KR102672073B1 - 태양 전지의 제조 방법 및 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 태양 전지의 제조 방법은, 모 태양 전지를 절단하여 복수의 단위 태양 전지를 제조하는 절단 단계를 포함한다. 상기 절단 단계는, 레이저 관통부를 구비하는 작업대 위에 모 태양 전지를 장착시키는, 장착 단계; 및 상기 레이저 관통부를 통하여 상기 작업대에 인접한 상기 모 태양 전지의 면에 레이저를 제공하여 상기 모 태양 전지에 절단부를 형성하는 레이저 가공 단계를 포함한다.

Description

태양 전지의 제조 방법 및 장치{METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING SOLAR CELL}
본 발명은 태양 전지의 제조 방법 및 장치에 관한 것으로서, 좀더 상세하게는, 공정 및 구조를 개선한 태양 전지의 제조 방법 및 장치에 관한 것이다.
태양 전지는 다양한 층 및 전극을 설계에 따라 형성하는 것에 의하여 다양한 구조로 제조될 수 있다. 일 예로, 태양 전지 패널의 출력을 향상할 수 있도록 장축 및 단축을 가지는 태양 전지가 제안되었다. 이러한 태양 전지는 모 태양 전지를 형성한 후에 모 태양 전지를 절단하는 절단 공정을 수행하여 형성될 수 있다.
종래에는 가공 스테이지 위에 태양 전지를 위치한 상태에서 태양 전지와 동일한 쪽(즉, 가공 스테이지 위)에 위치한 레이저 가공부가 가공 스테이지에 접하지 않은 태양 전지의 외부 노출면에 레이저를 조사하여 절단부를 형성하였다. 이때, 가공 스테이지를 기준으로 태양 전지의 외부 노출면 쪽에 레이저가 제공되므로 레이저 가공 시 발생된 먼지, 원하지 않는 불순물 등이 외부 노출면에 그대로 다시 안착될 수 있다. 이에 따라 태양 전지의 외부 노출면이 오염되거나, 태양 전지의 외부 노출면이 원하지 않게 재용융(re-melting)되어 절단된 태양 전지의 특성이 저하되거나 심한 경우 불량이 발생하는 문제가 있었다. 특히, 가공 스테이지의 상부에 태양 전지에 위치하고 가공 스테이지의 상부에서 레이저가 조사되는 경우에 레이저 가공 시 비산된 먼지, 불순물 등이 중력에 의하여 아래로 떨어지므로, 태양 전지의 외부 노출면(즉, 상부면)에 쉽게 안착되므로 상술한 문제가 더 심각하게 나타날 수 있었다.
본 발명은 절단 공정 시에 태양 전지의 오염 및 재용융을 방지하여 절단된 태양 전지의 신뢰성을 향상하고 불량을 저감할 수 있는 태양 전지의 제조 방법 및 장치를 제공하고자 한다.
특히, 본 발명은 레이저를 이용한 절단 공정 시 먼지, 불순물 등의 이동 경로를 고려하여 태양 전지와 레이저의 위치를 조절하는 것에 의하여 태양 전지의 오염 및 재용융을 방지할 수 있는 태양 전지의 제조 방법 및 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 실시예에 따른 태양 전지의 제조 방법은, 모 태양 전지를 절단하여 복수의 단위 태양 전지를 제조하는 절단 단계를 포함한다. 상기 절단 단계는, 레이저 관통부를 구비하는 작업대 위에 모 태양 전지를 장착시키는, 장착 단계; 및 상기 레이저 관통부를 통하여 상기 작업대에 인접한 상기 모 태양 전지의 면에 레이저를 제공하여 상기 모 태양 전지에 절단부(절단홈, 스크라이빙 선, 또는 절단선)를 형성하는 레이저 가공 단계를 포함한다.
상기 레이저 가공 단계에서는 상기 레이저가 조사되는 방향과 교차하는 방향으로 공기 흐름이 제공될 수 있다.
상기 레이저 가공 단계에서는 상기 모 태양 전지에 대한 상기 레이저의 상대적인 위치가 상기 레이저 관통부의 길이 방향과 평행한 일 방향으로 이동하고, 상기 공기 흐름이 상기 일 방향과 평행하되 이와 반대되는 방향 또는 상기 일 방향과 교차하는 방향으로 제공될 수 있다.
상기 장착 단계에서 상기 모 태양 전지가 상기 작업대의 상부에 위치하고, 상기 레이저 가공 단계에서 상기 레이저가 상기 작업대의 하부측으로부터 조사되어 상기 작업대에 인접한 상기 모 태양 전지의 면 쪽에서 상기 모 태양 전지의 두께 방향에서 일부에 절단홈으로 구성된 상기 절단부를 형성할 수 있다.
상기 절단부를 형성하는 단계 이후에 상기 모 태양 전지에 물리적인 충격을 가하는 기계적 가공 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 모 태양 전지는 상기 작업대에 배기 흡착에 의하여 고정될 수 있다.
상기 모 태양 전지는, 베이스 영역을 구비하는 반도체 기판과, 상기 베이스 영역과 반대되는 도전형을 가지는 제1 도전형 영역과, 상기 베이스 영역과 동일한 도전형을 가지는 제2 도전형 영역을 포함할 수 있다. 상기 장착 단계에서, 상기 제2 도전형 영역이 상기 작업대에 인접하도록 상기 모 태양 전지를 장착할 수 있다.
상기 레이저 가공 단계에서 상기 레이저가 상기 제2 도전형 영역이 형성된 면에 조사되어 상기 제2 도전형 영역이 형성된 면 쪽에서 상기 모 태양 전지의 두께 방향에서 일부에 절단홈으로 구성된 상기 절단부를 형성할 수 있다.
상기 모 태양 전지의 두께 방향에서 상기 절단홈의 깊이가 상기 제2 도전형 영역의 두께보다 클 수 있다.
상기 레이저 관통부가 일 방향으로 길게 이어지는 형상을 가질 수 있다.
상기 일 방향에서 상기 레이저 관통부의 길이가 상기 모 태양 전지의 폭과 같거나 그보다 크고, 상기 일 방향과 교차하는 교차 방향에서 상기 레이저 관통부의 폭이 상기 태양 전지의 폭보다 작을 수 있다.
상기 레이저 관통부가 상기 모 태양 전지에 대응하여 하나 구비되어 상기 레이저 가공 단계에 의하여 상기 모 태양 전지에 상기 절단부가 하나 형성될 수 있다. 또는, 상기 레이저 관통부가 상기 모 태양 전지에 대응하며 서로 평행하게 복수로 구비되어 상기 레이저 가공 단계에 의하여 상기 모 태양 전지에 상기 절단부가 두 개 이상 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 태양 전지의 제조 장치는, 모 태양 전지를 절단하여 복수의 단위 태양 전지를 제조하는 절단 공정을 수행하는 태양 전지의 제조 장치로서, 레이저 관통부를 구비하여 모 태양 전지가 상기 레이저 관통부 위로 장착되는 작업대; 및 상기 레이저 관통부를 통하여 상기 작업대에 인접한 상기 모 태양 전지의 면에 레이저를 제공하여 상기 모 태양 전지에 절단부를 형성하는 레이저 가공부를 포함한다.
상기 작업대가 상기 레이저 관통부를 사이에 두고 이격되어 위치한 복수의 부분을 포함하거나, 또는 상기 작업대에 상기 레이저 관통부가 홀 형상으로 형성될 수 있다.
상기 레이저가 상기 모 태양 전지에 조사되어 상기 절단부를 형성할 때 상기 레이저의 조사 방향과 교차하는 방향으로 공기 흐름을 제공하는 공기 흐름 제공부를 더 포함할 수 있다.
상기 공기 흐름 제공부는, 상기 레이저 관통부의 일측으로 공기를 제공하는 공급부 및 상기 레이저 관통부의 타측으로 공기를 배기하는 배기부 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기 레이저가 상기 모 태양 전지에 조사되어 상기 절단부를 형성할 때 상기 모 태양 전지에 대한 상기 레이저의 상대적인 위치가 상기 레이저 관통부의 길이 방향과 평행한 일 방향으로 이동할 수 있다. 상기 공기 흐름 제공부는 상기 일 방향과 평행하되 이와 반대되는 방향 또는 상기 일 방향과 교차하는 방향으로 상기 공기 흐름을 제공할 수 있다.
상기 공기 흐름 제공부는 상기 레이저 관통부의 개방된 일측 또는 타측으로 공기를 제공 또는 배기하거나, 또는 상기 공기 흐름 제공부는 상기 레이저 관통부의 상기 교차 방향에 인접한 상기 작업대의 양측 부분에 형성된 공기 유동 홀에 연결되어 공기를 제공 또는 배기할 수 있다.
상기 모 태양 전지가 상기 작업대의 상부에 위치하고, 상기 레이저 가공부가 상기 작업대의 하부측에 위치하여, 상기 레이저가 상기 작업대의 상기 하부측으로부터 조사되어 상기 작업대에 인접한 상기 모 태양 전지의 면 쪽에서 상기 절단부를 형성할 수 있다.
상기 작업대에 상기 모 태양 전지를 배기 흡착하기 위한 배기 홀이 구비되고, 상기 배기 홀에 연결되어 공기를 배기하는 흡착부를 더 포함할 수 있다.
본 실시에에 따르면, 레이저가 작업대의 레이저 관통부를 통하여 작업대에 인접한 모 태양 전지의 면에 조사되므로, 절단 공정 중에 레이저 관통부 이외의 부분에 위치한 태양 전지에 먼지, 불순물 등이 안착되는 것을 물리적으로 방지할 수 있다. 이때, 태양 전지가 작업대의 상부에 위치하고 레이저가 작업대의 하부측에서 조사되면, 중력에 의하여 먼지, 불순물 등이 하부로 떨어지므로 태양 전지에 안착되는 것을 더욱 방지할 수 있다.
또한, 절단 공정 중에 레이저 관통부를 통하여 먼지, 불순물 등을 배기하도록 공기 흐름을 제공하여 먼지, 불순물 등이 절단이 이루어지는 공간에 체류하는 시간을 줄여 먼지, 불순물 등이 태양 전지에 안착되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. 또한, 공기 흐름을 제공하여 레이저 가공 공정 중에 모 태양 전지 또는 태양 전지의 온도가 올라가는 것을 방지하여 공정 안정성을 향상할 수 있다.
이에 의하여 절단에 의하여 형성된 태양 전지의 신뢰성을 향상하고 불량률을 줄여 생산성을 향상할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따라 하나의 모(母) 태양 전지를 절단하여 형성된 두 개의 태양 전지를 도시한 전면 평면도이다.
도 2는 도 1을 잘라서 본 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 태양 전지의 제조 장치를 개략적으로 도시한 블록도이다.
도 4는 도 3에 도시한 태양 전지의 제조 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 변형예에 따른 태양 전지의 제조 장치를 개략적으로 도시한 블록도이다.
도 6a 내지 도 6c는 본 발명의 실시예에 따른 태양 전지의 제조 방법을 도시한 개략적인 단면도들이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 태양 전지의 제조 방법에서 레이저 가공 공정의 일 예를 도시한 개략적인 단면도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 태양 전지의 제조 방법에서 레이저 가공 공정의 다른 예를 도시한 개략적인 단면도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따라 하나의 모 태양 전지를 절단하여 형성된 복수의 태양 전지를 도시한 전면 평면도이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 태양 전지의 제조 장치에 포함되는 작업대를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 태양 전지의 제조 장치에 포함되는 작업대를 개략적으로 도시한 도면이다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다. 그러나 본 발명이 이러한 실시예에 한정되는 것은 아니며 다양한 형태로 변형될 수 있음은 물론이다.
도면에서는 본 발명을 명확하고 간략하게 설명하기 위하여 설명과 관계 없는 부분의 도시를 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 극히 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 참조부호를 사용한다. 그리고 도면에서는 설명을 좀더 명확하게 하기 위하여 두께, 넓이 등을 확대 또는 축소하여 도시하였는바, 본 발명의 두께, 넓이 등은 도면에 도시된 바에 한정되지 않는다.
그리고 명세서 전체에서 어떠한 부분이 다른 부분을 "포함"한다고 할 때, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 부분을 배제하는 것이 아니며 다른 부분을 더 포함할 수 있다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 다른 부분이 위치하는 경우도 포함한다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 위치하지 않는 것을 의미한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 태양 전지의 제조 방법 및 장치를 상세하게 설명한다. 이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 태양 전지의 제조 방법 및 장치가 적용될 수 있는 태양 전지의 일 예를 먼저 설명한 후에 본 발명의 실시예에 따른 태양 전지의 제조 방법 및 장치를 설명한다
도 1은 본 발명의 실시예에 따라 하나의 모(母) 태양 전지를 절단하여 형성된 두 개의 태양 전지를 도시한 전면 평면도이고, 도 2는 도 1을 잘라서 본 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 모 태양 전지(100a)는 절단선(CL)에 의하여 절단되는 복수의 태양 전지(100)를 포함한다. 절단선(CL)을 따라 모 태양 전지(100a)를 절단하면 복수 개의 태양 전지(100)가 제조되고, 이렇게 제조된 각각의 태양 전지(100)는 각기 하나의 태양 전지로 기능한다.
도면 및 이하의 설명에서는 편의를 위하여 전체적으로 절단선(CL)이 모 태양 전지(100a)의 중심을 따라 길게 연장되어 위치하여, 하나의 모 태양 전지(100a)로부터 두 개의 태양 전지(100)가 제조되는 것을 예시하였다. 이에 의하면 모 태양 전지(100a) 내에 각각의 태양 전지(100)에 대응하도록 도전형 영역(20, 30) 및 제1 및 제2 전극(42, 44)이 위치하는 활성 영역(AA)이 위치하고, 이러한 활성 영역(AA)이 분리 영역(140)을 사이에 두고 서로 이격된다. 각 태양 전지(100)의 가장자리에는 전체적으로 도전형 영역(20, 30) 및/또는 제1 및 제2 전극(42, 44)이 위치하지 않는 비활성 영역(NAA)이 위치하게 되고, 비활성 영역(NAA) 중에서 절단면(CL)에 인접한 가장자리에는 분리 영역(140)이 위치하게 된다. 분리 영역(140)에는 도전형 영역(20, 30) 및/또는 제1 및 제2 전극(42, 44)이 모 태양 전지(100a)를 제조할 때부터 형성되지 않았을 수도 있고, 또는 절단 단계에서 절단선(CL)의 부근에서 도전형 영역(20, 30) 및/또는 제1 및 제2 전극(42, 44)가 없어지거나 절단선(CL)의 부근에 다른 층이 형성되면서 분리 영역(140)이 형성될 수도 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 별도의 분리 영역(140) 등이 구비되지 않는 등 다양한 변형이 가능하다. 또한, 하나의 모 태양 전지(100a)에 두 개 이상의 분리 영역(140) 또는 절단선(CL)이 있어 하나의 모 태양 전지(100a)로부터 세 개 이상의 태양 전지(100)가 제조될 수도 있다. 이에 대해서는 추후에 도 9 내지 도 11을 참조하여 좀더 상세하게 설명한다.
본 실시예에서 태양 전지(100)는, 베이스 영역(110)을 포함하는 반도체 기판(10)과, 반도체 기판(10)에 또는 반도체 기판(10) 위에 형성되는 도전형 영역(20, 30)과, 도전형 영역(20, 30)에 연결되는 전극(42, 44)을 포함한다. 여기서, 도전형 영역(20, 30)은 서로 다른 도전형을 가지는 제1 도전형 영역(20)과 제2 도전형 영역(30)을 포함할 수 있고, 전극(42, 44)은 제1 도전형 영역(20)에 연결되는 제1 전극(42)과 제2 도전형 영역(30)에 연결되는 제2 전극(44)을 포함할 수 있다. 그리고 제1 패시베이션막(22), 반사 방지막(24), 제2 패시베이션막(32) 등의 절연막을 더 포함할 수 있다.
반도체 기판(10)은 단일 반도체 물질(일 예로, 4족 원소)를 포함하는 결정질 반도체(예를 들어, 단결정 또는 다결정 반도체, 일 예로, 단결정 또는 다결정 실리콘)로 구성될 수 있다. 그러면, 결정성이 높아 결함이 적은 반도체 기판(10)을 기반으로 하므로, 태양 전지(100)가 우수한 전기적 특성을 가질 수 있다.
반도체 기판(10)의 전면 및/또는 후면은 텍스쳐링(texturing)되어 요철을 가질 수 있다. 요철은, 일 예로, 외면이 반도체 기판(10)의 (111)면으로 구성되며 불규칙한 크기를 가지는 피라미드 형상을 가질 수 있다. 이에 의하여 상대적으로 큰 표면 거칠기를 가지면 광의 반사율을 낮출 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
본 실시예에서 반도체 기판(10)은 제1 또는 제2 도전형 도펀트가 제1 또는 제2 도전형 영역(20, 30)보다 낮은 도핑 농도로 도핑되어 제1 또는 제2 도전형을 가지는 베이스 영역(110)을 포함한다. 일 예로, 본 실시예에서 베이스 영역(110)은 제2 도전형을 가질 수 있다.
일 예로, 제1 도전형 영역(20)은 베이스 영역(110)과 pn 접합을 형성하는 에미터 영역을 구성할 수 있다. 제2 도전형 영역(30)은 후면 전계(back surface field)를 형성하여 재결합을 방지하는 후면 전계 영역을 구성할 수 있다. 여기서, 제1 및 제2 도전형 영역(20, 30)은 반도체 기판(10)의 전면 및 후면에서 각기 전체적으로 형성될 수 있다. 이에 의하여 제1 및 제2 도전형 영역(20, 30)을 충분한 면적으로 별도의 패터닝 없이 형성할 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
본 실시예에서 반도체 기판(10)을 구성하는 베이스 영역(110)과 도전형 영역(20, 30)이 반도체 기판(10)의 결정 구조를 가지면서 도전형, 도핑 농도 등이 서로 다른 영역인 것을 예시하였다. 즉, 도전형 영역(20, 30)이 반도체 기판(10)의 일부를 구성하는 도핑 영역인 것을 예시하였다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 따라서, 제1 도전형 영역(20) 및 제2 도전형 영역(30) 중 적어도 하나가 반도체 기판(10) 위에 별도의 층으로 구성되는 비정질, 미세 결정 또는 다결정 반도체층 등으로 구성될 수도 있다. 그 외에도 다양한 변형이 가능하다.
제1 도전형 영역(20)에 포함되는 제1 도전형 도펀트가 n형 또는 p형의 도펀트일 수 있고, 베이스 영역(110) 및 제2 도전형 영역(30)에 포함되는 제2 도전형 도펀트가 p형 또는 n형의 도펀트일 수 있다. p형의 도펀트로는 보론(B), 알루미늄(Al), 갈륨(Ga), 인듐(In) 등의 3족 원소를 사용할 수 있고, n형의 도펀트로는 인(P), 비소(As), 비스무스(Bi), 안티몬(Sb) 등의 5족 원소를 사용할 수 있다. 베이스 영역(110)의 제2 도전형 도펀트와 제2 도전형 영역(30)의 제2 도전형 도펀트는 서로 동일한 물질일 수도 있고 서로 다른 물질일 수도 있다.
일 예로, 제1 도전형 영역(20)이 p형을, 베이스 영역(110) 및 제2 도전형 영역(30)이 n형을 가질 수 있다. 그러면, 전자보다 이동 속도가 느린 정공이 반도체 기판(10)의 후면이 아닌 전면으로 이동하여 변환 효율을 향상할 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 반대의 경우도 가능하다.
반도체 기판(10)의 표면 위에는 도전형 영역(20, 30)의 결함을 부동화시키는 제1 및 제2 패시베이션막(22, 32), 광의 반사를 방지하는 반사 방지막(24) 등의 절연막이 형성될 수 있다. 이러한 절연막은 별도로 도펀트를 포함하지 않는 언도프트 절연막으로 구성될 수 있다. 제1 및 제2 패시베이션막(22, 32) 및 반사 방지막(24)은 제1 또는 제2 전극(42, 44)에 대응하는 부분(좀더 정확하게는, 제1 또는 제2 개구부가 형성된 부분)을 제외하고 실질적으로 반도체 기판(10)의 전면 또는 후면에 전체적으로 형성될 수 있다.
예를 들어, 제1 또는 제2 패시베이션막(22, 32) 또는 반사 방지막(24)은 실리콘 질화막, 수소를 포함한 실리콘 질화막, 실리콘 산화막, 실리콘 산화 질화막, 알루미늄 산화막, MgF2, ZnS, TiO2 및 CeO2로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나의 단일막 또는 2개 이상의 막이 조합된 다층막 구조를 가질 수 있다. 일 예로, 제1 또는 제2 패시베이션막(22, 32)은, 제1 또는 제2 도전형 영역(20, 30)이 n형을 가지는 경우에는 고정 양전하를 가지는 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 등을 포함할 수 있으며, p형을 가지는 경우에는 고정 음전하를 가지는 알루미늄 산화막 등을 포함할 수 있다. 일 예로, 반사 방지막(24)은 실리콘 질화물을 포함할 수 있다. 이외에도 절연막의 물질, 적층 구조 등은 다양하게 변형이 가능하다.
제1 전극(42)은 제1 개구부를 통하여 제1 도전형 영역(20)에 전기적으로 연결되고, 제2 전극(44)은 제2 개구부를 통하여 제2 도전형 영역(30)에 전기적으로 연결된다. 제1 및 제2 전극(42, 44)은 다양한 물질(일 예로, 금속 물질)로 구성되며 다양한 형상을 가지도록 형성될 수 있다.
이와 같이 본 실시예에서는 태양 전지(100)의 제1 및 제2 전극(42, 44)이 일정한 패턴을 가져 태양 전지(100)가 반도체 기판(10)의 전면 및 후면으로 광이 입사될 수 있는 양면 수광형(bi-facial) 구조를 가진다. 이에 의하여 태양 전지(100)에서 사용되는 광량을 증가시켜 태양 전지(100)의 효율 향상에 기여할 수 있다.
그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 제2 전극(44)이 반도체 기판(10)의 후면 쪽에서 전체적으로 형성되는 구조를 가지는 것도 가능하다. 또한, 제1 및 제2 도전형 영역(20, 30), 그리고 제1 및 제2 전극(42, 44)이 반도체 기판(10)의 일면(일 예로, 후면) 쪽에 함께 위치하는 것도 가능하며, 제1 및 제2 도전형 영역(20, 30) 중 적어도 하나가 반도체 기판(10)의 양면에 걸쳐서 형성되는 것도 가능하다. 즉, 상술한 태양 전지(100)는 일 예로 제시한 것에 불과할 뿐, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
본 실시예에서 제1 전극(42)은, 제1 방향(도면의 가로 방향)으로 연장되며 서로 평행하게 위치하는 복수의 제1 핑거 라인(42a)과, 제1 핑거 라인(42a)과 교차(일 예로, 직교)하는 제2 방향(도면의 세로 방향)으로 형성되어 제1 핑거 라인(42a)에 전기적으로 연결되며 배선재가 연결 또는 부착되는 제1 버스바(42b)를 포함한다. 이때, 각 태양 전지(100)에서 제1 핑거 라인(42a)이 장축을 따라 형성될 수 있고, 제1 버스바(42b)가 단축을 따라 형성될 수 있다.
이러한 버스바 전극(42b)은 하나만 구비될 수도 있고, 도 1에 도시된 바와 같이, 핑거 전극(42a)의 피치보다 더 큰 피치를 가지면서 복수 개로 구비될 수도 있다. 이때, 핑거 전극(42a)의 폭보다 버스바 전극(42b)의 적어도 일부의 폭이 클 수 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 따라서, 버스바 전극(42b)의 폭이 핑거 전극(42a)의 폭과 동일하거나 그보다 작은 폭을 가질 수 있다.
이때, 제1 버스바(42b)가 태양 전지(100)의 일면을 기준으로 6개 내지 33개(예를 들어, 8개 내지 33개, 일 예로, 10개 내지 33개, 특히, 10개 내지 15개)일 수 있고, 서로 균일한 간격을 두고 위치할 수 있다. 각 태양 전지(100)에서 제1 버스바(42b)가 제1 핑거 라인(42a)의 연장 방향으로 볼 때 대칭 형상을 가질 수 있다. 이에 의하여 제1 버스바(42b)에 연결되는 배선재 또는 인터커넥터를 충분한 개수로 구비하면서 캐리어의 이동 거리를 최소화할 수 있다.
제1 버스바(42b)는 제2 방향으로 위치하는 복수의 제1 패드부(422)를 포함하고, 태양 전지(100)를 다른 태양 전지(100)에 연결하는 배선재가 연결되는 방향을 따라 상대적으로 좁은 폭을 가지면서 길게 이어지는 제1 라인부(421)를 더 포함할 수 있다. 제1 패드부(422)에 의하여 배선재(142)와의 부착력을 향상하고 접촉 저항을 줄일 수 있고, 제1 라인부(421)에 의하여 광 손실을 최소화할 수 있다. 그리고 제1 라인부(421)는 일부 제1 핑거 라인(42a)이 단선될 경우 캐리어가 우회할 수 있는 경로를 제공할 수 있다.
제2 전극(44)은 제1 전극(42)의 핑거 전극(42a) 및 버스바 전극(42b)에 각기 대응하는 핑거 전극 및 버스바 전극을 포함할 수 있다. 제2 전극(44)의 핑거 전극 및 버스바 전극에 대해서는 제1 전극(42)의 핑거 전극(42a) 및 버스바 전극(42b)에 대한 내용이 그대로 적용될 수 있다. 그리고 제1 전극(42)에서 제1 절연막인 제1 패시베이션막(22) 및 반사 방지막(24)에 관련된 내용이 제2 전극(44)에서 제2 절연막인 제2 패시베이션막(32)에 그대로 적용될 수 있다. 이때, 제1 전극(42)의 제1 핑거 라인(42a), 제1 패드부(422) 및 제1 라인부(421)의 폭, 피치, 두께 등은 제2 전극(44)의 제2 핑거 라인(44a), 제2 패드부(442) 및 제2 라인부(441)의 폭, 피치, 두께 등과 서로 동일할 수도 있고 서로 다를 수 있다. 제1 버스바(42b)와 제2 버스바(44b)는 서로 동일한 위치에 형성되어 서로 동일한 개수로 형성될 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 제1 전극(42)과 제2 전극(44)의 평면 형상이 서로 다른 것도 가능하며, 그 외의 다양한 변형이 가능하다.
여기서, 상술한 바와 같이, 태양 전지(100)는 모 태양 전지(100a)을 절단선(CL)을 따라 절단하여 제조된 것이다. 이와 같이 모 태양 전지(100a)를 복수 개의 태양 전지(100)로 분리하게 되면, 복수 개의 태양 전지(100)를 연결하여 태양 전지 패널로 만들 때 발생하는 출력 손실(cell to module loss, CTM loss)을 줄일 수 있다. 즉, 태양 전지의 면적을 작게 하여 태양 전지 자체에 의하여 발생되는 전류를 줄이면, 그대로 반영되는 태양 전지(150)의 개수가 늘어나도 제곱 값으로 반영되는 전류를 줄여 태양 전지 패널(100)의 출력 손실을 줄일 수 있다.
본 실시예에서는 기존의 제조 방법에 의하여 모 태양 전지(100a)을 제조한 후에 이를 절단하여 태양 전지(100)의 면적을 줄이는데, 이에 의하면 기존에 사용하던 설비, 이에 따라 최적화된 설계 등을 그대로 이용하여 모 태양 전지(100a)를 제조한 후에 이를 절단하면 된다. 이에 따라 설비 부담, 공정 비용 부담이 최소화된다. 반면, 모 태양 전지(100a)의 크기 자체를 줄여서 제조하게 되면 사용하던 설비를 교체하거나 설정을 변경하는 등의 부담이 있다.
일반적으로 모 태양 전지(100a)의 반도체 기판(10)의 대략적인 원형 형상의 잉곳(ingot)으로부터 제조되어 원형, 정사각형 또는 이와 유사한 형상과 같이 서로 직교하는 두 개의 축(일 예로, 핑거 라인(42a)과 평행한 축 및 버스바(42b)와 평행한 축)에서의 변의 길이가 서로 동일 또는 거의 유사하다. 일 예로, 본 실시예에서 모 태양 전지(100a)의 반도체 기판(10)은 대략적인 정사각형의 형상에서 네 개의 모서리 부분에 경사변을 가지는 팔각형 형상을 가질 수 있다. 이러한 형상을 가지면 동일한 잉곳으로부터 최대한 넓은 면적의 반도체 기판(10)을 얻을 수 있다. 이에 따라 모 태양 전지(100a)는 대칭적인 형상을 가지며, 최대 가로축과 최대 세로축, 최소 가로축과 최소 세로축이 동일한 거리를 가진다.
본 실시예에서는 이러한 모 태양 전지(100a)를 절단선(CL)을 따라 절단하여 태양 전지(150)를 형성하므로, 태양 전지(100)의 반도체 기판(10)이 장축과 단축을 가지는 형상을 가지게 된다. 본 실시예에서는 절단선(CL)이 제1 및 제2 도전형 영역(20, 30) 및 핑거 라인(42a, 44a)의 길이 방향인 제1 방향(도면의 y축 방향)과 평행하며 버스바(42b, 44b)의 연장 방향인 제2 방향(도면의 x축 방향)과 교차하도록 이어지고, 모 태양 전지(150a) 내에 위치한 복수 개의 태양 전지(150)는 제1 방향을 따라 길게 이어질 수 있다. 이와 같이 핑거 라인(42a, 44a)이 장축과 평행한 제1 방향으로 위치하여 안정적으로 형성될 수 있으며, 버스바(42b, 44b)가 많은 개수로 형성되어 전기적 특성을 향상할 수 있다.
그러나 제1 및 제2 전극(42, 44)의 형상, 태양 전지(100)의 구조 등은 다양하게 변형될 수 있다. 예를 들어, 태양 전지(100)는 후면 전극형 태양 전지, 비정질 태양 전지, 탠덤형 태양 전지 등과 같이 반도체 기판 또는 반도체 물질을 이용한 다양한 구조를 가질 수 있다. 또는, 그 외에도 염료 감응 태양 전지, 화합물 반도체 태양 전지 등과 같은 구조를 가질 수도 있다. 그리고 절단선(CL)의 위치, 방향, 형상 등도 다양하게 변형 가능하다.
상술한 바와 같은 태양 전지(100)를 형성하기 위하여 모 태양 전지(100a)를 절단하여 태양 전지(100)을 제조하는 방법 및 장치를 이하에서 상세하게 설명한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 태양 전지의 제조 장치(이하, 제조 장치)(200)를 개략적으로 도시한 블록도이고, 도 4는 도 3에 도시한 제조 장치(200)를 개략적으로 도시한 도면이다. 명확하고 간략한 도시를 위하여, 도 4에서 작업대(210) 등은 사시도로 도시하였고, 공기 흐름 제공부(220), 흡착부(212) 및 레이저 가공부(230)의 형태는 구체적인 형상을 도시하지 않고 공기 흐름 제공부(220)와의 연결 구조 등을 위주로 도시하였다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 제조 장치(200)는 모 태양 전지(100a)를 절단하여 복수 개의 태양 전지(100)를 제조하는 장치로서, 모 태양 전지(100a)가 장착되는 작업대(210)와, 모 태양 전지(100a)에 절단부(예를 들어, 절단선(CL) 또는 절단홈(CL1))을 형성하는 레이저 가공부(230)를 포함할 수 있다. 이때, 절단선(CL)이라 함은 두께 방향에서 모 태양 전지(100a)를 전체적으로 절단하는 최종 절단선을 의미할 수 있고, 절단홈(CL1)은 두께 방향에서 모 태양 전지(100a)의 일부를 절단하여 형성된 예비 절단선 또는 스크라이빙 선을 의미할 수 있다. 일 예로, 본 실시예에서는 레이저 가공부(230)에 의하여 절단홈(도 6b의 참조부호 CL1, 이하 동일)을 형성한 이후에 추후에 모 태양 전지(100a)에 물리적 충격을 가하여 절단선(CL)을 형성할 수 있다.
작업대(210)는 모 태양 전지(100a)보다 넓은 면적을 가지며 일정한 두께를 가지는 플레이트 형상을 가질 수 있다. 작업대(210)의 일측면(일 예로, 상부면)이 모 태양 전지(100a)가 안착되는 안착부(MP)를 구비하는 안착면(MS)이 된다. 작업대(210)로는 레이저(232)가 조사되어도 변화되거나 원하지 않는 물질을 발생시키지 않는 다양한 물질로 구성될 수 있다. 이때, 작업대(210)는 프레임(214)에 의하여 이동 불가능하게 고정된 형태일 수도 있고, 또는 컨베이어 벨트 등에 고정되어 일 방향으로 이동 가능하게 고정된 형태일 수도 있다. 작업대(210)를 프레임(214), 컨베이어 벨트 등에 고정하는 구조에 대해서는 알려진 다양한 구조가 적용될 수 있다.
본 실시예에서 작업대(210)는 레이저 관통부(210a)를 구비할 수 있다. 이러한 레이저 관통부(210a)가 안착면(MS)을 가로질러 형성되므로, 레이저 관통부(210a) 위에 위치한 모 태양 전지(100a)의 일부가 레이저 관통부(210a)를 통하여 안착면(MS)과 반대되는 레이저 조사면(LS)으로 노출될 수 있다. 이때, 레이저 관통부(210a)는 일 방향(도면의 y축 방향)에서 모 태양 전지(100a)의 길이 또는 폭과 같거나 그보다 긴 길이를 가지도록 일 방향으로 길게 이어지는 형상을 가지고 이와 교차하는 방향(도면의 x축 방향)에서 모 태양 전지(100a)의 길이보다 작은 폭을 가질 수 있다. 그러면, 레이저 관통부(210a)가 모 태양 전지(100a)에서 절단부에 대응하는 부분만을 국부적으로 노출할 수 있어 레이저(232)가 조사되는 모 태양 전지(100a)의 면에서 노출되는 부분을 최소화할 수 있다.
이때, 도 4에 도시한 바와 같이, 레이저 관통부(210a)가 작업대(210)를 전체적으로 가로질러 형성되어 작업대(210)가 레이저 관통부(210a)를 사이에 두고 이격되어 위치하는 복수의 부분을 포함할 수 있다. 이에 의하여 레이저 관통부(210a)를 통과한 레이저가 일 방향(도면의 y축 방향)에서 태양 전지(100)의 전체에 걸쳐 안정적으로 절단홈(CL1)을 형성할 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 따라서 도 5에 도시한 바와 같이, 레이저 관통부(210a)가 작업대(210)에 형성된 홀 형상으로 구비되어, 작업대(210)가 단일의 몸체로 구성될 수 있다. 이에 의하면 작업대(210)의 관리가 용이하며 작업대(210)의 구조적 안정성을 향상할 수 있다. 도 5에서는 레이저 관통부(210a)의 양측 단부가 모두 폐쇄된 형상을 가지나, 도 11에 도시한 바와 같이 레이저 관통부(210a)의 일측 단부가 외부로 개방된 형상을 가질 수도 있다. 도 5에는 흡착부(212)를 별도로 도시하지 않았으나, 도 4에 도시한 바와 같이 흡착부(212)가 구비될 수 있다.
다시 도 3 및 도 4를 참조하면, 작업대(210)에는 작업대(210)를 두께 방향으로 관통하여 모 태양 전지(100a)를 작업대(210)에 배기 흡착하기 위한 배기 홀(210b)이 구비될 수 있다. 배기 홀(210b)은 작업대(210)에서 모 태양 전지(100a)가 위치하는 부분에 대응하여 복수로 구비될 수 있다. 이러한 배기 홀(210b)에는 흡착부(212)가 연결되어 흡착부(212)를 이용하여 배기가 이루어질 수 있다. 흡착부(212)는 배기 홀(210b)을 통하여 배기할 수 있는 다양한 구조를 가질 수 있다. 이와 같이 본 실시예에서 모 태양 전지(100a)는 흡착에 의하여 간단한 공정에 의하여 작업대(210)에 안정적으로 고정될 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 그 외 다양한 방법에 의하여 모 태양 전지(100a)를 작업대(210)에 고정할 수 있다.
작업대(210)에는 공기 흐름 제공부(220)가 구비되거나, 공기 흐름 제공부(220)가 연결될 수 있다. 이때, 공기 흐름 제공부(220)는 레이저 관통부(210a)를 통한 공기 흐름을 제공하여 레이저(232)를 이용한 절단 공정 시 발생할 수 있는 먼지, 불순물 등을 효과적으로 배출할 수 있도록 돕는 역할을 할 수 있다.
본 실시예에서는 공기 흐름 제공부(220)가, 레이저 관통부(210a)의 일측으로 공기를 제공하는 공급부(222) 및 레이저 관통부(210a)의 타측으로 공기를 배기하는 배기부(224)를 포함할 수 있다. 공급부(222)는 공기를 강한 압력으로 제공할 수 있는 다양한 장치, 예를 들어, 컴프레셔(compressor) 등을 사용할 수 있다. 배기부(224)는 공기를 강한 압력으로 끌어들이는 구동부(224a)를 구비할 수 있다. 구동부(224a)로는 공기를 강한 압력으로 끌어들일 수 있는 다양한 장치, 예를 들어, 공기 펌프 등을 사용할 수 있다. 이와 함께 배기부(224)는 배출된 공기를 여과하여 먼지, 불순물 등을 제거하고 및/또는 먼지, 불순물 등을 별도로 보관하는 필터부(224b)를 포함할 수 있다. 그러면, 먼지, 불순물 등이 외부로 방출되어 공기를 오염시키는 등의 문제를 방지할 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 필터부(224b)를 별도로 구비하지 않아도 된다.
또한, 본 실시예에서는 흡착부(212)와 배기부(224)를 별도로 구비하는 것을 예시하였으나, 다른 예로, 흡착부(212)와 배기부(224)가 통합되어 이들의 하나의 장치, 부재 등으로 수행할 수도 있다. 예를 들어, 흡착부(212)가 별도로 구비되지 않고 배기부(224)가 배기 홀(210b)에도 연결되어 모 태양 전지(100a)를 흡착하는 역할을 함께 수행할 수도 있다. 그 외의 다양한 변형이 가능하다.
일 예로, 공급부(222)는 레이저 관통부(210a)의 길이 방향에서의 일측(일 예로, 외부로 개방된 일측)으로 공기를 공급할 수 잇고, 배기부(224)는 레이저 관통부(210a)의 길이 방향에서의 타측(일 예로, 외부로 개방된 타측)으로부터 공기를 배기할 수 있다. 이에 의하면 도 4의 화살표로 나타낸 바와 같이, 레이저(232)의 조사 방향과 교차하면서 레이저 관통부(210a)의 길이 방향과 평행한 방향으로 공기 흐름을 제공하여 먼지, 불순물 등이 레이저 관통부(210a) 내에 체류하지 않고 안정적으로 흘러나갈 수 있도록 할 수 있다. 이때, 공기 흐름은 모 태양 전지(100a)에 대한 상대적인 레이저(232)의 이동 방향과 동일할 수도 있고 반대될 수도 있다. 먼지, 불순물 등의 체류 시간을 최소화하기 위하여 공기 흐름을 모 태양 전지(100a)에 대한 상대적인 레이저(232)의 이동 방향과 반대로 할 수 있다.
그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 공급부(222) 및 배기부(224) 중 적어도 하나만을 구비할 수도 있다. 또한, 도 5의 화살표로 나타낸 바와 같이, 레이저 관통부(210a)의 길이 방향과 평행하지 않고 레이저 관통부(210a)의 길이 방향과 교차하는 교차 방향으로 공기 흐름을 제공할 수도 있다. 이에 따르면, 공기 흐름이 레이저(232)의 조사 방향 및 레이저 관통부(210a)의 길이 방향과 각기 교차(일 예로, 직교)할 수 있다. 이러한 공기 흐름은 다양한 방법에 의하여 형성될 수 있다. 일 예로, 레이저 관통부(210a)의 길이 방향과 교차하는 교차 방향에서 레이저 관통부(210a)의 양측에 인접한 작업대(210)의 부분에 상술한 공급부(222) 및/또는 배기부(224)와 연결되는 공기 유동 홀(210c)이 구비될 수 있다. 일 예로, 공기 유동 홀(210c)은 작업대(210)의 측면을 관통하여 작업대(210)의 레이저 관통부(210a)의 양측에 인접한 작업대(210)의 부분까지 연장되는 형상을 가질 수 있다. 이에 의하여 상술한 교차 방향의 일측으로부터 타측을 따라 레이저 관통부(210a)의 폭을 관통하는 공기 흐름이 제공될 수 있다. 그러면, 레이저 관통부(210a)에서 공기 흐름의 경로를 줄여 강하게 먼지, 불순물 등을 모 태양 전지(100a)로부터 분리시킬 수 있다.
레이저 가공부(230)는 작업대(210)에서 모 태양 전지(100a)가 장착된 안착면(MS)과 반대되는 작업대(210)의 레이저 조사면(LS) 측에 위치한다. 그러면, 모 태양 전지(100a)에서 레이저 조사면(LS)은 레이저 관통부(210a)에 대응하는 부분만 노출되어 있고 나머지 부분은 작업대(210)에 의하여 막혀 있다. 일 예로, 모 태양 전지(100a)가 작업대(210)의 상부에 위치하고, 레이저 가공부(230)가 작업대(210)의 하부측에 위치하여, 작업대(210)에 인접한 모 태양 전지(100a)의 면에서 레이저가 조사된다. 그러면, 레이저 가공 공정에 의하여 먼지, 불순물 등이 발생되어도 중력에 의하여 모 태양 전지(100a) 쪽이 아닌 바닥으로 가라앉게 되므로 모 태양 전지(100a) 등에 안착되는 것을 좀더 방지할 수 있다.
레이저 가공부(230)에 의하여 제공된 레이저(232)는 레이저 관통부(210a)를 통하여 작업대(210)에 인접한 모 태양 전지(100a)의 면에 제공된다. 본 실시예에서는 작업대(210)에 인접한 모 태양 전지(100a)의 면 쪽에서 모 태양 전지(100a)의 두께 방향에서의 일부에 절단홈(CL1)이 형성될 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
도 6a 내지 도 6c를 참조하여, 본 실시예에 따른 태양 전지(100)의 제조 방법을 상세하게 설명한다.
도 6a 내지 도 6c는 본 발명의 실시예에 따른 태양 전지의 제조 방법을 도시한 개략적인 단면도들이다. 도 6a 내지 도 6c는 도 4의 VI-VI 선에 따른 단면을 기준으로 도시하였으며, 명확하고 간략한 도시를 위하여 모 태양 전지(100a)의 구체적인 구성에 대한 도시를 생략하고 반도체 기판(10), 제1 및 제2 도전형 영역(20, 30)만을 도시하하였다. 그리고 도 6a 및 도 6b에서는 작업대(210)와 모 태양 전지(100a) 이외의 구성에 대한 도시를 생략하였다.
도 6a에 도시한 바와 같이, 반도체 기판(10)에 또는 반도체 기판(10) 위에 도전형 영역(20, 30), 전극(도 2의 참조부호 42, 44), 절연막(도 2의 참조부호 22, 24, 32)을 형성하여 제조된 모 태양 전지(100a)를 작업대(210)의 안착면(MS) 위에 장착한다. 좀더 구체적으로, 흡착부(도 4의 참조부호 212, 이하 동일)를 구동하여 배기 홀(210b)을 통하여 배기를 수행하면 태양 전지(100a)가 작업대(210)에 배기 흡착에 의하여 고정될 수 있다. 이때, 모 태양 전지(100a)에서 절단선(CL) 또는 절단홈(CL1)이 형성될 부분이 레이저 관통부(210a) 위에 위치하도록 장착한다.
본 실시예에서는, 일 예로, 제2 도전형 영역(30)이 작업대(210)에 인접하도록 위치하여 제2 도전형 영역(30) 쪽으로 레이저(232)가 조사되어 제2 도전형 영역(30) 쪽에서 절단홈(CL1)이 형성될 수 있다. 제2 도전형 영역(30)은 후면 전계 영역으로서 광전 변환에 직접 기여하는 에미터 영역에 비하여 요구되는 특성 수준이 상대적으로 낮을 수 있기 때문이다. 즉, 높은 수준의 특성이 요구되는 제1 도전형 영역(20)에 레이저가 조사되지 않으므로 제1 도전형 영역(20)을 효과적으로 보호할 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 도전형 영역(20)이 작업대(210)에 인접하도록 위치하여 제1 도전형 영역(20) 쪽으로 레이저(232)가 조사되어 제1 도전형 영역(20) 쪽에서 절단홈(CL1)이 형성될 수도 있다.
도 6b에 도시한 바와 같이, 레이저 관통부(210a)를 통하여 작업대(210)에 인접한 모 태양 전지(100a)의 면에 레이저(232)를 제공하여 모 태양 전지(100a)에 절단홈(CL1)을 형성한다. 이때, 공기 흐름 제공부(도 4의 참조부호 220, 이하 동일)를 구동하여 레이저 관통부(210a)를 통하여 공기가 흐르도록 한다.
레이저(232)가 조사된 부분에서는 레이저(232)의 에너지에 의하여 모 태양 전지(100a)가 국부적으로 일정 온도 이상으로 가열된다. 이에 의하여 모 태양 전지(100a)에서 레이저(232)가 조사된 부분이 가열되어 절단선(CL)에 따라 모 태양 전지(100a)가 절단된다. 이때, 절단에 의하여 발생하는 먼지, 불순물 등은 공기 흐름에 따라 모 태양 전지(100a)와 분리될 수 있다. 또한, 공기 흐름 제공부(220)에 의하여 제공된 공기 흐름은 레이저(232)에 의하여 모 태양 전지(100a) 또는 태양 전지(100)의 온도가 지나치게 상승하는 것을 방지할 수 있다. 이에 의하여 모 태양 전지(100a) 또는 태양 전지(100)의 원하지 않는 가열 또는 손상을 방지할 수 있다.
이때, 레이저(232)로는 모 태양 전지(100a)를 절단할 수 있는 다양한 파장, 파장 형태의 레이저를 사용할 수 있다. 일 예로, 레이저(232)가 약 532nm의 파장을 가지는 그린 레이저이고, 펄스 파형으로 일정 시간 동안 출력을 가지고 일정 시간 동안은 출력이 없는 펄스 레이저(pulsed wave laser)일 수 있다. 이에 의하면 단 시간에 모 태양 전지(100a)에 충분한 에너지를 제공하여 모 태양 전지(100a)를 쉽고 안정적으로 절단할 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
본 실시예에서 절단홈(CL1)은 작업대(210)에 인접한 면 쪽에 형성되며, 모 태양 전지(100a)의 두께에 대한 절단홈(CL1)의 깊이의 비율이 25% 내지 70%일 수 있다. 상기 비율이 20% 미만이면, 추후에 기계적 가공을 하더라도 모 태양 전지(100a)의 절단이 깔끔하게 이루어지지 않을 수 있다. 상기 비율이 70%를 초과하면, 조사되는 레이저 에너지가 커져서 모 태양 전지(100a) 또는 태양 전지(100)의 특성을 변화시키거나 반도체 기판(10) 또는 태양 전지(100)에 충격 또는 손상을 줄 수도 있다. 절단홈(CL1)의 깊이가 도전형 영역(20, 30)의 두께보다 커서 안정적인 절단이 이루어지도록 할 수 있다. 상술한 바와 같이, 일 예로, 제2 도전형 영역(30)이 형성된 면에 절단홈(CL1)이 형성되는 경우에는, 절단홈(CL1)의 깊이가 제2 도전형 영역(30)의 두께보다 커서 절단 홈(CL1)이 제2 도전형 영역(30)의 전체를 관통하여 베이스 영역의 내부까지 연장되어 형성될 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
이때, 본 실시예에서는 모 태양 전지(100a)에 대한 레이저 가공부(230) 또는 이로부터 조사된 레이저(232)가 레이저 관통부(210a)에 위치한 상태로 이의 길이 방향과 평행한 일 방향으로 상대적으로 이동할 수 있다. 즉, 도 7에 도시한 바와 같이, 작업대(210)가 프레임(214)에 의하여 이동 불가능하게 고정된 형태인 경우에는 레이저 가공 공정에서 레이저 가공부(230)가 절단선(CL) 또는 절단홈(CL1)의 형성 방향을 따라 이동할 수 있다. 이때, 공기 흐름 제공부(220)에 의하여 제공된 공기 흐름은 레이저 가공부(230)의 이동 방향과 반대 방향일 수 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 레이저 가공부(230)의 이동 방향과 동일할 수도 있다. 다른 예로, 도 8에 도시한 바와 같이, 레이저 가공부(230)는 고정되고 작업대(210)가 일 방향으로 이동 가능한 형태인 경우에는 레이저 가공 공정에서 작업대(210)가 절단선(CL) 또는 절단홈(CL1)의 형성 방향을 따라 이동할 수 있다. 이때, 공기 흐름 제공부(220)에 의하여 제공된 공기 흐름은 작업대(210)의 이동 방향과 동일한 방향일 수 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 레이저 가공부(230)의 이동 방향과 반대될 수도 있다.
이어서, 도 6c에 도시한 바와 같이, 물리적 충격을 가하는 기계적 가공 공정을 수행하여 모 태양 전지(100a)를 관통하는 절단부(CL)를 형성할 수 있다. 이에 의하면 좁은 절단홈(CL1)에 의하여 태양 전지(100)가 깔끔한 가공면을 가질 수 있고, 모 태양 전지(100a) 또는 태양 전지(100)의 구조적인 충격을 최소화하여 절단할 수 있다.
본 실시에에 따르면, 레이저(232)가 작업대(210)의 레이저 관통부(210a)를 통하여 작업대(210)에 인접한 모 태양 전지(100a)의 면에 조사되므로, 절단 공정 중에 레이저 관통부(210a) 이외의 부분에 위치한 태양 전지(100)의 부분에 먼지, 불순물 등이 안착되는 것을 물리적으로 방지할 수 있다. 이때, 모 태양 전지(100a)가 작업대(210)의 상부에 위치하고 레이저(232)가 작업대(210)의 하부측에서 조사되면, 중력에 의하여 먼지, 불순물 등이 하부로 떨어지므로 태양 전지에 안착되는 것을 더욱 방지할 수 있다.
또한, 절단 공정 중에 레이저 관통부(210a)를 통하여 먼지, 불순물 등을 배기하도록 공기 흐름을 제공하여 먼지, 불순물 등이 절단이 이루어지는 공간에 체류하는 시간을 줄여 먼지, 불순물 등이 태양 전지(100)에 안착되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. 또한, 공기 흐름을 제공하여 레이저 가공 공정 중에 모 태양 전지(100a) 또는 태양 전지(100)의 온도가 올라가는 것을 방지하여 공정 안정성을 향상할 수 있다.
이에 의하여 절단에 의하여 형성된 태양 전지(100)의 신뢰성을 향상하고 불량률을 줄여 생산성을 향상할 수 있다.
상술한 실시예에서는 하나의 모 태양 전지(100a)에 하나의 분리 영역(140) 또는 절단선(CL)이 있는 것을 예시하였다. 이와 달리 도 9에 도시한 바와 같이 하나의 모 태양 전지(100a)에 두 개 이상의 분리 영역(140) 또는 두 개 이상의 절단선(CL)이 있어 하나의 모 태양 전지(100a)로부터 세 개 이상의 태양 전지(100)가 제조될 수도 있다. 이때, 복수의 분리 영역(140) 또는 복수의 절단선(CL)은 서로 평행하게 길게 이어지는 형상을 가지고, 길이 방향과 교차하는 방향에서 일정한 간격을 두고 이격되어 형성될 수 있다. 도 9에서는 두 개의 분리 영역(140) 또는 두 개의 절단선(CL)을 구비하여 하나의 모 태양 전지(100a)로부터 세 개의 태양 전지(100)가 제조된 것을 예시하였으나, 세 개 이상의 분리 영역(140) 또는 세 개 이상의 절단선(CL)을 구비하여 하나의 모 태양 전지(100a)로부터 네 개 이상의 태양 전지(100)가 제조될 수도 있다. 이러한 모 태양 전지(100a)에 절단부를 형성하기 위한 작업대(201)는, 도 10 및 도 11에 도시한 바와 같이, 서로 평행하게 길게 이어지는 복수의 레이저 관통부(210a)를 구비할 수 있다. 이때, 도 10에 도시한 바와 같이, 레이저 관통부(210a)가 작업대(210)에 형성된 홀 형상으로 구비되며 폐쇄된 평면 형상을 가져 작업대(210)가 단일의 몸체로 구성될 수 있다. 또는, 도 11에 도시한 바와 같이, 레이저 관통부(210a)가 작업대(210)에 형성된 홀 형상으로 구비되며 일측 단부가 외부로 개방된 형상을 가지되 다른 단부에서는 외부로 개방되지 않도록 폐쇄된 형상을 가져 작업대(210)가 단일의 몸체로 구성될 수 있다. 즉, 레이저 관통부(210a)에 의하여 서로 분리되는 영역이 레이저 관통부(210a)의 일측에서 서로 연결되어 작업대(210)가 단일의 몸체로 구성될 수 있다. 이에 의하면 작업대(210)의 관리가 용이하며 작업대(210)의 구조적 안정성을 향상할 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 따라서 레이저 관통부(210a)가 작업대(210)를 전체적으로 가로질러 형성되어 작업대(210)가 레이저 관통부(210a)를 사이에 두고 이격되어 위치하는 복수의 부분을 포함할 수 있다. 이때, 작업대(210)의 각 부분은 프레임(도 4의 참조부호 214), 컨베이어 벨트 등의 다양한 구조, 방식 등에 의하여 이동 가능하게 또는 이동 불가능하게 고정될 수 있다.
여기서, 레이저 가공부(도 4의 참조부호 230, 이하 동일)는 하나 구비되어 복수의 레이저 관통부(210a)를 차례로 이동하면서 복수의 절단부를 차례로 형성할 수 있다. 또는, 레이저 가공부(230)가 복수로 구비되어 복수의 레이저 관통부(210a)에 대응하는 절단부를 동시에 형성할 수도 있다. 이때, 레이저 가공부(230)의 이동 경로 또는 작업대(210)의 이동 경로는 다양하게 변형될 수 있다. 예를 들어, 레이저 가공부(230)가 하나 구비되는 경우에는 작업대(210)에 대한 레이저 가공부(230)의 상대적인 위치 변화가, 하나의 레이저 관통부(210a)의 일측에서 타측, 이웃한 레이저 관통부(210a)의 타측에서 일측으로 이동하는 것을 반복할 수 있다. 또는, 레이저 가공부(230)가 하나 구비되는 경우에는 작업대(210)에 대한 레이저 가공부(230)의 상대적인 위치 변화가, 복수의 레이저 관통부(210a)에서 동일하게 일측에서 타측으로 이동하는 것을 반복할 수 있다. 다른 예로, 레이저 가공부(230)가 복수로 구비되는 경우에는 작업대(210)에 대한 복수의 레이저 가공부(230)의 상대적인 위치 변화가 동일한 방향으로 이루어져 공기 흐름 제공부(도 4의 참조부호 220, 이하 동일)에 의한 공기 흐름이 간단한 구조로 이루어지도록 할 수 있다. 다른 예로, 레이저 가공부(230)가 복수로 구비되는 경우에는 작업대(210)에 대한 복수의 레이저 가공부(230)의 상대적인 위치 변화가 서로 반대되는 방향으로 이루어져서 레이저(도 4의 참조부호 232)에 의하여 모 태양 전지(100a)에 가해지는 영향을 분산하여 안정성을 향상할 수 있다. 그 외의 다양한 변형이 가능하다.
다른 기재가 없다면, 도 1 내지 도 8에 관련한 설명은 도 9 내지 도 11에 관련한 설명에 그대로 적용될 수 있고, 도 1 내지 도 8을 참조한 실시예 및 변형예와 도 9 내지 도 11을 참조한 실시예 및 변형예는 서로 결합될 수 있으며 이 또한 본 발명의 범위에 속한다.
상술한 바에 따른 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의하여 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100a: 모 태양 전지
100: 태양 전지
200: 태양 전지의 제조 장치
210: 작업대
220: 공기 흐름 제공부
230: 레이저 가공부
2332: 레이저
CL: 절단선
CL1: 절단홈

Claims (20)

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  13. 모 태양 전지를 절단하여 복수의 단위 태양 전지를 제조하는 절단 공정을 수행하는 태양 전지의 제조 장치로서,
    레이저 관통부를 구비하여 모 태양 전지가 상기 레이저 관통부 위로 장착되는 작업대;
    상기 레이저 관통부를 통하여 상기 작업대에 인접한 상기 모 태양 전지의 면에 레이저를 제공하여 상기 모 태양 전지에 절단부를 형성하는 레이저 가공부; 및
    상기 레이저가 상기 모 태양 전지에 조사되어 상기 절단부를 형성할 때 상기 레이저의 조사 방향과 교차하는 방향으로 공기 흐름을 제공하는 공기 흐름 제공부를 포함하고,
    상기 공기 흐름 제공부는, 상기 레이저 관통부의 일측으로 공기를 제공하는 공급부 및 상기 레이저 관통부의 타측으로 공기를 배기하는 배기부 중 적어도 하나를 포함하고,
    상기 레이저가 상기 모 태양 전지에 조사되어 상기 절단부를 형성할 때 상기 모 태양 전지에 대한 상기 레이저의 상대적인 위치가 상기 레이저 관통부의 길이 방향과 평행한 일 방향으로 이동하고,
    상기 공기 흐름 제공부는 상기 일 방향과 평행하되 이와 반대되는 방향 또는 상기 일 방향과 교차하는 방향으로 상기 공기 흐름을 제공하는 태양 전지의 제조 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 작업대가 상기 레이저 관통부를 사이에 두고 이격되어 위치한 복수의 부분을 포함하거나, 또는 상기 작업대에 상기 레이저 관통부가 홀 형상으로 형성되는 태양 전지의 제조 장치.
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 삭제
  18. 제13항에 있어서,
    상기 공기 흐름 제공부는, 상기 레이저 관통부의 개방된 일측 또는 타측으로 공기를 제공 또는 배기하거나, 또는
    상기 공기 흐름 제공부는 상기 레이저 관통부의 상기 교차 방향에 인접한 상기 작업대의 양측 부분에 형성된 공기 유동 홀에 연결되어 공기를 제공 또는 배기하는 태양 전지의 제조 장치.
  19. 제13항에 있어서,
    상기 모 태양 전지가 상기 작업대의 상부에 위치하고,
    상기 레이저 가공부가 상기 작업대의 하부측에 위치하여, 상기 레이저가 상기 작업대의 상기 하부측으로부터 조사되어 상기 작업대에 인접한 상기 모 태양 전지의 면 쪽에서 상기 절단부를 형성하는 태양 전지의 제조 장치.
  20. 제13항에 있어서,
    상기 작업대에 상기 모 태양 전지를 배기 흡착하기 위한 배기 홀이 구비되고,
    상기 배기 홀에 연결되어 공기를 배기하는 흡착부를 더 포함하는 태양 전지의 제조 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100631296B1 (ko) * 2000-11-15 2006-10-04 삼성전자주식회사 단판 유리기판의 레이저 절단 방법 및 장치
KR20150052412A (ko) * 2013-11-04 2015-05-14 삼성디스플레이 주식회사 기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판 처리 방법

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101058073B1 (ko) * 2011-03-08 2011-08-25 (주)제이콥스 기판부재의 절단장치

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