선이 연결되도록 하기 위한 일례로서 장비 내외부가 밀폐 분리되는 진공커넥터를 구비한다. As an example of maintaining a vacuum environment and connecting wiring to vacuum equipment such as semiconductor equipment, a vacuum connector is provided that seals and separates the inside and outside of the equipment.
진공커넥터는 암수핀이 전기적으로 접속되는 구조인데, 진공기밀이 최소화되는 설계로 이루어지지만, 커넥터본체에 내장된 암수결합구조로 인해 진공기밀의 유지에 어려움이 있고 또 암수핀이 삽입형태로 전기접속이 이루어지는 관계로 고압전류에 의한 접촉저항이 크며 저항열로 인해 화재 우려가 있을 수 있다. 또 진공커넥터는 접촉 불량도 생길 수 있는 단점이 있다. The vacuum connector is a structure in which male and female pins are electrically connected. Although it is designed to minimize vacuum tightness, it is difficult to maintain vacuum tightness due to the male and female coupling structure built into the connector body, and the male and female pins are electrically connected in an inserted form. Because of this, the contact resistance due to the high-voltage current is large, and there may be a risk of fire due to resistance heat. Vacuum connectors also have the disadvantage of causing poor contact.
더욱이 기존 진공커넥터 방식의 경우에는 진공커넥터가 고장이 난 경우에는 기기장비 진공커넥터만의 교체가 불가능하여서 기기장비 전체를 교체해야 하는 경우가 발생하는 단점이 있다. Moreover, in the case of the existing vacuum connector method, if the vacuum connector is broken, it is impossible to replace only the vacuum connector of the device, so there is a disadvantage in that the entire device must be replaced.
따라서 본 발명의 목적은 내부 진공을 필요로 하는 기기장비에 적용되어 접촉불량 및 화재 우려를 최소화할 수 있고 전선교체시 유지보수가 용이한 밀폐형 케이블 하네스를 제공함에 있다. Therefore, the purpose of the present invention is to provide a sealed cable harness that can be applied to equipment that requires internal vacuum, minimizes the risk of poor contact and fire, and is easy to maintain when replacing wires.
본 발명의 다른 목적은 반도체장비와 같은 진공을 필요로 하는 기기장비의 전선고장시 밀폐형 케이블 하네스를 포함한 전선의 교체를 가능케 하고 내실 고진공의 지속유지에 유리한 밀폐형 케이블 하네스를 제공함에 있다. Another object of the present invention is to provide a sealed cable harness that enables replacement of wires, including a sealed cable harness, when a wire failure occurs in equipment that requires vacuum, such as semiconductor equipment, and is advantageous for maintaining a high vacuum inside.
상기한 목적에 따른 본 발명은, 내부 진공을 필요로 하는 진공 기기장비에 기밀 체결이 가능한 밀폐형 케이블 하네스(2)를 구비하되, The present invention for the above purpose is provided with a sealed cable harness (2) capable of hermetically fastening to vacuum equipment requiring internal vacuum,
상기 밀폐형 케이블 하네스(2)는, 플랜지 플레이트(10)의 삽입홈부(12)에 통체부(20)가 삽입되게 구성하고, 플랜지 플레이트(10)의 삽입홈부(12)와 통체부(20)의 충진공간부(22)를 통과하는 다수의 전선(30)들이 배열 형성되고 삽입홈부(12)와 충진공간부(22)에는 절연에폭시 충진재(40)로 충진 경화되게 구성하며, 다수 전선(30)들은 기밀유지를 위해 절연에폭시 밀봉충진재(40)와 합접되는 전선(30) 영역의 일부에 탈피부(31)가 미리 형성되고 탈피부(31)에는 솔더링밀봉 시스(36)가 재킷 형성되게 구성함을 특징으로 한다. The sealed cable harness (2) is configured so that the tubular portion (20) is inserted into the insertion groove portion (12) of the flange plate (10), and the insertion groove portion (12) of the flange plate (10) and the tubular portion (20) are A plurality of
또한 본 발명의 밀폐형 케이블 하네스(2)에 있어, 플랜지 플레이트(10)는 진공 기기장비와 체결되기 위한 다수 체결공(18)을 가지며 플랜지 플레이트(10)의 삽입홈부(12)에는 내벽요철부(14)가 형성되게 구성함을 특징으로 하고, 또 플랜지 플레이트(10)의 삽입홈부(12)에 형성된 걸림턱(16)에 통체부(20)의 걸이테(24)가 턱걸림되어 조립 구성함을 특징으로 한다. In addition, in the sealed
또한 본 발명의 밀폐형 케이블 하네스(2)에서는 전선(30)의 양단에 탈피부(31)가 미리 형성되고 양단 탈피부(31)에는 솔더링밀봉 시스(36)가 형성되게 구성함을 특징으로 한다. In addition, the sealed
본 발명은 체결 가능한 밀폐형 케이블 하네스로서 고진공 이상의 내부 진공을 필요로 하는 반도체장비와 같은 진공 기기장비에 체결을 통해 장착 가능하며 접촉불량 및 화재 우려를 최소화할 수 있고 전선교체시 유지보수가 용이한 장점이 있다. 또 반도체장비와 같은 진공 기기장비에 전선이 망실 내지 고장나면 기기장비의 교체없이도 밀폐형 케이블 하네스를 포함한 전선만의 교체를 가능케 해주는 장점도 있다. The present invention is a fastenable sealed cable harness that can be mounted on vacuum equipment such as semiconductor equipment that requires an internal vacuum of high vacuum or higher. It can minimize the risk of poor contact and fire, and has the advantage of being easy to maintain when replacing wires. There is. In addition, if a wire is lost or broken in vacuum equipment such as semiconductor equipment, it has the advantage of allowing only the wire, including the sealed cable harness, to be replaced without replacing the equipment.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 체결 가능한 밀폐형 케이블 하네스의 사시 구성도,
도 2는 본 발명의 밀폐형 케이블 하네스의 단면 구성도,
도 3은 본 발명의 밀폐형 케이블 하네스의 요부 절단면 사시 구성도,
도 4는 도 1의 밀폐형 케이블 하네스에 포함된 전선 마련을 위한 제작과정 사시 구성도,
도 5는 본 발명의 밀폐형 케이블 하네스에 포함된 전선의 사시 구성도,
도 6은 본 발명의 밀폐형 케이블 하네스 제작을 위한 부품 배열 구성도,
도 7은 진공 기기장비에 본 발명의 밀폐형 케이블 하네스가 설치된 예시 단면 구성도.1 is a perspective view of a fastenable sealed cable harness according to an embodiment of the present invention;
2 is a cross-sectional view of the sealed cable harness of the present invention;
Figure 3 is a perspective view of the main section of the sealed cable harness of the present invention;
Figure 4 is a perspective view of the manufacturing process for preparing the wires included in the sealed cable harness of Figure 1;
Figure 5 is a perspective view of the wire included in the sealed cable harness of the present invention;
Figure 6 is a component arrangement diagram for manufacturing the sealed cable harness of the present invention;
Figure 7 is an example cross-sectional configuration of the sealed cable harness of the present invention installed in vacuum equipment.
이하 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings.
본 발명에서는 고진공 이상의 내부 진공을 필요로 하는 반도체장비와 같은 진공 기기장비에 암수가 삽입구조로 결합되는 기존의 밀폐형 커넥터를 사용하지 않고, 또 접촉불량 및 화재 우려를 방지할 수 있는 밀폐형 케이블 하네스를 구현한다. In the present invention, instead of using the existing sealed connector where the male and female are connected in an insertion structure to vacuum equipment such as semiconductor equipment that requires an internal vacuum of high vacuum or higher, a sealed cable harness that can prevent poor contact and risk of fire is provided. Implement.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 밀폐형 케이블 하네스(2)의 사시 구성도이고, 도 2는 도 1의 밀폐형 케이블 하네스(2)의 단면 구성도이며, 도 3은 도 1의 밀폐형 케이블 하네스(2)의 절단면 사시 구성도이다. 그리고, 도 7은 진공 기기장비에 본 발명의 밀폐형 케이블 하네스(2)가 설치된 예시 구성도이다. Figure 1 is a perspective view of the sealed
본 발명의 실시예에서는 반도체 장비와 같은 고진공 이상의 내부 진공을 필요로 하는 진공 기기장비에 도 7에서와 같이, 체결볼트(54)로 기밀 체결가능케 하는 밀폐형 케이블 하네스(2)를 구성한다. In an embodiment of the present invention, as shown in FIG. 7, a sealed cable harness (2) is constructed that can be airtightly fastened to vacuum equipment that requires an internal vacuum higher than high vacuum, such as semiconductor equipment, using fastening bolts (54).
도 7에서와 같이, 진공내실(52)을 갖는 진공 기기장비의 케이싱벽체(50)에 도 1 내지 도 3에서와 같은 밀폐형 케이블 하네스(2a)가 밀폐 씰(56)이 개재된 상태로 다수의 체결볼트(54)에 의해서 기밀체결되게 구성한다. As shown in FIG. 7, a plurality of sealed cable harnesses 2a as shown in FIGS. 1 to 3 are installed on the
본 발명의 밀폐형 케이블 하네스(2)는 장비 체결형이므로 진공 기기장비의 내장 부품에 전기공급하기 위한 전선(30)들이 고장 내지 훼손될 경우에도 전선(30)들의 교체가 가능한 형태이다. Since the sealed cable harness (2) of the present invention is of the equipment fastening type, the wires (30) for supplying electricity to the built-in parts of the vacuum equipment are replaceable even if the wires (30) are broken or damaged.
본 발명의 밀폐형 케이블 하네스(2)가 전선(30)들이 함께 배열되어 반도체 장비와 같은 진공 기기장비에 체결 장착됨에도 불구하고 진공 기기장비의 진공내실(52)이 고진공을 지속 유지할 수 있도록 밀폐성능이 우수해야 한다. Even though the sealed cable harness (2) of the present invention has wires (30) arranged together and fastened and mounted on vacuum equipment such as semiconductor equipment, its sealing performance is such that the vacuum chamber (52) of the vacuum equipment can continuously maintain a high vacuum. Must be excellent.
이러한 요건을 만족케 하는 본 발명의 밀폐형 케이블 하네스(2)는, 플랜지 플레이트(10)의 삽입홈부(12)에 통체부(20)가 삽입되게 구성하고, 플랜지 플레이트(10)의 삽입홈부(12)와 통체부(20)의 충진공간부(22)를 통과하는 다수의 전선(30)들이 배열 형성되고 삽입홈부(12)와 충진공간부(22)에는 절연에폭시 충진재(40)로 충진 경화되게 한 구성이다. The sealed cable harness (2) of the present invention that satisfies these requirements is configured to insert the barrel portion (20) into the insertion groove (12) of the flange plate (10), and the insertion groove (12) of the flange plate (10) ) and a plurality of
더욱이 본 발명의 밀폐형 케이블 하네스(2)는 도체(32)와 절연피복부(34)로 구성된 전선(30) 속을 통한 기밀파괴를 방지하기 위해, 절연에폭시 밀봉충진재(40)와 합접되는 전선(30)의 영역 일부에 탈피부(31)가 미리 형성되고 그 탈피부(31)에는 솔더링밀봉 시스(soldering sealed sheath)(36)가 재킷 형성되게 구성하며, 전선(30)의 양단에도 탈피부(31)가 미리 형성되고 양단 탈피부(31)에 솔더링밀봉 시스(soldering sealed sheath)(36)가 마찬가지로 형성되게 구성한다. Furthermore, the sealed cable harness (2) of the present invention is a wire (wire) joined with an insulating epoxy sealing filler (40) in order to prevent airtightness from being broken through the wire (30) composed of the conductor (32) and the insulating coating portion (34). A
즉 본 발명에서는 밀폐형 케이블 하네스(2)의 본체 내부를 통과하되 일단이 진공 기기장비의 진공내실(52)의 전장부품과 단자편(도 7의 38) 등으로 전기적으로 연결되고 타단이 진공 기기장비의 외부로 길게 연장된 다수 전선(30)들을 마련하는 바, 이러한 구조의 전선(30)은 기존 진공커넥터에서의 암수접촉구조로 인한 접촉불량이 없고 또 접촉저항에 의한 과열 및 그로 인한 화재 우려 역시도 없는 이점이 있다. That is, in the present invention, the sealed
그런데 본 발명에서 채용하는 전선(30)은 전기용 연동연선으로 된 도체(32)와 그 도체(32)를 피복하는 절연피복부(34)를 구비하는 관계로, 도체(32)와 절연피복부(34)간 또는 도체(32)의 연선들 간의 미세 틈새로 챔버내외부 압력차에 의한 외부 공기가 침투해 진공 기기장비의 진공내실(52)로 들어갈 수 있다. However, the
그에 따라 본 발명에서는 전선(30)을 통한 기밀 파괴를 없애기 위해서 도 4의 (a)에서와 같이 밀폐형 케이블 하네스(2)에 충진 경화되는 절연에폭시 밀봉충진재(40)와 합접되는 전선(30) 영역의 일부와 전선(30)의 양단 각각에 절연피폭부(34)를 벗겨내 탈피부(31)를 미리 형성한다. Accordingly, in the present invention, in order to eliminate airtightness destruction through the
그 후에는 도 4의 (b)에서와 같이 중간부 및 양단부 각 탈피부(31)에 솔더링밀봉 시스(soldering sealed sheath)(36)를 재킷 형성함으로써, 도 5에서와 같은 기밀처리된 전선(30)을 마련한다. Afterwards, as shown in (b) of FIG. 4, a soldering sealed
본 발명에서 전선(30)의 절연피복부(34)는 본 발명에 따른 솔더링밀봉 시스(36)에 소용되는 납땜의 용융점(180~200℃)보다 높은 200~300℃의 고온에서 사용이 가능한 내열성을 가지며 열화에 대한 강도도 뛰어난 배선용 소재이며, 바람직하기로는 테프론(불소수지)를 사용한다. In the present invention, the
본 발명에 따라 전선(30)의 탈피부(31)에는 납땜 용융액에 의한 솔더링밀봉 시스(36)가 형성되게 하는데, 솔더링밀봉 시스(36)를 형성시에는 전선(30)의 각 탈피부(31)가 납땜 용융액에 듬뿍 잠기게함으로써 납땜 피복 및 도체(32)내로의 납땜 침투로 인해 밀폐가 이루어지게 한다. 특히 밀봉충진재(40)와 합접되는 영역에 위치된 탈피부(31)의 경우에는 먼저 도체(32)인 전기용 연동연선의 꼬임을 펴고 그 다음에는 송곳 등으로 구멍을 내는 전처리를 한 다음, 납땜 융융액이 듬뿍 잠겨지게 한다.According to the present invention, a soldering sealing
그래서 도 3의 부분 확대도에서와 같이 땜납이 전선(30)의 도체(32)의 심부까지 충분히 침투 흡수되어 납땜 피복 뿐만 아니라 솔더침투부(36a)까지 형성시킴에 의해 전선(30)에서의 치밀한 밀폐가 이루어진다. Therefore, as shown in the partial enlarged view of FIG. 3, the solder sufficiently penetrates and absorbs into the deep part of the
또 솔더링밀봉 시스(36)를 형성함에 있어 납땜 용융액을 담궈 빼낸 직후 솔더링 외경이 전선(30)의 절연피복부(34)보다 커지지 않도록 처리하여서 도 5와 같은 솔더링밀봉 시스(36)를 갖는 전선(30)에 마련한다. In addition, in forming the soldering sealing
그에 따라 도 5와 같이 다수의 전선(30) 각각에는 중간부 및 양단부에 솔더링밀봉 시스(36)가 재킷 형성되며, 이렇게 마련된 다수의 전선(30)들은 밀폐형 케이블 하네스(2) 본체내부인 플랜지 플레이트(10)의 삽입홈부(12)와 통체부(20)의 충진공간부(22)를 통과하게 배열되고 양측으로는 필요한 길이만큼 연장되게 구성한다. Accordingly, as shown in FIG. 5, a
한편 본 발명 밀폐형 케이블 하네스(2)의 구성부품중 플랜지 플레이트(10)는 진공 기기장비의 배선공 위치의 케이싱벽체(50)에 밀착되면서 내구성이 뛰어난 알루미늄합금소재 바람직하게는 두랄루민으로 구성한다. 두랄루민은 시효경화로 인해 철강재 만큼의 강도를 보이며 그 비중이 철강의 1/3밖에 되지 않기 때문에 중량당 강도가 매우 우수한 경량화 소재이고 표면조직이 치밀하다. Meanwhile, among the components of the sealed cable harness (2) of the present invention, the flange plate (10) is made of an aluminum alloy material, preferably duralumin, which is highly durable and adheres closely to the casing wall (50) at the wiring hole location of the vacuum equipment. Duralumin shows as much strength as steel due to age hardening, and since its specific gravity is only 1/3 of that of steel, it is a lightweight material with excellent strength per weight and has a dense surface structure.
도 6은 본 발명의 밀폐형 케이블 하네스(2)의 제작을 위한 부품 배열 구성도로서, 플랜지 플레이트(10)과 통체부(20), 및 전선(30)들을 포함한다. 도 6에서는 융용되어 주입되는 절연에폭시 밀봉충진재(40)는 생략되어 있다. Figure 6 is a component arrangement diagram for manufacturing the sealed
본 발명의 알루미늄합금소재의 플랜지 플레이트(10)는 진공 기기장비와 체결되기 위한 다수 체결공(18)을 도 1에 도시된 바와 같이 판재 외곽부에 형성하며, 도 6의 단면도를 통해 명확히 볼 수 있듯이, 플랜지 플레이트(10)의 삽입홈부(12)에는 내벽요철부(14)가 형성되고 통체부(20)가 턱걸림되도록 하기 위한 걸림턱(16)도 형성된다. The
플랜지 플레이트(10)의 삽입홈부(12)에 형성된 내벽요철부(14)는 삽입홈부(12)에 충진 경화된 절연에폭시 밀봉충진재(40)와 플랜지 플레이트(10)간의 결합력을 높혀주고 플랜지 플레이트(10)와 통체부(20)간의 기밀성도 높혀주는 기능을 담당한다. The
통체부(20)는 절연에폭시 밀봉충진재(40)가 충진 경화될 충진공간부(22)를 가지며 통체바닥에는 다수의 전선공(26)들이 형성되고 통체 입구부에는 플랜지 플레이트(10)의 삽입홈부(12)의 종단에 형성된 걸림턱(16)에 턱걸림되도록 하기 위한 걸이테(24)가 형성된다. 통체부(20)의 소재는 바람직하게 수지재질로 구성한다.The
본 발명에서는 충진공간부(22)를 갖는 통체부(20)를 플랜지 플레이트(10)의 삽입홈부(12)에 끼워 걸이테(24)가 걸림턱(16)에 턱걸림으로 되게 조립하고 또 플랜지 플레이트(10)의 삽입홈부(12)와 통체부(20)의 충진공간부(22)를 통과하는 다수의 전선(30)들이 배열 형성되게 한 상태에서, 삽입홈부(12)와 충진공간부(22)에 액상의 절연에폭시 밀봉충진재(40)로 충진하고 경화시킴으로써 밀봉이 이루어지게 한다. In the present invention, the
절연에폭시 밀봉충진재(40)는 에폭시수지 100중량부 당 경화제 85~95중량부(phr: parts per hundred resin)의 배합비로 배합해 마련하며, 배합된 에폭시 수지는 경화제와 반응하여 비로소 기계적 강도나 내약품성이 뛰어나게 된다. 통체부(20)의 충진공간부(22) 및 플레이트(10)의 삽입홈부(12)에 에폭시 배합 주입액을 충진하고 경화시킬 때에 에폭시 배합 주입액 속의 기포가 제거되도록 하는 탈포공정도 수행된다. The insulating epoxy sealing filler (40) is prepared by mixing 85 to 95 parts by weight of hardener (phr: parts per hundred resin) per 100 parts by weight of epoxy resin, and the mixed epoxy resin reacts with the hardener to increase mechanical strength and resistance. The drug properties are excellent. When filling the filling
본 발명의 절연에폭시 밀봉충진재(40)의 구성성분중 경화제는 유기산 무수물계 경화제를 사용한다. 유기산 무수물계 경화제는 고온 경화제로서 가격이 저렴하고 독성이 적은 특성을 갖고 전기적 성능을 비롯하여 각종 성능이 뛰어난 경화수지를 얻도록 해준다. 또한 경화반응이 원활하게 진행되도록 해주기 때문에 경화변형이 작고 소원하는 성형물을 쉽게 얻을 수 있다. Among the components of the insulating
절연에폭시 밀봉충진재(40)는 절연재이면서도 내열성이 우수하고 알루미늄합금(두랄루민)재질인 플랜지 플레이트(10)의 삽입홈부(12)과 면접합이 치밀하게 이루어지게 하고 수지재질인 통체부(20)의 충진공간부(22)의 내벽면과는 면접합이 치밀하게 이루지게 한다. 또 절연에폭시 밀봉충진재(40)는 테프론으로 피복된 전선(30)의 절연피복부(34)와도 치밀하게 면접합이 이루어지게 함으로써, 밀폐형 케이블 하네스(2) 본체내의 기밀을 보장한다. Although the insulating epoxy sealing filler (40) is an insulating material, it has excellent heat resistance and allows for dense surface bonding with the insertion groove (12) of the flange plate (10) made of aluminum alloy (duralumin) and the solid body portion (20) made of resin. The surface area is closely aligned with the inner wall of the filling
전술한 바와 같은 구성을 갖는 본 발명의 밀폐형 케이블 하네스(2)는 전선(30)들이 내장되고 밀폐성능이 우수하게 구현되므로, 반도체 장비와 같은 진공 기기장비에 체결 장착시 진공 기기장비의 진공내실(52)이 고진공 상태를 지속 유지할 수 있도록 해주며, 전선교체가 필요한 경우에는 밀폐형 케이블 하네스(2)를 체결 해제시키면 되므로 전선(30)의 교체가 가능해진다. The sealed cable harness (2) of the present invention having the above-described configuration has built-in wires (30) and has excellent sealing performance, so when fastened and mounted on vacuum equipment such as semiconductor equipment, the vacuum internal room ( 52) allows the high vacuum state to be maintained continuously, and when wire replacement is necessary, the sealed cable harness (2) can be unfastened, making it possible to replace the wire (30).
상술한 본 발명의 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 여러 가지 변형이 본 발명의 범위에서 벗어나지 않고 실시할 수 있다. 따라서 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 의하여 정할 것이 아니고 청구범위 및 그 청구범위와 균등한 것에 의해 정해 져야 한다. In the above description of the present invention, specific embodiments have been described, but various modifications may be made without departing from the scope of the present invention. Therefore, the scope of the present invention should not be determined by the described embodiments, but by the claims and equivalents to the claims.
본 발명은 반도체 장비와 같은 진공 기기장비에 진공환경을 유지시킬 수 있는 전기배선에 이용할 수 있다. The present invention can be used in electrical wiring that can maintain a vacuum environment in vacuum equipment such as semiconductor equipment.
(2)-- 밀폐형 케이블 하네스 (10)-- 플랜지 플레이트
(12)-- 삽입홈부 (14)-- 내벽 요철부
(16)-- 걸림턱 (18)-- 체결공
(20)-- 통체부 (22)-- 충진공간부
(24)-- 걸이테 (26)-- 전선공
(30)-- 전선 (31)-- 탈피부
(32)-- 도체 (34)-- 절연피복부
(36)-- 솔더링밀봉 시스 (36a)-- 솔더침투부
(38)-- 단자편 (40)-- 절연에폭시 밀봉충진재
(50)-- 케이싱벽체 (52)-- 진공 내실
(54)-- 체결볼트 (56)-- 밀폐 씰 (2)-- Sealed cable harness (10)-- Flange plate
(12)-- Insertion groove (14)-- Inner wall unevenness
(16)-- Locking jaw (18)-- Fastening hole
(20)-- Body part (22)-- Filling space part
(24)-- Hanger (26)-- Wireman
(30)-- Wire (31)-- Shedding area
(32)-- Conductor (34)-- Insulating covering part
(36)-- Soldering sealing sheath (36a)-- Solder penetration area
(38)-- Terminal piece (40)-- Insulating epoxy sealing filler
(50)-- Casing wall (52)-- Vacuum interior
(54)-- Fastening bolt (56)-- Airtight seal
Claims (4)
상기 밀폐형 케이블 하네스(2)는,
알루미늄합금 재질이며 삽입홈부(12)내에 내벽요철부(14)와 종단측 걸림턱(16)이 형성된 플랜지 플레이트(10)와, 수지재질이며 플랜지 플레이트(10)의 삽입홈부(12)를 삽입 통과하여 삽입홈부(12)의 종단 걸림턱(16)에 통체입구측 걸림테(24)가 턱걸림된 통체부(20)를 구비하고,
전기용 연동연선으로 된 도체(32)가 피복된 전선(30) 다수개가 플랜지 플레이트(10)의 삽입홈부(12)와 통체부(20)의 충진공간부(22)를 통과되게 배열하고 플랜지 플레이트(10)의 삽입홈부(12)와 통체부(20)의 충진공간부(22)에는 절연에폭시 밀봉충진재(40)로 충진 경화되어 플랜지 플레이트(10)의 내벽요철부(14)에 의한 절연에폭시 밀봉충진재(40)와 플랜지 플레이트(10)간의 결합력 및 플랜지 플레이트(10)와 통체부(20)간의 기밀성을 갖게 구성하며,
다수 전선(30)들은 기밀유지를 위해 절연에폭시 밀봉충진재(40)와 합접되는 전선(30) 영역의 일부에 탈피부(31)를 미리 형성하고 도체(32)인 전기용 연동연선이 노출되어진 탈피부(31)에는 연동연선으로 된 도체(32) 내부의 기밀 밀폐를 위해 도체(32)의 심부까지 땜납이 침투흡수되게 한 솔더침투부(36a)가 연장형성된 솔더링밀봉 시스(36)가 재킷 형성되게 구성함을 특징으로 하는 밀폐형 케이블 하네스.
It can be airtightly fastened to the casing wall (50) at the wiring hole location of the vacuum equipment, and one end is connected to the electrical components of the vacuum chamber (52) of the vacuum equipment that requires internal vacuum through the terminal strip (38). The other end constitutes a sealed cable harness (2) provided with a plurality of wires (30) extending to the outside of the vacuum equipment,
The sealed cable harness (2),
The flange plate 10 is made of aluminum alloy and has an inner wall uneven portion 14 and a longitudinal locking protrusion 16 formed within the insertion groove 12, and is made of resin and is inserted through the insertion groove 12 of the flange plate 10. Thus, the body part (20) is provided with a locking frame (24) on the entrance side of the body being engaged with the longitudinal locking protrusion (16) of the insertion groove portion (12),
A plurality of electric wires (30) coated with a conductor (32) made of annealed copper wire for electricity are arranged to pass through the insertion groove (12) of the flange plate (10) and the filling space part (22) of the tubular part (20), and the flange plate The insertion groove 12 of (10) and the filling space 22 of the body part 20 are filled and hardened with an insulating epoxy sealing filler 40, and the insulating epoxy is formed by the inner wall uneven portion 14 of the flange plate 10. It is configured to have a bonding force between the sealing filler 40 and the flange plate 10 and airtightness between the flange plate 10 and the body portion 20,
In order to maintain airtightness, the plurality of wires 30 have a stripping part 31 formed in advance in a part of the area of the wire 30 that is joined with the insulating epoxy sealing filler 40, and the stripping part 31 is exposed to the electrical annealed stranded wire, which is the conductor 32. The skin 31 is formed with a soldering sealing sheath 36 in which a solder penetration portion 36a is extended to allow solder to penetrate and absorb into the core of the conductor 32 in order to airtightly seal the inside of the conductor 32 made of annealed stranded wire. A sealed cable harness characterized by a large configuration.
According to claim 1, the flange plate (10) has multiple fastening holes (18) that enable fastening or unfastening of the sealed cable harness (2) in which the wires (30) are arranged to the casing wall (50) of the vacuum equipment equipment. A sealed cable harness characterized by being configured to have.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1020220043971A KR102672718B1 (en) | 2022-04-08 | 2022-04-08 | Hermetic cable harnes |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1020220043971A KR102672718B1 (en) | 2022-04-08 | 2022-04-08 | Hermetic cable harnes |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| KR20230144818A KR20230144818A (en) | 2023-10-17 |
| KR102672718B1 true KR102672718B1 (en) | 2024-06-07 |
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| KR1020220043971A KR102672718B1 (en) | 2022-04-08 | 2022-04-08 | Hermetic cable harnes |
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| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102672718B1 (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5963799A (en) * | 1982-10-04 | 1984-04-11 | 株式会社デンソー | Sealing structure for electric device |
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